JP3034035B2 - 流体システムにおいて使用するためのサーボ弁装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は弁装置に関しそして、特に、流体システムに
おいて流体の流れを選択的に導く即ち“ポート”するた
めに使用する新規のサーボ弁装置に関する。

流体システムは様々の機械構成要素を制御するまたは
位置決めする手段として機械装置において頻繁に使用さ
れる。本文において使用されるとき、用語“流体”は導
管を通じて圧力下で流れ得るすべての物質を一般的に呼
称するのに用いられる。従って、用語“流体”は気体及
び液体の双方を包含し、そして一般的用語“流体システ
ム”は、空気圧力システム及び液体圧力システムの双方
を含むことが意図される。

流体システムは典型的に流体を加圧するポンプを有
し、流体は次いで所望の機械構成要素を位置決めし若し
くは制御するために必要な力を提供する。例えば、液圧
システムは重建設機械においてショベルまたはスクープ
を制御するためにしばしば使用される。同様に、空気圧
システムは所望の物体、例えば、ロボット腕、のような
もの、の位置と運動とを制御するためロボットの分野に
おいてしばしば使用される。

適切な流体制御弁は事実上すべての流体システムの適
正な運転のために本質的に必要である。例えば、細長い
ハウジング内に摺動自在に位置されたプランジャの片側
に最初に加圧流体を導き、次いでその反対側に加圧流体
を導くのに弁が使用され得る。弁の作用は、かくして、
プランジャの各側への加圧流体の流れを制御しそしてそ
れによりハウジング内におけるプランジャの位置を制御
する。

流体システムにおいてさらに一般的に使用される弁の
若干の例は、（“ピンチング”作用によって流体の流れ
を制御する）ポペット弁と、スプール弁、即ちその内部
にスプールが摺動自在に配置されるスリーブのオリフィ
スとスプール内の流体チャンネルとの選択的整合によっ
て流体の流れを制御するもの、とである。ポペット弁は
一般的にはサーボ弁として用途には好適ではなく、典型
的にそれらの作動において重大な時間遅れを有し、そし
て頻繁に漏れの問題を起こす。スプール弁はスプールと
スリーブとの間の漏れを回避するためにきわめて厳密な
公差を要求し、従って、それらの製造と整備との費用を
高くする。さらに、厳密な公差の故に相当な摩擦力が発
生して弁を摩耗させる。

より最近開発された弁は、流れ分割弁としばしば呼ば
れるジェットパイプ弁である。ジェットパイプ弁はその
下流端に小さいオリフィスを有する流体パイプを有す
る。流体は実質的に一定の流量を以てパイプを流れ通
り、そして前記小さいオリフィスはパイプの端から流体
の“ジェット”を生じさせる。パイプは好適なアクチュ
エータを設けられ、該アクチュエータは１本または数本
の近くの流体通路へ流体ジェットを選択的に導く。流体
パイプを適切に配置することによって、近くの流体通路
に流れ入る流体の比は制御され得る。

従来のジェットパイプ弁の欠点は相当な量の流体が漏
れ、従ってそれらの流体の力の使用においてきわめて非
効率的であることである。また、ジェットパイプ弁の作
用は高圧力と高流体流量とにおいては多少予測不可能で
ある。従って、先行技術に基づくジェットパイプ弁は、
典型的に小さいオリフィス（0.127mm〔0.005″〕）を使
用しそして0.4546（0.1英ガロン）／分のオーダーの
流体流量で運転する。在来のジェットパイプ弁はまた典
型的に極めて大きくて扱いにくい。ジェットパイプ弁に
存在する相当大きな接線方向の力の故に、大きな扱いに
くい機械的アクチュエータがしばしば使用される。弁作
用を改善するために、ねじりばね及びその他の釣合い機
構がジェットパイプ弁にしばしば使用される。従って、
先行技術によるジェットパイプ弁はそれを適正に維持し
そして使用時に調整するにはしばしば極めて困難であ
る。

発明の簡単な摘要及び目的 以上の説明に鑑み、本発明の主たる目的は、流体シス
テムにおいて使用するためのサーボ弁装置であって高出
力アウトプットを提供しそして高流体流量を以て作動し
得るが、弁の構成部品間においては厳密な公差の維持を
必要としないものを提供することである。

本発明のもう一つの目的は、実質的に摩擦を生じるこ
となしに作動するサーボ弁装置を提供することである。

本発明の他の一つの目的は、流体の流れの力が減じら
れるサーボ弁装置を提供することである。

さらに本発明の一目的は、流体システムにおいて使用
される効率的なサーボ弁装置であって構造が簡単で、製
造と整備の費用が高くないものを提供することである。

本発明のさらなる一目的は、流体システムにおいて使
用されるサーボ弁装置であって軽量で且つ寸法において
コンパクトなものを提供することである。

本発明によれば、流体システムにおいて使用するサー
ボ弁装置であって、上流端と下流端とを有する可撓導
管、前記可撓導管の上流端に流体の給源を結合する手
段、前記可撓導管の下流端に隣接して位置される受板で
あって少なくとも１本の流体チャンネルをその内部に形
成されたもの、前記可撓導管に取付けられたアーマチュ
ア、前記可撓導管の少なくとも一部分をその上流端に隣
接して包囲する導電コイルであって電流がコイルに供給
されるとき前記アーマチュアを磁化するためのもの、前
記アーマチュアのサイドに位置される磁石組立体であっ
て前記コイルに供給される電流の方向に存在して前記導
管を偏向させるため前記アーマチュアを選択的に引付け
るまたは反発させるためのもの、及び磁化粒子が磁石組
立体と接触するのを防止する手段、を有するサーボ弁装
置が提供される。

また、本発明によれば、流体システムにおいて使用す
るサーボ弁装置であって、実質的に円筒形の本体と、円
筒形の本体の長手方向軸線と実質的に同軸であるように
円筒形の本体の内部に位置される可撓導管であって上流
端と下流端とを有するものと、可撓導管の上流端と結合
された端板であって可撓導管と連通するニップルを有す
るものと、可撓導管の少なくとも一部分をその上流端に
隣接して包囲するマンドレルと、導電コイルを形成する
ように前記マンドレルの周囲に巻付けられた導電体と、
前記マンドレルに隣接するように可撓導管に取付けられ
たアーマチュアであってマンドレルに近いその一部分が
直径方向に拡大されているものと、第１の磁石及び第２
の磁石であって、前記第１及び第２の磁石が希土類金属
材料から形成されそして前記可撓導管の実質的に互いに
反対の側に位置され、第１の磁石は北極片がアーマチュ
アに面するように位置されそして第２の磁石は南極片が
アーマチュアに面するように位置されているものと、前
記可撓導管の下流端に結合されたチップであって可撓導
管と連通する流体オリフィスとして形成されているもの
と、前記可撓導管の下流端と隣接して位置される受板で
あって、可撓導管の下流端に結合されたチップを受ける
ためそこに凹面ソケットを形成されており、該凹面ソケ
ットが撓曲の間における可撓導管の下流端の曲率半径に
実質的に等しい曲率半径を有し、さらに前記受板が凹面
ソケットを連通する少なくとも１本の流体チャンネルを
そこに形成されているものと、磁化粒子が前記第１の第
２の磁石に接触するのを防止する手段と、を有するサー
ボ弁装置が提供される。

本発明の一実施形態においては、サーボ弁装置は、固
定端と概ね孤形の通路に沿って前後に運動し得る自由端
とを有する細長い可撓の弁棒または要素を有するものに
指向される。また、サーボ弁装置は弁要素の自由端へ流
体の流れを導く流体運搬機構を有する。弁要素の自由端
がそれを通って運動する孤形通路に隣接する概ね孤形の
表面区域を画成するための受板が設けられる。受板は少
なくとも１個の流体チャンネルであって前記孤形表面区
域に沿う位置において終端するものを有する。前記自由
端が受板を越えて或る位置へ前記自由端が偏向されると
きまたは運動されるとき流体チャンネル内へ流体の流れ
を案内する即ちポート（port）するためにポーティング
（porting）要素が弁要素の自由端に配置される。弁要
素の自由端を前記或る位置へ（そして前記或る位置か
ら）選択的に変更させるための装置も設けられる。

弁要素の自由端を選択的に偏向させる装置は、本発明
の一局面に従って、その自由端の近くで弁要素に結合さ
れたアーマチュアと、弁要素の少なくともその自由端に
隣接する一部分を包囲する導電コイルと、アーマチュア
の少なくとも片側でアーマチュアに隣接して配置された
磁石組立体とを有する。電流の給源は導電コイルに電流
を供給してアーマチュアを磁化させて、それを磁石組立
体に吸着させるか、またはそれから反発放逐される。こ
のようにして、ポーティング要素は選択的に受板内の流
体チャンネル上に位置されるか、またはそれは反発退去
させられる。

本発明のこれら及びその他の目的及び特徴は、添付図
面を参照して以下述べる説明並びに請求の範囲から十分
に明らかになるであろう。

図面の簡単な説明 第１図は本発明のサーボ弁装置の現在好ましいとされ
る一実施例の部分的に破断された斜視図である。

第２図は第１図の線２−２に沿って切られた第１図の
実施例の縦断面図であり、同時に、鎖線を以て示される
アクチュエータ装置の概略図を含む。

第３図は第１図及び第２図の装置において使用される
チップ及び受板輪郭の写実的上面図である。

提示実施例の詳細な説明 本発明のここに提示される実施例は、全図面を通じて
同じ部品が同じ数字で示される図面を参照することによ
って最も良く理解されるであろう。

全体として10を以て示される本発明のサーボ弁装置の
現在好ましいとされる一つの実施例が、第１図と第２図
とにおいて図解される。図示されるように、サーボ弁10
は任意の好適な材料から作られる本体20を有する。本体
20は磁性材料であって機械加工し易くそして低いヒステ
リシスを有するもの、例えば珪素鋼、鉛入り鋼、または
低炭素鋼が現在好ましいとされる。

本体20は極めて様々の異なる形状と相対的配置とを有
し得るが、ここでは本体20は実質的に円筒形として図示
される。本体20の円筒形状はサーボ弁10の製作を容易に
するとともに、後に説明されるサーボ弁10の各種の構成
部品を収容するための機械加工を容易に許すと現在信じ
られる。

本体20の上流端29は第２図に図解されるように端板30
を設けられる。端板30は任意な好適な材料、例えば真鍮
のごときもの、から作られ得る。端板30は何らかの好適
な方法例えばはんだづけによってまたは接着剤によって
本体20の上流端29内に固定される。

端板30は図示のごとくニップル32を設けられる。ニッ
プル32は、在来の流体管（図示せず）を使用する加圧さ
れた流体の給源に結合される。好ましくはＯリング33が
前記流体管に対するニップル32の密封を助けるために好
適な溝においてニップル32を包囲する。

ニップル32の反対側において、端板30はスピンドル34
を設けられる。スピンドル34とニップル32は端板30の一
体部品として形成されることが有利である。重要なこと
は、ニップル32、端板30及びスピンドル34は、おのお
の、実質的に均等の長手方向通路を形成するように結合
される貫通孔を有することであり、その目的は後述され
る説明から容易に明らかになるであろう。

マンドレル40が端板30のスピンドル34に設けられる。
マンドリル40は任意の好適な材料、例えば鋼のごときも
の、から形成され得、端板30の一体部分としてまたは独
立した要素として形成され得る。マンドレルの下流端円
板41はアルミニウム、プラスチックなどのごとき非磁性
材料から作られる。マンドレル40は後にさらに説明され
るであろう。

好適な電気導体が導電性コイルを形成するようにマン
ドレル40の周囲に巻付けられる。任意の好適な導電体、
例えば＃30磁気導線のごときもの、が使用され得る。線
42の端は端板30の好適な穴を通って本体20から引き出さ
れる好適な絶縁線16と結合される。第１図に示されるよ
うに、線16はそれを（そして導体コイル42を）好適な電
源と接続するための何らかの形式の接続プラグ18を設け
られる。

第２図に示されるように、可撓導管60が端板30の中心
孔とマンドレル40の中心孔とを通過する。導管60の上流
端62は何らかの適当な方法、例えば在来のブシュ63によ
って、端板30内に固定される。導管60は任意の好適な材
料、例えば鋼のごときもの、から形成され得る。

アーマチュア64はマンドレル40に隣接して位置するよ
うに導管60に結合される。アーマチュア64は、例えば、
鋼から形成されそして摩擦または好適な接着剤によって
導管40に摺動可能に結合され得る。

アーマチュア64は事実上任意の好適な幾何学的形状を
有し得る。例えば、アーマチュア64は第１図において最
も良く認められるように実質的に矩形の部材であり得
る。マンドレル40に近いアーマチュア64の部分は第１図
及び第２図において示されるように、直径方向に拡大さ
れることが現在好ましい。アーマチュア64の直径方向拡
大部分は、より詳細に後に説明されるように、アーマチ
ュアがサーボ弁10の適正な作用のために必要な磁気誘導
電流を伝導するのを助けると信じられる。

２個の磁石72,73が、第２図に示されるように、アー
マチュア64の反対両側に配置される。磁石72と73は、例
えば、本体20に好適な磁石取付台70によって結合され
る。重要なことは、一方の磁石72または73がアーマチュ
ア64に面して北極片を提供するように形成されそして位
置され、一方、他の磁石はアーマチュア64に面して南極
片を提供するように形成されそして位置されることであ
る。磁石72と73は様々の異なる材料から形成され得る
が、磁石72,73は希土類金属材料から形成されることが
現在好ましい。希土類磁石はそれらの抜群の磁気特性に
よってサーボ弁の小型化と軽量化とを容易にすると信じ
られる。

導管60の下流端は好ましくは、任意の好適な材料、例
えば、真鍮のごときもの、から形成され得るチップ66を
設けられる。チップ66は何らかの好適な方法で、例えば
摩擦によってまたは好適な接着剤によって、導管60に結
合される。チップ66は流体がそれを通って導管60から流
れる１個または複数の流体オリフィスとして形成される
ことが重要である。

本体20の下流端は受板80を設けられる。受板80は例え
ば真鍮から形成され得る。受板80は何らかの適当な方式
で、例えば、はんだまたは接着剤によって、本体60内に
固定される。

受板80は１個または数個の流体チャンネルまたは複数
群の流体チャンネル84,86をそこに形成されており、前
記流体チャンネルは、それぞれ（第１図に示されるよう
に）穴または穴の群85,87において終端する。チャンネ
ル84,86は本体20の内側において受板80の表面に形成さ
れた孤形または凹面のソケット82内において発しそして
それと連通することが有利である。ソケット82の曲率半
径は、導管60の下流端が撓曲間にそれを通って運動する
孤形通路の曲率半径と実質的に等しいことが好ましい。
その理由は後述する説明から十分に明らかになるであろ
う。

第３図は受板80及びチップ66の典型的な構成の写実的
上面図である。ここでは、受板80は２列の３チャンネル
（またはそれより多い）を有しそしてチップ66は１列の
３チャンネルまたはオリフィス86であって、おのおの、
チップが非偏向位置に在るとき、チャンネル85とチャン
ネル87との対応する対の間において中間に位置されるも
のを有する。

チップ66と受板80との間には一般的に若干の距離が存
在するが、チップ66と受板80との間からの流体の漏れの
量を減少させるために前記距離を最小化することが好ま
しい。しかし、チップ66と受板80との間の距離はチップ
66と受板80との間に実質的な摩擦力が存在する、また
は、潤滑流体がサーボ弁10において使用されるほどには
小さくない。重要なことは、上に説明されたごとく、受
板80にソケット82を設けることによって、チップ66と受
板80との間の距離も導管60の撓曲間に実質的に一定の最
小限度レベルに維持され得ることである。

流体システムにおいて使用されるとき、サーボ弁10は
ニップル32によって加圧流体の給源に結合される。次い
で、加圧流体はニップル32を通じて導管60に入りそして
受板80に向かって進む。

導電コイル42は線16とプラグ18とによって電源に接続
される。電流がコイル42と通って流れるにつれて、電磁
気学の周知の理論に従って磁流がコイル42の中心を通っ
て誘導される。この誘導磁流の故に、コイル42の一端に
隣接するアーマチュア64は、コイル42内の電流の方向に
従って北極片または南極片として磁化される。その結果
として、アーマチュア64は磁石72または磁石73に磁気的
に引付けられ、そして導管60は第２図において上方また
は下方に偏向される。

例えば、コイル42を通る電流の方向によってアーマチ
ュア64は北極片として磁化され得る。従って、もし磁石
72がアーマチュア64に面して北極片を提供するように位
置されそして磁石73がアーマチュア64に面して南極片を
提供するように位置されるならば、アーマチュア64は磁
石72から磁気的に反発されそして磁石73に磁気的に引付
けられる。その結果として、導管60は第２図において下
方へ偏向される。導管60は、勿論、単にコイル42の電流
の方向を逆転することによって同様にして第２図におい
て上方へ偏向され得る。

もし導管60が第２図において上方へ偏向されるなら
ば、流体は導管60とチップ66とを通じてチャンネル84内
に流れることは容易に理解されるであろう。これに反し
て、もし導管60が第２図において下方へ偏向されるなら
ば流体は導管60とチップ66とを通じてチャンネル86内に
流れるであろう。従って、流体チャンネル84,86内への
流体の流れは、導管60が偏向される方向を決定するコイ
ル42の電流の方向を単に制御することによって選択的に
制御され得る。

上に言及されたごとく、導管60の下流端がそれを通っ
て運動する通路の曲率半径と実質的に等しい曲率半径を
有する凹面ソケット82を受板80に設けることによって、
比較的厳密な公差がチップ66と凹面ソケット82との間に
維持され得る。その結果として、導管60を通る流体の流
量は、チップ66によって形成されるオリフィスが流体チ
ャンネル84と86との間に位置するように、第２図に図解
されるように、非偏向位置に導管60を位置させることに
よって、事実上停止され得る。若干の流体の漏れは依然
として予期され得るが、流体の漏れは先行技術によるジ
ェットパイプ弁と比較されるとき最少である。実際にお
いて、サーボ弁10の性能は、その費用が極めてより安
く、そしてその製造と整備とが極めてより容易であるに
もかかわらず、従来のスプール弁の性能に接近し得る。

既に言及されたごとく、少なくとも若干の流体がチッ
プ66によって形成されるオリフィスから本体20内部に漏
入する可能性はある。そのような流体は磁化された粒子
であって磁石72,73へ向かって進みそしてそれらに付着
するものをしばしば含むことがある。そのような状態は
極めて不利な効果をサーボ弁10の性能に及ぼすことは容
易に理解されるであろう。

磁化粒子が磁石72,73に付着するのを防止するため
に、適切なフィルタがチップ66の周囲に設置され得る。
例えば、従来の多孔金属材料が流体中のすべての磁化粒
子に対するフィルタとして働くようにチップ66の周囲に
設置され得る。代替的に、一連のバッフル92が第２図に
示されるようにチップ66の周囲に設置され、そして磁気
フィルタ93がそれらの間に配置され得る。磁化粒子がバ
ッフル92の間を通過するにしたがって磁気フィルタ93は
そのような粒子を捕捉してそれらが磁石72,73と接触す
るのを阻止する。

第２図に概略的に示されるごとく、サーボ弁10は、も
し希望されるならば、好適なアクチュエータ12と結合さ
れる。従って、受板80のチャンネル84を通じて流体を導
くことによって、加圧流体はアクチュエータ12のピスト
ンロッド13の延伸を生じさせるようにチャンネル14を通
じて導かれ得る。そのあと、流体は受板80のチャンネル
86を通じてチャンネル15へ導かれ得、チャンネル15はピ
ストンロッド13の後退を生じさせる。

アクチュエータ12は好適なスリーブ（図示されない）
によって直接にサーボ弁10に結合されることが有利であ
る。そのような場合、本体20の下流端28に対するスリー
ブの密封を容易にするために、Ｏリング26が図示のよう
に本体20の周囲に設置され得る。

以上の説明から本発明はサーボ弁装置であって高流体
流量と共に使用され、そして相対的に高い出力を提供す
るが多くの先行技術に基づく弁装置の極めて厳しい公差
を必要としないものを提供することが理解されるであろ
う。例えば、本発明のサーボ弁装置は約4.546（１英
国標準ガロン）／分から約18.184（４英国標準ガロ
ン）／分までの範囲の流体流量と共に容易に使用され得
ることが判明した。これは在来のジェットパイプ弁にお
いて典型的に使用される流体流量に比し10〜40倍大き
い。

本発明に基づくサーボ弁装置の物理的輪郭はサーボ弁
装置を多くの在来弁に比し、著しく小さく作ることを可
能にする。サーボ弁装置の小さい寸法と比較的軽い重さ
も、部分的に、サーボ弁装置内における希土類磁石の使
用によって達成される。

本発明はその精神と本質的特徴から逸脱することなし
にその他の特別の形式で実施され得る。説明された実施
例はあらゆる点において例示的であるに過ぎず、制限的
ではない。本発明の範囲は、従って、以上述べた説明よ
りむしろ別添の請求の範囲によって表示される。意味の
中から生じるあらゆる変更及び諸請求項の同等性の範囲
はそれらの範囲内に当然包含される。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヌッティ，デビッド エフ. アメリカ合衆国84123 ユタ州，ソルト レイク シティー，ウエスト ロック ヒル サークル 860 (56)参考文献 実公 昭45−25828（ＪＰ，Ｙ１) 米国特許4291716（ＵＳ，Ａ) 米国特許2990839（ＵＳ，Ａ) 米国特許3011505（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F16K 31/00 - 31/11 F16K 51/00

Claims (15)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流体システムにおいて使用するサーボ弁装
   置であって： 上流端と下流端とを有する可撓導管； 前記可撓導管の上流端に流体の給源を結合する手段； 前記可撓導管の下流端に隣接して位置される受板であっ
   て少なくとも１本の流体チャンネルをその内部に形成さ
   れたもの； 前記可撓導管に取付けられたアーマチュア； 前記可撓導管の少なくとも一部分をその上流端に隣接し
   て包囲する導電コイルであって電流がコイルに供給され
   るとき前記アーマチュアを磁化するためのもの； 前記アーマチュアのサイドに位置される磁石組立体であ
   って前記コイルに供給される電流の方向に依存して前記
   導管を偏向させるため前記アーマチュアを選択的に引付
   けるまたは反発させるためのもの；及び 磁化粒子が磁石組立体と接触するのを防止する手段； を有するサーボ弁装置。
2. 【請求項２】請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装
   置において、前記磁石組立体が第１の磁石と第２の磁石
   とを有し、前記第１と第２の磁石が前記可撓導管の実質
   的に互いに反対のサイドに位置され、第１の磁石は北極
   片がアーマチュアに対面するように位置されそして第２
   の磁石は南極片がアーマチュアに対面するように位置さ
   れているサーボ弁装置。
3. 【請求項３】請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装
   置において、前記導管が弾性材料から作られているサー
   ボ弁装置。
4. 【請求項４】請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装
   置であって、さらに、前記可撓導管の上流端に結合され
   た端板を有するものにおいて、可撓導管の上流端に流体
   給源を結合する手段が、可撓導管と連通する端板に取付
   けられたニップルから構成されるサーボ弁装置。
5. 【請求項５】請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装
   置において、前記受板が可撓導管の下流端を受けるため
   そこに凹面ソケットを形成されているサーボ弁装置。
6. 【請求項６】請求の範囲第５項に記載されるサーボ弁装
   置において、前記凹面ソケットが、撓曲の間における可
   撓導管の下流端の曲率半径と実質的に等しい曲率半径を
   有するサーボ弁装置。
7. 【請求項７】請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装
   置において、導管コイルが、可撓導管の少なくとも一部
   分をその上流端に隣接して包囲するマンドレルと； 導電コイルを形成するようにマンドレルの周囲に巻かれ
   た導電体とから構成されるサーボ弁装置。
8. 【請求項８】請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装
   置において、導電コイルに近いアーマチュアの一部分が
   直径方向に拡大されているサーボ弁装置。
9. 【請求項９】請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装
   置において、磁石組立体が希土類金属材料から作られる
   サーボ弁装置。
10. 【請求項１０】請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁
    装置であって、さらに、可撓導管の下流端に固定される
    チップを有し、該チップが可撓導管と連通する流体オリ
    フィスとして形成されているサーボ弁装置。
11. 【請求項１１】請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁
    装置であって、さらに、導電コイル及び受板に相対して
    可撓導管を選択的に位置決めする手段を有するサーボ弁
    装置。
12. 【請求項１２】請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁
    装置であって、磁化粒子が磁石組立体と接触するのを防
    止する手段が： 可撓導管の下流端と磁石組立体との間に位置される複数
    のバッフルと； 前記バッフルに近接して位置される少なくとも１個の磁
    気フィルタとから構成されるサーボ弁装置。
13. 【請求項１３】流体システムにおいて使用するサーボ弁
    装置であって： 実質的に円筒形の本体と； 円筒形の本体の長手方向軸線と実質的に同軸であるよう
    に円筒形の本体の内部に位置される可撓導管であって上
    流端と下流端とを有するものと； 可撓導管の上流端と結合された端板であって可撓導管と
    連通するニップルを有するものと； 可撓導管の少なくとも一部分をその上流端に隣接して包
    囲するマンドレルと； 導電コイルを形成するように前記マンドレルの周囲に巻
    付けられた導電体と； 前記マンドレルに隣接するように可撓導管に取付けられ
    たアーマチュアであってマンドレルに近いその一部分が
    直径方向に拡大されているものと； 第１の磁石及び第２の磁石であって、前記第１及び第２
    の磁石が希土類金属材料から形成されそして前記可撓導
    管の実質的に互いに反対の側に位置され、第１の磁石は
    北極片がアーマチュアに面するように位置されそして第
    ２の磁石は南極片がアーマチュアに面するように位置さ
    れているものと； 前記可撓導管の下流端に結合されたチップであって可撓
    導管と連通する流体オリフィスとして形成されているも
    のと； 前記可撓導管の下流端と隣接して位置される受板であっ
    て、可撓導管の下流端に結合されたチップを受けるため
    そこに凹面ソケットを形成されており、該凹面ソケット
    が撓曲の間における可撓導管の下流端の曲率半径に実質
    的に等しい曲率半径を有し、さらに前記受板が凹面ソケ
    ットと連通する少なくとも１本の流体チャンネルをそこ
    に形成されているものと； 磁化粒子が前記第１と第２の磁石に接触するのを防止す
    る手段と； を有するサーボ弁装置。
14. 【請求項１４】請求の範囲第13項記載のサーボ弁装置で
    あって、さらに、マンドレルに相対して端板を選択的に
    位置させる手段を有し、それにより可撓導管の位置が選
    択的に制御され得るサーボ弁装置。
15. 【請求項１５】請求の範囲第13項記載のサーボ弁装置で
    あって、さらに、受板の流体チャンネル内に導入される
    流体によって制御されるようにされたアクチュエータが
    本体に結合されているサーボ弁装置。