JPH04506699A - 流体システムにおいて使用するためのサーボ弁装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 流体システムにおいて使用するためのサーボ弁装置発明の背景 本発明は弁装置に関しそして、特に、流体システムにおいて流体の流れを選択的 に導く即ち“ボート”するために使用する新規のサーボ弁装置に関する。

流体システムは様々の機械構成要素を制御するまたは位置決めする手段として機 械装置において頻繁に使用される。本文において使用されるとき、用語“流体” は導管を通じて圧力下で流れ得るすべての物質を一般的に呼称するのに用いられ る。従って、用語“流体”は気体及び液体の双方を包含し、そして一般的用語“ 流体システム”は、空気圧力システム及び液体圧力システムの双方を含むことが 意図される。

流体システムは典型的に流体を加圧するポンプを存し、流体は次いで所望の機械 構成要素を位置決めしそして／または制御するために必要な力を提供する。例え ば、液圧システムは重建設機械においてショベルまたはスクープを制御するため にしばしば使用される。同様に、空気圧システムは所望の物体、例えば、ロボッ ト腕、のようなもの、の位置と運動とを制御するためロボットの分野においてし はしは使用される。

適切な流体制細弁は事実上すべての流体システムの適正な運転のために本質的に 必要である。例えば、細長いハウジング内に摺動自在に位置されたプランジャの 片側に最初に加圧流体を導き、次いでその反対側に加圧流体を導くのに弁が使用 され得る。弁の作用は、かくして、プランジャの各側への加圧流体の流れを制御 しそしてそれによりハウジング内におけるプランジャの位置を制御する。

流体システムにおいてさらに一般的に使用される弁の若干の例は、（“ピンチン グ″作用によって流体の流れを制御する）ポペット弁と、スプール弁、即ちその 内部にスプールが摺動自在に配置されるスリーブのオリフィスとスプール内の流 体チャンネルとの選択的整合によって流体の流れを制御するもの、とである。ポ ペット弁は一般的にはサーボ弁として用途には好適ではなく、典型的にそれらの 作動において重大な時間遅れを有し、そして頻繁に漏れの問題を起こす。スプー ル弁はスプールとスリーブとの間の漏れを回避するためにきわめて厳密な公差を 要求し、従って、それらの製造と整備との費用を高くする。さらに、厳密な公差 の故に相当な摩擦力が発生して弁を摩耗させる。

より最近開発された弁は、流れ分割弁としばしば呼ばれるジェットバイブ弁であ る。ジェットバイブ弁はその下流端に小さいオリフィスを育する流体パイプを有 する。

流体は実質的に一定の流量を以てパイプを流れ通り、そして前把手さいオリフィ スはパイプの端から流体の“ジェット”を生しさせる。パイプは好適なアクチュ エータを設けられ、該アクチュエータは１本または数本の近くの流体通路へ流体 ジェットを選択的に導く。流体パイプを適切に配置することによって、近くの流 体通路に流れ入る流体の比は制御され得る。

従来のシェツトバイブ弁の欠点は相当な量の流体が漏れ、従ってそれらの流体の 力の使用においてきわめて非効率的であることである。また、ジェットバイブ弁 の作用は高圧力と高流体流量とにおいては多少予測不可能である。従って、先行 技術に基づくジェットバイブ弁は、典型的に小さいオリフィス（０，１２７ｍｍ （０，００５”〕）を使用しそして０．４５４６１（０゜１英ガロン）７分のオ ーダーの流体流量で運転する。在来のジェットバイブ弁はまた典型的に極めて大 きくて扱いにくい。ジェットバイブ弁に存在する相当大きな接線方向の力の故に 、大きな扱いにくい機械的アクチュエータかしばしば使用される。弁作用を改善 するために、ねじりばね及びその池の釣合い機構がジェットバイブ弁にしばしば 使用される。従って、先行技術によるジェットバイブ弁はそれを適正に維持しそ して使用時に調整するにはしばしば極めて困難である。

発明の簡単な摘要及び目的 以上の説明に鑑み、本発明の主たる目的は、流体システムにおいて使用するため のサーボ弁装置であって高出力アウトプットを提供しそして高流体流量を以て作 動し得るが、弁の構成部品間においては厳密な公差の維持を必要としないものを 提供することである。

本発明のもう一つの目的は、実質的に摩擦を生じることなしに作動するサーボ弁 装置を提供することである。

本発明の他の一つの目的は、流体の流れの力が減じられるサーボ弁装置を提供す ることである。

さらに本発明の一目的は、流体システムにおいて使用される効率的なサーボ弁装 置であって構造が簡単で、製造と整備の費用か高くないものを提供することであ る。

本発明のさらなる一目的は、流体システムにおいて使用されるサーボ弁装置であ って軽量で且つ寸法においてコンパクトなものを提供することである。

以上の諸口的と一致するように、本発明は流体システムにおいて使用される新規 のサーボ弁装置であって固定端と、概ね弧形の通路に沿って前後に運動し得る自 由端とを有する細長い可撓の弁棒または要素を有するものに指向される。また、 サーボ弁装置は弁要素の自由端へ流体の流れを導く流体運搬機構を有する。弁要 素の自由端がそれを通って運動する弧形通路に隣接する概ね弧形の表面区域を画 成するための受板が設けられる。受板は少なくとも１個の流体チャンネルであっ て前記弧形表面区域に沿う位置において終端するものを育する。前記自由端が受 板を越えて成る位置へ前記自由端が偏向されるときまたは運動されるとき流体チ ャンネル内へ流体の流れを案内する即ちボー）　（ｐｏｒｔ）するためにボーテ ィング（ｐｏｒｔｉｎｇ　）要素が弁要素の自由端に配置される。弁要素の自由 端を前記成る位置へ（そして前記成る位置から）選択的に変更させるための装置 も設けられる。

弁要素の自由端を選択的に偏向させる装置は、本発明の一局面に従って、その自 由端の近くて弁要素に結合されたアーマチュアと、弁要素の少なくともその自由 端に隣接する一部分を包囲する導電コイルと、アーマチュアの少なくとも片側て アーマチュアに隣接して配置された磁石組立体とを存する。電流の給源は導電コ イルに電流を供給してアーマチュアを磁化させて、それを磁石組立体に吸着させ るか、またはそれから反発放逐される。このようにして、ボーティング要素は選 択的に受板内の流体チャンネル上に位置されるか、またはそれは反発退去させら れる。

本発明のこれら及びその他の目的及び特徴は、添付図面を参照して以下述へる説 明並びに請求の範囲から十分に明らかになるであろう。

図面の簡単な説明 第１図は本発明のサーボ弁装置の現在好ましいとされる一実施例の部分的に破断 された斜視図である。

第２図は第１図の線２−２に沿って切られた第１図の実施例の縦断面図であり、 同時に、鎖線を以て示されるアクチュエータ装置の概略図を含む。

第３図は第１図及び第２図の装置において使用されるチップ及び受板輪郭の写実 的上面図である。

提示実施例の詳細な説明 本発明のここに提示される実施例は、全図面を通じて同じ部品か同じ数字で示さ れる図面を参照することによって最も良く理解されるであろう。

全体としてＩＯを以て示される本発明のサーボ弁装置の現在好ましいとされる一 つの実施例が、第１図と第２図とにおいて図解される。図示されるように、サー ボ弁１０は任意の好適な材料から作られる本体２０を有する。

本体２０は磁性材料であって機械加工し易くそして低いヒステリシスを有するも の、例えば珪素鋼、鉛入り鋼、または低炭素鋼が現在好ましいとされる。

本体２０は極めて様々の異なる形状と相対的配置とを有し得るが、ここでは本体 ２０は実質的に円筒形として図示される。本体２０の円筒形状はサーボ弁１０の 製作を容易にするとともに、後に説明されるサーボ弁１０の各種の構成部品を収 容するための機械加工を容易に許すと現在信じられる。

本体２０の上流端２９は第２図に図解されるように端板３０を設けられる。端板 ３０は任意な好適な材料、例えば真鍮のごときもの、から作られ得る。端板３０ は何らかの好適な方法例えばはんだづけによってまたは接着剤によって本体２０ の上流端２９内に固定される。

端板３０は図示のごとくニップル３２を設けられる。

ニップル３２は、在来の流体管（図示せず）を使用する加圧された流体の給源に 結合される。好ましくは０リング３３が前記流体管に対するニップル３２の密封 を助けるために好適な溝においてニップル３２を包囲する。

ニップル３２の反対側において、端板３０はスピンドル３４を設けられる。スピ ンドル３４とニップル３２は端板３０の一体部品として形成されることが有利で ある。

重要なことは、ニップル３２、端板３０及びスピンドル３４は、おのおの、実質 的に均等の長手方向通路を形成するように結合される貫通孔を有することてあり 、その目的は後述される説明から容易に明らかになるであろう。

マンドレル４０か端板３０のスピンドル３４に設けられる。マンドレル４０は任 意の好適な材料、例えば鋼のごときもの、から形成され得、端板３０の一体部分 としてまたは独立した要素として形成され得る。マンドレルの下流端円板４１は アルミニウム、プラスチックなとのごとき非磁性材料から作られる。マンドレル ４０は後にさらに説明されるであろう。

好適な電気導体が導電性コイルを形成するようにマンドレル４０の周囲に巻付け られる。任意の好適な導電体、例えば＃３０磁気導線のごときもの、が使用され 得る。

線４２の端は端板３０の好適な穴を通って本体２０から引き出される好適な絶縁 線１６と結合される。第１図に示されるように、線１６はそれを（そして導体コ イル４２を）好適な電源と接続するための何らかの形式の接続プラグ１８を設け られる。

第２図に示されるように、可撓導管６０が端板３０の中心孔とマンドレル４０の 中心孔とを通過する。導管６０の上流端６２は何らかの適当な方法、例えば在来 のブシュ６３によって、端板３０内に固定される。導管６０は任意の好適な材料 、例えば鋼のごときもの、から形成され得る。

アーマチュア６４はマンドレル４０に隣接して位置するように導管６０に結合さ れる。アーマチュア６４は、例えば、鋼から形成されそして摩擦または好適な接 着剤によって導管４０に摺動可能に結合され得る。

アーマチュア６４は事実上任意の好適な幾何学的形状を有し得る。例えば、アー マチュア６４は第１図において最も良く認められるように実質的に矩形の部材で あり得る。マンドレル４０に近いアーマチュア６４の部分は第１図及び第２図に おいて示されるように、直径方向に拡大されることか現在好ましい。アーマチュ ア６４の直径方向拡大部分は、より詳細に後に説明されるように、アーマチュア かサーボ弁１０の適正な作用のために必要な磁気誘導電流を伝導するのを助ける と信じられる。

２個の磁石７２．７３が、第２図に示されるように、アーマチュア６４の反対両 側に配置される。磁石７２と７３は、例えば、本体２０に好適な磁石取付台７０ によって結合される。重要なことは、一方の磁石７２または７３がアーマチュア ６４に面して北極片を提供するように形成されそして位置され、一方、他の磁石 はアーマチュア６４に面して南極片を提供するように形成されそして位置される ことである。磁石７２と７３は様々の異なる材料から形成され得るか、磁石７２ ．７３は希土類金属材料から形成されることが現在好ましい。希土類磁石はそれ らの抜群の磁気特性によってサーボ弁の小型化と軽量化とを容易にすると信じら れる。

導管６０の下流端は好ましくは、任意の好適な材料、例えば、真鍮のごときもの 、から形成され得るチップ６６を設けられる。チップ６６は何らかの好適な方法 で、例えば摩擦によってまたは好適な接着剤によって、導管６０に結合される。

チップ６６は流体かそれを通って導管６０から流れる１個または複数の流体オリ フィスとして形成されることか重要である。

本体２０の下流端は受板８０を設けられる。受板８０は例えば真鍮から形成され 得る。受板８０は何らかの適当な方式で、例えば、はんだまたは接着剤によって 、本体６０内に固定される。

受板８０は１個または数個の流体チャンネルまたは複数群の流体チャンネル８４ ．８６をそこに形成されており、前記流体チャンネルは、それぞれ（第１図に示 されるように）穴または穴の群８５．８７において終端する。

チャンネル８４．８６は本体２０の内側において受板８０の表面に形成された弧 形または凹面のソケット８２内において発しそしてそれと連通ずることが音別で ある。

ソケット８２の曲率半径は、導管６０の下流端が撓曲間にそれを通って運動する 弧形通路の曲率半径と実質的に等しいことか好ましい。その理由は後述する説明 から十分に明らかになるであろう。

第３図は受板８０及びチップ６６の典型的な構成の写実的上面図である。ここで は、受板８０は２列の３チヤンネル（またはそれより多い）を有しそしてチップ ６６は１列の３チヤンネルまたはオリフィス８６てあって、おのおの、チップが 非偏向位置に在るとき、チャンネル８５とチャンネル８７との対応する対の間に おいて中間に位置されるものを有する。

チップ６６と受板８０との間には一般的に若干の距離が存在するが、チップ６６ と受板８０との間からの流体の漏れの量を減少させるために前記距離を最小化す ることか好ましい。しかし、チップ６６と受板８０との間の距離はチップ６６と 受板８０との間に実質的な摩擦力か存在する、または、潤滑流体がサーボ弁１０ において使用されるほとには小さくない。重要なことは、上に説明されたごとく 、受板８０にソケット８２を設けることによって、チップ６６と受板８０との間 の距離も導管６０の撓曲間に実質的に一定の最小限度レベルに維持され得ること である。

流体システムにおいて使用されるとき、サーボ弁ＩＯはニップル３２によって加 圧流体の給源に結合される。

次いで、加圧流体はニップル３２を通じて導管６０に入りモして受板８０に向か って進む。

導電コイル４２は線１６とプラグ１８とによって電源に接続される。電流がコイ ル４２と通って流れるにつれて、電磁気宇の周知の理論に従って磁流がコイル４ ２の中心を通って誘導される。この誘導磁流の故に、コイル４２の一端に隣接す るアーマチュア６４は、コイル４２内の電流の方向に従って北極片としてまたは 南極片として磁化される。その結果として、アーマチュア６４は磁石７２または 磁石７３に磁気的に引付けられ、そして導管６０は第２図において上方または下 方に偏向される。

例えば、コイル４２を通る電流の方向によってアーマチュア６４は北極片として 磁化され得る。従って、もし磁石７２がアーマチュア６４に面して北極片を提供 するように位置されそして磁石７３がアーマチュア６４に面して南極片を提供す るように位置されるならば、アーマチュア６４は磁石７２から磁気的に反発され そして磁石７３に磁気的に引付けられる。その結果として、導管６０は第２図に おいて下方へ偏向される。導管６０は、勿論、単にコイル４２の電流の方向を逆 転することによって同様にして第２図において上方へ偏向され得る。

もし導管６０が第２図において上方へ偏向されるならば、流体は導管６０とチッ プ６６とを通じてチャンネル８４内に流れることは容易に理解されるであろう。

これに反して、もし導管６０か第２図において下方へ偏向されるならば流体は導 管６０とチップ６６とを通じてチャンネル８６内に流れるであろう。従って、流 体チャンネル８４．８６内への流体の流れは、導管６０か偏向される方向を決定 するコイル４２の電流の方向を単に制御することによって選択的に割面され得る 。

上に言及されたごとく、導管６０の下流端がそれを通って運動する通路の曲率半 径と実質的に等しい曲率半径を存する凹面ソケット８２を受板８０に設けること によって、比較的厳密な公差かチップ６６と凹面ソケット８２との間に維持され 得る。その結果として、導管６０を通る流体の流量は、チップ６６によって形成 されるオリフィスが流体チャンネル８４と８６との間に位置するように、第２図 に図解されるように、非偏向位置に導管６０を位置させることによって、事実上 停止され得る。若干の流体の漏れは依然として予期され得るが、流体の漏れは先 行技術によるジェットバイブ弁と比較されるとき最少である。実際において、サ ーボ弁１０の性能は、その費用が極めてより安く、そしてその製造と整備とが極 めてより容易であるにもかかわらず、従来のスプール弁の性能に接近し得る。

既に言及されたごとく、少なくとも若干の流体がチップ６６によって形成される オリフィスから本体２０内部に漏入する可能性はある。そのような流体は磁化さ れた粒子てあって磁石７２．７３へ向かって進みそしてそれらに付着するものを しばしば含むことがある。そのような状態は極めて不利な効果をサーボ弁ｌＯの 性能に及ぼすことは容易に理解されるであろう。

磁化粒子が磁石７２．７３に付着するのを防止するために、適切なフィルタかチ ップ６６の周囲に設置され得る。例えば、在来の多孔金属材料が流体中のすべて の磁化粒子に対するフィルタとして働くようにチップ６６の周囲に設置され得る 。代替的に、一連のバッフル９２が第２図に示されるようにチップ６６の周囲に 設置され、そして磁気フィルタ９３がそれらの間に配置され得る。

磁化粒子がバッフル９２の間を通過するにしたがって磁気フィルタ９３はそのよ うな粒子を捕捉してそれらか磁石７２．７３と接触するのを阻止する。

第２図に概略的に示されるごとく、サーボ弁１０は、もし希望されるならば、好 適なアクチュエータ１２と結合される。従って、受板８０のチャンネル８４を通 じて流体を導くことによって、加圧流体はアクチュエータ１２のピストンロッド １３の延伸を生じさせるようにチャンネル１４を通して導かれ得る。そのあと、 流体は受板８０のチャンネル８６を通じてチャンネル１５へ導かれ得、チャンネ ル１５はピストンロッド１３の後退を生じさせる。

アクチュエータ１２は好適なスリーブ（図示されない）によって直接にサーボ弁 １０に結合されることが有利である。そのような場合、本体２０の下流端２８に 対するスリーブの密封を容易にするために、０リング２６が図示のように本体２ ０の周囲に設置され得る。

以上の説明から本発明はサーボ弁装置であって高流体流量と共に使用され、そし て相対的に高い出力を提供するが多（の先行技術に基づく弁装置の極めて厳しい 公差を必要としないものを提供することが理解されるであろう。例えば、本発明 のサーボ弁装置は約４．　５４６１（Ｉ英国標準ガロン）７分から約１８．１８ ４ｆ（４英国標準ガロン）７分まての範囲の流体流量と共に容易に使用され得る ことが判明した。これは在米のジェットバイブ弁において典型的に使用される流 体流量に比し１０〜４０倍大きい。

本発明に基づくサーボ弁装置の物理的輪郭はサーボ弁装置を多くの在来弁に比し 、著しく小さく作ることを可能にする。サーボ弁装置の小さい寸法と比較的軽い 重さも、部分的に、サーボ弁装置内における希土類磁石の使用によって達成され る。

本発明はその精神と本質的特徴から逸脱することなしにその他の特別の形式で実 施され得る。説明された実施例はあらゆる点において例示的であるに過ぎず、制 限的ではない。本発明の範囲は、従って、以上述べた説明よりむしろ別添の請求 の範囲によって表示される。意味の中から生じるあらゆる変更及び諸請求項の同 等性の範囲はそれらの範囲内に当然包含される。

Ｆｉｑ、　Ｉ Ｆｉｇ、　２ Ｆｉｇ、　３ 要約書 可撓流体導管（６０）と、餌記導管の少なくとも一部分をその上流端に隣接して 包囲する導電コイル（４２）とを有する、流体システムにおいて使用するサーボ 弁装置。アーマチュア（６４）か前記導電コイルに隣接するように前記可撓導管 に固定される。好ましくは希土類金属材料から作られる２個の永久磁石（７２， ７３）が前記アーマチュアに隣接してその反対両側に設けられ、これら磁石は、 一方の磁石がアーマチュアに面して北極片を提供しそして他方の磁石がアーマチ ュアに面して南極片を提供するように位置される。受板（８０）か前記可撓導管 の下流端に隣接して設けられ、受板は導管からの流体を受けるため１本または複 数本のチャンネル（８５゜８７）をその内部に形成される。好ましくは、前記受 板内の前記チャンネルは前記受板の凹面ソケット（８２）内から発しそしてそれ と連通し、前記凹面ソケット（８２）は撓曲間前記可撓導管の下流端がそれに沿 って運動する通路と実質的に同じ曲率半径を有する。

国際調査報告

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. １．流体システムにおいて使用するサーボ弁装置であって： 上流端と下流端とを有する可撓導管； 前記可撓導管の上流端に流体の給源を結合する手段； 前記可撓導管の下流端に隣接して位置される受板であって少なくとも１本の流体 チャンネルをその内部に形成されたもの； 前記可撓導管に取付けられたアーマチュア；前記可撓導管の少なくとも一部分を その上流端に隣接して包囲する導電コイルであって電流がコイルに供給されると き前記アーマチュアを磁化するためのもの；及び 前記アーマチュアのサイドに位置される磁石組立体であって前記コイルに供給さ れる電流の方向に依存して前記導管を偏向させるため前記アーマチュアを選択的 に引付けるまたは反発させるためのものを有するサーボ弁装置。
2. ２．請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装置において、前記磁石組立体が第 １の磁石と第２の磁石とを有し、前記第１と第２の磁石が前記可撓導管の実質的 に互いに反対のサイドに位置され、第１の磁石は北極片がアーマチュアに対面す るように位置されそして第２の磁石は南極片がアーマチュアに対面するように位 置されているサーボ弁装置。
3. ３．請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装置において、前記導管が弾性材料 から作られているサーボ弁装置。
4. ４．請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装置であって、さらに、前記可撓導 管の上流端に結合された端板を有するものにおいて、可撓導管の上流端に流体給 源を結合する手段が、可撓導管と連通する端板に取付けられたニップルから構成 されるサーボ弁装置。
5. ５．請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装置において、前記受板が可撓導管 の下流端を受けるためそこに凹面ソケットを形成されているサーボ弁装置。
6. ６．請求の範囲第５項に記載されるサーボ弁装置において、前記凹面ソケットが 、撓曲間可撓導管の下流端の曲率半径と実質的に等しい曲率半径を有するサーボ 弁装置。
7. ７．請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装置において、導電コイルが、 可撓導管の少なくとも一部分をその上流端に隣接して包囲するマンドレルと； 導電コイルを形成するようにマンドレルの周囲に巻かれた導電体とから構成され るサーボ弁装置。
8. ８．請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装置において、導電コイルに近いア ーマチュアの一部分が直径方向に拡大されているサーボ弁装置。
9. ９．請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装置において、磁石組立体が希土類 金属材料から作られるサーボ弁装置。
10. １０．請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装置であって、さらに、可撓導管 の下流端に固定されるチップを有し、該チップが可撓導管と連通する流体オリフ ィスとして画成されているサーボ弁装置。
11. １１．請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装置であって、さらに、導電コイ ル及び受板に相対して可撓導管を選択的に位置決めする手段を有するサーボ弁装 置。
12. １２．請求の範囲第１項に記載されるサーボ弁装置であって、さらに、磁化粒子 が磁石組立体と接触するのを防止する手段を有するサーボ弁装置。
13. １３．請求の範囲第１２項に記載されるサーボ弁装置であって、磁化粒子が磁石 組立体と接触するのを防止する手段が： 可撓導管の下流端と磁石組立体との間に位置される複数のバッフルと； 前記バッフルに近接して位置される少なくとも１個の磁気フィルタと から構成されるサーボ弁装置。
14. １４．流体システムにおいて使用するサーボ弁装置において： 上流端と下流端とを有する可撓弾性導管と；前記導管の上流端に流体給源を接続 する手段と；前記可撓導管の下流端に隣接して位置される受板であって可撓導管 の下流端を受けるためそこに凹面ソケットを形成され、該凹面ソケットが撓曲間 可撓導管の下流端の曲率半径と実質的に等しい曲率半径を有し、さらに凹面ソケ ットと連通する少なくとも１本の流体チャンネルを形成されているものと； 前記可撓導管に取付けられたアーマチュアと；前記可撓導管の少なくとも一部分 をその上流端に隣接して包囲する導電コイルであって電流がコイルに供給される とき前記アーマチュアを磁化するためのものと； 第１の磁石及び第２の磁石であって、前記第１及び第２の磁石が前記可撓導管の 実質的に互いに反対の側に配置され、第１の磁石は北極片がアーマチュアに対面 するように位置されそして第２の磁石は南極片がアーマチュアに対面するように 位置されているものとを有するサーボ弁装置。
15. １５．請求の範囲第１４項に記載されるサーボ弁装置において、第１と第２の磁 石が希土類金属材料から形成されているサーボ弁装置。
16. １６．請求の範囲第１５項に記載されるサーボ弁装置において、アーマチュアが ２個の概ね反対方向に面する平坦なフラットを形成され、各フラットが概ね前記 磁石の１個にそれぞれ面しているサーボ弁装置。
17. １７．請求の範囲第１６項に記載されるサーボ弁装置であってさらに前記可撓導 管の上流端に結合された端板を有するものにおいて、流体給源を可撓導管の上流 端に接続する手段が可撓導管と連通する前記端板に取付けられたニップルから構 成されるサーボ弁装置。
18. １８．流体システムにおいて使用するサーボ弁装置であって： 実質的に円筒形の本体と； 円筒形の本体の長手方向軸線と実質的に同軸であるように円筒形の本体の内部に 位置される可撓導管であって上流端と下流端とを有するものと；可撓導管の上流 端と結合された端板であって可撓導管と連通するニップルを有するものと；可撓 導管の少なくとも一部分をその上流端に隣接して包囲するマンドレルと； 導電コイルを形成するように前記マンドレルの周囲に巻付けられた導電体と； 前記マンドレルに隣接するように可撓導管に取付けられたアーマチュアであって マンドレルに近いその一部分が直径方向に拡大されているものと；第１の磁石及 び第２の磁石であって、前記第１及び第２の磁石が希土類金属材料から形成され そして前記可撓導管の実質的に互いに反対の側に位置され、第１の磁石は北極片 がアーマチュアに面するように位置されそして第２の磁石は南極片がアーマチュ アに面するように位置されているものと； 前記可撓導管の下流端に結合されたチップであって可撓導管と連通する流体オリ フィスとして画成されるものと； 前記可撓導管の下流端と隣接して位置される受板であって、可撓導管の下流端に 結合されたチップを受けるためそこに凹面ソケットを形成されており、該凹面ソ ケットが撓曲間可撓導管の下流端の曲率半径に実質的に等しい曲率半径を有し、 さらに前記受板が凹面ソケットと連通する少なくとも１本の流体チャンネルをそ こに形成されているもの とを有するサーボ弁装置。
19. １９．請求の範囲第１８項記載のサーボ弁装置であって、さらに、マンドレルに 相対して端板を選択的に位置させる手段を有し、それにより可撓導管の位置が選 択的に制御され得るサーボ弁装置。
20. ２０．請求の範囲第１８項記載のサーボ弁装置であって、さらに、磁気位子が前 記第１と第２の磁石に接触するのを防止する手段を有するサーボ弁装置。
21. ２１．請求の範囲第１８項記載のサーボ弁装置であって、さらに、受板の流体チ ャンネル内に導入される流体によって制御されるようにされたアクチュエータが 本体に結合されているサーボ弁装置。