JP3024388B2 - ハロゲンガス漏洩検知器 - Google Patents
ハロゲンガス漏洩検知器Info
- Publication number
- JP3024388B2 JP3024388B2 JP4252838A JP25283892A JP3024388B2 JP 3024388 B2 JP3024388 B2 JP 3024388B2 JP 4252838 A JP4252838 A JP 4252838A JP 25283892 A JP25283892 A JP 25283892A JP 3024388 B2 JP3024388 B2 JP 3024388B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- calibration
- signal
- probe
- detector
- halogen gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はハロゲンガス漏洩検知器
に関し，校正作業と装置の簡素化を図ったハロゲンガス
漏洩検知器に関する。
に関し，校正作業と装置の簡素化を図ったハロゲンガス
漏洩検知器に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来から知られているハロゲンガ
ス漏洩検知器の構成例を示すものである。図において，
２０はセンサ（例えば陽イオン放出型），２１はマニホ
ールド，２２は吸引ポンプ、２４は流量低下検知器，２
５はフィルター，２６は演算部，２７は表示部，２８は
プローブ，３０は収納ケースである。
ス漏洩検知器の構成例を示すものである。図において，
２０はセンサ（例えば陽イオン放出型），２１はマニホ
ールド，２２は吸引ポンプ、２４は流量低下検知器，２
５はフィルター，２６は演算部，２７は表示部，２８は
プローブ，３０は収納ケースである。
【０００３】上記の構成において，吸引ポンプが駆動す
るとプロープを介して測定すべきハロゲンガスがマニホ
ールド２１に取り込まれ，フィルター２５，流量低下検
知器２４で構成されるループを循環する。そしてその一
部がセンサ２０へ送られて濃度に応じた電気信号に変換
され，その電気信号は演算部２６に送られて所定の演算
が行われガス濃度が表示部２７に示される。
るとプロープを介して測定すべきハロゲンガスがマニホ
ールド２１に取り込まれ，フィルター２５，流量低下検
知器２４で構成されるループを循環する。そしてその一
部がセンサ２０へ送られて濃度に応じた電気信号に変換
され，その電気信号は演算部２６に送られて所定の演算
が行われガス濃度が表示部２７に示される。
【０００４】ところで，このような装置においては測定
に先立って装置の校正を行う必要がある。図６は校正作
業時の構成を示す図である。図において，４０は標準リ
ーク発生装置であり，この装置は校正ガスボンベ４１，
第１ニードル弁４２，第２ニードル弁４３，圧力計４
４，キャピラリー４５から成っている。検知器５０，プ
ローブ２８は図５に示す従来のものである。校正は圧力
計４４の目盛りを見ながら第１ニードル弁４２，第２ニ
ードル弁４３を調節して定められたリーク量をキャピラ
リー４５の出口に発生させ，そのリーク量を検知器５０
のプローブ２８で吸引して，ゼロ点およびスパン点を調
整つまみ５１で合わせ込む。
に先立って装置の校正を行う必要がある。図６は校正作
業時の構成を示す図である。図において，４０は標準リ
ーク発生装置であり，この装置は校正ガスボンベ４１，
第１ニードル弁４２，第２ニードル弁４３，圧力計４
４，キャピラリー４５から成っている。検知器５０，プ
ローブ２８は図５に示す従来のものである。校正は圧力
計４４の目盛りを見ながら第１ニードル弁４２，第２ニ
ードル弁４３を調節して定められたリーク量をキャピラ
リー４５の出口に発生させ，そのリーク量を検知器５０
のプローブ２８で吸引して，ゼロ点およびスパン点を調
整つまみ５１で合わせ込む。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで，上記従来の
装置においては校正が終了したら第１，第２のニードル
弁４２，４３を閉じ，次の校正に備えている。従って校
正に際してはその都度減圧弁により圧力を調節し，調整
つまみによりゼロ点およびスパン点を調整しなければな
らないという問題があった。本発明は上記従来の問題点
を解決するためになされたもので，校正装置を検知器に
組み込むとともに，校正装置を構成する圧力計の信号に
基づいてキャピラリーからのリーク量を補正して出力す
ることにより，装置および校正作業の簡素化を図った装
置を提供することを目的とする。
装置においては校正が終了したら第１，第２のニードル
弁４２，４３を閉じ，次の校正に備えている。従って校
正に際してはその都度減圧弁により圧力を調節し，調整
つまみによりゼロ点およびスパン点を調整しなければな
らないという問題があった。本発明は上記従来の問題点
を解決するためになされたもので，校正装置を検知器に
組み込むとともに，校正装置を構成する圧力計の信号に
基づいてキャピラリーからのリーク量を補正して出力す
ることにより，装置および校正作業の簡素化を図った装
置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する為に
本発明は，プローブにより測定すべきハロゲンガスを吸
引し，該ガス量を電気信号に変換し所定の演算を行って
前記ガス量を表示部に表示するようにしたハロゲンガス
漏洩検知器において，該検知器中に校正装置を組み込
み，該校正装置を構成する圧力計の信号を前記演算部に
入力し，該圧力信号により校正信号の値を補正すると共
に前記プローブを前記校正装置に差し込むことにより前
記検知器の測定信号と前記校正時の信号が切り替わるス
イッチを設けたことを特徴とするものである。
本発明は，プローブにより測定すべきハロゲンガスを吸
引し，該ガス量を電気信号に変換し所定の演算を行って
前記ガス量を表示部に表示するようにしたハロゲンガス
漏洩検知器において，該検知器中に校正装置を組み込
み，該校正装置を構成する圧力計の信号を前記演算部に
入力し，該圧力信号により校正信号の値を補正すると共
に前記プローブを前記校正装置に差し込むことにより前
記検知器の測定信号と前記校正時の信号が切り替わるス
イッチを設けたことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】校正装置からは環境に影響を与えない程度の微
量の校正ガスを流出させる。この流出量は校正ガスの圧
力とキャピラリの抵抗により決定される。演算装置はプ
ローブを差し込むことにより校正モードに切り替わり圧
力変動分を補正した信号を出力する。
量の校正ガスを流出させる。この流出量は校正ガスの圧
力とキャピラリの抵抗により決定される。演算装置はプ
ローブを差し込むことにより校正モードに切り替わり圧
力変動分を補正した信号を出力する。
【０００８】
【実施例】図１は本発明によるハロゲンガス漏洩検知器
を示す構成図である。図において図５および図６と同一
要素には同一符号を付して重複する説明は省略するが，
本発明においては，校正装置を検知器内に組み込むと共
に圧力計の信号を演算部２６に点線Ｂで示すように入力
する。そして校正時にはプローブ２８を校正装置の校正
口５０に挿入する。なお，この実施例では校正ガスボン
ベ４１からのガス圧はストップ弁５２と減圧弁５３を用
いて調整している。
を示す構成図である。図において図５および図６と同一
要素には同一符号を付して重複する説明は省略するが，
本発明においては，校正装置を検知器内に組み込むと共
に圧力計の信号を演算部２６に点線Ｂで示すように入力
する。そして校正時にはプローブ２８を校正装置の校正
口５０に挿入する。なお，この実施例では校正ガスボン
ベ４１からのガス圧はストップ弁５２と減圧弁５３を用
いて調整している。
【０００９】図２はプローブ２８が挿入された状態の校
正口５０の詳細を示す断面図，図３は更に図２の一点鎖
線で囲った接点部分の詳細を示す断面図である。これら
の図において，５１はボディであり，一端にガス導入口
５２が形成されている。このガス導入口５２から導入さ
れた校正ガスはキャピラリー４５を経て空気穴５３に達
し収納ケース３０内に流出する。５５はガス抜きツマ
ミ，５６はＯリングである。５７は可撓性と導電性を有
する接点コイルばねであり，図示の様にプローブを差し
込んだ状態でプローブの先端が接点コイルばねに接触す
る。
正口５０の詳細を示す断面図，図３は更に図２の一点鎖
線で囲った接点部分の詳細を示す断面図である。これら
の図において，５１はボディであり，一端にガス導入口
５２が形成されている。このガス導入口５２から導入さ
れた校正ガスはキャピラリー４５を経て空気穴５３に達
し収納ケース３０内に流出する。５５はガス抜きツマ
ミ，５６はＯリングである。５７は可撓性と導電性を有
する接点コイルばねであり，図示の様にプローブを差し
込んだ状態でプローブの先端が接点コイルばねに接触す
る。
【００１０】プローブ２８とボディ５１の端部付近Ａに
は段部が形成されており，プローブは常に一定の距離
（Ｇ…図３参照）でキャピラリーの一端に対向し，接点
コイルばね５７を押圧する。プローブ２８と接点コイル
ばね５７は演算部２６における測定モードと校正モード
のスイッチを構成しており，図１における点線Ｃはその
信号経路を示している。この信号は例えば図４に示す様
に機能する。図４において（ａ）はプローブが差し込ま
れない状態の測定モードであり，（ｂ）はプローブを差
し込んだ状態の校正モードの状態である。なお，本発明
では圧力計４４の信号を演算部に入力しているが，その
理由は製作時キャピラリーの固体差によりリーク量（圧
力計の信号が変動する）がばらつくので，予め圧力とリ
ーク量の関係を演算器側に組み込んでおき圧力に応じて
補正を行うものである。
は段部が形成されており，プローブは常に一定の距離
（Ｇ…図３参照）でキャピラリーの一端に対向し，接点
コイルばね５７を押圧する。プローブ２８と接点コイル
ばね５７は演算部２６における測定モードと校正モード
のスイッチを構成しており，図１における点線Ｃはその
信号経路を示している。この信号は例えば図４に示す様
に機能する。図４において（ａ）はプローブが差し込ま
れない状態の測定モードであり，（ｂ）はプローブを差
し込んだ状態の校正モードの状態である。なお，本発明
では圧力計４４の信号を演算部に入力しているが，その
理由は製作時キャピラリーの固体差によりリーク量（圧
力計の信号が変動する）がばらつくので，予め圧力とリ
ーク量の関係を演算器側に組み込んでおき圧力に応じて
補正を行うものである。
【００１１】上記の構成において，校正ガスタンク４１
からはストップ弁５２，減圧弁５３およびキャピラリー
４５を介して常に一定量の校正ガスが流出（この校正ガ
スは収納ケース内に流出するが，その量は極めて微量で
あり収納ケース内のガスは常に排気されるようになって
いる）しており，校正時にはここにプローブを差し込む
だけで簡単に校正する事ができる。
からはストップ弁５２，減圧弁５３およびキャピラリー
４５を介して常に一定量の校正ガスが流出（この校正ガ
スは収納ケース内に流出するが，その量は極めて微量で
あり収納ケース内のガスは常に排気されるようになって
いる）しており，校正時にはここにプローブを差し込む
だけで簡単に校正する事ができる。
【００１２】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明した様
に本発明によれば，検知器中に校正装置を組み込み，該
校正装置を構成する圧力計の信号を前記演算部に入力
し，該圧力信号により校正信号の値を補正すると共に前
記プローブを前記校正装置に差し込むことにより前記検
知器の測定信号と前記校正時の信号が切り替わるスイッ
チを設けているので，装置を簡素化することができ，さ
らに測定モードと校正モードを自動的に切り替えること
ができる。
に本発明によれば，検知器中に校正装置を組み込み，該
校正装置を構成する圧力計の信号を前記演算部に入力
し，該圧力信号により校正信号の値を補正すると共に前
記プローブを前記校正装置に差し込むことにより前記検
知器の測定信号と前記校正時の信号が切り替わるスイッ
チを設けているので，装置を簡素化することができ，さ
らに測定モードと校正モードを自動的に切り替えること
ができる。
【図１】本発明のハロゲンガス漏洩検知器を示す構成図
である。
である。
【図２】プローブが挿入された状態の校正口の詳細を示
す断面図である。
す断面図である。
【図３】図２の一点鎖線で囲った接点部分の詳細を示す
断面図である。
断面図である。
【図４】測定モードと校正モードにおけるスイッチの状
態を示す図である。
態を示す図である。
【図５】従来のハロゲンガス漏洩検知器を示す構成図で
ある。
ある。
【図６】従来の校正装置の構成を示す図である。
２０ センサ ２１ マニホールド ２２ 吸引ポンプ‐ ２４ 流量低下検知器 ２５ フィルター ２６ 演算部 ２７ 表示部 ２８ プローブ ３０ 収納ケース ４１ 校正ガスタンク ４２ 第１ニードル弁 ４３ 第２ニードル弁 ４４ 圧力発信器 ５０ 校正口 ５２ ストップ弁 ５３ 減圧弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 3/20 G01N 27/62
Claims (1)
- 【請求項１】プローブにより測定すべきハロゲンガスを
吸引し，該ガス量を電気信号に変換し所定の演算を行っ
て前記ガス量を表示部に表示するようにしたハロゲンガ
ス漏洩検知器において，該検知器中に校正装置を組み込
み，該校正装置を構成する圧力計の信号を前記演算部に
入力し，該圧力信号により校正信号の値を補正すると共
に前記プローブを前記校正装置に差し込むことにより前
記検知器の測定信号と前記校正時の信号が切り替わるス
イッチを設けたことを特徴とするハロゲンガス漏洩検知
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4252838A JP3024388B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | ハロゲンガス漏洩検知器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4252838A JP3024388B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | ハロゲンガス漏洩検知器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06102134A JPH06102134A (ja) | 1994-04-15 |
| JP3024388B2 true JP3024388B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=17242896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4252838A Expired - Lifetime JP3024388B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | ハロゲンガス漏洩検知器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3024388B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4567454B2 (ja) * | 2002-09-26 | 2010-10-20 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | スニフティング漏れ探査器のための試験漏れ装置 |
| DE102006028778A1 (de) | 2006-06-23 | 2007-12-27 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
| DE102013215278A1 (de) | 2013-08-02 | 2015-02-05 | Inficon Gmbh | Prüfleckvorrichtung mit integriertem Drucksensor |
-
1992
- 1992-09-22 JP JP4252838A patent/JP3024388B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06102134A (ja) | 1994-04-15 |
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