JP3020997B2 - 赤外帯光導波路用ガラス - Google Patents
赤外帯光導波路用ガラスInfo
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- JP3020997B2 JP3020997B2 JP2147755A JP14775590A JP3020997B2 JP 3020997 B2 JP3020997 B2 JP 3020997B2 JP 2147755 A JP2147755 A JP 2147755A JP 14775590 A JP14775590 A JP 14775590A JP 3020997 B2 JP3020997 B2 JP 3020997B2
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- optical waveguide
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- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、赤外帯光導波路用ガラス、特に、炭酸ガス
レーザ光（波長10.6μｍ、波数943cm-1）を低損失で伝
送するための中空型光導波路を構成する際に適したクラ
ッド材用ガラスに関するものである。
レーザ光（波長10.6μｍ、波数943cm-1）を低損失で伝
送するための中空型光導波路を構成する際に適したクラ
ッド材用ガラスに関するものである。
従来の技術 従来の炭酸ガスレーザ光用光ファイバーには、主とし
てKRS−５をコア材としてポリマーをクラッド材とした
ものが使用されている。また中空型光導波路用ガラスと
して、珪酸塩系ガラス、ゲルマニウム酸塩系ガラス（特
開昭58−104041号公報、参照）が知られている。
てKRS−５をコア材としてポリマーをクラッド材とした
ものが使用されている。また中空型光導波路用ガラスと
して、珪酸塩系ガラス、ゲルマニウム酸塩系ガラス（特
開昭58−104041号公報、参照）が知られている。
ここで、赤外帯光導波路用ガラスの理解のために、こ
の中空型光導波路の概略を説明する。いまあるガラス材
の使用波数（943cm-1）での屈折率nrが１より小さけれ
ば、空気の側からこのガラス材へ斜め入射した光は、い
わゆる全反射を起こし、反射率が極めて高くなることが
予想される。したがって、このようなガラス材で作成し
た中空コア型光導波路は、中空部に閉じ込められた当該
波数の光を充分低損失で伝送することができる。
の中空型光導波路の概略を説明する。いまあるガラス材
の使用波数（943cm-1）での屈折率nrが１より小さけれ
ば、空気の側からこのガラス材へ斜め入射した光は、い
わゆる全反射を起こし、反射率が極めて高くなることが
予想される。したがって、このようなガラス材で作成し
た中空コア型光導波路は、中空部に閉じ込められた当該
波数の光を充分低損失で伝送することができる。
一般に酸化物ガラスは赤外域においてガラス形成成分
の赤外吸収帯が波長10μｍ付近に存在する。この近傍領
域は複素屈折率nr−ｉκ（nrは屈折率、κは減衰係数）
の実数部と虚数部が大きな変化を起こす領域で異常分散
領域と呼ばれている。屈折率nrは１よりも小さくなり、
減衰係数κは大きな値となる。そこでこのような特性を
持つ、すなわち当該波数で、屈折率nr及び減衰係数κの
いずれもが極力小さく、さらに実用に適する耐久性を持
つガラスを開発することが重要である。
の赤外吸収帯が波長10μｍ付近に存在する。この近傍領
域は複素屈折率nr−ｉκ（nrは屈折率、κは減衰係数）
の実数部と虚数部が大きな変化を起こす領域で異常分散
領域と呼ばれている。屈折率nrは１よりも小さくなり、
減衰係数κは大きな値となる。そこでこのような特性を
持つ、すなわち当該波数で、屈折率nr及び減衰係数κの
いずれもが極力小さく、さらに実用に適する耐久性を持
つガラスを開発することが重要である。
発明が解決しようとする課題 従来のKRS−５及び他のハライド系ガラスをコア材と
して使用した炭酸ガスレーザ光用光ファイバーは、ガラ
スが非常に不安定であり、ファイバー化の際に、すぐに
結晶化してしまい線引きすることが非常に困難である。
また熱的、機械的、化学的特性などが弱く、入出力端面
が破壊されやすいこと、使用中に結晶が成長して損失が
増大するなどの欠点があり、炭酸ガスレーザ光用光ファ
イバーの実用化は困難であった。そこでこれらの問題を
解決するためとして、前記した中空コア型光導波路が考
案されている。
して使用した炭酸ガスレーザ光用光ファイバーは、ガラ
スが非常に不安定であり、ファイバー化の際に、すぐに
結晶化してしまい線引きすることが非常に困難である。
また熱的、機械的、化学的特性などが弱く、入出力端面
が破壊されやすいこと、使用中に結晶が成長して損失が
増大するなどの欠点があり、炭酸ガスレーザ光用光ファ
イバーの実用化は困難であった。そこでこれらの問題を
解決するためとして、前記した中空コア型光導波路が考
案されている。
しかし、珪酸塩系ガラスは、中赤外帯において、確か
にnr＜１となっているが、主成分であるSiO2のnr＜１の
領域が1040cm-1〜1300cm-1の間にあり、その極小値は10
90cm-1の部分にあるために他の組成成分によってnr＜１
の領域を943cm-1を含む領域にまで調整している。しか
しながら、これらのガラスで構成された炭酸ガスレーザ
光（943cm-1）用中空型光導波路の損失は、なお大きく
実際の実用にはまだ不充分である。
にnr＜１となっているが、主成分であるSiO2のnr＜１の
領域が1040cm-1〜1300cm-1の間にあり、その極小値は10
90cm-1の部分にあるために他の組成成分によってnr＜１
の領域を943cm-1を含む領域にまで調整している。しか
しながら、これらのガラスで構成された炭酸ガスレーザ
光（943cm-1）用中空型光導波路の損失は、なお大きく
実際の実用にはまだ不充分である。
さらにゲルマニウム酸塩系ガラス（特開昭58−104041
号公報）は、主成分であるGeO2の異常分散域が10μｍ付
近にあり、最低損失波長は980cm-1である。そのため、
他の組成成分を添加することによって炭酸ガスレーザ光
（943cm-1）に一致させやすい。そこで、その調整成分
としてK2O、ZnOなどを使用しており、炭酸ガスレーザ光
用中空型導波路をこのガラスで作成した場合の損失は、
直線状の口径1mmのファイバーにおいて0.05dB/mの理論
値が得られ、実用上充分な値が得られている。しかしな
がら、このガラスは不安定であるために実際の中空ファ
イバーの作成中に結晶化を起こしやすく、線引きが非常
に難しい。さらにこの析出した結晶が伝送損失を増大し
てしまう。またガラスの化学的耐久性の点でも、日本光
学硝子工業会規格化学的耐久性試験方法により測定を行
なうと、その等級が６となり実用の製品とする場合問題
となる。
号公報）は、主成分であるGeO2の異常分散域が10μｍ付
近にあり、最低損失波長は980cm-1である。そのため、
他の組成成分を添加することによって炭酸ガスレーザ光
（943cm-1）に一致させやすい。そこで、その調整成分
としてK2O、ZnOなどを使用しており、炭酸ガスレーザ光
用中空型導波路をこのガラスで作成した場合の損失は、
直線状の口径1mmのファイバーにおいて0.05dB/mの理論
値が得られ、実用上充分な値が得られている。しかしな
がら、このガラスは不安定であるために実際の中空ファ
イバーの作成中に結晶化を起こしやすく、線引きが非常
に難しい。さらにこの析出した結晶が伝送損失を増大し
てしまう。またガラスの化学的耐久性の点でも、日本光
学硝子工業会規格化学的耐久性試験方法により測定を行
なうと、その等級が６となり実用の製品とする場合問題
となる。
したがって、本発明の目的は、前記した概略の原理に
もとづき、中空型導波路として構成した場合の伝送損失
が炭酸ガスレーザ光（943cm-1）で最小となり、しかも
化学的耐久性を持ち、さらに中空ファイバーの作成中に
結晶化を起こさない安定性の良いガラスを提供すること
にある。
もとづき、中空型導波路として構成した場合の伝送損失
が炭酸ガスレーザ光（943cm-1）で最小となり、しかも
化学的耐久性を持ち、さらに中空ファイバーの作成中に
結晶化を起こさない安定性の良いガラスを提供すること
にある。
課題を解決するための手段 本発明者等は、以上のような従来の炭酸ガスレーザ光
用ファイバー及び中空型導波路材としてのガラスの諸欠
点をかんがみて種々考察研究した結果、GeO2を主成分と
し、R2O（Ｒ＝Li,NaおよびＫ）およびTa2O5、Nb2O5また
はTiO2のうちの１種からなる３成分を基本とするガラス
が所定の組成範囲内において、安定性と化学的耐久性に
優れ、かつ直線状の口径1mmの中空型導波路を作成した
場合の波長10.6μｍにおける理論伝送損失が1dB/m以下
の特性値を得られることを見出し、炭酸ガスレーザ光用
中空型導波路材として有用なガラスであるという結論に
達し、本発明に到達したものである。
用ファイバー及び中空型導波路材としてのガラスの諸欠
点をかんがみて種々考察研究した結果、GeO2を主成分と
し、R2O（Ｒ＝Li,NaおよびＫ）およびTa2O5、Nb2O5また
はTiO2のうちの１種からなる３成分を基本とするガラス
が所定の組成範囲内において、安定性と化学的耐久性に
優れ、かつ直線状の口径1mmの中空型導波路を作成した
場合の波長10.6μｍにおける理論伝送損失が1dB/m以下
の特性値を得られることを見出し、炭酸ガスレーザ光用
中空型導波路材として有用なガラスであるという結論に
達し、本発明に到達したものである。
まず、Ta2O5を成分として含む第１の発明について組
成を重量％で示すと、下記のとおりとなる： GeO2 30〜95％ Ta2O5 ２〜50％ １種または２種以上の R2O ２〜40％ （Ｒ＝Li,NaおよびＫ） ただし、 Li2O ０〜10％ Na2O ０〜20％ K2O ０〜40％ 各成分範囲を上記のように限定した理由は次のとおり
である。第１図に純粋なGeO2ガラスの赤外領域における
複素屈折率nr−ｉκの屈折率nrと減衰係数κの値を示し
た。ここからわかるように純粋なGeO2ガラスは異常分散
領域の屈折率は1000〜900cm-1においてnrは1.0以下とな
るが、κが943cm-1では比較的大きい。このためこのガ
ラスの最低伝送損失波数は980cm-1となっている。炭酸
ガスレーザ（943cm-1）に最低損失波数を一致させるた
めには異常分散領域を低波数側にシフトさせればよいこ
とになる。これはガラスの赤外吸収帯が低波数側にシフ
トすることと等しい。ガラスの赤外吸収帯を低波数側に
移動するための最も効果的な方法はアルカリ酸化物の導
入である。しかしアルカリ酸化物とGeO2の２成分ガラス
は化学的耐久性が著しく劣り、また吸収帯が広がって異
常分散域の屈折率の変化が小さくなり、はなはだしい場
合にはnr＞１となることもある。本発明においてはアル
カリ酸化物の導入によって引き起こされるこれらの問題
点を防ぐのに効果のあった化合物はTa2O5であった。
成を重量％で示すと、下記のとおりとなる： GeO2 30〜95％ Ta2O5 ２〜50％ １種または２種以上の R2O ２〜40％ （Ｒ＝Li,NaおよびＫ） ただし、 Li2O ０〜10％ Na2O ０〜20％ K2O ０〜40％ 各成分範囲を上記のように限定した理由は次のとおり
である。第１図に純粋なGeO2ガラスの赤外領域における
複素屈折率nr−ｉκの屈折率nrと減衰係数κの値を示し
た。ここからわかるように純粋なGeO2ガラスは異常分散
領域の屈折率は1000〜900cm-1においてnrは1.0以下とな
るが、κが943cm-1では比較的大きい。このためこのガ
ラスの最低伝送損失波数は980cm-1となっている。炭酸
ガスレーザ（943cm-1）に最低損失波数を一致させるた
めには異常分散領域を低波数側にシフトさせればよいこ
とになる。これはガラスの赤外吸収帯が低波数側にシフ
トすることと等しい。ガラスの赤外吸収帯を低波数側に
移動するための最も効果的な方法はアルカリ酸化物の導
入である。しかしアルカリ酸化物とGeO2の２成分ガラス
は化学的耐久性が著しく劣り、また吸収帯が広がって異
常分散域の屈折率の変化が小さくなり、はなはだしい場
合にはnr＞１となることもある。本発明においてはアル
カリ酸化物の導入によって引き起こされるこれらの問題
点を防ぐのに効果のあった化合物はTa2O5であった。
第１の発明のGeO2、Ta2O5およびR2Oからなる３成分ガ
ラス系においては、GeO2は基本成分であるが前記の範囲
外ではガラスが得られない。R2Oは異常分散領域をシフ
トさせるために有効な成分であるが上記範囲外ではガラ
スが得られない。Ta2O5はガラスの化学的耐久性を向上
させ、さらに異常分散域の位置調整と異常分散域の広が
りの抑制のために必要であるが上記範囲外ではガラスが
得られない。
ラス系においては、GeO2は基本成分であるが前記の範囲
外ではガラスが得られない。R2Oは異常分散領域をシフ
トさせるために有効な成分であるが上記範囲外ではガラ
スが得られない。Ta2O5はガラスの化学的耐久性を向上
させ、さらに異常分散域の位置調整と異常分散域の広が
りの抑制のために必要であるが上記範囲外ではガラスが
得られない。
次に、Nb2O5を成分として含む第２の発明は前記ガラ
ス形成系のTa2O5をNb2O5に置換したGeO2、Nb2O5およびR
2Oからなる３成分ガラス系であり、GeO2は基本成分であ
るが、40〜95重量％の範囲でガラスが得られる。R2Oは
同様に異常分散領域をシフトさせるために有効な成分で
あるが、２〜40重量％の範囲になければガラスが得られ
ない。Nb2O5はTa2O5と同じ効果があるが、ガラスの中空
化が容易となる。そして、２〜50重量％の範囲になけれ
ばガラスが得られない。
ス形成系のTa2O5をNb2O5に置換したGeO2、Nb2O5およびR
2Oからなる３成分ガラス系であり、GeO2は基本成分であ
るが、40〜95重量％の範囲でガラスが得られる。R2Oは
同様に異常分散領域をシフトさせるために有効な成分で
あるが、２〜40重量％の範囲になければガラスが得られ
ない。Nb2O5はTa2O5と同じ効果があるが、ガラスの中空
化が容易となる。そして、２〜50重量％の範囲になけれ
ばガラスが得られない。
次に、TiO2を成分として含む第３の発明は第１の発明
のTa2O5をTiO2に置換したGeO2、TiO2およびR2Oからなる
３成分ガラス系であり、GeO2は基本成分であるが、40〜
95重量％の範囲になければガラスが得られない。R2Oは
異常分散領域をシフトさせるために有効な成分である
が、２〜30重量％の範囲内でのみガラスが得られる。Ti
O2はガラスの化学的耐久性を向上させ、また異常分散域
の位置調整のための成分であり、さらにTa2O5よりも安
価であるが、２〜40重量％の範囲外ではガラスが得られ
ない。
のTa2O5をTiO2に置換したGeO2、TiO2およびR2Oからなる
３成分ガラス系であり、GeO2は基本成分であるが、40〜
95重量％の範囲になければガラスが得られない。R2Oは
異常分散領域をシフトさせるために有効な成分である
が、２〜30重量％の範囲内でのみガラスが得られる。Ti
O2はガラスの化学的耐久性を向上させ、また異常分散域
の位置調整のための成分であり、さらにTa2O5よりも安
価であるが、２〜40重量％の範囲外ではガラスが得られ
ない。
以上においてGeO2−金属酸化物−アルカリ酸化物とい
う単純な成分組成としたのは、多成分組成にした場合、
ガラスの反射率Ｒ（垂直入射）のピークがかなりブロー
ドになってしまい、そのために波長10.6μｍにおける屈
折率nrが大きな値となり、また悪い場合はnr＞１となっ
てしまうため、その結果として伝送損失が増大し実用に
適さなくなるためである。
う単純な成分組成としたのは、多成分組成にした場合、
ガラスの反射率Ｒ（垂直入射）のピークがかなりブロー
ドになってしまい、そのために波長10.6μｍにおける屈
折率nrが大きな値となり、また悪い場合はnr＞１となっ
てしまうため、その結果として伝送損失が増大し実用に
適さなくなるためである。
第２図〜第９図は本発明の基本となるGeO2・金属酸化
物・アルカリ酸化物の３成分ガラス化範囲をmol％で示
したものである。GeO2・Ta2O5・Li2O系ガラス、GeO2・T
a2O5・Na2O系ガラス、GeO2・Ta2O5・K2O系ガラス、GeO2
・Nb2O5・Li2O系ガラス、GeO2・Nb2O5・Na2O系ガラス、
GeO2・Nb2O5・K2O系ガラス、GeO2・TiO2Na2O系ガラスお
よびGeO2・TiO2・K2O系ガラスの８ガラス系である。こ
の図の中で、斜線で示した組成範囲は口径1mmの中空型
導波路をこれらのガラスで作製した場合に、波長10.6μ
ｍにおける伝送損失が1dB/m以下となるガラス組成領域
である。この領域を第１〜第３の発明について重量％表
示の組成範囲で表すと以下のようになる。
物・アルカリ酸化物の３成分ガラス化範囲をmol％で示
したものである。GeO2・Ta2O5・Li2O系ガラス、GeO2・T
a2O5・Na2O系ガラス、GeO2・Ta2O5・K2O系ガラス、GeO2
・Nb2O5・Li2O系ガラス、GeO2・Nb2O5・Na2O系ガラス、
GeO2・Nb2O5・K2O系ガラス、GeO2・TiO2Na2O系ガラスお
よびGeO2・TiO2・K2O系ガラスの８ガラス系である。こ
の図の中で、斜線で示した組成範囲は口径1mmの中空型
導波路をこれらのガラスで作製した場合に、波長10.6μ
ｍにおける伝送損失が1dB/m以下となるガラス組成領域
である。この領域を第１〜第３の発明について重量％表
示の組成範囲で表すと以下のようになる。
すなわち、 （１） GeO2 40〜95重量％（以下％で示す） Ta2O5 ２〜50％ １種または２種以上の R2O ２〜15％ （Ｒ＝Li,NaおよびＫ） ただし、 Li2O ０〜８％ Na2O ０〜15％ K2O ０〜15％ の組成から成るガラス。
（２） GeO2 40〜95重量％（以下％で示す） Nb2O5 ２〜50％ １種または２種以上の R2O ２〜15％ （Ｒ＝Li,NaおよびＫ） ただし、 Li2O ０〜８％ Na2O ０〜15％ K2O ０〜15％ の組成から成るガラス。
（３） GeO2 70〜95重量％（以下％で示す） TiO2 ２〜20％ １種または２種以上の R2O ２〜20％ （Ｒ＝LiおよびＫ） ただし、 Na2O ０〜15％ K2O ０〜20％ の組成から成るガラス。
本発明の赤外帯用中空型導波路用ガラスには、ガラス
安定性の改良、耐候性の改良、溶融性の改善等のため
に、本発明の目的からはずれない限り、Ba、Mg、Zr、L
a、Ｙ、Gd、Sn、Sb、As、Ｗ、Pb、Caなどの酸化物など
を含有させることができる。
安定性の改良、耐候性の改良、溶融性の改善等のため
に、本発明の目的からはずれない限り、Ba、Mg、Zr、L
a、Ｙ、Gd、Sn、Sb、As、Ｗ、Pb、Caなどの酸化物など
を含有させることができる。
実施例 次に本発明に係る実施例の組成（数値は重量％）及び
口径1mmの中空型導波路を作製した場合の波長10.6μｍ
における理論伝送損失（dB/m）を表に示す。No.1〜８は
第１の発明、No.9〜16は第２の発明、No.17〜24は第３
の発明の実施例である。
口径1mmの中空型導波路を作製した場合の波長10.6μｍ
における理論伝送損失（dB/m）を表に示す。No.1〜８は
第１の発明、No.9〜16は第２の発明、No.17〜24は第３
の発明の実施例である。
本発明の赤外帯用中空型光導波路用ガラス材は、各成
分の原料として各々相当する酸化物、水酸化物、炭酸
塩、硝酸塩等を使用し、所定の割合で秤量し、充分混合
してガラス原料として、白金製管坩堝に投入して電気炉
で1000℃〜1450℃で溶融し、白金製撹拌棒にて撹拌し
て、清澄、均質化してから適当な温度に予熱した金型内
に鋳込んだ後、徐冷して得られた。なおガラスの着色を
防ぎ、脱泡のため少量のAs2O3を加えること、または工
業上良く知られている脱泡成分の少量添加は、本発明の
効果に影響を与えない。さらに導波路の作成は、このガ
ラス材を目的のサイズに線引きして作る。
分の原料として各々相当する酸化物、水酸化物、炭酸
塩、硝酸塩等を使用し、所定の割合で秤量し、充分混合
してガラス原料として、白金製管坩堝に投入して電気炉
で1000℃〜1450℃で溶融し、白金製撹拌棒にて撹拌し
て、清澄、均質化してから適当な温度に予熱した金型内
に鋳込んだ後、徐冷して得られた。なおガラスの着色を
防ぎ、脱泡のため少量のAs2O3を加えること、または工
業上良く知られている脱泡成分の少量添加は、本発明の
効果に影響を与えない。さらに導波路の作成は、このガ
ラス材を目的のサイズに線引きして作る。
発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、1
0.6μｍにおける伝送損失が、口径1mmの中空型導波路に
対して1dB/m以下の値が得られ、さらに実用におけるガ
ラスの耐候性が良好で、また、導波路作成における線引
き時に、結晶化を起こさない安定性の良い赤外帯用中空
型光導波路用ガラスが得られる。このガラスを既に知ら
れている手段によって中空ファイバー化すれば、炭酸ガ
スレーザの導光路として使用できる。
0.6μｍにおける伝送損失が、口径1mmの中空型導波路に
対して1dB/m以下の値が得られ、さらに実用におけるガ
ラスの耐候性が良好で、また、導波路作成における線引
き時に、結晶化を起こさない安定性の良い赤外帯用中空
型光導波路用ガラスが得られる。このガラスを既に知ら
れている手段によって中空ファイバー化すれば、炭酸ガ
スレーザの導光路として使用できる。
第１図は、純粋なGeO2ガラスの赤外領域における複素屈
折率nr−ｉκ及び反射率Ｒ（垂直入射）を表わす図であ
る。第２図〜第９図は、本発明におけるGeO2−金属酸化
物（Ta2O5、Nb2O5、TiO2）−アルカリ酸化物（Li2O、Na
2O、K2O）の３成分系におけるガラス化範囲（mol％、実
線）及び伝送損失が1dB/m以下の領域（斜線部分）を示
す図である。
折率nr−ｉκ及び反射率Ｒ（垂直入射）を表わす図であ
る。第２図〜第９図は、本発明におけるGeO2−金属酸化
物（Ta2O5、Nb2O5、TiO2）−アルカリ酸化物（Li2O、Na
2O、K2O）の３成分系におけるガラス化範囲（mol％、実
線）及び伝送損失が1dB/m以下の領域（斜線部分）を示
す図である。
Claims (4)
- 【請求項１】GeO2 30〜95重量％（以下％で示す） Ta2O5 ２〜50％ １種または２種以上の R2O ２〜40％ （Ｒ＝Li,NaおよびＫ） ただし、 Li2O ０〜10％ Na2O ０〜20％ K2O ０〜40％ の組成から成る赤外帯光導波路用ガラス。
- 【請求項２】GeO2 40〜95重量％（以下％で示す） Nb2O5 ２〜50％ １種または２種以上の R2O ２〜40％ （Ｒ＝Li,NaおよびＫ） ただし、 Li2O ０〜10％ Na2O ０〜20％ K2O ０〜40％ の組成から成る赤外帯光導波路用ガラス。
- 【請求項３】GeO2 40〜95重量％（以下％で示す） TiO2 ２〜40％ １種または２種以上の R2O ２〜30％ （Ｒ＝NaおよびＫ） ただし、 Na2O ０〜30％ K2O ０〜20％ の組成から成る赤外帯光導波路用ガラス。
- 【請求項４】赤外帯光導波路を作成した場合に、直線状
の口径1mmのファイバでの、波長10.6μｍにおける理論
伝送損失が1dB/m以下であるところの請求項（１）、
（２）または（３）に記載の赤外帯光導波路用ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2147755A JP3020997B2 (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | 赤外帯光導波路用ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2147755A JP3020997B2 (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | 赤外帯光導波路用ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442834A JPH0442834A (ja) | 1992-02-13 |
| JP3020997B2 true JP3020997B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=15437422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2147755A Expired - Fee Related JP3020997B2 (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | 赤外帯光導波路用ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3020997B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5851851A (en) * | 1994-03-07 | 1998-12-22 | Nippondenso Co., Ltd. | Method for fabricating a semiconductor acceleration sensor |
-
1990
- 1990-06-06 JP JP2147755A patent/JP3020997B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH0442834A (ja) | 1992-02-13 |
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