JP3020190B2 - リードフレーム押え装置 - Google Patents
リードフレーム押え装置Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67346—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders characterized by being specially adapted for supporting a single substrate or by comprising a stack of such individual supports
-
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
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- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置を製造する
際にリードフレームを押えるリードフレーム押え装置に
関する。
際にリードフレームを押えるリードフレーム押え装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のリードフレーム押え装置として、
例えば特公平４−７４８６１号公報に示すものが知られ
ている。この装置は、フレーム押えを真空吸着によって
フレーム押えホルダに着脱可能に取付けている。ところ
で、フレーム押えは、リードフレームをヒートブロック
に押え付けるものである。そこで、フレーム押えを真空
吸着によってフレーム押えホルダに取付ける構造におい
ては、フレーム押えホルダの下面によってフレーム押え
の上面を真空吸着しなければならない。またフレーム押
えの長手方向の位置決めは、フレーム押えホルダの下面
の内側に形成された内側両側面によって行っている。
例えば特公平４−７４８６１号公報に示すものが知られ
ている。この装置は、フレーム押えを真空吸着によって
フレーム押えホルダに着脱可能に取付けている。ところ
で、フレーム押えは、リードフレームをヒートブロック
に押え付けるものである。そこで、フレーム押えを真空
吸着によってフレーム押えホルダに取付ける構造におい
ては、フレーム押えホルダの下面によってフレーム押え
の上面を真空吸着しなければならない。またフレーム押
えの長手方向の位置決めは、フレーム押えホルダの下面
の内側に形成された内側両側面によって行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、フレ
ーム押えの上面を真空吸着によってフレーム押えホルダ
の下面に保持しているので、真空系のトラブルによって
真空が切れた場合、フレーム押えが落下するという問題
がある。また真空吸着によってフレーム押えがフレーム
押えホルダに密着した状態は、真空をオフにした場合で
も一時的に維持されることがり、作業者は真空がオンに
なっていると錯覚して装置を作動させ、フレーム押えが
落下して事故を引き起こす恐れがある。またフレーム押
えの長手方向はフレーム押えホルダの下面に形成した内
側両側面で位置決めされるので、品種によってフレーム
押えを交換する場合に次のような問題が発生する。ヒー
トブロックの熱によってフレーム押えが熱膨張し、フレ
ーム押えがフレーム押えホルダにきつく嵌合した状態と
なり、フレーム押えの取外しが困難になる。そこで、フ
レーム押えが充分に冷えた後にフレーム押えを取り外す
必要がある。
ーム押えの上面を真空吸着によってフレーム押えホルダ
の下面に保持しているので、真空系のトラブルによって
真空が切れた場合、フレーム押えが落下するという問題
がある。また真空吸着によってフレーム押えがフレーム
押えホルダに密着した状態は、真空をオフにした場合で
も一時的に維持されることがり、作業者は真空がオンに
なっていると錯覚して装置を作動させ、フレーム押えが
落下して事故を引き起こす恐れがある。またフレーム押
えの長手方向はフレーム押えホルダの下面に形成した内
側両側面で位置決めされるので、品種によってフレーム
押えを交換する場合に次のような問題が発生する。ヒー
トブロックの熱によってフレーム押えが熱膨張し、フレ
ーム押えがフレーム押えホルダにきつく嵌合した状態と
なり、フレーム押えの取外しが困難になる。そこで、フ
レーム押えが充分に冷えた後にフレーム押えを取り外す
必要がある。
【０００４】本発明の目的は、フレーム押えが落下する
ことがなく、またフレーム押えが熱膨張しても容易に取
外しが可能なリードフレーム押え装置を提供することに
ある。
ことがなく、またフレーム押えが熱膨張しても容易に取
外しが可能なリードフレーム押え装置を提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、フレーム押えホルダにフレーム押え
を着脱可能に取付けたリードフレーム押え装置におい
て、前記フレーム押えには、両側面にガイド部が形成さ
れ、このガイド部に位置決め溝が形成され、前記フレー
ム押えホルダには、前記フレーム押えのガイド部をガイ
ドするガイド溝が形成され、このガイド溝の部分にフレ
ーム押えの位置決め溝に対応してピン穴が形成され、更
に前記フレーム押えホルダには、該フレーム押えホルダ
のピン穴を通して前記フレーム押えの位置決め溝に挿入
される位置決めピンと、この位置決めピンをフレーム押
え側に付勢するばね部材と、前記位置決めピンを前記フ
レーム押えホルダのピン穴に沿って動かす偏心ピンとを
設けたことを特徴とする。
の本発明の構成は、フレーム押えホルダにフレーム押え
を着脱可能に取付けたリードフレーム押え装置におい
て、前記フレーム押えには、両側面にガイド部が形成さ
れ、このガイド部に位置決め溝が形成され、前記フレー
ム押えホルダには、前記フレーム押えのガイド部をガイ
ドするガイド溝が形成され、このガイド溝の部分にフレ
ーム押えの位置決め溝に対応してピン穴が形成され、更
に前記フレーム押えホルダには、該フレーム押えホルダ
のピン穴を通して前記フレーム押えの位置決め溝に挿入
される位置決めピンと、この位置決めピンをフレーム押
え側に付勢するばね部材と、前記位置決めピンを前記フ
レーム押えホルダのピン穴に沿って動かす偏心ピンとを
設けたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】フレーム押えのフレーム押えホルダへの取付け
は、フレーム押えホルダのガイド溝にフレーム押えのガ
イド部を挿入してフレーム押えの位置決め溝をフレーム
押えホルダのピン穴に合わせ、偏心ピンで位置決めピン
をばね部材の付勢力の方向に動かすと、位置決めピンは
ばねの付勢力でフレーム押えの位置決め溝に係合する。
これにより、フレーム押えはフレーム押えホルダに取付
けられる。
は、フレーム押えホルダのガイド溝にフレーム押えのガ
イド部を挿入してフレーム押えの位置決め溝をフレーム
押えホルダのピン穴に合わせ、偏心ピンで位置決めピン
をばね部材の付勢力の方向に動かすと、位置決めピンは
ばねの付勢力でフレーム押えの位置決め溝に係合する。
これにより、フレーム押えはフレーム押えホルダに取付
けられる。
【０００７】フレーム押えは、該フレーム押えのガイド
部がフレーム押えホルダのガイド溝の下面によって支持
されるので、落下することがない。またフレーム押え
は、該フレーム押えの位置決め溝に位置決めピンが挿入
されて位置決めされ、また位置決めピンは、ばね部材の
ばね力でフレーム押えを押圧するので、フレーム押えホ
ルダのフレーム押えの取付け部の長さとフレーム押えの
長さに充分な隙間を有するように形成することができ、
フレーム押えが熱膨張してもフレーム押えの取外しは容
易に行える。またフレーム押えがフレーム押えホルダに
取付けられたか否かは、位置決めピンの突出量によって
確認できる。
部がフレーム押えホルダのガイド溝の下面によって支持
されるので、落下することがない。またフレーム押え
は、該フレーム押えの位置決め溝に位置決めピンが挿入
されて位置決めされ、また位置決めピンは、ばね部材の
ばね力でフレーム押えを押圧するので、フレーム押えホ
ルダのフレーム押えの取付け部の長さとフレーム押えの
長さに充分な隙間を有するように形成することができ、
フレーム押えが熱膨張してもフレーム押えの取外しは容
易に行える。またフレーム押えがフレーム押えホルダに
取付けられたか否かは、位置決めピンの突出量によって
確認できる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図４によ
り説明する。図２及び図３に示すように、リードフレー
ム１をガイドするガイドレール２、２間には、図示しな
い上下駆動手段で上下動させられるヒートブロック３が
配設されている。ヒートブロック３には、ボンデイング
ステーション部に品種交換用のヒートコマ４が着脱自在
に取付けられている。ここで、ヒートコマ４のヒートブ
ロック３への取付け構造は、例えば特開平４−３０４４
０号公報に示すような真空吸着方式によって取付けられ
ている。
り説明する。図２及び図３に示すように、リードフレー
ム１をガイドするガイドレール２、２間には、図示しな
い上下駆動手段で上下動させられるヒートブロック３が
配設されている。ヒートブロック３には、ボンデイング
ステーション部に品種交換用のヒートコマ４が着脱自在
に取付けられている。ここで、ヒートコマ４のヒートブ
ロック３への取付け構造は、例えば特開平４−３０４４
０号公報に示すような真空吸着方式によって取付けられ
ている。
【０００９】ボンデイングステーション部におけるガイ
ドレール２、２の側方には、図示しない上下駆動手段で
上下動させられるフレーム押え取付け部材１０が配設さ
れており、フレーム押え取付け部材１０の両側端には、
図１に示すように、フレーム押えホルダ１１のＸ方向
（リードフレーム１の搬送方向）を位置決めする位置決
め部１０ａ、１０ａが上方に突出して設けられている。
またフレーム押え取付け部材１０には、フレーム押えホ
ルダ１１のＹ方向の位置を調整するＹ方向調整用偏心ピ
ン１２が回転自在に設けられている。
ドレール２、２の側方には、図示しない上下駆動手段で
上下動させられるフレーム押え取付け部材１０が配設さ
れており、フレーム押え取付け部材１０の両側端には、
図１に示すように、フレーム押えホルダ１１のＸ方向
（リードフレーム１の搬送方向）を位置決めする位置決
め部１０ａ、１０ａが上方に突出して設けられている。
またフレーム押え取付け部材１０には、フレーム押えホ
ルダ１１のＹ方向の位置を調整するＹ方向調整用偏心ピ
ン１２が回転自在に設けられている。
【００１０】図１乃至図４に示すように、フレーム押え
ホルダ１１は平面コ字状の枠体よりなり、Ｙ方向調整用
偏心ピン１２に当接される位置決め面１１ａが切り欠き
溝１１ｂによって形成されている。またフレーム押えホ
ルダ１１には切り欠き溝１１ｂの両側部分に平坦調整用
ねじ１３、１３が螺合されており、平坦調整用ねじ１
３、１３にはそれぞれロックナット１４、１４が螺合さ
れている。またフレーム押えホルダ１１は固定ねじ１
５、１５でフレーム押え取付け部材１０に固定されてい
る。フレーム押えホルダ１１のコ字状の両端はヒートブ
ロック３の上方に伸びたフレーム押え保持部１１ｃ、１
１ｃとなっており、フレーム押え保持部１１ｃ、１１ｃ
の内側には、フレーム押え１６の両側部をガイドするガ
イド溝１１ｄ、１１ｄが形成されている。そして、ガイ
ド溝１１ｄ、１１ｄの内側部分の上面は、フレーム押え
１６の幅Ｈ1 より大きな幅Ｈ2 で除去され、ガイド溝１
１ｄ、１１ｄの下面はフレーム押え載置面１１ｅ、１１
ｅとなっている。またフレーム押え保持部１１ｃ、１１
ｃの内側の長さＢ1 はヒートコマ４の長さＢ2 より長く
なっている。
ホルダ１１は平面コ字状の枠体よりなり、Ｙ方向調整用
偏心ピン１２に当接される位置決め面１１ａが切り欠き
溝１１ｂによって形成されている。またフレーム押えホ
ルダ１１には切り欠き溝１１ｂの両側部分に平坦調整用
ねじ１３、１３が螺合されており、平坦調整用ねじ１
３、１３にはそれぞれロックナット１４、１４が螺合さ
れている。またフレーム押えホルダ１１は固定ねじ１
５、１５でフレーム押え取付け部材１０に固定されてい
る。フレーム押えホルダ１１のコ字状の両端はヒートブ
ロック３の上方に伸びたフレーム押え保持部１１ｃ、１
１ｃとなっており、フレーム押え保持部１１ｃ、１１ｃ
の内側には、フレーム押え１６の両側部をガイドするガ
イド溝１１ｄ、１１ｄが形成されている。そして、ガイ
ド溝１１ｄ、１１ｄの内側部分の上面は、フレーム押え
１６の幅Ｈ1 より大きな幅Ｈ2 で除去され、ガイド溝１
１ｄ、１１ｄの下面はフレーム押え載置面１１ｅ、１１
ｅとなっている。またフレーム押え保持部１１ｃ、１１
ｃの内側の長さＢ1 はヒートコマ４の長さＢ2 より長く
なっている。
【００１１】フレーム押え１６は、中央部にボンデイン
グ窓１６ａを有し、両側面にはフレーム押えホルダ１１
のガイド溝１１ｄ、１１ｄに挿入されるガイド部１６
ｂ、１６ｂが形成されている。ガイド部１６ｂ、１６ｂ
には位置決めピン２０、２１が挿入される位置決め溝１
６ｃ、１６ｃが形成されている。フレーム押えホルダ１
１のガイド溝１１ｄ、１１ｄ部分には、位置決めピン２
０、２１を挿入するピン穴１１ｆ、１１ｆが形成されて
いる。位置決めピン２０、２１は頭部２０ａ、２１ａと
ピン部２０ｂ、２１ｂとよりなり、位置決めピン２０の
ピン部２０ｂはフレーム押え１６の位置決め溝１６ｃ、
１６ｃの底部に若干の隙間を有するように短く形成さ
れ、位置決めピン２１のピン部２１ｂは、フレーム押え
１６を位置決めピン２０側に押し付けることができるよ
うに長く形成されている。
グ窓１６ａを有し、両側面にはフレーム押えホルダ１１
のガイド溝１１ｄ、１１ｄに挿入されるガイド部１６
ｂ、１６ｂが形成されている。ガイド部１６ｂ、１６ｂ
には位置決めピン２０、２１が挿入される位置決め溝１
６ｃ、１６ｃが形成されている。フレーム押えホルダ１
１のガイド溝１１ｄ、１１ｄ部分には、位置決めピン２
０、２１を挿入するピン穴１１ｆ、１１ｆが形成されて
いる。位置決めピン２０、２１は頭部２０ａ、２１ａと
ピン部２０ｂ、２１ｂとよりなり、位置決めピン２０の
ピン部２０ｂはフレーム押え１６の位置決め溝１６ｃ、
１６ｃの底部に若干の隙間を有するように短く形成さ
れ、位置決めピン２１のピン部２１ｂは、フレーム押え
１６を位置決めピン２０側に押し付けることができるよ
うに長く形成されている。
【００１２】フレーム押えホルダ１１のフレーム押え保
持部１１ｃ、１１ｃの端面には、位置決めピン２０、２
１をフレーム押え１６側に付勢するようにＬ字状の板ば
ね２２、２２が固定されており、板ばね２２、２２の固
定部の端部はフレーム押えホルダ１１のガイド溝１１
ｄ、１１ｄの端部を塞いでいる。またフレーム押えホル
ダ１１のフレーム押え保持部１１ｃ、１１ｃの上面は、
位置決めピン２０、２１の頭部２０ａ、２１ａが当接す
る偏心ピン２３、２３が回転自在に取付けられており、
偏心ピン２３、２３には、小径部２３ａより最も離れた
大径部２３ｂの外周部分に平坦部２３ｃが形成されてい
る。
持部１１ｃ、１１ｃの端面には、位置決めピン２０、２
１をフレーム押え１６側に付勢するようにＬ字状の板ば
ね２２、２２が固定されており、板ばね２２、２２の固
定部の端部はフレーム押えホルダ１１のガイド溝１１
ｄ、１１ｄの端部を塞いでいる。またフレーム押えホル
ダ１１のフレーム押え保持部１１ｃ、１１ｃの上面は、
位置決めピン２０、２１の頭部２０ａ、２１ａが当接す
る偏心ピン２３、２３が回転自在に取付けられており、
偏心ピン２３、２３には、小径部２３ａより最も離れた
大径部２３ｂの外周部分に平坦部２３ｃが形成されてい
る。
【００１３】次にフレーム押えホルダ１１へのフレーム
押え１６の取付けについて説明する。偏心ピン２３、２
３を回し、偏心ピン２３、２３の平坦部２３ｃを位置決
めピン２０、２１の頭部２０ａ、２１ａに当接させてお
く。これにより、位置決めピン２０、２１は板ばね２
２、２２の付勢力に抗して外側に移動し、位置決めピン
２０、２１のピン部２０ｂ、２１ｂの先端はフレーム押
えホルダ１１のガイド溝１１ｄ、１１ｄより引っ込む。
この状態でフレーム押えホルダ１１のフレーム押え載置
面１１ｅ、１１ｅにフレーム押え１６のガイド部１６
ｂ、１６ｂを載置する。次にフレーム押え１６をガイド
溝１１ｄ、１１ｄに沿って動かして板ばね２２、２２の
固定部の端面に当接させる。
押え１６の取付けについて説明する。偏心ピン２３、２
３を回し、偏心ピン２３、２３の平坦部２３ｃを位置決
めピン２０、２１の頭部２０ａ、２１ａに当接させてお
く。これにより、位置決めピン２０、２１は板ばね２
２、２２の付勢力に抗して外側に移動し、位置決めピン
２０、２１のピン部２０ｂ、２１ｂの先端はフレーム押
えホルダ１１のガイド溝１１ｄ、１１ｄより引っ込む。
この状態でフレーム押えホルダ１１のフレーム押え載置
面１１ｅ、１１ｅにフレーム押え１６のガイド部１６
ｂ、１６ｂを載置する。次にフレーム押え１６をガイド
溝１１ｄ、１１ｄに沿って動かして板ばね２２、２２の
固定部の端面に当接させる。
【００１４】この場合、前記したように、位置決めピン
２０のピン部２０ｂは短く、位置決めピン２１のピン部
２１ｂは長いので、位置決めピン２０はフレーム押え１
６を押すことがなく、位置決めピン２１によってフレー
ム押え１６は位置決めピン２０側にガイド溝１１ｄ、１
１ｄに押し付けられる。即ち、フレーム押え１６のＸ方
向はフレーム押えホルダ１１の位置決めピン２０側のガ
イド溝１１ｄ、１１ｄによって位置決めされる。フレー
ム押え１６のＹ方向は位置決めピン２０、２１によって
位置決めされる。またフレーム押え１６はリードフレー
ム１をヒートブロック３に押し付けるものであるので、
フレーム押え１６がリードフレーム１を押し付けた状態
では、フレーム押え１６はフレーム押えホルダ１１のガ
イド溝１１ｄ、１１ｄの上面に押し付けられる。即ち、
フレーム押え１６のＺ（高さ）方向は、ガイド溝１１
ｄ、１１ｄの上面によって位置決めされる。
２０のピン部２０ｂは短く、位置決めピン２１のピン部
２１ｂは長いので、位置決めピン２０はフレーム押え１
６を押すことがなく、位置決めピン２１によってフレー
ム押え１６は位置決めピン２０側にガイド溝１１ｄ、１
１ｄに押し付けられる。即ち、フレーム押え１６のＸ方
向はフレーム押えホルダ１１の位置決めピン２０側のガ
イド溝１１ｄ、１１ｄによって位置決めされる。フレー
ム押え１６のＹ方向は位置決めピン２０、２１によって
位置決めされる。またフレーム押え１６はリードフレー
ム１をヒートブロック３に押し付けるものであるので、
フレーム押え１６がリードフレーム１を押し付けた状態
では、フレーム押え１６はフレーム押えホルダ１１のガ
イド溝１１ｄ、１１ｄの上面に押し付けられる。即ち、
フレーム押え１６のＺ（高さ）方向は、ガイド溝１１
ｄ、１１ｄの上面によって位置決めされる。
【００１５】フレーム押えホルダ１１よりフレーム押え
１６を取り外すには、前記と逆の操作を行えばよい。即
ち、位置決めピン２０、２１を１８０度回すと、位置決
めピン２０、２１は板ばね２２、２２の付勢力に抗して
外側に突出し、フレーム押え１６のピン部２０ｂ、２１
ｂはフレーム押え１６の位置決め溝１６ｃ、１６ｃより
抜ける。そこで、フレーム押え１６をガイド溝１１ｄ、
１１ｄに沿ってフレーム押え載置面１１ｅ、１１ｅ上に
動かし、上方に持ち上げればよい。
１６を取り外すには、前記と逆の操作を行えばよい。即
ち、位置決めピン２０、２１を１８０度回すと、位置決
めピン２０、２１は板ばね２２、２２の付勢力に抗して
外側に突出し、フレーム押え１６のピン部２０ｂ、２１
ｂはフレーム押え１６の位置決め溝１６ｃ、１６ｃより
抜ける。そこで、フレーム押え１６をガイド溝１１ｄ、
１１ｄに沿ってフレーム押え載置面１１ｅ、１１ｅ上に
動かし、上方に持ち上げればよい。
【００１６】次にフレーム押え１６のＸ方向、Ｙ方向及
び平坦度調整について説明する。この調整は、フレーム
押えホルダ１１にフレーム押え１６を取付けた状態で行
う。フレーム押え１６のＸ方向は、フレーム押え取付け
部材１０の位置決め部１０ａ、１０ａによって位置決め
される。フレーム押え１６のＹ方向は、固定ねじ１５、
１５を緩めた状態でＹ方向調整用偏心ピン１２を回すこ
とによって調整できる。フレーム押え１６の平坦度は、
固定ねじ１５、１５を緩めた状態で平坦調整用ねじ１
３、１３を回すことによって調整できる。なお、このフ
レーム押え１６のＸ方向、Ｙ方向及び平坦度調整、フレ
ーム押えホルダ１１をフレーム押え取付け部材１０に取
付ける時に一度行えばよく、フレーム押え１６を交換す
る時には行う必要はない。
び平坦度調整について説明する。この調整は、フレーム
押えホルダ１１にフレーム押え１６を取付けた状態で行
う。フレーム押え１６のＸ方向は、フレーム押え取付け
部材１０の位置決め部１０ａ、１０ａによって位置決め
される。フレーム押え１６のＹ方向は、固定ねじ１５、
１５を緩めた状態でＹ方向調整用偏心ピン１２を回すこ
とによって調整できる。フレーム押え１６の平坦度は、
固定ねじ１５、１５を緩めた状態で平坦調整用ねじ１
３、１３を回すことによって調整できる。なお、このフ
レーム押え１６のＸ方向、Ｙ方向及び平坦度調整、フレ
ーム押えホルダ１１をフレーム押え取付け部材１０に取
付ける時に一度行えばよく、フレーム押え１６を交換す
る時には行う必要はない。
【００１７】このように、フレーム押えホルダ１１のガ
イド溝１１ｄ、１１ｄにフレーム押え１６を挿入し、偏
心ピン２３、２３を回すという非常に簡単な操作でフレ
ーム押え１６をフレーム押えホルダ１１に取付けること
ができ、また偏心ピン２３、２３を回してフレーム押え
１６をフレーム押えホルダ１１のガイド溝１１ｄ、１１
ｄより抜くという非常に簡単な操作でフレーム押え１６
をフレーム押えホルダ１１より取り外すことができる。
またフレーム押え１６がフレーム押えホルダ１１に取付
けられたか否かは、位置決めピン２０、２１が内側に引
っ込んでいるか否かによる目視で容易に確認でき、確実
性に優れている。またフレーム押え１６のＺ方向はフレ
ーム押えホルダ１１のガイド溝１１ｄ、１１ｄの上面で
位置決めされるが、フレーム押え１６はガイド溝１１
ｄ、１１ｄの下面で支持されているので、フレーム押え
１６が落下することがない。またフレーム押え１６のＸ
方向は、フレーム押えホルダ１１の位置決めピン２０側
のガイド溝１１ｄ、１１ｄによって位置決めされ、フレ
ーム押え１６は位置決めピン２１側の板ばね２２のばね
力で押し付けられているので、フレーム押えホルダ１１
の位置決めピン側の端面とフレーム押え１６の位置決め
ピン２１側に隙間を有するように形成することができ、
フレーム押え１６の熱膨張を吸収できる。またフレーム
押え保持部１１ｃ、１１ｃの内側の長さＢ1 をヒートコ
マ４の長さＢ2 より長く形成すると、フレーム押えホル
ダ１１よりフレーム押え１６を取り外すのみでヒートコ
マ４の交換が行え、より作業性に優れたものとなる。
イド溝１１ｄ、１１ｄにフレーム押え１６を挿入し、偏
心ピン２３、２３を回すという非常に簡単な操作でフレ
ーム押え１６をフレーム押えホルダ１１に取付けること
ができ、また偏心ピン２３、２３を回してフレーム押え
１６をフレーム押えホルダ１１のガイド溝１１ｄ、１１
ｄより抜くという非常に簡単な操作でフレーム押え１６
をフレーム押えホルダ１１より取り外すことができる。
またフレーム押え１６がフレーム押えホルダ１１に取付
けられたか否かは、位置決めピン２０、２１が内側に引
っ込んでいるか否かによる目視で容易に確認でき、確実
性に優れている。またフレーム押え１６のＺ方向はフレ
ーム押えホルダ１１のガイド溝１１ｄ、１１ｄの上面で
位置決めされるが、フレーム押え１６はガイド溝１１
ｄ、１１ｄの下面で支持されているので、フレーム押え
１６が落下することがない。またフレーム押え１６のＸ
方向は、フレーム押えホルダ１１の位置決めピン２０側
のガイド溝１１ｄ、１１ｄによって位置決めされ、フレ
ーム押え１６は位置決めピン２１側の板ばね２２のばね
力で押し付けられているので、フレーム押えホルダ１１
の位置決めピン側の端面とフレーム押え１６の位置決め
ピン２１側に隙間を有するように形成することができ、
フレーム押え１６の熱膨張を吸収できる。またフレーム
押え保持部１１ｃ、１１ｃの内側の長さＢ1 をヒートコ
マ４の長さＢ2 より長く形成すると、フレーム押えホル
ダ１１よりフレーム押え１６を取り外すのみでヒートコ
マ４の交換が行え、より作業性に優れたものとなる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、フレーム押えは、該フ
レーム押えのガイド部がフレーム押えホルダのガイド溝
の下面によって支持されるので、落下することがない。
またフレーム押えは、該フレーム押えの位置決め溝に位
置決めピンが挿入されて位置決めされ、また位置決めピ
ンは、ばね部材のばね力でフレーム押えを押圧するの
で、フレーム押えホルダのフレーム押えの取付け部の長
さとフレーム押えの長さに充分な隙間を有するように形
成することができ、フレーム押えが熱膨張してもフレー
ム押えの取外しは容易に行える。またフレーム押えがフ
レーム押えホルダに取付けられたか否かは、位置決めピ
ンの突出量によって確認できる。
レーム押えのガイド部がフレーム押えホルダのガイド溝
の下面によって支持されるので、落下することがない。
またフレーム押えは、該フレーム押えの位置決め溝に位
置決めピンが挿入されて位置決めされ、また位置決めピ
ンは、ばね部材のばね力でフレーム押えを押圧するの
で、フレーム押えホルダのフレーム押えの取付け部の長
さとフレーム押えの長さに充分な隙間を有するように形
成することができ、フレーム押えが熱膨張してもフレー
ム押えの取外しは容易に行える。またフレーム押えがフ
レーム押えホルダに取付けられたか否かは、位置決めピ
ンの突出量によって確認できる。
【図１】本発明のリードフレーム押え装置一実施例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】平面図である。
【図３】図２の正面図である。
【図４】図２のＡ−Ａ線断面図である。
１１ フレーム押えホルダ １１ｄ ガイド溝 １１ｆ ピン穴 １６ フレーム押え １６ｂ ガイド部 １６ｃ 位置決め溝 ２０、２１ 位置決めピン ２２ 板ばね ２３ 偏心ピン
Claims (2)
- 【請求項１】 フレーム押えホルダにフレーム押えを着
脱可能に取付けたリードフレーム押え装置において、前
記フレーム押えには、両側面にガイド部が形成され、こ
のガイド部に位置決め溝が形成され、前記フレーム押え
ホルダには、前記フレーム押えのガイド部をガイドする
ガイド溝が形成され、このガイド溝の部分にフレーム押
えの位置決め溝に対応してピン穴が形成され、更に前記
フレーム押えホルダには、該フレーム押えホルダのピン
穴を通して前記フレーム押えの位置決め溝に挿入される
位置決めピンと、この位置決めピンをフレーム押え側に
付勢するばね部材と、前記位置決めピンを前記フレーム
押えホルダのピン穴に沿って動かす偏心ピンとを設けた
ことを特徴とするリードフレーム押え装置。 - 【請求項２】 前記フレーム押えホルダの前記フレーム
押えを取付ける部分の内側幅は、ヒートブロックに着脱
可能に取付けられたヒートコマの長さより若干長く形成
されていることを特徴とする請求項１記載のリードフレ
ーム押え装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5223934A JP3020190B2 (ja) | 1993-08-18 | 1993-08-18 | リードフレーム押え装置 |
| KR1019940017272A KR0139383B1 (ko) | 1993-08-18 | 1994-07-18 | 리드프레임 누름장치 |
| US08/292,715 US5439159A (en) | 1993-08-18 | 1994-08-18 | Lead frame retaining apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5223934A JP3020190B2 (ja) | 1993-08-18 | 1993-08-18 | リードフレーム押え装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0758144A JPH0758144A (ja) | 1995-03-03 |
| JP3020190B2 true JP3020190B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=16806002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5223934A Expired - Lifetime JP3020190B2 (ja) | 1993-08-18 | 1993-08-18 | リードフレーム押え装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5439159A (ja) |
| JP (1) | JP3020190B2 (ja) |
| KR (1) | KR0139383B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5971256A (en) | 1997-02-05 | 1999-10-26 | Micron Technology, Inc. | Quick change precisor |
| KR19980085414A (ko) * | 1997-05-29 | 1998-12-05 | 윤종용 | 탄성력에 의해 히터블록 어댑터가 고정되는 와이어 본딩 장치 |
| US9040034B2 (en) | 2013-04-09 | 2015-05-26 | International Business Machines Corporation | Vitamin functionalized gel-forming block copolymers for biomedical applications |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01177943A (ja) * | 1988-01-06 | 1989-07-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | リードフレーム搬送装置 |
| US4923294A (en) * | 1988-10-20 | 1990-05-08 | Micron Technology, Inc. | Lead frame holding device |
| JP2835978B2 (ja) * | 1990-05-25 | 1998-12-14 | 株式会社新川 | ボンダ用ヒータブロック |
| US5281794A (en) * | 1990-05-25 | 1994-01-25 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Heater block for use in a bonder utilizing vacuum suction attachment means |
| JPH0474861A (ja) * | 1990-07-16 | 1992-03-10 | Fujitsu Ltd | プレーナマグネトロンスパッタ装置 |
| JP3094374B2 (ja) * | 1991-02-15 | 2000-10-03 | 株式会社新川 | ワイヤボンダ用フレーム固定装置 |
-
1993
- 1993-08-18 JP JP5223934A patent/JP3020190B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-07-18 KR KR1019940017272A patent/KR0139383B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-08-18 US US08/292,715 patent/US5439159A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5439159A (en) | 1995-08-08 |
| JPH0758144A (ja) | 1995-03-03 |
| KR950007044A (ko) | 1995-03-21 |
| KR0139383B1 (ko) | 1998-07-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19991115 |