JP3012189B2 - 流水式洗浄装置 - Google Patents
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- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
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- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
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- Y10S134/902—Semiconductor wafer
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや磁
気ディスク基板、あるいはその他の電子部品、光学部
品、又は精密機械部品のような、高精度の清浄度を必要
とするワークを精密洗浄するための流水式洗浄装置に関
するものである。
気ディスク基板、あるいはその他の電子部品、光学部
品、又は精密機械部品のような、高精度の清浄度を必要
とするワークを精密洗浄するための流水式洗浄装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】一様な流れの洗浄液中にワークを浸漬さ
せて洗浄する流水式洗浄装置は、例えば実開昭６１−１
３０３８９号公報や実開昭６４−６３０８６号公報等に
開示されているように、従来より各種のものが知られて
いる。この種の洗浄装置においては、ワークから剥離し
た汚染物質が洗浄液の乱流に乗って該ワークに再付着す
るのを防止するため、一般に、多孔状の整流板を流路内
に設置し、この整流板を通すことによって洗浄液の流れ
を乱れのない一様な流れ（層流）になるように整流して
いる。
せて洗浄する流水式洗浄装置は、例えば実開昭６１−１
３０３８９号公報や実開昭６４−６３０８６号公報等に
開示されているように、従来より各種のものが知られて
いる。この種の洗浄装置においては、ワークから剥離し
た汚染物質が洗浄液の乱流に乗って該ワークに再付着す
るのを防止するため、一般に、多孔状の整流板を流路内
に設置し、この整流板を通すことによって洗浄液の流れ
を乱れのない一様な流れ（層流）になるように整流して
いる。
【０００３】ところが、従来の洗浄装置においては、上
記整流板を設置する場合、流路の内壁に溝や段部を有す
る取付部を形成し、この取付部に整流板の端部を嵌合や
螺子止め等の手段で固定していたため、該取付部が洗浄
液の流れを乱して乱流を発生させる原因となり、洗浄液
の一様な流れを得ることが困難であった。しかも、上記
整流板は金属板に多数の通水孔を開けたものであるが、
その周囲には、洗浄槽へ取り付けるための取付代とする
ために通水孔のない無孔部分が一定幅で形成されてお
り、この無孔部分が洗浄液の流れを乱して乱流を発生さ
せる原因にもなっていた。従って、上記のような整流板
を洗浄槽内に設置するに当っては、乱流が発生しない取
付構造とすることが必要になる。
記整流板を設置する場合、流路の内壁に溝や段部を有す
る取付部を形成し、この取付部に整流板の端部を嵌合や
螺子止め等の手段で固定していたため、該取付部が洗浄
液の流れを乱して乱流を発生させる原因となり、洗浄液
の一様な流れを得ることが困難であった。しかも、上記
整流板は金属板に多数の通水孔を開けたものであるが、
その周囲には、洗浄槽へ取り付けるための取付代とする
ために通水孔のない無孔部分が一定幅で形成されてお
り、この無孔部分が洗浄液の流れを乱して乱流を発生さ
せる原因にもなっていた。従って、上記のような整流板
を洗浄槽内に設置するに当っては、乱流が発生しない取
付構造とすることが必要になる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主要な技術的
課題は、洗浄槽の構造や整流板の取付構造等に起因する
乱流の発生を防止して、洗浄液の一様な流れを確実に得
ることができる流水式洗浄装置を提供することにある。
本発明の他の技術的課題は、整流板の交換や清掃などを
簡単に行うことができる、保守・管理が容易な流水式洗
浄装置を得ることにある。本発明の更に他の技術的課題
は、ワークから剥離した汚染物質が洗浄槽に付着しにく
い流水式洗浄装置を得ることにある。本発明の更に他の
技術的課題は、簡単な手段によって洗浄液の流速を調節
することができる流水式洗浄装置を得ることにある。本
発明の更に他の技術的課題は、洗浄液を循環的に再使用
することにより洗浄液の消費量を減らした、経済的効果
の高い流水式洗浄装置を得ることにある。
課題は、洗浄槽の構造や整流板の取付構造等に起因する
乱流の発生を防止して、洗浄液の一様な流れを確実に得
ることができる流水式洗浄装置を提供することにある。
本発明の他の技術的課題は、整流板の交換や清掃などを
簡単に行うことができる、保守・管理が容易な流水式洗
浄装置を得ることにある。本発明の更に他の技術的課題
は、ワークから剥離した汚染物質が洗浄槽に付着しにく
い流水式洗浄装置を得ることにある。本発明の更に他の
技術的課題は、簡単な手段によって洗浄液の流速を調節
することができる流水式洗浄装置を得ることにある。本
発明の更に他の技術的課題は、洗浄液を循環的に再使用
することにより洗浄液の消費量を減らした、経済的効果
の高い流水式洗浄装置を得ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の流水式洗浄装置は、洗浄液を供給するため
の給液部と、洗浄液を排出するための排液部と、これら
の給液部と排液部との間に位置する、給液部から排液部
へ流れる洗浄液中にワークを浸漬して洗浄するための洗
浄部とを備え、上記給液部及び排液部のうち少なくとも
給液部が、横幅を洗浄部の横幅より広く形成されると共
に底部を洗浄部の底部より低く形成された整流手段用取
付部を有する洗浄槽；多孔状をした複数の整流板を有し
ていて、これらの整流板を一つの保持枠に保持させるこ
とによりユニット化され、上記給液部の整流手段用取付
部内に、洗浄部との間の段部の部分に上記保持枠を位置
させることにより、整流板の穿孔部のみを洗浄部に臨ま
せた状態で着脱自在に配設された給液側整流手段；上記
給液部内に整流手段よりも上流側に配設された、該給液
部内に洗浄液を供給するための給液手段；上記排液部に
配設された、多孔状の整流板からなる排液側整流手段；
を有することを特徴とするものである。
め、本発明の流水式洗浄装置は、洗浄液を供給するため
の給液部と、洗浄液を排出するための排液部と、これら
の給液部と排液部との間に位置する、給液部から排液部
へ流れる洗浄液中にワークを浸漬して洗浄するための洗
浄部とを備え、上記給液部及び排液部のうち少なくとも
給液部が、横幅を洗浄部の横幅より広く形成されると共
に底部を洗浄部の底部より低く形成された整流手段用取
付部を有する洗浄槽；多孔状をした複数の整流板を有し
ていて、これらの整流板を一つの保持枠に保持させるこ
とによりユニット化され、上記給液部の整流手段用取付
部内に、洗浄部との間の段部の部分に上記保持枠を位置
させることにより、整流板の穿孔部のみを洗浄部に臨ま
せた状態で着脱自在に配設された給液側整流手段；上記
給液部内に整流手段よりも上流側に配設された、該給液
部内に洗浄液を供給するための給液手段；上記排液部に
配設された、多孔状の整流板からなる排液側整流手段；
を有することを特徴とするものである。
【０００６】上記構成を有する本発明の流水式洗浄装置
によれば、給液部における整流手段用取付部の横幅を洗
浄部の横幅より広く形成すると共に、底部を洗浄部の底
部より低く形成し、給液側整流手段の保持枠を洗浄部と
の間の段部の部分に位置させて、整流板の穿孔部のみを
洗浄部に臨ませるようにしているため、上記保持枠や整
流板の周囲の無孔部分等によって洗浄液の流れが乱され
ることがなく、層流化された一様な洗浄液の流れを確実
に得ることができる。また、上記給液側整流手段が、複
数の整流板を一つの保持枠に保持させることによりユニ
ット化されているため、その着脱や、各整流板の交換、
清掃などを簡単に行うことができ、保守、管理が容易で
ある。
によれば、給液部における整流手段用取付部の横幅を洗
浄部の横幅より広く形成すると共に、底部を洗浄部の底
部より低く形成し、給液側整流手段の保持枠を洗浄部と
の間の段部の部分に位置させて、整流板の穿孔部のみを
洗浄部に臨ませるようにしているため、上記保持枠や整
流板の周囲の無孔部分等によって洗浄液の流れが乱され
ることがなく、層流化された一様な洗浄液の流れを確実
に得ることができる。また、上記給液側整流手段が、複
数の整流板を一つの保持枠に保持させることによりユニ
ット化されているため、その着脱や、各整流板の交換、
清掃などを簡単に行うことができ、保守、管理が容易で
ある。
【０００７】本発明においては、上記洗浄槽における少
なくとも洗浄部を、内壁面に継ぎ目が形成されないよう
に合成樹脂で一体に成型することが望ましく、これによ
り、突起状をした継ぎ目の部分にワークから剥離した汚
染物質等が付着して残留したり、該継ぎ目によって洗浄
液の流れが乱されるのが防止される。
なくとも洗浄部を、内壁面に継ぎ目が形成されないよう
に合成樹脂で一体に成型することが望ましく、これによ
り、突起状をした継ぎ目の部分にワークから剥離した汚
染物質等が付着して残留したり、該継ぎ目によって洗浄
液の流れが乱されるのが防止される。
【０００８】本発明においてはまた、上記洗浄槽におけ
る排液部が、給液部と同様に、横幅を洗浄部の横幅より
広く形成されると共に底部を洗浄部の底部より低く形成
された整流手段用取付部を有していて、該取付部に、排
液側整流手段における整流板が、穿孔部のみを洗浄部に
臨ませた状態で配設されていることが好ましく、これに
より、該排液部側においても整流板の取り付けによる洗
浄液の乱れが確実に防止されるため、整流効果が一層向
上することになる。ることにより穿孔部のみを洗浄部に
臨ませた状態で配設されていることが好ましく、これに
より、該排液部側においても整流板の取り付けによる洗
浄液の乱れが確実に防止されるため、整流効果が一層向
上することになる。
る排液部が、給液部と同様に、横幅を洗浄部の横幅より
広く形成されると共に底部を洗浄部の底部より低く形成
された整流手段用取付部を有していて、該取付部に、排
液側整流手段における整流板が、穿孔部のみを洗浄部に
臨ませた状態で配設されていることが好ましく、これに
より、該排液部側においても整流板の取り付けによる洗
浄液の乱れが確実に防止されるため、整流効果が一層向
上することになる。ることにより穿孔部のみを洗浄部に
臨ませた状態で配設されていることが好ましく、これに
より、該排液部側においても整流板の取り付けによる洗
浄液の乱れが確実に防止されるため、整流効果が一層向
上することになる。
【０００９】本発明の一つの好ましい具体的な構成態様
によれば、上記排液部側の整流手段が、通水孔の孔数、
孔径、孔ピッチを同じにした２枚の多孔状の整流板を有
していて、これらの整流板を相対的に変移自在なるよう
に重設することによって通水孔の開口面積が調節自在と
なっており、これによって、洗浄液の流速を調節するこ
とができる。
によれば、上記排液部側の整流手段が、通水孔の孔数、
孔径、孔ピッチを同じにした２枚の多孔状の整流板を有
していて、これらの整流板を相対的に変移自在なるよう
に重設することによって通水孔の開口面積が調節自在と
なっており、これによって、洗浄液の流速を調節するこ
とができる。
【００１０】本発明の他の具体的な構成態様によれば、
上記洗浄槽が、ワークを洗浄液内において下流側から上
流側に向けて向流的に搬送可能な搬送手段を有してい
る。このようにワークを向流的に移動させることによ
り、洗浄液の流速を相対的に速めることができ、この結
果、少ない洗浄液によって効率良く洗浄を行うことがで
きる。
上記洗浄槽が、ワークを洗浄液内において下流側から上
流側に向けて向流的に搬送可能な搬送手段を有してい
る。このようにワークを向流的に移動させることによ
り、洗浄液の流速を相対的に速めることができ、この結
果、少ない洗浄液によって効率良く洗浄を行うことがで
きる。
【００１１】本発明の更に他の具体的な構成態様によれ
ば、上記給液部と排液部との間に洗浄液を循環的に再使
用するための循環機構を有し、該循環機構が、排液部か
ら排出された洗浄液を受けるためのリザーバタンクと、
該リザーバタンク内の洗浄液を給液部に圧送するための
ポンプと、該洗浄液を浄化するためのフィルタとを有し
ている。この循環機構に付設により、洗浄液の消費量を
少なくして経済性を高めることができる。ワークの洗浄
効果を高めるため、上記洗浄部には、超音波を照射する
ための超音波照射手段を設けることができる。
ば、上記給液部と排液部との間に洗浄液を循環的に再使
用するための循環機構を有し、該循環機構が、排液部か
ら排出された洗浄液を受けるためのリザーバタンクと、
該リザーバタンク内の洗浄液を給液部に圧送するための
ポンプと、該洗浄液を浄化するためのフィルタとを有し
ている。この循環機構に付設により、洗浄液の消費量を
少なくして経済性を高めることができる。ワークの洗浄
効果を高めるため、上記洗浄部には、超音波を照射する
ための超音波照射手段を設けることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る流水式洗浄装
置の一実施例について図面を参照しながら詳細に説明す
る。図１及び図２に示す実施例の流水式洗浄装置は、洗
浄槽内をゆっくりした流速（例えば１０〜２０ｍｍ／ｓ
ｅｃ程度）で横向きに流れる洗浄液中にワークを浸漬し
て洗浄するもので、横流式の洗浄槽１を有している。上
記洗浄槽１は、純水又は超純水あるいは化学的な処理液
等からなる洗浄液を供給するための給液部２と、洗浄液
を排出するための排液部４と、これらの給液部２と排液
部４との間に位置する洗浄部３とを有しており、この洗
浄部３を給液部２から排液部４へ向かって流れる洗浄液
５中にワーク６を浸漬して洗浄するものである。
置の一実施例について図面を参照しながら詳細に説明す
る。図１及び図２に示す実施例の流水式洗浄装置は、洗
浄槽内をゆっくりした流速（例えば１０〜２０ｍｍ／ｓ
ｅｃ程度）で横向きに流れる洗浄液中にワークを浸漬し
て洗浄するもので、横流式の洗浄槽１を有している。上
記洗浄槽１は、純水又は超純水あるいは化学的な処理液
等からなる洗浄液を供給するための給液部２と、洗浄液
を排出するための排液部４と、これらの給液部２と排液
部４との間に位置する洗浄部３とを有しており、この洗
浄部３を給液部２から排液部４へ向かって流れる洗浄液
５中にワーク６を浸漬して洗浄するものである。
【００１３】上記給液部２及び排液部４は、それらの横
幅W2及びW4がそれぞれ洗浄部３の横幅W3より広く形成さ
れると共に、底部２ａ，４ａがそれぞれ洗浄部３の底部
３ａより低く形成され、一方洗浄部３は、一定の横幅及
び深さを有するように形成されている。上記給液部２及
び排液部４の一部には、洗浄部３に隣接するように整流
手段用取付部２ｂ，４ｂが形成され、これらの取付部２
ｂ，４ｂに、洗浄液５の流れを一様なものに整流するた
めの整流手段７及び８がそれぞれ配設されている。ま
た、上記給液部２内には、洗浄液５を供給するための給
液手段９が上記整流手段７の上流側に配設されている。
幅W2及びW4がそれぞれ洗浄部３の横幅W3より広く形成さ
れると共に、底部２ａ，４ａがそれぞれ洗浄部３の底部
３ａより低く形成され、一方洗浄部３は、一定の横幅及
び深さを有するように形成されている。上記給液部２及
び排液部４の一部には、洗浄部３に隣接するように整流
手段用取付部２ｂ，４ｂが形成され、これらの取付部２
ｂ，４ｂに、洗浄液５の流れを一様なものに整流するた
めの整流手段７及び８がそれぞれ配設されている。ま
た、上記給液部２内には、洗浄液５を供給するための給
液手段９が上記整流手段７の上流側に配設されている。
【００１４】上記洗浄槽１は、洗浄液５の円滑な流れが
得られるように、平滑な表面を持ったステンレス等の金
属素材や、塩化ビニール等の合成樹脂素材によって形成
するのが好ましく、より好ましくは、合成樹脂によって
全体を一体に成型することである。このように合成樹脂
で全体を一体成型すると、洗浄液５が流れる部分、特に
洗浄部３に突起状の継ぎ目が形成されないため、この継
ぎ目の部分にワーク６から剥離した汚染物質が付着して
残留したり、該継ぎ目によって洗浄液５の流れが乱され
るといった不都合が生じない。また、継ぎ目からの発塵
も生じない。なお、上記洗浄槽１を合成樹脂で成形する
場合、該洗浄槽１の大きさや細部の形状等によっては全
体を一体成型することが難しいが、そのような場合に
は、少なくとも洗浄部３を流路に継ぎ目が形成されない
ように一体成型し、これに別成型した給液部２と排液部
４とを接合しても良い。
得られるように、平滑な表面を持ったステンレス等の金
属素材や、塩化ビニール等の合成樹脂素材によって形成
するのが好ましく、より好ましくは、合成樹脂によって
全体を一体に成型することである。このように合成樹脂
で全体を一体成型すると、洗浄液５が流れる部分、特に
洗浄部３に突起状の継ぎ目が形成されないため、この継
ぎ目の部分にワーク６から剥離した汚染物質が付着して
残留したり、該継ぎ目によって洗浄液５の流れが乱され
るといった不都合が生じない。また、継ぎ目からの発塵
も生じない。なお、上記洗浄槽１を合成樹脂で成形する
場合、該洗浄槽１の大きさや細部の形状等によっては全
体を一体成型することが難しいが、そのような場合に
は、少なくとも洗浄部３を流路に継ぎ目が形成されない
ように一体成型し、これに別成型した給液部２と排液部
４とを接合しても良い。
【００１５】上記給液側の整流手段７は、図３及び図４
からも分るように、多孔状をした複数（図示の例では３
枚）の整流板１１，１２，１３を有し、これらの整流板
を矩形状をした一つの保持枠１４に所要の間隔で着脱自
在に保持させることによりユニット化され、上記給液部
２における整流手段用取付部２ｂ内に、該給液部２と洗
浄部３との間の段部１５の部分に保持枠１４を位置させ
て、整流板１１，１２，１３の穿孔部のみを洗浄部３に
臨ませた状態で着脱自在に配設されている。
からも分るように、多孔状をした複数（図示の例では３
枚）の整流板１１，１２，１３を有し、これらの整流板
を矩形状をした一つの保持枠１４に所要の間隔で着脱自
在に保持させることによりユニット化され、上記給液部
２における整流手段用取付部２ｂ内に、該給液部２と洗
浄部３との間の段部１５の部分に保持枠１４を位置させ
て、整流板１１，１２，１３の穿孔部のみを洗浄部３に
臨ませた状態で着脱自在に配設されている。
【００１６】上記給液側整流手段７における各整流板１
１，１２，１３は、互いに同一構造であっても良いが、
この実施例では相互に異なる構造をしている。即ち、最
も上流側に位置する第１の整流板１１とその下流に位置
する第２の整流板１２とが、複数の通水孔１１ａ，１２
ａを穿設した金属製の穿孔プレートにより形成され、最
も下流側に位置する第３の整流板１３が、ナイロンやポ
リエステル、あるいはその他の合成繊維からなる比較的
目の粗い不織布状の繊維プレートで形成されている。
１，１２，１３は、互いに同一構造であっても良いが、
この実施例では相互に異なる構造をしている。即ち、最
も上流側に位置する第１の整流板１１とその下流に位置
する第２の整流板１２とが、複数の通水孔１１ａ，１２
ａを穿設した金属製の穿孔プレートにより形成され、最
も下流側に位置する第３の整流板１３が、ナイロンやポ
リエステル、あるいはその他の合成繊維からなる比較的
目の粗い不織布状の繊維プレートで形成されている。
【００１７】上記第１の整流板１１と第２の整流板１２
とは、図５及び図６に示すように、同一形状及び同一大
きさの通水孔１１ａと１２ａとを、第１の整流板１１に
おいては大きい間隔で粗に穿設し、第２の整流板１２に
おいては小さい間隔で密に穿設することにより、第１の
整流板１１の総通水孔面積が第２の整流板１２の総通水
孔面積より小さくなるように形成されている。上記第１
及び第２の整流板１２の通水孔１１ａ，１２ａの形状は
任意であり、図示したような横長の長孔であっても、縦
長の長孔であっても良く、円形又は多角形状のものであ
っても良い。あるいは形の異なる通水孔を混在させるこ
ともできる。通水孔を長孔とする場合には、２つの整流
板で通水孔を縦横異なる向きに形成することもできる。
とは、図５及び図６に示すように、同一形状及び同一大
きさの通水孔１１ａと１２ａとを、第１の整流板１１に
おいては大きい間隔で粗に穿設し、第２の整流板１２に
おいては小さい間隔で密に穿設することにより、第１の
整流板１１の総通水孔面積が第２の整流板１２の総通水
孔面積より小さくなるように形成されている。上記第１
及び第２の整流板１２の通水孔１１ａ，１２ａの形状は
任意であり、図示したような横長の長孔であっても、縦
長の長孔であっても良く、円形又は多角形状のものであ
っても良い。あるいは形の異なる通水孔を混在させるこ
ともできる。通水孔を長孔とする場合には、２つの整流
板で通水孔を縦横異なる向きに形成することもできる。
【００１８】また、第３の整流板１３を構成する繊維プ
レートとしては、洗浄液５に対する耐性を有し且つ発塵
しないものであればどのようなものでも良く、例えばビ
ルや工場等の空調用フィルターとして市販されているも
のを好適に使用することができる。このような繊維プレ
ートからなる第３の整流板１３においては、複数の通水
孔が間隔をおいてストレートに開口している上記第１及
び第２の整流板とは違い、絡み合った細い繊維の間に通
水孔が複雑に連なった状態で密に開口しているため、透
過した洗浄液５が拡散しにくく、一様な流れとなって流
出する。特に、このような繊維製の整流板１３を穿孔プ
レートからなる上記第１及び第２の整流板１１，１２と
組み合わせて使用し、これら第１及び第２の整流板１
１，１２で洗浄液５の流速を十分減殺したあと該整流板
１３を透過させた場合に、最も良好な整流効果が得られ
ることが多くの実験により確かめられている。
レートとしては、洗浄液５に対する耐性を有し且つ発塵
しないものであればどのようなものでも良く、例えばビ
ルや工場等の空調用フィルターとして市販されているも
のを好適に使用することができる。このような繊維プレ
ートからなる第３の整流板１３においては、複数の通水
孔が間隔をおいてストレートに開口している上記第１及
び第２の整流板とは違い、絡み合った細い繊維の間に通
水孔が複雑に連なった状態で密に開口しているため、透
過した洗浄液５が拡散しにくく、一様な流れとなって流
出する。特に、このような繊維製の整流板１３を穿孔プ
レートからなる上記第１及び第２の整流板１１，１２と
組み合わせて使用し、これら第１及び第２の整流板１
１，１２で洗浄液５の流速を十分減殺したあと該整流板
１３を透過させた場合に、最も良好な整流効果が得られ
ることが多くの実験により確かめられている。
【００１９】かくして上記給液側整流手段７において
は、給液手段９から供給された洗浄液５が第１及び第２
の整流板１１，１２を順次通過することにより、その流
速を次第に減殺されると共に乱流を矯正され、全液深に
ついてほぼ均一な流れに整流された後、繊維プレートか
らなる第３の整流板１３を通過することにより更に整流
され、層流状をした一様な流れとなって洗浄部３に送り
出される。
は、給液手段９から供給された洗浄液５が第１及び第２
の整流板１１，１２を順次通過することにより、その流
速を次第に減殺されると共に乱流を矯正され、全液深に
ついてほぼ均一な流れに整流された後、繊維プレートか
らなる第３の整流板１３を通過することにより更に整流
され、層流状をした一様な流れとなって洗浄部３に送り
出される。
【００２０】また、上記保持枠１４と整流板１１，１２
の周囲の無孔部分とを、給液部２と洗浄部３との間の段
部１５の部分に位置させ、該整流板１１，１２の穿孔部
のみを洗浄部３に臨ませているため、上記保持枠１４及
び無孔部分によって洗浄液５の流れが全く乱されること
がなく、洗浄液５の一様な流れを確実に得ることができ
る。しかも、ユニット化された上記整流手段７の給液部
２からの着脱や、各整流板毎の交換、洗浄槽１や整流手
段７の清掃などを簡単に行うことができるため、保守、
管理も非常に容易である。
の周囲の無孔部分とを、給液部２と洗浄部３との間の段
部１５の部分に位置させ、該整流板１１，１２の穿孔部
のみを洗浄部３に臨ませているため、上記保持枠１４及
び無孔部分によって洗浄液５の流れが全く乱されること
がなく、洗浄液５の一様な流れを確実に得ることができ
る。しかも、ユニット化された上記整流手段７の給液部
２からの着脱や、各整流板毎の交換、洗浄槽１や整流手
段７の清掃などを簡単に行うことができるため、保守、
管理も非常に容易である。
【００２１】一方、排液側の整流手段８は、複数の通水
孔１８ａ，１９ａをそれぞれ穿設した金属製の穿孔プレ
ートからなる第１及び第２の２枚の整流板１８，１９を
備えている。これらの整流板１８，１９は、通水孔１８
ａ，１９ａの孔数、孔径、孔ピッチを互いに同じにし
て、第１の整流板１８を排液部４と洗浄部３との間の段
部２１の部分に固定的に取り付けると共に、第２の整流
板１９を該第１の整流板１８に上下摺動自在なるように
重ねて配設したもので、該第２の整流板１９を上下に摺
動させて通水孔１８ａ，１９ａの重なり具合を調節する
ことにより、それらの開口面積を変化させて洗浄液５の
流速を調節できるようにしている。上記整流板１８，１
９の通水孔１８ａ，１９ａの形状は任意であって、円形
や楕円形、又は矩形、あるいは矩形以外の多角形など、
所望の形状とすることができる。
孔１８ａ，１９ａをそれぞれ穿設した金属製の穿孔プレ
ートからなる第１及び第２の２枚の整流板１８，１９を
備えている。これらの整流板１８，１９は、通水孔１８
ａ，１９ａの孔数、孔径、孔ピッチを互いに同じにし
て、第１の整流板１８を排液部４と洗浄部３との間の段
部２１の部分に固定的に取り付けると共に、第２の整流
板１９を該第１の整流板１８に上下摺動自在なるように
重ねて配設したもので、該第２の整流板１９を上下に摺
動させて通水孔１８ａ，１９ａの重なり具合を調節する
ことにより、それらの開口面積を変化させて洗浄液５の
流速を調節できるようにしている。上記整流板１８，１
９の通水孔１８ａ，１９ａの形状は任意であって、円形
や楕円形、又は矩形、あるいは矩形以外の多角形など、
所望の形状とすることができる。
【００２２】上記２枚の整流板１８，１９は、第１の整
流板１８の高さを第２の整流板１９よりやや高くして、
洗浄液５の一部がこれらの整流板をオーバーフローする
ように配設されており、第１の整流板１８の上縁には、
図７に示すように、Ｖ字形をした流水用の切欠き１８ｂ
が一定間隔で複数切設され、これらの切欠き１８ｂによ
って、オーバーフローする洗浄液５の上層の流れを安定
化させている。上記２枚の整流板１８，１９は、給液側
整流手段７の場合と同様に、適宜の保持枠２０に保持さ
せ、該保持枠２０を上記段部２１の部分に位置させて、
穿孔部のみを洗浄部３に臨ませた状態で配設することが
できる。この結果、上記保持枠２０及び整流板１８，１
９の周囲の無孔部分によって洗浄液５の流れが乱されな
いため、排液側においても整流板１８，１９の取付機構
による洗浄液５の乱れが確実に防止され、整流効果が一
層向上することになる。
流板１８の高さを第２の整流板１９よりやや高くして、
洗浄液５の一部がこれらの整流板をオーバーフローする
ように配設されており、第１の整流板１８の上縁には、
図７に示すように、Ｖ字形をした流水用の切欠き１８ｂ
が一定間隔で複数切設され、これらの切欠き１８ｂによ
って、オーバーフローする洗浄液５の上層の流れを安定
化させている。上記２枚の整流板１８，１９は、給液側
整流手段７の場合と同様に、適宜の保持枠２０に保持さ
せ、該保持枠２０を上記段部２１の部分に位置させて、
穿孔部のみを洗浄部３に臨ませた状態で配設することが
できる。この結果、上記保持枠２０及び整流板１８，１
９の周囲の無孔部分によって洗浄液５の流れが乱されな
いため、排液側においても整流板１８，１９の取付機構
による洗浄液５の乱れが確実に防止され、整流効果が一
層向上することになる。
【００２３】なお、上記排液側整流手段８における２枚
の整流板１８，１９には、それらの下端の両側端部に切
欠き２２を設けておくことが望ましく、これにより、上
層部に比べて流速が遅くなり易い洗浄液５の下層部の流
速を上層部や中層部に合せて速めることができると共
に、ワーク６から剥離した汚染物質のうち比較的比重の
大きいものをこの切欠き２２を通じて流出させることが
できる。
の整流板１８，１９には、それらの下端の両側端部に切
欠き２２を設けておくことが望ましく、これにより、上
層部に比べて流速が遅くなり易い洗浄液５の下層部の流
速を上層部や中層部に合せて速めることができると共
に、ワーク６から剥離した汚染物質のうち比較的比重の
大きいものをこの切欠き２２を通じて流出させることが
できる。
【００２４】また、給液部２に設けられた上記給液手段
９は、図示しない洗浄液源に通じる導管２５の下端に水
平に取り付けられた吐出管２６を有していて、該吐出管
２６の側面に上記整流手段７側とは半体の側に向けて形
成された複数の吐出口２６ａを通じて洗浄液５を吐出す
るもので、上記吐出管２６は、吐出口２６ａが洗浄液５
の液面とほぼ同じ高さを占めるように配設されている。
しかし、給液手段９は上記の構成に限定されない。
９は、図示しない洗浄液源に通じる導管２５の下端に水
平に取り付けられた吐出管２６を有していて、該吐出管
２６の側面に上記整流手段７側とは半体の側に向けて形
成された複数の吐出口２６ａを通じて洗浄液５を吐出す
るもので、上記吐出管２６は、吐出口２６ａが洗浄液５
の液面とほぼ同じ高さを占めるように配設されている。
しかし、給液手段９は上記の構成に限定されない。
【００２５】更に、上記洗浄槽１における洗浄部３に
は、ワーク６を洗浄液５内において下流側から上流側に
向けて向流的に搬送可能な搬送手段２８と、洗浄効果を
高めるための少なくとも一つの超音波照射手段２９とが
設けられている。上記搬送手段２８は、洗浄部３の両側
壁に一定間隔をおいて回転自在に取り付けられた複数の
搬送ローラ３１を有していて、これらのローラ３１を図
示しない電動モータで回転させることにより、ワーク６
を水平に支持した状態で搬送するようにしたものであ
る。しかし、搬送手段２８はこのような構成のものに限
定されない。また、ワーク６を鉛直且つ洗浄液５の流れ
と平行に支持して搬送するように構成することもでき
る。
は、ワーク６を洗浄液５内において下流側から上流側に
向けて向流的に搬送可能な搬送手段２８と、洗浄効果を
高めるための少なくとも一つの超音波照射手段２９とが
設けられている。上記搬送手段２８は、洗浄部３の両側
壁に一定間隔をおいて回転自在に取り付けられた複数の
搬送ローラ３１を有していて、これらのローラ３１を図
示しない電動モータで回転させることにより、ワーク６
を水平に支持した状態で搬送するようにしたものであ
る。しかし、搬送手段２８はこのような構成のものに限
定されない。また、ワーク６を鉛直且つ洗浄液５の流れ
と平行に支持して搬送するように構成することもでき
る。
【００２６】上記のような搬送手段２８でワーク６を洗
浄液５に対して向流的に移動させることにより、洗浄液
５の実際の流速は速めることなく、ワーク６との間の相
対的な流速を速めることができ、この結果、少ない洗浄
液によって効率良く洗浄を行うことができる。特に、こ
のような搬送手段２８を設けて洗浄液の使用量を減らす
ことは、洗浄液５として高価な純水や超純水を使用する
場合に有効である。また、高価な洗浄液の消費量を減ら
して一層経済性を高めるため、上記給液部２と排液部４
との間には、洗浄液５を循環的に再使用するための循環
機構３３を設けることができる。この循環機構３３は、
排液部４から排出された洗浄液５を受けるためのリザー
バタンク３４と、該リザーバタンク３４内の洗浄液５を
給液部２に圧送するためのポンプ３５と、該洗浄液５を
浄化するためのフィルタ３６とを有するものとして構成
することが望ましい。
浄液５に対して向流的に移動させることにより、洗浄液
５の実際の流速は速めることなく、ワーク６との間の相
対的な流速を速めることができ、この結果、少ない洗浄
液によって効率良く洗浄を行うことができる。特に、こ
のような搬送手段２８を設けて洗浄液の使用量を減らす
ことは、洗浄液５として高価な純水や超純水を使用する
場合に有効である。また、高価な洗浄液の消費量を減ら
して一層経済性を高めるため、上記給液部２と排液部４
との間には、洗浄液５を循環的に再使用するための循環
機構３３を設けることができる。この循環機構３３は、
排液部４から排出された洗浄液５を受けるためのリザー
バタンク３４と、該リザーバタンク３４内の洗浄液５を
給液部２に圧送するためのポンプ３５と、該洗浄液５を
浄化するためのフィルタ３６とを有するものとして構成
することが望ましい。
【００２７】上記構成を有する洗浄装置において、給液
手段９の吐出杆２６から給液部２に供給された洗浄液５
は、給液側整流手段７における第１、第２及び第３の整
流板１１，１２，１３を次々に通過する間に整流され、
一様な流れとなって洗浄部３を排液部４に向かって流れ
ていき、排液側整流手段８における第１及び第２の整流
板１８，１９を通過すると共に、一部がこれらの整流板
をオーバーフローして排液部４に流入し、外部に排出さ
れる。上記循環機構３３が設けられている場合には、洗
浄液５が濾過により清浄化され、循環的に再使用され
る。
手段９の吐出杆２６から給液部２に供給された洗浄液５
は、給液側整流手段７における第１、第２及び第３の整
流板１１，１２，１３を次々に通過する間に整流され、
一様な流れとなって洗浄部３を排液部４に向かって流れ
ていき、排液側整流手段８における第１及び第２の整流
板１８，１９を通過すると共に、一部がこれらの整流板
をオーバーフローして排液部４に流入し、外部に排出さ
れる。上記循環機構３３が設けられている場合には、洗
浄液５が濾過により清浄化され、循環的に再使用され
る。
【００２８】被洗浄物であるワーク６が図示しないロー
ディング手段により洗浄部３の下流端において搬送ロー
ラ３１上に置かれると、該ワーク６は、各搬送ローラ３
１により上流側に向かって向流的に搬送され、その間に
洗浄液５により洗浄されたあと、上流端において図示し
ないアンローディング手段により取り出される。上記ワ
ーク６から剥離した汚染物質は、洗浄液５の流れに乗っ
て確実にワーク６から離れ、該ワーク６に再付着するこ
となく排液部４から排出される。
ディング手段により洗浄部３の下流端において搬送ロー
ラ３１上に置かれると、該ワーク６は、各搬送ローラ３
１により上流側に向かって向流的に搬送され、その間に
洗浄液５により洗浄されたあと、上流端において図示し
ないアンローディング手段により取り出される。上記ワ
ーク６から剥離した汚染物質は、洗浄液５の流れに乗っ
て確実にワーク６から離れ、該ワーク６に再付着するこ
となく排液部４から排出される。
【００２９】
【発明の効果】このように本発明の流水式洗浄装置によ
れば、少なくとも給液部の横幅を洗浄部の横幅より広く
すると共に、給液部の底部を洗浄部の底部より低くし、
給液側整流手段における整流板の保持枠を上記給液部と
洗浄部との間の段部の部分に位置させて、整流板の穿孔
部のみを洗浄部に臨ませるようにしたので、上記保持枠
や整流板の周囲の無孔部分等によって洗浄液の流れが乱
されることがなく、洗浄液を一様な流れに確実に整流す
ることができる。また、上記給液側整流手段を、複数の
整流板を一つの保持枠に着脱自在に保持させることによ
りユニット化しているため、その着脱や、各整流板の交
換、清掃などを簡単に行うことができ、このため保守、
管理が容易である。しかも、複数の整流板によって整流
を多段階に行うことにより、洗浄液の流れを層流状をし
た一様な流れに確実に整えることができる。
れば、少なくとも給液部の横幅を洗浄部の横幅より広く
すると共に、給液部の底部を洗浄部の底部より低くし、
給液側整流手段における整流板の保持枠を上記給液部と
洗浄部との間の段部の部分に位置させて、整流板の穿孔
部のみを洗浄部に臨ませるようにしたので、上記保持枠
や整流板の周囲の無孔部分等によって洗浄液の流れが乱
されることがなく、洗浄液を一様な流れに確実に整流す
ることができる。また、上記給液側整流手段を、複数の
整流板を一つの保持枠に着脱自在に保持させることによ
りユニット化しているため、その着脱や、各整流板の交
換、清掃などを簡単に行うことができ、このため保守、
管理が容易である。しかも、複数の整流板によって整流
を多段階に行うことにより、洗浄液の流れを層流状をし
た一様な流れに確実に整えることができる。
【図１】本発明に係る洗浄装置の一実施例を示す縦断面
図である。
図である。
【図２】図１の部分破断平面図である。
【図３】図１の要部拡大図である。
【図４】図２の要部拡大図である。
【図５】給液側整流手段における第１の整流板の正面図
である。
である。
【図６】給液側整流手段における第２の整流板の正面図
である。
である。
【図７】排液側整流手段における第１の整流板の正面図
である。
である。
１ 洗浄槽 ２ 給液部 ３ 洗浄部 ４ 排液部 ２ａ，３ａ，４ａ 底部 ５ 洗浄液 ６ ワーク ７，８ 整流手段 ９ 給液手段 １４ 保持枠 １１，１２，１３，１８，１９ 整流板 １１ａ，１２ａ，１８ａ，１９ａ 通水孔 １５，２１ 段部 ２８ 搬送手段 ２９ 超音波照射手段 ３３ 循環機構 ３４ リザーバタンク ３５ ポンプ ３６ フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−63086（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−210091（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−106011（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−130389（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B08B 3/00 - 3/14
Claims (7)
- 【請求項１】洗浄液を供給するための給液部と、洗浄液
を排出するための排液部と、これらの給液部と排液部と
の間に位置する、給液部から排液部へ流れる洗浄液中に
ワークを浸漬して洗浄するための洗浄部とを備え、上記
給液部及び排液部のうち少なくとも給液部が、横幅を洗
浄部の横幅より広く形成されると共に底部を洗浄部の底
部より低く形成された整流手段用取付部を有する洗浄
槽； 多孔状をした複数の整流板を有していて、これらの整流
板を一つの保持枠に保持させることによりユニット化さ
れ、上記給液部の整流手段用取付部内に、洗浄部との間
の段部の部分に上記保持枠を位置させることにより、整
流板の穿孔部のみを洗浄部に臨ませた状態で着脱自在に
配設された給液側整流手段； 上記給液部内に整流手段よりも上流側に配設された、該
給液部内に洗浄液を供給するための給液手段； 上記排液部に配設された、多孔状の整流板からなる排液
側整流手段； を有することを特徴とする流水式洗浄装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の流水式洗浄装置におい
て、上記洗浄槽における少なくとも洗浄部が、全体とし
て合成樹脂で一体に成型されているもの。 - 【請求項３】請求項１又は２に記載の流水式洗浄装置に
おいて、上記洗浄槽における排液部が、横幅を洗浄部の
横幅より広く形成されると共に底部を洗浄部の底部より
低く形成された整流手段用取付部を有し、該取付部に、
排液側整流手段における整流板が、穿孔部のみを洗浄部
に臨ませた状態で配設されているもの。 - 【請求項４】請求項１乃至３の何れかに記載の流水式洗
浄装置において、上記排液部側の整流手段が、通水孔の
孔数、孔径、孔ピッチを同じにした２枚の多孔状の整流
板を有していて、これらの整流板を相対的に変移自在な
るように重設することによって通水孔の開口面積を調節
自在としたもの。 - 【請求項５】請求項１乃至４の何れかに記載の流水式洗
浄装置において、上記洗浄槽が、ワークを洗浄液内にお
いて下流側から上流側に向けて向流的に搬送可能な搬送
手段を有するもの。 - 【請求項６】請求項１乃至５の何れかに記載の流水式洗
浄装置において、上記給液部と排液部との間に洗浄液を
循環的に再使用するための循環機構を有し、該循環機構
が、排液部から排出された洗浄液を受けるためのリザー
バタンクと、該リザーバタンク内の洗浄液を給液部に圧
送するためのポンプと、該洗浄液を浄化するためのフィ
ルタとを有するもの。 - 【請求項７】請求項１乃至６の何れかに記載の流水式洗
浄装置において、上記洗浄部に、超音波を照射するため
の超音波照射手段を有するもの。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8040580A JP3012189B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | 流水式洗浄装置 |
| US08/714,356 US5709235A (en) | 1996-02-02 | 1996-09-16 | Running water type washing machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8040580A JP3012189B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | 流水式洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09206708A JPH09206708A (ja) | 1997-08-12 |
| JP3012189B2 true JP3012189B2 (ja) | 2000-02-21 |
Family
ID=12584438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8040580A Expired - Fee Related JP3012189B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | 流水式洗浄装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5709235A (ja) |
| JP (1) | JP3012189B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| DE69732392T8 (de) * | 1996-06-24 | 2006-04-27 | Interuniversitair Microelectronica Centrum Vzw | Vorrichtung und Verfahren zur Nassreinigung oder zum Ätzen eines flachen Substrats |
| KR100226548B1 (ko) * | 1996-12-24 | 1999-10-15 | 김영환 | 웨이퍼 습식 처리 장치 |
| US6132523A (en) * | 1997-09-19 | 2000-10-17 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of cleaning a substrate in a cleaning tank using plural fluid flows |
| US6080361A (en) * | 1997-09-22 | 2000-06-27 | Borovsky; Simcha | Contact lens cleaning and disinfecting system |
| US6029479A (en) * | 1998-03-11 | 2000-02-29 | Pattee; Harley J. | Fine particle lint filter |
| WO2000030689A1 (en) * | 1998-11-23 | 2000-06-02 | Simcha Borovsky | Contact lens cleaning and disinfecting system |
| KR100791864B1 (ko) * | 1999-08-05 | 2008-01-07 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 세정 기구, 세정 시스템, 처리 기구 및 세정 방법 |
| TWI233763B (en) * | 1999-12-17 | 2005-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of manufacturing a circuit board |
| US6802323B1 (en) * | 2001-05-04 | 2004-10-12 | Isurgical, Llc | Method and apparatus for storing guide wires |
| DE102005012244B4 (de) * | 2005-03-15 | 2008-12-24 | Rena Sondermaschinen Gmbh | Verfahren zur Reinigung von Gegenständen mittels Ultraschall |
| JP4813233B2 (ja) * | 2006-04-04 | 2011-11-09 | ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ | 洗浄装置及び洗浄方法 |
| DE202006014931U1 (de) * | 2006-09-28 | 2006-11-30 | Ritzer, Josef | Vorrichtung zum Reinigen von Backblechen |
| SG144040A1 (en) * | 2006-12-27 | 2008-07-29 | Siltronic Ag | Cleaning liquid and cleaning method for electronic material |
| MY147281A (en) * | 2008-07-31 | 2012-11-30 | Invenpro M Sdn Bhd | An apparatus for washing a workpiece |
| JP2010131524A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Showa Denko Kk | 流水式洗浄方法及び流水式洗浄装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2713347A (en) * | 1952-07-30 | 1955-07-19 | Hazy Lily | Combination rapid or slow rinser with movable partitions |
| US4135530A (en) * | 1975-09-15 | 1979-01-23 | Litton Industrial Products, Inc. | Rinsing tank |
| JPS61130389A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-18 | Nishi Nippon Tsusho Kk | 冷凍機油組成物 |
| US4955402A (en) * | 1989-03-13 | 1990-09-11 | P.C.T. Systems, Inc. | Constant bath system with weir |
-
1996
- 1996-02-02 JP JP8040580A patent/JP3012189B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-09-16 US US08/714,356 patent/US5709235A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5709235A (en) | 1998-01-20 |
| JPH09206708A (ja) | 1997-08-12 |
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