JP3006090B2

JP3006090B2 - グリーンシートの製造方法並びにグリーンシートの検査方法及びその装置

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Publication number: JP3006090B2
Application number: JP40305590A
Authority: JP
Inventors: 峰生野本; 隆典二宮
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Filing date: 1990-12-18
Publication date: 2000-02-07
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Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はセラミック基板用グリー
ンシートの製造方法およびグリーンシート表面を光学的
に検査する欠陥検出方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のセラミック基板やハイブリッドＩ
Ｃ等の製造方法として、サーキットテクノロジ，Ｖｏｌ
４，Ｎｏ３，ＰＰ１５１〜１５５（１９８９）に論じら
れている。また、セラミック基板やハイブリッドＩＣ等
の表面に生じる微小凹凸欠陥を検出する方法として、特
開昭６１−２８３８５７，特開平１−２５０８１０公報
で開示されている方法がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、グ
リーンシート表面の微小凹凸欠陥「しわ」，「すじ」，
「ふくれ」，「へこみ」，「ひび割れ」，「ブローホー
ル」などは、目視で検査して、不良品を排除している。
人間の目視による作業では、５μｍ程度の微小欠陥を検
出するのは困難であり、検査員の疲労等から欠陥を見逃
したり、作業者によって検査基準が異なったりして、不
良品を後工程に回し、印刷時のにじみ不良によるパター
ンショートや、積層はがれが生じるという課題を有して
いた。

【０００４】本発明の目的は、上記課題を解決すべくキ
ャスティング工程後のグリーンシートの不良部分あるい
は不良シートを確実に排除し、良品グリーンシートのみ
に回路パターンを印刷して、印刷にじみによる、パター
ンショート欠陥や、積層不良を生じさせない、グリーン
シートの製造方法を提供することである。

【０００５】また本発明の他の目的は、グリーンシート
表面に生じる、なだらかな傾斜を有している微小凹凸欠
陥を顕在化して確実に検出できるようにした欠陥の検出
方法を提供することにある。

【０００６】また本発明の他の目的は、グリーンシート
表面のなだらかな傾斜をした微小凹凸欠陥を顕在化する
と共にひび割れやブローホール等の欠陥検出についても
配慮してこれらの欠陥をも確実に検出できるようにした
欠陥の検出方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、キャスティング工程後に、グリーンシートを光学的
に検出する手段を設け、その結果から良品グリーンシー
トを選択して、パターン印刷するようにした。

【０００８】第１の手段は、スラリーをシート状のグリ
ーンシートに乾燥した直後の表面状態を光学的に検査し
て、良品部を選択後、切断してパターン印刷する。

【０００９】第２の手段は、キャスティング工程後のグ
リーンシートを適当な大きさに切断後、シート毎に光学
的に検査して、良品シートを選択してパターン印刷す
る。

【００１０】また上記光学的検査を達成するために、低
角度で斜方照明する手段と、透過照明する手段によりグ
リーンシートの画像を検出し、検出した画像を平滑化す
る手段と、平滑化後に２次微分する手段と、２次微分画
像を２値化することにより、グリーンシートの欠陥を検
出するようにした。

【００１１】上記低角度で斜方照明する手段は、グリー
ンシートのキャスティング工程の進行方向に対して、３
０°〜９０°の斜め方向から照射し、且つ、グリーンシ
ートの表面から１５°以内の低い角度で照明するように
した。

【００１２】

【作用】セラミック基板は、アルミナやムライトを主成
分とした粉末と溶剤が混合している液状のスラリーをキ
ャスティング工程で乾燥して、生シートのグリーンシー
トを作成し、スルーホール形成、導体充填、導体印刷、
積層・焼結して完成する。上記キャスティング工程で
は、液状のスラリーを乾燥炉内で連続送りしながら長時
間乾燥させて、厚さ０．２mm程度のやわらかいグリーン
シートにする。この乾燥状態の不具合、例えば、乾燥温
度，湿度，乾燥炉内の風量，風速等の変動により、図１
１に示すようにグリーンシート表面に高さあるいは深さ
が５〜２０μｍ、幅あるいは直径が０．１mm〜２mm程度
のなだらかな傾斜を有している微小な凹凸欠陥、「し
わ」（図１１（ａ）に示す。），「すじ」（図１１
（ｂ）に示す。），「ふくれ」（図１１（ｃ）に示
す。），「へこみ」（図１１（ｄ）に示す。

【００１３】）などの欠陥が生じたり、「ひび割れ」，
「ブローホール」（図１１（ｄ）に示す。）などの欠陥
が生じたりする。これらの欠陥が生じているグリーンシ
ートに、導体をスクリーン印刷すると、図９（ｂ）に示
すように、印刷にじみが生じ、パターンがショートする
要因となる。

【００１４】また、「ひび割れ」や、「ブローホール」
などがあると、積層・焼結時にグリーンシート同志の接
着力が低下し、積層はがれが生じる。

【００１５】本発明では、キャスティング工程直後のグ
リーンシートの表面状態を光学的に検査するため、表面
の「しわ」，「すじ」，「ふくれ」，「へこみ」や内部
に生じている「ひび割れ」，「ブローホール」などの欠
陥が生じている部分を除いて、シート状の良品部あるい
は切断後の良品シートのみをパターン印刷や積層するこ
とができるためグリーンシート製造工程で、パターン印
刷時のにじみ不良によるパターンショートや、積層はが
れを生じることはない。つぎに、光学的検査の個々の作
用を説明する。

【００１６】グリーンシートの表面に生じる「しわ」，
「すじ」状の欠陥は図８で示すようにキャスティング工
程のグリーンシートが進む方向に沿って生じる。このた
めキャスティング工程のグリーンシートが進む方向に対
して、３０°〜９０°の方向から低角度の斜方照明をす
ると、なだらかな傾斜をしている「しわ」，「すじ」の
斜面を明るく照明できる。また「へこみ」，「ふくれ」
などの局部的な凹凸の斜面も明るく照明できるため、グ
リーンシート表面の凹凸欠陥の斜面を明るく検出するこ
とができる。

【００１７】図５，６はグリーンシート等の表面がほぼ
完全な拡散面をしている表面の、傾斜部の検出原理を示
した図である。

【００１８】斜方θよりグリーンシートを照明し、上方
より画像を検出した場合、シート上の１点Ａの単位面積
当りの検出光量Ｉは次式で表わされる。

【００１９】点Ａでの単位面積当りの照明光強度はＩ₀×sin（θ＋α）となり、検出光量ＩはＩ＝Ｉ₀×sin（θ＋α）×sin（９０°−α） ──
（１）となる。ここで照明光の絶対強度Ｉ₀，拡散表面の反射
効率，検出系の損失等の定数を含めてＣとして表わし、
（１）式を正規化するとＩ＝Ｃ（sin（２α＋θ）＋sinθ） ──
（２）となる。ここに、αは１点Ａにおけるシート表面の傾
き、Ｃは定数、また、グリーンシート表面は完全拡散面
であると仮定している。

【００２０】図６は、グリーンシート表面に傾斜角αお
よび−αの斜面があったとき、これによって生じるコン
トラストの計算値を照明角度θを横軸にとって示したも
のである。傾斜角αが０．３°，（高さ５μｍ，幅９５
０μｍ）のなだらかな傾斜の欠陥では、照明角θが１５
°以下でコントラストが急激に増加し、照明角θが１０
°のとき０．０３以上になっている。そこでコントラス
トが急激に増加する角度１５°以内で照明すると、拡散
反射するグリーンシート表面の「しわ」，「すじ」，
「へこみ」，「ふくれ」などの、なだらかな傾斜部を明
るく検出でき光学的に顕在化することができる。

【００２１】また、ひび割れ、ブローホール欠陥は、欠
陥部が他の良品部より、断面形状が薄くなっている。
（図８（ｂ））このため透過照明すると、欠陥部分の透
過光量が良品部より多くなり明るく検出され、図８
（ａ）のような画像信号となり、光学的に顕在化でき
る。

【００２２】次に顕在化した光学像の画像処理作用につ
いて説明する。図７参照グリーンシートは数μｍ以下の
粒径のアルミナやムライトが主成分の軟かいシートであ
り、表面は微小な凹凸をしており、この凹凸が検出画像
のノイズ成分となる。このため平滑化処理により検出し
た画像の近傍領域におけるノイズ出力の平均化を行ない
ノイズ成分を除去する。

【００２３】平滑化後の画像信号コントラストは上述し
たように０．０３程度と微弱である。そこで２次微分画
像処理により、微小な明るさ変化を強調することによ
り、コントラストを向上させ、この２次微分画像を２値
化処理して、ある閾値以上の出力が表われた場合、欠陥
ありとして検出することができる。

【００２４】また、キャスティング工程後のグリーンシ
ートを検査することにより、キャスティング装置に及ぼ
す作用について説明する。

【００２５】グリーンシートの重要な性能の一つとし
て、シートが伸び縮みなどの変化を起こさないことが上
げられる。そこでムライトやアルミナ等の原材料と溶剤
とを長時間かけて多量にボールミル等で混合して特定物
質の偏析を無くして、スラリーとする。この均一に混合
された多量のスラリーをシート状にする、キャスティン
グ装置は数時間以上の長時間連続運転してグリーンシー
トを製作する。このキャスティング条件に不具合がある
と、ひび割れや、すじ，しわ等の欠陥が生じ不良グリー
ンシート長時間作製することになる。そこで、キャステ
ィング直後のグリーンシートを、光学的に検査すること
で、キャスティングの状態を監視することができる。こ
の検査結果をキャスティング装置にフィードバックし
て、キャスティング条件に不良があったとしても乾燥温
度，風量，湿度等をコントロールして短時間で最適条件
を整えてグリーンシートを製造することができる。この
ため、長時間かけて不良シートを作成することもなくな
る。

【００２６】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１は本発明の１実施例を示す図で、グリーンシート製造
工程から多層セラミック基板が出来上がる工程を示した
ものである。

【００２７】グリーンシート１ａはベルト状のマイラー
テープ２上に原料のスラリー（液状）３を流し込み、所
望の厚さになるようドクターブレード４の高さを調節す
る。マイラーテープ２上のスラリー３は一定の厚さとな
って乾燥炉５中を矢印Ａ方向に運ばれ、スラリー３の溶
剤がここで蒸発し、グリーンシート１ａとなる。乾燥炉
５から進んできたグリーンシート１ａを光学検査装置６
で検査し、カッタ７で所望の大きさに切断する。所望の
大きさに切断されたグリーンシート１ｂは、ここで不良
品を排除し、良品グリーンシート１ｂのみに、スルホー
ルを形成し、導体充填する。（この工程の図示は略す）
次にスクリーン８ａに導体ペースト９をのせ、スキージ
ー８ｂを矢印Ｂ方向に移動させてパターン印刷する。パ
ターン印刷したグリーンシート１０を積層・焼結１１し
て、多層セラミック基板１２をつくる。

【００２８】本実施例では、乾燥炉５から進んできた直
後のグリーンシートを検査することができるため、パタ
ーン印刷前に、微小凹凸や、ひび割等の欠陥を光学的に
検査して、不良シートを排除できる製造方法であるた
め、パターン印刷時ににじみを生じて、ショートが生じ
たり、積層はがれが生じることが大幅に低減される。

【００２９】また、グリーンシートを光学的に検査する
ことにより、欠陥の発生状況から乾燥炉の乾燥条件やス
ラリーの状態をモニタすることもできるため、検査結果
をキャスティング装置にフィードバックすることにより
キャスティングの状態を最適に保てる効果もある。

【００３０】図２は本発明の他の実施例を示したもので
ある。図１の発明と異なる点は、グリーンシート１ａを
切断後のグリーンシート１ｂを光学的に検査する点であ
り、他の構成と動作は図１と同じである。本実施例にお
いても、第１の実施例と同様な効果が得られることは明
らかである。

【００３１】次に本発明に係る光学検査装置１３の１実
施例について、図３を用いて説明する。図３は図２のグ
リーンシートを切断後の光学検査装置の一実施例であ
る。グリーンシート１ｂは透明ホルダ２１に保持されて
いる。グリーンシート１ｂの上方には、斜方照明ユニッ
ト２２が配され、照明角θ１５°以内でグリーンシート
１ｂを照明している。グリーンシート１ｂの下方には、
透過照明ユニット２３が配され、グリーンシート１ｂを
透過照明する。グリーンシート１ｂの上方には、レンズ
２４、検査器２５が配され、グリーンシート１ｂが照明
されている箇所を検出する。グリーンシート１ｂを載置
している透明ホルダはモータ２６と送りネジ２７により
矢印Ｘ方向に往復移動する。レンズ２４によって投影さ
れたグリーンシート表面の明暗増は検出器２５で画像信
号に変換されＡ／Ｄ変換器２８でディジタル信号とな
る。次にシェーディング補正回路２９で照明系の明るさ
むらや、検出器の感度ムラの補正を行ない、平滑化回路
３０でグリーンシート表面の微小凹凸により生じる画像
信号のノイズ成分を平均化してなめらかにし、２次微分
回路３１で２次微分処理を行なう。次にこの画像信号を
２値化回路３２で２値化処理して欠陥を抽出する。グリ
ーンシートの表面の「すじ」，「しわ」等の欠陥は、図
１０に示すようにキャスティング工程の進行方向に平行
に生じやすいため、キャスティング方向に対し、９０°
に近い方向から照明すると、しわ，すじ欠陥の検出能力
が向上する。又斜方照明ユニット２２、透過照明ユニッ
ト２３は、光ファイバーや、ＬＥＤを配列してライン状
の細長い照明にすることによってグリーンシート１の幅
全体を一様に照明できる。光ファイバーを用いる場合
は、光源にハロゲンランプや、水銀灯、キセノン灯、キ
セノン水銀灯など（図示せず）を用い、ライトガイド３
１，４１で導けば、ライン状の均一照明ができる。ＬＥ
Ｄを用いる場合は、指向性の強いタイプのＬＥＤを直線
状に配列して、明るくて均一な照明にすると、より効果
がある。

【００３２】次に動作を説明する。

【００３３】グリーンシート１ｂはモータ２６と送りネ
ジ２７により矢印Ｘ方向に移動し、検出器２５により順
次画像を検出する。このとき矢印Ｘ₁方向に移動すると
き斜方照明ユニット２２で照明した画像を検出し（この
とき透過照明ユニットはＯＦＦにしておく）矢印Ｘ₂方
向に移動するとき透過照明ユニット２３で照明した画像
を検出する。（このとき斜方照明ユニット２２はＯＦＦ
にしておく）このように斜方照明と透過照明を切り替え
ることにより表面に生じる欠陥（すじ，しわ，ふくれ，
へこみ等）と、表面から内部に生じる欠陥（ひび割れ，
ブローホール欠陥）を図７（ａ），図８に示すように光
学的に顕在化することができる。画像検出後の画像処理
も表面検出の場合と内部検出の場合で独立に行なう。検
出した画像４０（図７（ａ）に示す。）はＡ／Ｄ変換器
２８でディジタル信号に変換し、照明光照度の不均一性
や検出器の感度の不均一性を補正するためシェーディン
グ補正回路２９で感度補正を行なう。この補正回路２９
には、特開昭５８−１５３３２８で開示されている方式
を用いればよい。感度補正された画像信号は、平滑化回
路３０で２次元領域での画像の平均化処理を行ない、図
７（ｂ）に示す平滑化された画像信号４１となる。この
画像信号を２次微分回路３１で２次微分することにより
図７（ｃ）に示すように、エッジ部が強調された画像信
号４２となる。この信号４２を２値化回路３２で一定の
２値化閾値で２値化処理すると、微小欠陥の検出が可能
となる。本方式による欠陥検出性能は、発明者の実験で
は、検出対象がグリーンシートの場合、図６に示すコン
トラストが３％（０．０３）以上であれば検出できるこ
とを確認した。すなわち、傾斜角αが０．３°の（高さ
５μｍで、長さ１mm程度の傾斜）微小凹凸欠陥の場合、
照明角θを１０°、又傾斜角αが０．５°（高さ５μｍ
で、長さ０．６mm程度の傾斜）の場合、照明角θを１５
°にすることにより、なだらかな微小傾斜部を顕在化す
ることができ、グリーンシート表面の凹凸欠陥のすじ，
しわ，ふくれ，へこみなどを検出することができた。

【００３４】一方、ひび割れ欠陥や、ブローホール欠陥
は、欠陥部の肉厚が良品部より薄いため、グリーンシー
ト内部に入いった光の透過率が良品部にくらべて増加す
る。

【００３５】このため図８（ａ）で示したような画像信
号４３が得られ、上述した平滑化、２次微分、２値化の
画像処理方法により、凹凸欠陥と同様に欠陥を顕在化す
ることができる。

【００３６】尚、本実施例のレンズ２４と検出器２５は
例えばファクシミリ用のレンズとＣＣＤリニアセンサの
低倍光学系を構成することで実現できる。

【００３７】本実施例では、グリーンシート１を往復移
動させて、反射照明と透過照明の画像を検出するように
している。この場合の装置構成上の利点は、照明系のみ
２式必要であるが、検出系、画像処理系が一式であり、
装置のコストが低減される効果がある。又被検出面がＡ
面（オモテ面）とＢ面（ウラ面）の両面を検査する必要
がある場合は、グリーンシート１を反転して検査すれば
よい。

【００３８】図４は本発明のグリーンシート切断前の光
学検査装置６の実施例を示す図である。図２及び図３と
の相違点は、グリーンシート１ａが切断される前に検査
を行なう点であり、キャスティング直後のグリーンシー
トは図１で示したようにマイラーテープ１０２上で乾燥
されて運ばれてくる。この状態で本実施例では、透過照
明ユニット１０３と、斜方照明ユニット１０４を、グリ
ーンシート１０１が運ばれる方向に順番に配し、ひび割
れ，ブローホール欠陥を検出後、表面の凹凸欠陥、し
わ，すじ，ふくれ，へこみを検出する。透過照明ユニッ
ト１０３の上方にはレンズ１０５ａ、検出器１０６ａ、
又反射照明ユニット１０４の上方にはレンズ１０５ｂ、
検出器１０６ｂが配されている。それぞれの検出器１０
６ａ，１０６ｂの出力は、図３の実施例と同様にＡ／Ｄ
変換器１０７ａ，１０７ｂ、シェーディング補正回路１
０８ａ，１０８ｂ、平滑化回路１０９ａ，１０９ｂ、２
次微分回路１１０ａ，１１０ｂ、２値化回路１１１ａ，
１１１ｂにより、図３の実施例と同様の画像処理を行な
い、欠陥を検出する。本実施例の場合、キャスティング
方向Ｚ（グリーンシートが運ばれる方向）に対し、３０
°〜９０°の角βで照明して図１０に示す如く、キャス
ティング方向に沿って生じる、しわ，すじ欠陥を検出で
きるようにする。本実施例の斜方照明ユニットでは、フ
ァイバ照明を用いているため、ファイバの出射端をキャ
スティング方向に対して斜め方向に配列することで実現
できる。又グリーンシート１ａの表面と斜方照明のなす
角θは、１５°以下にすることにより図３の実施例と同
様な効果が得られる。

【００３９】本実施例では、ひび割れやブローホール欠
陥を検出後、表面凹凸欠陥を検出するが、検出はどちら
を先に行なってもよい。

【００４０】又本実施例の場合、グリーンシートをキャ
スティングした直後に、検査を行なうため、検査後良品
シート領域のみを切断して次工程のパターン印刷を行な
うことが可能となり、パターンショート等の不良が低減
できグリーンシートやセラミック基板の製品歩留りと生
産性が大幅に向上する。

【００４１】本検査装置の検査結果をキャスティング装
置３，４，５にフィードバックして、乾燥温度や湿度，
風量，風速等をコントロールして、グリーンシートを常
時最適条件でキャスティングすることも可能となるた
め、高精能なキャスティングができる効果もある。

【００４２】

【発明の効果】本発明によれば、グリーンシートの製造
工程において、キャスティング後のグリーンシートを光
学的に検査するため、良品グリーンシートのみをパター
ン印刷や積層することができ、パターン印刷時のにじみ
不良によるパターンショートや、ひび割れ欠陥等による
積層はがれを低減でき、グリーンシートやセラミック基
板の信頼性と生産性が大幅に向上する効果がある。

【００４３】又本発明によれば、低角度斜方照明により
グリーンシート表面の微小凹凸欠陥を光学検出し、透過
照明により内部欠陥を光学検出して、平滑化、２次微
分、２値化処理により、グリーンシートに生じる欠陥を
確実に顕在化できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のグリーンシートの製造方法の第１実施
例を示す図である。

【図２】本発明のグリーンシートの製造方法の第２実施
例を示す図である。

【図３】本発明の欠陥検出方法の第１実施例を示す図で
ある。

【図４】本発明の欠陥検出方法の第２実施例を示す図で
ある。

【図５】微小傾斜部における照明角度を拡散反射の関係
を示す図である。

【図６】微小傾斜部の拡散反射コントラストを示す図で
ある。

【図７】本発明に係る画像処理説明図である。

【図８】透過照明による欠陥検出説明図である。

【図９】印刷工程におけるパターンショート説明図であ
る。

【図１０】しわ，すじ欠陥が生じる方向を示す図であ
る。

【図１１】欠陥を示す図である。

【符号の説明】

１…グリーンシート、５…乾燥炉、６…光学検査装置、
７…カッタ、１３…光学検査装置、１０…パターン印刷
したグリーンシート、１１…積層・焼結、２２…斜方照
明ユニット、２３…透過照明ユニット、２４…レンズ、
２５…検出器、３１…２次微分回路。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭63−241408（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−283857（ＪＰ，Ａ) 特開平１−250810（ＪＰ，Ａ) 特開昭48−98884（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−264207（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−122648（ＪＰ，Ａ) 実開昭62−3055（ＪＰ，Ｕ) 実開平１−179245（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B28B 17/00 G01N 21/88 H05K 3/12 610 H05K 3/46

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】セラミック基板用グリーンシートの製造方
法であって、キャステイング工程を経たグリーンシート
を該キャステイング工程における前記グリーンシートの
進行方向に対して３０°〜９０°の方向で前記グリーン
シートの表面の法線方向に対して斜方から第１の照明光
を照射し、該第１の照明光の照射による前記グリーンシ
ート表面からの反射光を検出し、前記グリーンシートの
裏面から第２の照明光を照明し、該第２の照明光の照射
による前記グリーンシートの透過光を検出し、前記検出
した反射光と透過光とに基いて前記グリーンシートの表
面及び内部の欠陥を検出し、該検出した欠陥の情報に基
づいて前記キャステイング工程を制御することを特徴と
するグリーンシートの製造方法。
【請求項２】前記第１の照明光を、前記グリーンシート
の表面の法線方向に対して７５度以上の角度の方向から
照射することを特徴とする請求項１記載のグリーンシー
トの製造方法。
【請求項３】前記検出した反射光と透過光とに基いて、
前記グリーンシートの表面の凹凸欠陥やひび割れ欠陥及
び前記グリーンシート内部のブローホール欠陥を検出す
ることを特徴とする請求項１記載のグリーンシートの製
造方法。
【請求項４】セラミック基板用グリーンシートの検査方
法であって、キャステイング工程を経たグリーンシート
を該キャステイング工程における前記グリーンシートの
進行方向に対して３０°〜９０°の方向で前記グリーン
シートの表面の法線方向に対して斜方から第１の照明光
を前記グリーンシートに対して相対的に走査しながら照
射し、該第１の照明光の照射による前記グリーンシート
表面からの反射光を検出し、前記グリーンシートの裏面
から第２の照明光を前記グリーンシートに対して相対的
に走査しながら照明し、該第２の照明光の照射による前
記グリーンシートの透過光を検出し、前記検出した反射
光と透過光とに基いて前記グリーンシートの表面及び内
部の欠陥を検出することを特徴とするグリーンシートの
検査方法。
【請求項５】前記第１の照明光及び前記第２の照明光が
ライン状の細長い光であることを特徴とする請求項４記
載のグリーンシートの検査方法。
【請求項６】前記検出した反射光と透過光とに基くそれ
ぞれの検出信号を平滑化して２次微分した後に２値化処
理することにより、前記グリーンシートの表面の凹凸欠
陥やひび割れ欠陥及び前記グリーンシート内部のブロー
ホール欠陥を検出することを特徴とする請求項４記載の
グリーンシートの検査方法。
【請求項７】セラミック基板用グリーンシートの検査装
置であって、キャステイング工程を経たグリーンシート
を載置して少なくとも１軸方向に移動可能な載置テーブ
ル手段と、該載置テーブル手段に載置された前記グリー
ンシートの表面に前記キャステイング工程における前記
グリーンシートの進行方向に対して３０°〜９０°の方
向で前記グリーンシートの表面の法線方向に対して斜方
から照明光を照射する第１の照明手段と、該第１の照明
手段により照射されて前記グリーンシートの表面で反射
した反射光を検出する第１の検出手段と、前記グリーン
シートの裏面に照明光を照射する第２の照明手段と、該
第２の照明手段により照射されて前記グリーンシートを
透過した透過光を検出する第２の検出手段と、前記第１
の検出手段で前記反射光を検出した信号と前記第２の検
出手段とにより検出した前記透過光を検出した信号とに
基いて前記グリーンシートの表面及び内部の欠陥を検出
する欠陥検出手段とを備えたことを特徴とするグリーン
シートの検査装置。
【請求項８】前記第１の検出手段と前記第２の検出手段
とは、同一の検出手段であって、前記反射光及び前記透
過光による前記グリーンシートの像を検出することを特
徴とする請求項７記載のグリーンシートの検査装置。
【請求項９】前記第１の照明手段と前記第２の照明手段
とは、それぞれライン状の細長い光を前記グリーンシー
トに照射することを特徴とする請求項７記載のグリーン
シートの検査装置。
【請求項１０】前記第１の照明手段は、前記載置テーブ
ル上に載置した前記グリーンシートの表面に、前記載置
テーブル手段の法線方向に対して７５度以上の角度の方
向から照明光を照射することを特徴とする請求項７記載
のグリーンシートの検査装置。