JP2000094429A

JP2000094429A - グリ―ンシ―トの製造方法およびその装置

Info

Publication number: JP2000094429A
Application number: JP11269859A
Authority: JP
Inventors: Mineo Nomoto; 峰生野本; Takanori Ninomiya; 隆典二宮
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1999-09-24
Filing date: 1999-09-24
Publication date: 2000-04-04

Abstract

(57)【要約】【課題】同一形状のパターンを、検出画素サイズ以下の
精度で位置合せが行えるようにして、画像検出時の検出
誤差の影響を低減した状態でパターンの欠陥を検出す
る。【解決手段】第１のパターンを撮像して得た第１の画像
信号を記憶手段に記憶し、第２のパターンを撮像して第
２の画像を得、この第２の画像を記憶手段に記憶させる
と共に記憶手段に記憶させた第１の画像信号を取り出
し、この取り出した第１のパターンの画像と第２のパタ
ーンの画像とを画素単位以下の精度で位置合わせし、こ
の画素単位以下の制度で位置合わせした二つのパターン
の画像のずれ量に基づいてパターンの欠陥を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はセラミック基板用グ
リーンシートの製造方法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のセラミック基板やハイブリッドＩ
Ｃ等の製造方法として、サーキットテクノロジ，Ｖｏｌ
４，Ｎｏ３，ＰＰ１５１〜１５５（１９８９）に論じら
れている。また、セラミック基板やハイブリッドＩＣ等
の表面に生じる微小凹凸欠陥を検出する方法として、特
開昭６１−２８３８５７，特開平１−２５０８１０公報
で開示されている方法がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、グ
リーンシート表面の微小凹凸欠陥「しわ」，「すじ」，
「ふくれ」，「へこみ」，「ひび割れ」，「ブローホー
ル」などは、目視で検査して、不良品を排除している。
人間の目視による作業では、５μｍ程度の微小欠陥を検
出するのは困難であり、検査員の疲労等から欠陥を見逃
したり、作業者によって検査基準が異なったりして、不
良品を後工程に回し、印刷時のにじみ不良によるパター
ンショートや、積層はがれが生じるという課題を有して
いた。

【０００４】本発明の目的は、上記課題を解決すべくキ
ャスティング工程後のグリーンシートの不良部分あるい
は不良シートを確実に排除し、良品グリーンシートのみ
に回路パターンを印刷して、印刷にじみによる、パター
ンショート欠陥や、積層不良を生じさせない、グリーン
シートの製造方法及びその装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、キャスティング工程後に、グリーンシートを光学的
に検出する手段を設け、その結果から良品グリーンシー
トを選択して、パターン印刷するようにした。

【０００６】第１の手段は、スラリーをシート状のグリ
ーンシートに乾燥した直後の表面状態を光学的に検査し
て、良品部を選択後、切断してパターン印刷する。

【０００７】第２の手段は、キャスティング工程後のグ
リーンシートを適当な大きさに切断後、シート毎に光学
的に検査して、良品シートを選択してパターン印刷す
る。

【０００８】また上記光学的検査を達成するために、低
角度で斜方照明する手段と、透過照明する手段によりグ
リーンシートの画像を検出し、検出した画像を平滑化す
る手段と、平滑化後に２次微分する手段と、２次微分画
像を２値化することにより、グリーンシートの欠陥を検
出するようにした。

【０００９】上記低角度で斜方照明する手段は、グリー
ンシートのキャスティング工程の進行方向に対して、３
０°〜９０°の斜め方向から照射し、且つ、グリーンシ
ートの表面から１５°以内の低い角度で照明するように
した。

【００１０】セラミック基板は、アルミナやムライトを
主成分とした粉末と溶剤が混合している液状のスラリー
をキャスティング工程で乾燥して、生シートのグリーン
シートを作成し、スルーホール形成、導体充填、導体印
刷、積層・焼結して完成する。

【００１１】上記キャスティング工程では、液状のスラ
リーを乾燥炉内で連続送りしながら長時間乾燥させて、
厚さ０．２mm程度のやわらかいグリーンシートにする。
この乾燥状態の不具合、例えば、乾燥温度，湿度，乾燥
炉内の風量，風速等の変動により、図１１に示すように
グリーンシート表面に高さあるいは深さが５〜２０μ
ｍ、幅あるいは直径が０．１mm〜２mm程度のなだらかな
傾斜を有している微小な凹凸欠陥、「しわ」（図１１
（ａ）に示す。），「すじ」（図１１（ｂ）に示
す。），「ふくれ」（図１１（ｃ）に示す。），「へこ
み」（図１１（ｄ）に示す。）などの欠陥が生じたり、
「ひび割れ」，「ブローホール」（図１１（ｄ）に示
す。）などの欠陥が生じたりする。これらの欠陥が生じ
ているグリーンシートに、導体をスクリーン印刷する
と、図９（ｂ）に示すように、印刷にじみが生じ、パタ
ーンがショートする要因となる。

【００１２】また、「ひび割れ」や、「ブローホール」
などがあると、積層・焼結時にグリーンシート同志の接
着力が低下し、積層はがれが生じる。

【００１３】本発明では、キャスティング工程直後のグ
リーンシートの表面状態を光学的に検査するため、表面
の「しわ」，「すじ」，「ふくれ」，「へこみ」や内部
に生じている「ひび割れ」，「ブローホール」などの欠
陥が生じている部分を除いて、シート状の良品部あるい
は切断後の良品シートのみをパターン印刷や積層するこ
とができるためグリーンシート製造工程で、パターン印
刷時のにじみ不良によるパターンショートや、積層はが
れを生じることはない。つぎに、光学的検査の個々の作
用を説明する。

【００１４】グリーンシートの表面に生じる「しわ」，
「すじ」状の欠陥は図８で示すようにキャスティング工
程のグリーンシートが進む方向に沿って生じる。このた
めキャスティング工程のグリーンシートが進む方向に対
して、３０°〜９０°の方向から低角度の斜方照明をす
ると、なだらかな傾斜をしている「しわ」，「すじ」の
斜面を明るく照明できる。また「へこみ」，「ふくれ」
などの局部的な凹凸の斜面も明るく照明できるため、グ
リーンシート表面の凹凸欠陥の斜面を明るく検出するこ
とができる。

【００１５】図５，６はグリーンシート等の表面がほぼ
完全な拡散面をしている表面の、傾斜部の検出原理を示
した図である。

【００１６】斜方θよりグリーンシートを照明し、上方
より画像を検出した場合、シート上の１点Ａの単位面積
当りの検出光量Ｉは次式で表わされる。

【００１７】点Ａでの単位面積当りの照明光強度はＩ0
×sin（θ＋α）となり、検出光量ＩはＩ＝Ｉ0×sin（θ＋α）×sin（９０°−α） ──（１）となる。ここで照明光の絶対強度Ｉ0，拡散表面の反射
効率，検出系の損失等の定数を含めてＣとして表わし、
（１）式を正規化するとＩ＝Ｃ（sin（２α＋θ）＋sinθ） ──（２）となる。ここに、αは１点Ａにおけるシート表面の傾
き、Ｃは定数、また、グリーンシート表面は完全拡散面
であると仮定している。

【００１８】図６は、グリーンシート表面に傾斜角αお
よび−αの斜面があったとき、これによって生じるコン
トラストの計算値を照明角度θを横軸にとって示したも
のである。傾斜角αが０．３°，（高さ５μｍ，幅９５
０μｍ）のなだらかな傾斜の欠陥では、照明角θが１５
°以下でコントラストが急激に増加し、照明角θが１０
°のとき０．０３以上になっている。そこでコントラス
トが急激に増加する角度１５°以内で照明すると、拡散
反射するグリーンシート表面の「しわ」，「すじ」，
「へこみ」，「ふくれ」などの、なだらかな傾斜部を明
るく検出でき光学的に顕在化することができる。

【００１９】また、ひび割れ、ブローホール欠陥は、欠
陥部が他の良品部より、断面形状が薄くなっている。
（図８（ｂ））このため透過照明すると、欠陥部分の透
過光量が良品部より多くなり明るく検出され、図８
（ａ）のような画像信号となり、光学的に顕在化でき
る。

【００２０】次に顕在化した光学像の画像処理作用につ
いて説明する。（図７参照）グリーンシートは数μｍ以
下の粒径のアルミナやムライトが主成分の軟かいシート
であり、表面は微小な凹凸をしており、この凹凸が検出
画像のノイズ成分となる。このため平滑化処理により検
出した画像の近傍領域におけるノイズ出力の平均化を行
ないノイズ成分を除去する。

【００２１】平滑化後の画像信号コントラストは上述し
たように０．０３程度と微弱である。そこで２次微分画
像処理により、微小な明るさ変化を強調することによ
り、コントラストを向上させ、この２次微分画像を２値
化処理して、ある閾値以上の出力が表われた場合、欠陥
ありとして検出することができる。

【００２２】また、キャスティング工程後のグリーンシ
ートを検査することにより、キャスティング装置に及ぼ
す作用について説明する。

【００２３】グリーンシートの重要な性能の一つとし
て、シートが伸び縮みなどの変化を起こさないことが上
げられる。そこでムライトやアルミナ等の原材料と溶剤
とを長時間かけて多量にボールミル等で混合して特定物
質の偏析を無くして、スラリーとする。この均一に混合
された多量のスラリーをシート状にする、キャスティン
グ装置は数時間以上の長時間連続運転してグリーンシー
トを製作する。

【００２４】このキャスティング条件に不具合がある
と、ひび割れや、すじ，しわ等の欠陥が生じ不良グリー
ンシート長時間作製することになる。そこで、キャステ
ィング直後のグリーンシートを、光学的に検査すること
で、キャスティングの状態を監視することができる。こ
の検査結果をキャスティング装置にフィードバックし
て、キャスティング条件に不良があったとしても乾燥温
度，風量，湿度等をコントロールして短時間で最適条件
を整えてグリーンシートを製造することができる。この
ため、長時間かけて不良シートを作成することもなくな
る。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について説
明する。図１は本発明の１実施例を示す図で、グリーン
シート製造工程から多層セラミック基板が出来上がる工
程を示したものである。

【００２６】グリーンシート１ａはベルト状のマイラー
テープ２上に原料のスラリー（液状）３を流し込み、所
望の厚さになるようドクターブレード４の高さを調節す
る。

【００２７】マイラーテープ２上のスラリー３は一定の
厚さとなって乾燥炉５中を矢印Ａ方向に運ばれ、スラリ
ー３の溶剤がここで蒸発し、グリーンシート１ａとな
る。乾燥炉５から進んできたグリーンシート１ａを光学
検査装置６で検査し、カッタ７で所望の大きさに切断す
る。所望の大きさに切断されたグリーンシート１ｂは、
ここで不良品を排除し、良品グリーンシート１ｂのみ
に、スルホールを形成し、導体充填する。（この工程の
図示は略す）次にスクリーン８ａに導体ペースト９をの
せ、スキージー８ｂを矢印Ｂ方向に移動させてパターン
印刷する。パターン印刷したグリーンシート１０を積層
・焼結１１して、多層セラミック基板１２をつくる。

【００２８】本実施例では、乾燥炉５から進んできた直
後のグリーンシートを検査することができるため、パタ
ーン印刷前に、微小凹凸や、ひび割等の欠陥を光学的に
検査して、不良シートを排除できる製造方法であるた
め、パターン印刷時ににじみを生じて、ショートが生じ
たり、積層はがれが生じることが大幅に低減される。

【００２９】また、グリーンシートを光学的に検査する
ことにより、欠陥の発生状況から乾燥炉の乾燥条件やス
ラリーの状態をモニタすることもできるため、検査結果
をキャスティング装置にフィードバックすることにより
キャスティングの状態を最適に保てる効果もある。

【００３０】図２は本発明の他の実施例を示したもので
ある。図１の発明と異なる点は、グリーンシート１ａを
切断後のグリーンシート１ｂを光学的に検査する点であ
り、他の構成と動作は図１と同じである。本実施例にお
いても、第１の実施例と同様な効果が得られることは明
らかである。

【００３１】次に本発明に係る光学検査装置１３の１実
施例について、図３を用いて説明する。

【００３２】図３は図２のグリーンシートを切断後の光
学検査装置の一実施例である。グリーンシート１ｂは透
明ホルダ２１に保持されている。グリーンシート１ｂの
上方には、斜方照明ユニット２２が配され、照明角θ１
５°以内でグリーンシート１ｂを照明している。グリー
ンシート１ｂの下方には、透過照明ユニット２３が配さ
れ、グリーンシート１ｂを透過照明する。グリーンシー
ト１ｂの上方には、レンズ２４、検査器２５が配され、
グリーンシート１ｂが照明されている箇所を検出する。
グリーンシート１ｂを載置している透明ホルダはモータ
２６と送りネジ２７により矢印Ｘ方向に往復移動する。
レンズ２４によって投影されたグリーンシート表面の明
暗増は検出器２５で画像信号に変換されＡ／Ｄ変換器２
８でディジタル信号となる。

【００３３】次にシェーディング補正回路２９で照明系
の明るさむらや、検出器の感度ムラの補正を行ない、平
滑化回路３０でグリーンシート表面の微小凹凸により生
じる画像信号のノイズ成分を平均化してなめらかにし、
２次微分回路３１で２次微分処理を行なう。次にこの画
像信号を２値化回路３２で２値化処理して欠陥を抽出す
る。

【００３４】グリーンシートの表面の「すじ」，「し
わ」等の欠陥は、図１０に示すようにキャスティング工
程の進行方向に平行に生じやすいため、キャスティング
方向に対し、９０°に近い方向から照明すると、しわ，
すじ欠陥の検出能力が向上する。又斜方照明ユニット２
２、透過照明ユニット２３は、光ファイバーや、ＬＥＤ
を配列してライン状の細長い照明にすることによってグ
リーンシート１の幅全体を一様に照明できる。光ファイ
バーを用いる場合は、光源にハロゲンランプや、水銀
灯、キセノン灯、キセノン水銀灯など（図示せず）を用
い、ライトガイド３１，４１で導けば、ライン状の均一
照明ができる。ＬＥＤを用いる場合は、指向性の強いタ
イプのＬＥＤを直線状に配列して、明るくて均一な照明
にすると、より効果がある。

【００３５】次に動作を説明する。

【００３６】グリーンシート１ｂはモータ２６と送りネ
ジ２７により矢印Ｘ方向に移動し、検出器２５により順
次画像を検出する。このとき矢印Ｘ1方向に移動すると
き斜方照明ユニット２２で照明した画像を検出し（この
とき透過照明ユニットはＯＦＦにしておく）矢印Ｘ2方
向に移動するとき透過照明ユニット２３で照明した画像
を検出する。（このとき斜方照明ユニット２２はＯＦＦ
にしておく）このように斜方照明と透過照明を切り替え
ることにより表面に生じる欠陥（すじ，しわ，ふくれ，
へこみ等）と、表面から内部に生じる欠陥（ひび割れ，
ブローホール欠陥）を図７（ａ），図８に示すように光
学的に顕在化することができる。

【００３７】画像検出後の画像処理も表面検出の場合と
内部検出の場合で独立に行なう。検出した画像４０（図
７（ａ）に示す。）はＡ／Ｄ変換器２８でディジタル信
号に変換し、照明光照度の不均一性や検出器の感度の不
均一性を補正するためシェーディング補正回路２９で感
度補正を行なう。この補正回路２９には、特開昭５８−
１５３３２８で開示されている方式を用いればよい。

【００３８】感度補正された画像信号は、平滑化回路３
０で２次元領域での画像の平均化処理を行ない、図７
（ｂ）に示す平滑化された画像信号４１となる。この画
像信号を２次微分回路３１で２次微分することにより図
７（ｃ）に示すように、エッジ部が強調された画像信号
４２となる。この信号４２を２値化回路３２で一定の２
値化閾値で２値化処理すると、微小欠陥の検出が可能と
なる。

【００３９】本方式による欠陥検出性能は、発明者の実
験では、検出対象がグリーンシートの場合、図６に示す
コントラストが３％（０．０３）以上であれば検出でき
ることを確認した。すなわち、傾斜角αが０．３°の
（高さ５μｍで、長さ１mm程度の傾斜）微小凹凸欠陥の
場合、照明角θを１０°、又傾斜角αが０．５°（高さ
５μｍで、長さ０．６mm程度の傾斜）の場合、照明角θ
を１５°にすることにより、なだらかな微小傾斜部を顕
在化することができ、グリーンシート表面の凹凸欠陥の
すじ，しわ，ふくれ，へこみなどを検出することができ
た。

【００４０】一方、ひび割れ欠陥や、ブローホール欠陥
は、欠陥部の肉厚が良品部より薄いため、グリーンシー
ト内部に入いった光の透過率が良品部にくらべて増加す
る。

【００４１】このため図８（ａ）で示したような画像信
号４３が得られ、上述した平滑化、２次微分、２値化の
画像処理方法により、凹凸欠陥と同様に欠陥を顕在化す
ることができる。

【００４２】尚、本実施例のレンズ２４と検出器２５は
例えばファクシミリ用のレンズとＣＣＤリニアセンサの
低倍光学系を構成することで実現できる。

【００４３】本実施例では、グリーンシート１を往復移
動させて、反射照明と透過照明の画像を検出するように
している。この場合の装置構成上の利点は、照明系のみ
２式必要であるが、検出系、画像処理系が一式であり、
装置のコストが低減される効果がある。又被検出面がＡ
面（オモテ面）とＢ面（ウラ面）の両面を検査する必要
がある場合は、グリーンシート１を反転して検査すれば
よい。

【００４４】図４は本発明のグリーンシート切断前の光
学検査装置６の実施例を示す図である。図２及び図３と
の相違点は、グリーンシート１ａが切断される前に検査
を行なう点であり、キャスティング直後のグリーンシー
トは図１で示したようにマイラーテープ１０２上で乾燥
されて運ばれてくる。この状態で本実施例では、透過照
明ユニット１０３と、斜方照明ユニット１０４を、グリ
ーンシート１０１が運ばれる方向に順番に配し、ひび割
れ，ブローホール欠陥を検出後、表面の凹凸欠陥、し
わ，すじ，ふくれ，へこみを検出する。

【００４５】透過照明ユニット１０３の上方にはレンズ
１０５ａ、検出器１０６ａ、又反射照明ユニット１０４
の上方にはレンズ１０５ｂ、検出器１０６ｂが配されて
いる。それぞれの検出器１０６ａ，１０６ｂの出力は、
図３の実施例と同様にＡ／Ｄ変換器１０７ａ，１０７
ｂ、シェーディング補正回路１０８ａ，１０８ｂ、平滑
化回路１０９ａ，１０９ｂ、２次微分回路１１０ａ，１
１０ｂ、２値化回路１１１ａ，１１１ｂにより、図３の
実施例と同様の画像処理を行ない、欠陥を検出する。本
実施例の場合、キャスティング方向Ｚ（グリーンシート
が運ばれる方向）に対し、３０°〜９０°の角βで照明
して図１０に示す如く、キャスティング方向に沿って生
じる、しわ，すじ欠陥を検出できるようにする。

【００４６】本実施例の斜方照明ユニットでは、ファイ
バ照明を用いているため、ファイバの出射端をキャステ
ィング方向に対して斜め方向に配列することで実現でき
る。又グリーンシート１ａの表面と斜方照明のなす角θ
は、１５°以下にすることにより図３の実施例と同様な
効果が得られる。

【００４７】本実施例では、ひび割れやブローホール欠
陥を検出後、表面凹凸欠陥を検出するが、検出はどちら
を先に行なってもよい。

【００４８】又本実施例の場合、グリーンシートをキャ
スティングした直後に、検査を行なうため、検査後良品
シート領域のみを切断して次工程のパターン印刷を行な
うことが可能となり、パターンショート等の不良が低減
できグリーンシートやセラミック基板の製品歩留りと生
産性が大幅に向上する。

【００４９】本検査装置の検査結果をキャスティング装
置３，４，５にフィードバックして、乾燥温度や湿度，
風量，風速等をコントロールして、グリーンシートを常
時最適条件でキャスティングすることも可能となるた
め、高精能なキャスティングができる効果もある。

【００５０】

【発明の効果】本発明によれば、グリーンシートの製造
工程において、キャスティング後のグリーンシートを光
学的に検査するため、良品グリーンシートのみをパター
ン印刷や積層することができ、パターン印刷時のにじみ
不良によるパターンショートや、ひび割れ欠陥等による
積層はがれを低減でき、グリーンシートやセラミック基
板の信頼性と生産性が大幅に向上する効果がある。

【００５１】又本発明によれば、低角度斜方照明により
グリーンシート表面の微小凹凸欠陥を光学検出し、透過
照明により内部欠陥を光学検出して、平滑化、２次微
分、２値化処理により、グリーンシートに生じる欠陥を
確実に顕在化できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のグリーンシートの製造方法の第１実施
例を示す図である。

【図２】本発明のグリーンシートの製造方法の第２実施
例を示す図である。

【図３】本発明の欠陥検出方法の第１実施例を示す図で
ある。

【図４】本発明の欠陥検出方法の第２実施例を示す図で
ある。

【図５】微小傾斜部における照明角度を拡散反射の関係
を示す図である。

【図６】微小傾斜部の拡散反射コントラストを示す図で
ある。

【図７】本発明に係る画像処理説明図である。

【図８】透過照明による欠陥検出説明図である。

【図９】印刷工程におけるパターンショート説明図であ
る。

【図１０】しわ，すじ欠陥が生じる方向を示す図であ
る。

【図１１】欠陥を示す図である。

【符号の説明】

１…グリーンシート、５…乾燥炉、６…光学検査装置、
７…カッタ、１３…光学検査装置、１０…パターン印刷
したグリーンシート、１１…積層・焼結、２２…斜方照
明ユニット、２３…透過照明ユニット、２４…レンズ、
２５…検出器、３１…２次微分回路。

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【手続補正書】

【提出日】平成１１年１０月２０日（１９９９．１０．
２０）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００５

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、セラミック基板用のグリーンシートの
製造方法において、キャステイング工程を経たグリーン
シートにこのグリーンシートの表面の法線方向に対して
斜方から第１の照明光を照射し、この第１の照明光の照
射によるグリーンシート表面からの反射光を検出し、グ
リーンシートの裏面から第２の照明光を照明し、この第
２の照明光の照射によるグリーンシート裏面からの透過
光を検出し、検出した反射光と透過光とに基いてグリー
ンシートの表面及び内部の欠陥を検出し、この検出した
欠陥の情報に基づいてキャステイング装置のキャステイ
ング条件を変更するようにした。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００６

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００６】又、上記目的を達成するために、本発明で
は、セラミック基板用のグリーンシートの製造方法にお
いて、キャステイング工程を経たグリーンシートの欠陥
を検出し、この検出した欠陥の情報に基づいてキャステ
イング装置の乾燥温度、湿度、風量、風速、ドクターブ
レードの高さのうち少なくとも一つの項目を調整するよ
うにした。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００７

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００７】更に、上記目的を達成するために、本発明で
は、セラミック基板用のグリーンシートの製造装置を、
キャステイング工程を経たグリーンシートを載置して少
なくとも１軸方向に移動可能な載置テーブル手段と、こ
の載置テーブル手段に載置されたグリーンシートの表面
にグリーンシートの表面の法線方向に対して斜方から照
明光を照射する第１の照明手段と、この第１の照明手段
により照射されてグリーンシートの表面で反射した反射
光を検出する第１の検出手段と、グリーンシートの裏面
に照明光を照射する第２の照明手段と、この第２の照明
手段により照射されてグリーンシートを透過した透過光
を検出する第２の検出手段と、第１の検出手段で反射光
を検出した信号と第２の検出手段により検出した前記透
過光を検出した信号とに基いてグリーンシートの表面及
び内部の欠陥を検出する欠陥検出手段と、この欠陥検出
手段で検出した欠陥の情報に基づいてキャステイング装
置のグリーンシートの製造条件を制御する制御手段とを
備えて構成した。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００８

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００８】また、上記目的を達成するために、本発明
では、セラミック基板用のグリーンシートの製造装置
を、グリーンシートをキャステイングするキャステイン
グ手段と、このキャステイング手段でキャステイングさ
れたグリーンシートの表面及び内部の欠陥を検出する欠
陥検出手段と、Ｋの欠陥検出手段で検出した欠陥の情報
に基づいてキャステイング装置の乾燥温度、湿度、風
量、風速、ドクターブレードの高さのうち少なくとも一
つの項目を調整する調整手段とを備えて構成した。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００９

【補正方法】削除

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】セラミック基板用のグリーンシートの製造
方法であって、キャステイング工程を経たグリーンシー
トに該グリーンシートの表面の法線方向に対して斜方か
ら第１の照明光を照射し、該第１の照明光の照射による
前記グリーンシート表面からの反射光を検出し、前記グ
リーンシートの裏面から第２の照明光を照明し、該第２
の照明光の照射による前記グリーンシート裏面からの透
過光を検出し、前記検出した反射光と透過光とに基いて
前記グリーンシートの表面及び内部の欠陥を検出し、該
検出した欠陥の情報に基づいてキャステイング装置のキ
ャステイング条件を変更することを特徴とするグリーン
シートの製造方法。
【請求項２】前記第１の照明光を、前記キャステイング
工程における前記グリーンシートの進行方向に対して３
０°〜９０°の方向から照射することを特徴とする請求
項１記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項３】前記第１の照明光を、前記グリーンシート
の表面の法線方向に対して７５度以上の角度の方向から
照射することを特徴とする請求項１記載のグリーンシー
トの製造方法。
【請求項４】前記検出した欠陥の情報が、欠陥の発生頻
度、種類、分布の少なくとも一つを含むことを特徴とす
る請求項１記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項５】前記検出した欠陥の情報に基づいて変更す
る前記キャステイング装置のキャステイング条件が、前
記キャステイング工程における乾燥温度、湿度、風量、
風速、ドクターブレードの高さ調整のうち少なくとも一
つの項目を含むことを特徴とする請求項１記載のグリー
ンシートの製造方法。
【請求項６】セラミック基板用のグリーンシートの製造
方法であって、キャステイング工程を経たグリーンシー
トの欠陥を検出し、該検出した欠陥の情報に基づいてキ
ャステイング装置の乾燥温度、湿度、風量、風速、ドク
ターブレードの高さのうち少なくとも一つの項目を調整
することを特徴とするグリーンシートの製造方法。
【請求項７】前記検出する欠陥が、ひび割れや、すじ、
しわ、ふくれ、へこみ、ブローホール等のグリーンシー
トの表面及び内部の欠陥であり、該表面及び内部の欠陥
を、光学的に検出することを特徴とする請求項６記載の
グリーンシートの製造方法。
【請求項８】前記グリーンシートの表面及び内部の欠陥
を光学的に検出することを、前記グリーンシートの表面
に照射した第１の照明光による前記グリーンシートの表
面からの反射光と前記グリーンシートの裏面に照射した
第２の照明光により前記グリーンシートを透過した透過
光とをそれぞれ検出することにより行うことを特徴とす
る請求項６記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項９】前記検出するグリーンシートの表面または
内部の欠陥が、幅あるいは直径が０.１〜２ｍｍ程度の
微小な凹凸欠陥であることを特徴とする請求項６記載の
グリーンシートの製造方法。
【請求項１０】セラミック基板用のグリーンシートの製
造装置であって、キャステイング工程を経たグリーンシ
ートを載置して少なくとも１軸方向に移動可能な載置テ
ーブル手段と、該載置テーブル手段に載置された前記グ
リーンシートの表面に該グリーンシートの表面の法線方
向に対して斜方から照明光を照射する第１の照明手段
と、該第１の照明手段により照射されて前記グリーンシ
ートの表面で反射した反射光を検出する第１の検出手段
と、前記グリーンシートの裏面に照明光を照射する第２
の照明手段と、該第２の照明手段により照射されて前記
グリーンシートを透過した透過光を検出する第２の検出
手段と、前記第１の検出手段で前記反射光を検出した信
号と前記第２の検出手段とにより検出した前記透過光を
検出した信号とに基いて前記グリーンシートの表面及び
内部の欠陥を検出する欠陥検出手段と、該欠陥検出手段
で検出した欠陥の情報に基づいてキャステイング装置の
グリーンシートの製造条件を制御する制御手段とを備え
たことを特徴とするグリーンシートの製造装置。
【請求項１１】前記第１の照明手段が、前記キャステイ
ング工程における前記グリーンシートの進行方向に対し
て３０°〜９０°の方向から前記グリーンシートを照明
することを特徴とする請求項１０記載のグリーンシート
の製造装置。
【請求項１２】前記制御手段は、前記欠陥検出手段で検
出した欠陥の情報に基づいて、前記キャステイング装置
のグリーンシートの製造条件のうち、乾燥温度、湿度、
風量、風速、ドクターブレードの高さ調整うち少なくと
も１つを制御することを特徴とする請求項１０記載のグ
リーンシートの製造装置。
【請求項１３】セラミック基板用のグリーンシートの製
造装置であって、グリーンシートをキャステイングする
キャステイング手段と、該キャステイング手段でキャス
テイングされたグリーンシートの表面及び内部の欠陥を
検出する欠陥検出手段と、該欠陥検出手段で検出した欠
陥の情報に基づいて前記キャステイング装置の乾燥温
度、湿度、風量、風速、ドクターブレードの高さのうち
少なくとも一つの項目を調整する調整手段とを備えたこ
とを特徴とするグリーンシートの製造装置。
【請求項１４】前記欠陥検出手段は、前記グリーンシー
トの表面を照明する第１の照明部と、該第１の照明部に
より照明されて前記グリーンシートの表面で反射した光
を検出する第１の検出部と、前記グリーンシートの裏面
を照明する第２の照明部と、該第２の照明部により照明
された前記グリーンシートを透過した透過光を検出する
第２の検出部と、前記第１の検出部と前記第２の検出部
との出力に基づいて前記グリーンシートの表面または内
部の欠陥を検出する欠陥件判定部とを備えたことを特徴
とする請求項１３記載のグリーンシートの製造装置。
【請求項１５】前記欠陥検出手段は、グリーンシートの
表面及び内部の、幅あるいは直径が０.１〜２ｍｍ程度
の微小な凹凸欠陥を検出することを特徴とする請求項１
３記載のグリーンシートの製造装置。