JP3003204B2 - 真空装置 - Google Patents

真空装置

Info

Publication number
JP3003204B2
JP3003204B2 JP2303434A JP30343490A JP3003204B2 JP 3003204 B2 JP3003204 B2 JP 3003204B2 JP 2303434 A JP2303434 A JP 2303434A JP 30343490 A JP30343490 A JP 30343490A JP 3003204 B2 JP3003204 B2 JP 3003204B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
valve
main body
device main
vacuum device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2303434A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04176332A (ja
Inventor
栄三 深見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP2303434A priority Critical patent/JP3003204B2/ja
Publication of JPH04176332A publication Critical patent/JPH04176332A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3003204B2 publication Critical patent/JP3003204B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/002—Component parts of these vessels not mentioned in B01J3/004, B01J3/006, B01J3/02 - B01J3/08; Measures taken in conjunction with the process to be carried out, e.g. safety measures

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空装置、特に、成膜，分析等に使用する
ための真空装置に関する。
〔従来の技術〕
第２図は、従来の一例を説明するための概略断面図で
ある。
第２図に示す真空装置本体１には真空計２が取り付け
られている。真空計２の交換が必要になった場合には、
通常減圧状態の真空装置本体１を大気圧状態にした後に
真空計２を交換していた。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、このような上述した従来の真空装置
は、真空装置本体の内壁に大気が吸着する等のため、良
好な真空状態に復帰するのにかなりの時間を要してしま
うという欠点があった。
本発明は、減圧状態の真空装置の内部を大気圧状態に
することなしに真空計を交換することのできる真空装置
を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の真空装置は、真空装置本体と、真空計と、前
記真空装置本体と前記真空計とをそれぞれその一端と他
端において結ぶ中空の接続部と、前記接続部に前記真空
計と前記真空装置本体の両側を遮断するための第１の開
閉弁と、前記接続部の中間部分に接続された真空排気用
ポンプと、前記真空排気用ポンプと前記接続部の間を遮
断できる位置に設けられた第２の開閉弁と、外部から大
気を導入するために前記接続部の他の中間部分に設けら
れたベント用気体導入部と、前記ベント用気体導入部と
前記接続部の間を遮断できる位置に設けられた第３の開
閉弁とを具備し、前記第２および第３の開閉弁が前記第
１の開閉弁と前記真空計の間に設けられていることを特
徴とする。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明
する。
第１図は本発明の一実施例を示す概略断面図である。
第１図に示す真空装置は、使用している状態では、真
空装置本体１と真空計２との接続部に両側を遮断するた
めの開閉弁３は開いており、開閉弁５および７は閉じて
いる。真空計２の交換を行うときには、まず開閉弁３を
閉じることによって真空装置本体１と真空計２とを遮断
する。
次に、開閉弁７を開きベント用気体導入部７から大気
を導入することによって開閉弁３で遮断された真空計２
側の部分を大気圧状態にして真空計２の交換を行う。
真空計２の交換が終了した後、開閉弁７を閉じて真空
排気用ポンプ４を差動させ開閉弁５を開けることによっ
て開閉弁３で遮断された大気状態の真空計２側の部分を
真空排気する。
真空排気を終了した後開閉弁５を閉じ真空排気用ポン
プ４を停止して開閉弁３を開ける。
〔発明の効果〕
本発明の真空装置は、減圧状態の真空装置本体の内部
を大気圧状態にする必要がないため、真空装置本体の内
壁に大気が吸着する等のこともなく良好な真空状態を保
ったまま、真空計を交換することができるという効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す概略断面図、第２図は
従来の一例を示す概略断面図である。 １……真空装置本体、２……真空計、３……開閉弁、４
……真空排気用ポンプ、５……開閉弁、６……ベント用
気体導入部、７……開閉弁である。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】真空装置本体と、真空計と、前記真空装置
    本体と前記真空計とをそれぞれその一端と他端において
    結ぶ中空の接続部と、前記接続部に前記真空計と前記真
    空装置本体の両側を遮断するための第１の開閉弁と、前
    記接続部の中間部分に接続された真空排気用ポンプと、
    前記真空排気用ポンプと前記接続部の間を遮断できる位
    置に設けられた第２の開閉弁と、外部から大気を導入す
    るために前記接続部の他の中間部分に設けられたベント
    用気体導入部と、前記ベント用気体導入部と前記接続部
    の間を遮断できる位置に設けられた第３の開閉弁とを具
    備し、前記第２および第３の開閉弁が前記第１の開閉弁
    と前記真空計の間に設けられていることを特徴とする真
    空装置。
JP2303434A 1990-11-08 1990-11-08 真空装置 Expired - Lifetime JP3003204B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2303434A JP3003204B2 (ja) 1990-11-08 1990-11-08 真空装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2303434A JP3003204B2 (ja) 1990-11-08 1990-11-08 真空装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04176332A JPH04176332A (ja) 1992-06-24
JP3003204B2 true JP3003204B2 (ja) 2000-01-24

Family

ID=17920960

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2303434A Expired - Lifetime JP3003204B2 (ja) 1990-11-08 1990-11-08 真空装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3003204B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04176332A (ja) 1992-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1122422A3 (en) Diagnosing apparatus for evaporation purge system and pressure sensor
JP3003204B2 (ja) 真空装置
EP0663531A3 (en) Pneumatic circuit to provide different opening and closing speeds for a pneumatic operator
AU2001258996A1 (en) Tracheostoma valve
US2659364A (en) Coughing valve
JPS5857940U (ja) リ−ク検査装置
CN1037595C (zh) 气密贮物容器
JPH0441180U (ja)
JPS60192172A (ja) 開閉弁
JPH01223397A (ja) グローブボックス及びそれに用いる雰囲気置換用の内蓋
JPS6242850U (ja)
JPS5937238Y2 (ja) 圧力容器用パツキングの外れ防止装置
JP3981723B2 (ja) ガス密封装置及びセルの密封構造
JPS6333440U (ja)
JP2539399Y2 (ja) 燃料タンク装置
JPH10148594A (ja) リークチェック装置及び方法
JPS60149578U (ja) ゴツグル弁
JPH0892726A (ja) 半導体製造装置
JPH0143191B2 (ja)
JPH04106483U (ja) 冷却室の扉開放力軽減装置
JPS6375843U (ja)
JPH0265784U (ja)
JPH0210294U (ja)
JPH06203782A (ja) 電子顕微鏡の付帯装置
JPS633761U (ja)