JP2992408B2 - Icパッケージとその実装構造 - Google Patents

Icパッケージとその実装構造

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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置とその実装
構造に係り、特に狭ピッチ・多ピン半導体装置に好適な
ICパッケ−ジ及びその実装構造に関する。
【0002】
【従来の技術】大型コンピューター、ワークステーショ
ン、パソコン、ワープロ等は今後、機器の高性能・多機
能化、製品拡大がさらに進むことから、ここに使用され
る半導体装置の需要も加速度的に増大していくものと予
想される。また、これらの機器の高性能化を図るため
に、LSIチップの高集積化が精力的に進められてお
り、1個のLSIチップの入出力端子の数は増大する一
方であるが、チップの外形寸法はほとんど大きくならな
いということから、端子間のピッチをどんどん狭くせざ
るを得ない状況にある。
【0003】これらの半導体装置は、そのほとんどがプ
リント配線板にはんだにて接続される実装方法で使用さ
れている。すなわち、プリント配線板の接続パタ−ンに
予めスクリーン印刷等によってはんだを供給しておき、
その上に上記の半導体装置を位置合わせして配置し、接
続部を加熱することによってはんだ接続を行なう方法で
ある。なお、この種の技術に関連するものとしては、例
えば雑誌「表面実装技術」創刊記念STM連続特集第3
弾、第1頁〜第3頁、1991−12が挙げられる。
【0004】ところが上述のように、端子数の増大、端
子ピッチの狭小化、特に従来行われていた端子数20
0、端子ピッチ0.65ミリメートルというような製品
に代わり、端子数600〜1000、端子ピッチ0.3
ミリメートル〜0.2ミリメートルの製品が使われるよ
うになり、従来のはんだによる接続では、端子間のはん
だブリッジによる回路ショート不良が多発するという大
きな問題がある。また、多端子・狭ピッチ半導体装置の
実装法として、LSIチップを直接配線基板に搭載する
ベアチップ実装法の開発が進められているが、この方法
ではチップ単体でのエージング、特性検査が現状技術で
は困難なため実用化は難しい状況にある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、上記従来技術の問題点を解消することにあり、
第1の目的は、多端子、狭ピッチ半導体装置の実装を高
歩留り、高信頼に行うためのICパッケージを、第2の
目的はそれを配線基板に搭載した実装構造を、それぞれ
提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記第1の目的は、ベア
チップ状態のICチップをリードフレームに搭載し、I
Cチップの電極と、リードフレームのインナ部とをワイ
ヤボンディングで接続すると共にICチップ及び少なく
ともワイヤボンディングの接続部を含むリードフレーム
のインナ部までを樹脂封止し、リードフレームのアウタ
部の端部表面を樹脂封止部外周に設けた段差部の樹脂上
露出せしめると共に、前記表面が露出したリードフレ
ームのアウタ部の端部を前記樹脂封止されたパッケージ
端面に一致させて切断することにより、樹脂封止部外周
の段差部上にリードフレームのアウタ部の端部を露出、
配列せしめたICパッケージからなる第1の発明によ
り、達成される。また、上記第1の目的は、リードフレ
ームの代わりにTABテープを用いインナーリードをI
Cチップの電極に接続すると共にICチップ及び少なく
ともインナーリードまでを樹脂封止し、アウタリードの
表面を封止部外周に設けた段差部の樹脂上に露出、配列
せしめたICパッケージからなる第2の発明によって
も、達成される。なお、上記何れの発明の場合にも、樹
脂封止する代わりにセラミックパッケージを用いて封止
することもでき、この場合もリードフレームのアウタ
部、もしくはTABテープのアウタリード表面を封止部
外周に設けた段差部上に露出、配列せしめれば良い。
【0007】上記第2の目的は、上記第1の発明にかか
るICパッケージを配線基板に搭載し、前記ICパッケ
ージのリードフレームのアウタ部と配線基板の接続端子
とをワイヤボンディングで接続すると共に、少なくとも
前記ICパッケージのアウタ部、アウタワイヤボンディ
ング部及びその接続部を含む配線基板の接続端子までを
樹脂で被覆して成る実装構造により、達成される。ま
た、上記第2の目的は、上記第2の発明にかかるICパ
ッケージを配線基板に搭載し、前記ICパッケージのア
ウタリードと配線基板の接続端子とをワイヤボンディン
グで接続すると共に、少なくとも前記ICパッケージの
アウタリード、アウタワイヤボンディング部及びその接
続部を含む配線基板の接続端子までを樹脂で被覆して成
る実装構造にっても、達成される。
【0008】
【作用】ICパッケージの外部接続端子を構成するリー
ドフレームのアウタ部もしくはTABテープのアウタリ
ードは、樹脂封止部の外周に設けられた段差部上に表面
を露出して配列されているが、この段差部は樹脂封止さ
れたパッケージの主表面よりも肉薄となる。そこで封止
部外周の強度を向上させるために段差部に隣接させて主
表面と同程度の肉厚部を、この封止部外周の所定の位
置、例えば各隅に設けることが望ましい。
【0009】このICパッケージを配線板に搭載接続し
た実装構造体は、パッケージの外部接続端子、アウタワ
イヤボンディング部及びその接続部を含む配線基板の接
続端子までを樹脂で被覆しているが、この被覆層は、ワ
イヤボンディングによる接続部を外界から保護し実装構
造体の信頼性を向上させるものである。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面によって説明
する。 〈実施例1〉(1)ICパッケージの構成例 図1は、ICパッケージの構造を示した断面図、図2は
図1の一部破断平面図である。図示するようにベアチッ
プ状態のLSIチップ2の上面には電極4が形成されて
いる。LSIチップ2の周囲には、チップ2に近い位置
では電極4と相対する位置にあり、外周に向かうに従い
ピッチ及び幅を広くしたリードフレーム8が配置されて
いる。電極4とリードフレーム8のインナ部10は、金
線6によってワイヤボンディング接続されている。IC
パッケージ1はアウタ部16の上面を一部露出した状態
でその他はレジン14によって封止されている。図3は
ICパッケージ1の斜視図である。この図において、I
Cパッケージ1の隅部にはレジン14による肉圧部15
を形成している。
【0011】このような構成において、まずICパッケ
ージ1の構造について説明する。LSIチップ2の表面
には外部との信号の授受を行うための電極4が形成され
ており、リードフレーム8のインナ部10とこの電極4
を金線6によってワイヤボンディングしている。このワ
イヤボンディング技術は、従来から広く行われているも
のである。ワイヤボンディングを行った後、LSIチッ
プ2とリードフレーム8のインナ部10を含むワイヤボ
ンディング部をレジン14によってモールド封止する。
【0012】このモールド工程においては、図示されて
いないモールド用金型の上型の一部を下型よりキャビテ
ィ内部に張り出すことによって、図1及び図3に示すよ
うにリードフレーム8のアウタ部16の下面はモールド
レジン14と固着し、アウタ部16の上面は外部に露出
した段差構造とし、さらに隅部に肉圧部15を有する構
造とする。
【0013】なお、肉圧部15は補強用に設けたもの
で、図においてはICパッケージ1の隅部に示している
が、特に隅に限定するものではなく、リードフレーム8
が配置される各辺の任意の位置であってよい。また、モ
ールド工程直後は、リードフレーム8はICパッケージ
1の外側に張り出した状態であるが、その後の工程にお
いてリードフレーム8をICパッケージ1の端部で切断
し、図1に示す形状に仕上げる。このことによって、従
来狭ピッチ半導体装置のパッケージにおいて加工が困難
とされていたリードフレームの各リード間をつないでい
るタイバの切断(個々のリードを独立せさるために切り
離す)を不要とすることができ、従来にない新しい構成
のICパッケージの形成が可能となった。
【0014】また、LSIチップ2は完全に樹脂封止さ
れた状態で、アウタ部16からなる入出力ピンの一部の
み露出させており、半導体としての信頼性の保証は十分
であり、かつ、エージング、特性検査が容易に行なえる
構造である。
【0015】本構造において、リードフレーム8のアウ
タ部16の表面は、その後のワイヤボンディング性を考
慮して銀めっき処理を施してあるが、金、パラジュム等
ワイヤボンディングが出来るものであれば特に銀に限定
されるものではない。また、モールド工程後のリードフ
レーム8のアウタ部16表面には、レジンが一部付着し
ている場合があり、この付着レジンを除去する目的で酸
素プラズマによるプラズマアッシャを行なっている。
【0016】(2)ICパッケージの実装構造例 図4は、図1〜図3に示したICパッケージ1をプリン
ト配線板18に実装したICパッケージの実装構造12
の断面図、図5はその一部破断平面図である。これらの
図において、ICパッケージ1はプリント配線板18の
上面に接着材20によって接着固定されている。プリン
ト配線板18の上面には予め接続端子22が形成されて
おり、この接続端子22とICパッケージ1の外部接続
リードとなるアウタ部16はアウタ用金線24によって
接続されている。コーティングレジン26は、ICパッ
ケージ1、接続端子22及びアウタ用金線24によって
接続されたアウタワイヤボンディング部を含む実装部全
体をコーティングしている。
【0017】この様な構成において、ICパッケージ1
の具体的な実装方法について説明する。プリント配線板
18は表面に従来から行われている方法にて接続端子2
2を形成したものである。このプリント配線板18の上
面にエポキシ系の熱硬化性接着剤20を介してICパッ
ケージ1を位置合わせし、接着固定する。この状態にお
いて、リードフレーム8のアウタ部16と接続端子22
をアウタ用金線24によってワイヤボンディングする。
ここで、接続端子22の表面は、ワイヤボンディング性
を高めるために金めっきを施しているが、特に金めっき
に限定するものではない。また、ワイヤボンディングに
使用する線材は、銅線、金被覆銅線、絶縁被覆導線等電
気的導通が可能であり、かつICパッケージ1の外部接
続リードとなるアウタ部16と接続端子22を接続出来
るものであれば特に金線に限定するものではない。
【0018】ワイヤボンディング後、ICパッケージ
1、接続端子22及びアウタ用金線24によって接続さ
れたアウタワイヤボンディング部を含む実装部全体にエ
ポキシ系のコーティングレジン26を塗布し封止する。
【0019】図4の実装構造12において、プリント配
線板18上に直接ICパッケージ1を固定しているた
め、接続端子22とアウタ部16の間に段差を生じてい
るが、プリント配線板の一部をくり抜き、その個所にI
Cパッケージ1を埋込み固定することにより、接続端子
22をアウタ部16と同一の高さ平面にしてワイヤボン
ディングすることも可能である。
【0020】(3)リードフレーム8のリード形状及び
プリント配線板18の接続端子22の形状変形例とそれ
らの接続例 以下、図6〜図8の平面図により説明する。図6は、I
Cパッケージ1(半導体装置)内のリードフレームの形
状について示した平面図で、半導体チップ2の表面には
電極4が配置されており、半導体チップ2の周辺部には
リードフレーム8が配置されている。リードフレーム8
はチップ2と接続されるインナ部10と外部のプリント
配線板と接続されるアウタ部16に分けられる。この様
な構成において、この例ではインナ部10とアウタ部1
6を同じパタ−ン幅及び同じピッチとするものである。
このことにより、リードフレーム8の形状を単純にする
ことが出来るため、樹脂封止に際しては量産に適した金
型を用いたリードフレームの形成において寸法精度の向
上、製造歩留りの向上、金型及びリードフレームの製造
コストの大幅な低減が可能となる。
【0021】図7は、プリント配線板18上の接続端子
22の形状パターンを変形した例について示した平面図
で、接続端子22を千鳥配置としたものである。このこ
とにより、狭ピッチなリードフレーム8に対しプリント
配線板側の接続パタ−ンを広く形成することが出来、プ
リント配線板のパターン設計、製造の簡易化、ワイヤボ
ンディング時の位置合わせの余裕度の向上が図れる。ま
た、この例では接続端子22をリードフレーム8のピッ
チに合わせて等ピッチに配置しているが、リードフレー
ムと接続端子をワイヤボンディングで接続する本発明で
は、リードフレーム8のパターン配置に対し接続端子2
2の配置を任意に設定できることから、プリント配線板
のパターン設計の自由度を大きくできるという利点があ
る。
【0022】図8は、接続端子22を信号用端子27、
電源用端子28、グランド用端子29とし、電源用端子
28、グランド用端子29を信号用端子27と異なる並
びに配置したものである。すなわち、狭ピッチ・多ピン
化の対象製品であるゲートアレイ等のLSIチップでは
1チップに対し複数個の電源及びグランド端子を必要と
するが、これら個々の端子間は同電位であることからプ
リント配線板側では共通のパターンでよいことになり、
このためのパターン配置の一例を示したのが図8であ
る。このようなパターン配置とすることにより、電源、
グランドパターンの幅を広くすることが出来、電気特性
の大幅な向上が図れる。また、信号パターン配置に十分
な余裕をもたせることが出来、プリント配線板のパター
ン設計の自由度を大きくできるという利点がある。
【0023】なお、この例ではICパッケージ1とし
て、樹脂封止(レジンモールド)の例を示したが、樹脂
封止の代わりに周知のガラス封止、さらにはセラミック
パッケージによる封止とすることもできることは云うま
でもない。
【0024】〈実施例2〉図9は、第2の実施例となる
ICパッケージ1とその実装構造12を示す断面図であ
る。この例では、実施例1のICパッケージのリードフ
レーム8の代わりにTABテープを使用してテープキャ
リアパッケ−ジとしたものである。同図においてLSI
チップ2の表面にはバンプ30が形成されており、TA
Bテープ32のインナリード34と接合され、TABテ
ープ32のアウターリード36部にはフイルム38が張
り合わされ、アウターリード36部の表面を除くこれら
LSIチップ2及びTABテープ32の全面が図示され
ていない薄い樹脂層で被覆されたテープキャリアパッケ
−ジ(以下TCPと略する)40を形成している。TC
P40は、アウターリード36の上面を一部露出した状
態で、その他はレジン14によって封止されてICパッ
ケージ1を形成している。レジン14による樹脂封止
は、実施例1と同様の金型を用いて成形される。成形後
は余分なテープをパッケージの壁面で切断し切り離す。
【0025】プリント配線板18の上面には接続端子2
2が形成されており、ICパッケージ1はプリント配線
板18の上面に接着材20によって接着固定されてい
る。この接続端子22と前記アウターリード36はアウ
タ用金線24によって接続されている。コーティングレ
ジン26はICパッケージ1、接続端子22及びアウタ
用金線24によって接続されたアウタワイヤボンディン
グ部を含む実装部全体をコーティングしている。
【0026】実施例2では上記で構造を説明したよう
に、LSIチップ2をTABテープ32に接続してTC
P40とし、このTCP40のアウターリード36表面
を一部露出するようにして、レジンモールドしたICパ
ッケージ1をプリント配線板18にワイヤボンディング
接続し、ボンディングエリアを含む実装個所全体を樹脂
26でコーティングしたものである。本実施例ではIC
パッケージ1の構成にTCPを用いていることから、リ
ードフレームを使用した実施例1の構成よりも狭ピッチ
のインナリード及びアウターリードの形成が可能であ
り、さらに高密度実装を図ることが出来る。
【0027】なお、この例ではICパッケージ1を構成
する際に、TCPを用いてアウターリード36部の表面
を除くLSIチップ2及びTABテープ32の全面に薄
い樹脂被覆層を形成してTCP40としたが、後の工程
で樹脂封止することからこの段階での樹脂被覆は必ずし
も必要でなく省略することができる。すなわち、実施例
1のリードフレームの代わりにTABテープ32を用い
てLSIチップ2のバンプ30をインナリード34と接
合させ、これをアウターリード36部の表面を露出させ
て樹脂封止すれば良い。
【0028】〈実施例3〉次に第3の実施例について図
10、図11の断面図を用いて説明する。本実施例は実
施例2と同じようにTCPを用いた構成である。まず、
図10においてLSIチップ2の表面にはバンプ30が
形成されており、TABテープ32のインナリード34
と接合されている。TABテープ32のアウターリード
36部にはLSIチップ2が配置される位置の反対面に
フイルム38が張り合わされている。ICパッケージ1
は、アウターリード36の上面を一部露出した状態でそ
の他はレジン14によって封止されている。
【0029】プリント配線板18の上面には接続端子2
2が形成されており、ICパッケージ1はプリント配線
板18の上面に接着材20によってチップのインナリー
ド部を下方にして接着固定されている。プリント配線板
18の接続端子22と前記アウターリード36はアウタ
用金線24によって接続されている。コーティングレジ
ン26はICパッケージ1、接続端子22及びアウタ用
金線24によって接続されたアウタワイヤボンディング
部を含む実装部全体をコーティングしている。
【0030】図11は図10に示すTCPのフイルム3
8がチップが配置される位置と同一面に配置され、チッ
プ2のインナリード部を上方にして接着固定されたもの
で、プリント配線板18との接続及びコーティングにつ
いては図10に示すものと同じである。
【0031】実施例3については、従来から用いられて
いるTCPのアウターリード部のフイルムを直接プリン
ト配線板表面に接着固定し、そのフイルム上のアウター
リードとプリント配線板上の接続パターンをワイヤボン
ディングによって接続したものであるが実施例1及び実
施例2と同じ効果が得られる。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、本発明により、所
期の目的を達成することができた。すなわち、半導体装
置のアウターリードの一面を封止樹脂に固着し、他面を
露出した構造とすることによって、タイバ切断加工が不
要となり、より狭ピッチ・多ピンのICパッケージの形
成が可能となった。また、ICパッケージのアウターリ
ードとプリント配線板の接続端子をワイヤボンディング
によって接続することにより、リードと端子を重ね合わ
せて位置合わせする必要がなく、位置合わせが非常に容
易になると同時に、従来位置合わせのずれによって発生
していた、隣接端子間のはんだブリッジによるショート
不良及び絶縁不良を完全になくすることが出来、大幅な
歩留り向上が可能となった。また、ICパッケージのア
ウターリードの配置に対し、プリント配線板の接続端子
の配置を任意に設定できることから、プリント配線板の
パターン設計の自由度が大きくなり、より高性能、高機
能の製品設計が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例となるICパッケージの断面
構成図。
【図2】同じくその一部を切欠いた平面図。
【図3】同じくその斜視図。
【図4】本発明の一実施例となるICパッケージをプリ
ント配線板に実装した状態の断面構成図。
【図5】同じくその一部を切欠いた平面図。
【図6】同じくリードフレームの形状を変えた他の実施
例となる平面図。
【図7】同じく他の実施例となる接続端子とリードフレ
ームの接続状態を示す平面図。
【図8】同じく接続端子とリードフレームの接続状態を
示す平面図。
【図9】同じく他の実施例となるICパッケージ及び配
線板に実装した状態を示す断面図。
【図10】同じく他の実施例となるICパッケージ及び
配線板に実装した状態を示す断面図。
【図11】同じく他の実施例となるICパッケージ及び
配線板に実装した状態を示す断面図。
【符号の説明】
1…ICパッケージ、 2…LSI
チップ、4…LSIチップ表面の電極、 6
…金線、8…リードフレーム、 10
…リードフレームのインナ部、12…ICパッケージの
実装構造、 14…樹脂封止レジン、15…樹脂封
止部の肉厚部、 16…リードフレームのア
ウタ部、18…プリント配線板、 20
…接着剤、22…接続端子、 2
4…アウタ用金線、26…コーティングレジン、
27…信号用端子、28…電源用端子、
29…グランド用端子、30…LSIチッ
プ表面のバンプ、 32…TABテープ、34…イ
ンナーリード部、 36…アウターリード
部、38…フイルム、 40…テ
ープキャリアパッケージ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 23/28 H01L 23/50

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ベアチップ状態のICチップをリードフレ
    ームに搭載し、ICチップの電極と、リードフレームの
    インナ部とをワイヤボンディングで接続すると共に、前
    記ICチップと、ワイヤボンディング部と、その接続部
    を含むリードフレームのインナ部と、リードフレームの
    アウタ部の少なくとも一面とを樹脂封止し、前記リード
    フレームのアウタ部の端部表面を樹脂封止部外周に設け
    た段差部上に露出せしめると共に、前記表面が露出した
    リードフレームのアウタ部の端部を前記樹脂封止された
    パッケージ端面に一致させて切断することにより、樹脂
    封止部外周の段差部上にリードフレームのアウタ部の端
    部を露出、配列せしめたことを特徴とするICパッケー
    ジ。
  2. 【請求項2】ベアチップ状態のICチップをTABテー
    プに搭載し、TABテープのインナーリードをICチッ
    プの電極に接続すると共に、前記ICチップと、インナ
    ーリードと、TABテープのアウタリードの少なくとも
    一面とを樹脂封止し、前記アウタリードの表面を封止部
    外周に設けた段差部上に露出、配列せしめたことを特徴
    とするICパッケージ。
  3. 【請求項3】請求項1もしくは2記載のICパッケージ
    を配線基板に搭載し、前記ICパッケージのリードフレ
    ームのアウタ部と、もしくはTABテープのアウタリー
    ドと配線基板の接続端子とをワイヤボンディングで接続
    すると共に、少なくとも前記ICパッケージのアウタ部
    もしくはアウタリード部と、アウタワイヤボンディング
    部及びその接続部を含む配線基板の接続端子までを樹脂
    で被覆して成るICパッケージの実装構造。
  4. 【請求項4】リードフレームのインナ部とアウタ部との
    ピッチ、もしくはTABテープのインナーリードとアウ
    タリードとのピッチと配線基板の接続端子のピッチとを
    異ならしめて配設して成る請求項記載のICパッケー
    ジの実装構造。
  5. 【請求項5】前記配線基板の電源端子及びグランド端子
    を同一の配置とし、信号端子を前記電源端子及びグラン
    ド端子とは異なる並びに配置としたことを特徴とする請
    求項3もしくは4記載のICパッケージの実装構造。
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