JP2971672B2 - 排水回収装置の通水休止時のバクテリア繁殖防止方法 - Google Patents
排水回収装置の通水休止時のバクテリア繁殖防止方法Info
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Description
レー等の電子部品製造工程排水回収装置の運転休止時に
おける該装置内のバクテリアの繁殖防止方法に関し、更
に詳述すれば回収装置中のイオン交換装置内に発生する
バクテリアの繁殖防止方法に関する。
高純度の純水を用いている。当該洗浄工程において発生
する洗浄排水は、洗浄に用いる有機溶媒に起因する有機
物や、各種酸に起因するイオンや、各種のバクテリア等
の不純物を含んでいる。しかし、当該不純物の量が比較
的少量であれば、通常図1に示すような処理工程によっ
て処理されて、高純度純水の製造のための原水の一部と
したり、あるいは他の用途の工程用水として回収されて
いる。
の一部を吸着除去し、次いでイオン交換装置2で各種不
純物イオンを除去し、その後次亜塩素酸ナトリウム、過
酸化水素等の酸化剤を添加した後、紫外線酸化装置3で
有機物を酸化分解処理し、次いで活性炭濾過器4で残留
する有機物や酸化剤を除去して回収水とするものであ
る。
テリアについて調査したところ、活性炭濾過器1の出口
で500〜3,000CFU/mlものバクテリアが生
存する事が判った。
込まれ、装置に各種の性能低下を起させる。殊に、通水
処理を行なった後、イオン交換装置を休止しておき、再
度通水する際には、イオン交換装置内にスライムが発生
しており、このため濾過差圧上昇や流量低下が著しい。
水回収装置におけるイオン交換装置の休止時に問題とな
るバクテリアの増殖を効果的に防止する方法を提供する
ことを目的とするものである。
に本発明は、少なくともイオン交換装置を有する電子部
品製造工程排水回収装置の通水休止時のバクテリア繁殖
防止方法において、回収装置の通水を休止する期間中は
再生薬剤でイオン交換装置内を満たしておくもので、排
水回収装置が、イオン交換装置の上流側に活性炭濾過器
を備えたものであること、イオン交換装置が陰イオン交
換装置であって、再生薬剤が水酸化ナトリウム水溶液で
あること、及びイオン交換装置が陽イオン交換装置であ
って、再生薬剤が塩酸水溶液又は硫酸水溶液であること
を含む。
としては、代表的には活性炭濾過器と、その下流側に連
結したイオン交換装置とを有し、その一例は前記図1に
示すものである。活性炭濾過器1とイオン交換装置2と
は必ずしも直接連結されたものである必要はなく、その
間に例えば紫外線照射装置その他の装置を介装していて
も良い。
他の必要に応じて用いられる、例えば紫外線酸化装置、
後段の活性炭濾過装置等は従来公知のもので、該排水回
収装置の目的に応じて適宜選択されるものである。イオ
ン交換装置は例えば、強塩基性および/または弱塩基性
陰イオン交換体を充填してなる陰イオン交換装置、ある
いは強酸性および/または弱酸性陽イオン交換体を充填
してなる陽イオン交換装置があり、これらのいずれも本
発明に含むものである。
転の停止、休止時、即ち通水を休止する期間中におい
て、0.5〜10重量%、好ましくは1〜5重量%の濃
度の再生薬剤でイオン交換装置内を満たしておくもので
ある。
ン交換体である場合は、塩酸又は硫酸水溶液が好まし
く、イオン交換体が陰イオン交換体である場合には水酸
化ナトリウム水溶液を用いることが好ましい。イオン交
換装置はイオン交換体を再生するための薬剤を供給する
再生装置が付設されている場合が一般的であるが、この
ものは本発明の実施に好都合に利用できる。
〜5重量%の再生薬剤をイオン交換装置内に流入させ
て、イオン交換装置内の水を再生薬剤と置換し、その
後、装置内に再生薬剤を満たした状態のままイオン交換
装置を休止させる事によって、本法を実施することが可
能となる。
始する場合には、常法により純水を用いた押出し、洗浄
工程を実施すれば良く、これによりイオン交換装置内の
再生薬剤が除去されると共に、イオン交換体は再生され
た状態となっているので、再度イオン交換体の再生を行
なう必要がなく、都合が良い。
る。 実施例1,比較例1 排水回収装置として、図2に示すように、活性炭濾過器
1に1000lのダイヤホープ008(三菱化成(株)
製)、陰イオン交換装置5に600lの弱塩基性陰イオ
ン交換樹脂アンバーライトIRA−68(ローム&ハー
ス社製)を各々充填した定格10m3 /Hのものを用い
た。この装置自体は排水回収装置として超純水製造装置
に組込まれて従来使用されている公知のものであり、陰
イオン交換装置5には従来の装置と同様に再生薬剤を供
給する再生装置(図示せず)が付設されていた。
イオン交換装置5の通水を停止した後、再生装置を用い
て2.0重量%の水酸化ナトリウム水溶液を陰イオン交
換装置5に送った。これにより、陰イオン交換装置5内
はすべて2.0重量%の水酸化ナトリウム水溶液で満た
された。この状態で1週間経過後(1週間休止後)、常
法によって20分間押出し洗浄を行なった。この洗浄に
より、陰イオン交換装置5内の水酸化ナトリウムは完全
に排出されていた。その後、採水処理を行なった。採水
処理1時間後の陰イオン交換装置5の入口生菌数、出口
生菌数、通水量、及び陰イオン交換装置5のイオン交換
塔差圧を測定し、その結果を表1に示した。
ィールドモニターで入口水、及び出口水の各2mlを濾
過し、培地を添加後、35℃で2日間培養し、その後菌
数をカウントするものである。
トリウム水溶液で陰イオン交換装置を満たす操作をしな
かった以外は実施例1と同様に操作した。結果を表1に
示した。
菌数は比較例と比較して極めて少なく、生菌数(バクテ
リア数)の低減によって回収装置のイオン交換装置にお
けるスライム発生が防止できた。このため、装置休止後
の立上げの際、差圧上昇や流量低下といった問題は発生
しなかった。 実施例2,比較例2 用いた排水回収装置の構成を図3に示した。図中1は活
性炭濾過器で、内部に活性炭ダイヤホープ008(三菱
化成(株)製)800lを充填した。6は陽イオン交換
装置で、内部に強酸性カチオン交換樹脂であるアンバー
ライトIR−124(ローム&ハース社製)を250l
充填した。7は陰イオン交換装置で、内部に弱塩基性ア
ニオン交換樹脂であるアンバーライトIRA−94S
(ローム&ハース社製)を480l充填した。
hであった。
通水停止後、再生装置(図示せず)を用いて2.0重量
%の塩酸を陽イオン交換装置へ注入すると共に、1.0
重量%の水酸化ナトリウム水溶液を陰イオン交換装置へ
注入してその内部を完全に満たした状態で1週間保っ
た。その後、押出し洗浄を20分間行ない、次いで採水
のための通水を行なった。
生菌数、陽イオン交換装置および陰イオン交換装置出口
生菌数、通水量、陽イオン交換装置および陰イオン交換
装置塔差圧を求め、結果を表2に示した。
リウム水溶液を満たす操作を省略する以外は実施例2と
同様に操作し、その結果を表2に併記した。
るイオン交換装置内のバクテリアの増殖を確実に防止で
きる。従って、バクテリアの増殖に基づく通水時の差圧
の発生により、給水ポンプに負荷を与える事もない。更
に、酸又はアルカリの注入操作も、イオン交換装置に付
設された再生装置を用いれば簡単に行なえ、新たに装置
を変更又は新設する必要はなく、かつ、休止期間終了後
の通水開始に際しては、常法による押出し、洗浄工程を
実施するのみで、直ちに通水工程に移行することができ
る。
率を向上させ、ひいては経済的にも極めて効果が高い方
法といえる。
示すフロー図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 少なくともイオン交換装置を有する電子
部品製造工程排水回収装置の通水休止時のバクテリア繁
殖防止方法において、回収装置の通水を休止する期間中
は再生薬剤でイオン交換装置内を満たしておくことを特
徴とする排水回収装置の通水休止時のバクテリア繁殖防
止方法。 - 【請求項2】 排水回収装置が、イオン交換装置の上流
側に活性炭濾過器を備えたものである、請求項1記載の
バクテリア繁殖防止方法。 - 【請求項3】 イオン交換装置が陰イオン交換装置であ
って、再生薬剤が水酸化ナトリウム水溶液である請求項
1または2記載のバクテリア繁殖防止方法。 - 【請求項4】 イオン交換装置が陽イオン交換装置であ
って、再生薬剤が塩酸水溶液又は硫酸水溶液である請求
項1または2記載のバクテリア繁殖防止方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23609092A JP2971672B2 (ja) | 1992-09-03 | 1992-09-03 | 排水回収装置の通水休止時のバクテリア繁殖防止方法 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0679269A JPH0679269A (ja) | 1994-03-22 |
JP2971672B2 true JP2971672B2 (ja) | 1999-11-08 |
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JP4627028B2 (ja) * | 2005-10-04 | 2011-02-09 | オルガノ株式会社 | 排水処理装置のバクテリア繁殖防止方法 |
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- 1992-09-03 JP JP23609092A patent/JP2971672B2/ja not_active Expired - Fee Related
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