JP2971373B2 - 径方向で熱伝導率変化を有する光ファイバ母材の製法 - Google Patents

径方向で熱伝導率変化を有する光ファイバ母材の製法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバに関
し、特に単一モード光ファイバの母材製造工程及び線引
き工程における光伝送損失要因を減らして伝送効率の高
い単一モード光ファイバを得られるようにする技術に関
する。
【０００２】
【従来の技術】この技術分野でよく知られているよう
に、光ファイバはコアの屈折率が均一な均一コア光ファ
イバである単一モード及び多重モードの光ファイバと、
コアの屈折率が任意の屈折率分布を有する不均一コア光
ファイバであるグレーデッドインデックスモード光ファ
イバに分けられる。このような光ファイバにおいて多重
モードの光ファイバは主に中・短距離通信用として使用
され、単一モードの光ファイバは主に長距離通信用とし
て使用される。
【０００３】単一モード及び多重モード用の光ファイバ
母材の製造方法としては、外部化学蒸着(outside vapou
r deposition: ＯＶＤ）法と気相軸付け(vapour phase
axial deposition: ＶＡＤ）法、それにＣＶＤ法を改良
した内付けＣＶＤ(ModifiedＣＶＤ：ＭＣＶＤ）法があ
る。このうちＭＣＶＤ法は、密閉された管内で反応させ
るので不純物の流入が少なく、またガラスの薄層を細密
に付着することができるので屈折率分布の精密な制御が
可能である。そのため、ＭＣＶＤ法は、最も広く用いら
れており、全体の約６０％を占めている。
【０００４】このようなＭＣＶＤ法による光ファイバ母
材の製造方法の概略を図６を参照して説明する。先ず、
予め作製してある石英管（以下、“１次石英管”と呼
ぶ）２をガラス旋盤に取り付けた後、この１次石英管２
を軸回転系で矢示方向に回転させる。この１次石英管２
は光ファイバのクラッドになるもので、その材料として
は主に天然石英ガラス管が使用され、その管の直径は一
例として２６ｍｍ程度である。
【０００５】原料ガス供給系４は、蒸気運搬システム６
を通じて前記１次石英管２内に酸素ガスＯ2 、原料ガス
ＳｉＣｌ4 、及びＰＯＣｌ3 、ＢＣｌ3 、ＧｅＣｌ4 等
を流し、１次石英管２の外部にある酸素・水素バーナー
８が駆動系により左右に移動しつつ１次石英管２を均等
に加熱するように制御される。これにより、１次石英管
２内では化学ガスの粒子が発生し、管内壁に直ちに真空
蒸着されることで、１次石英管２内に図６に点線で示す
ような蒸着層１０が形成される。この蒸着層１０はクラ
ッド層とコア層とからなり、先ず一定の厚さのクラッド
層を蒸着してから屈折率の高いコア層を蒸着して形成さ
れる。このようにクラッド層の蒸着を行うのは、蒸着中
の高温により１次石英管２にある水酸基ＯＨ- がコア層
に拡散するのを防止するためである。つまり水酸基のコ
ア層への拡散により光ファイバに吸収損失が生じるのを
防止するためである。
【０００６】蒸着層１０の形成工程が終了すると１次石
英管２の内部を充実にする必要がある。そのためには、
蒸気運搬システム６による原料ガスの噴射を停止した状
態で、酸素・水素バーナー８により蒸着層１０の付着し
た１次石英管２をさらに加熱する。すると、蒸着層１０
の付着した１次石英管２が収縮し、その内部が接合する
ことにより、充実円柱形の光ファイバ母材が得られる。
以下、このようにＭＣＶＤ法でつくられた光ファイバ母
材を本発明では“１次ファイバ母材”と称する。
【０００７】こうして得られた光ファイバ母材は、太径
であればその分、線引き工程において光ファイバ母材単
位長当たりの光ファイバの線引き長さを長くすることが
できる。従って、光ファイバ母材の直径を大きくすれば
結果的に光ファイバの製造時間の短縮を図ることがで
き、生産性を向上させることができる。そのため通常
は、ＭＣＶＤ法で生成された１次ファイバ母材にオーバ
クラッディング（またはオーバジャケットとも言う）を
施す。１次ファイバ母材のオーバクラッド方法と装置に
ついては、本発明と同一の出願人により出願された特願
平６−２４４３１５号（特開平７−１９６３３２号）に
詳しく開示されている。光ファイバ母材をオーバクラッ
ディングする場合、設計者は予めＭＣＶＤ法によるクラ
ッド層とオーバクラッディングによるクラッド層との両
層厚を考慮してコア径が適当な比率となるように蒸着し
なければならない。
【０００８】光ファイバ母材のオーバクラッド方法の簡
略を説明すると、先ず１次ファイバ母材の直径よりも大
きい直径（例えば、内径２１ｍｍ、外径４１ｍｍ程度）
を有する予め作製の２次石英管に前記１次ファイバ母材
を挿入する。この２次石英管としては通常、１次石英管
と同一材質の天然石英ガラス管が使用される。次に、バ
ーナーを使用して２次石英管を約２０００℃程度の温度
で加熱すると同時に真空ポンプにより２次石英管内を脱
気する。これにより、２次石英管が潰れて１次ファイバ
母材に密着的に接合し、ファイバ最終母材が得られる。
【０００９】以上のようなオーバクラッド方法で形成さ
れたファイバ最終母材は、図７及び図８に示すような構
造を持ち、これは光ファイバ線引き工程で使用されるこ
とになる。なお、図７及び図８において、符号１０はＭ
ＣＶＤ法により形成されたコア層とクラッド層からなる
蒸着層で、符号２はＭＣＶＤ法のために用いられた１次
石英管（図６に図示）であり、これはクラッドＡとな
る。また符号２０はオーバクラッディングで使用した２
次石英管であり、これはクラッドＢとなる。符号２２は
クラッドＡ（２）とクラッドＢ（２０）の境界面で、オ
ーバジャケット面と呼ばれる。
【００１０】このようなファイバ最終母材における１次
石英管、即ちクラッドＡ（２）と２次石英管、即ちクラ
ッドＢ（２０）は、従来では何れも天然石英ガラス管が
用いられており、したがって同一の物性（例えば熱伝導
率または粘性係数）を有している。この天然石英ガラス
管は、一般に合成石英管と比べてその純度は低いが、安
価であるというメリットがある。
【００１１】しかし、同一物性の１次石英管と２次石英
管を用いて形成されたファイバ最終母材は、光伝送損失
の要因を生じさせ易く、特に線引き工程においてレーリ
ー散乱損失の要因を生じさせ易くなる。周知のように、
レーリー散乱損失を招く原因としては、主に、コアとク
ラッドとの界面の不均一、コア内のＧｅＯ2 成分の不均
一、波長による屈折率の変化等がある。このような光伝
送損失の招来要因は、後述する光ファイバ線引き工程に
あって、ファイバ最終母材の材質に起因して生じ、また
線引き条件に起因して生じる。
【００１２】次に、単一モードファイバの線引き・被覆
工程を実施する装置のブロック図を示す図９を参照し
て、一般的な線引き・被覆工程の概略を説明する。母材
位置制御器４２の位置制御メカニズムにより光ファイバ
の最終母材２８が線引き炉３０に徐々に供給される。線
引き炉３０では、数千℃の熱を、典型的には２２５０〜
２３００℃程度の熱を加える。この加熱により、ファイ
バ最終母材２８から未被覆の光ファイバがキャプスタン
３８による牽引力によって繊維状に引き出される。線径
測定器３２は、引き出された未被覆の光ファイバの径が
予め設定された太さ（例えば、１２５μｍ）になるかを
測定して、線径制御器４４に制御信号を送り、それによ
ってファイバ径が一律１２５μｍに維持されるようにキ
ャプスタン３８による牽引力が制御される。つまりキャ
プスタン３８は、線径制御器４４の制御信号に応じて光
ファイバを延伸する牽引力の強弱程度を調節するように
回転する。キャプスタン３８の回転速度は、典型例とし
て２０ｍ／ｓｅｃ程度の比較的早い光ファイバの線引き
速度である。そして、こうして得られた光ファイバを保
護するため、第１次コーティングユニット３４と第２次
コーティングユニット３６では、やや冷却された状態で
下降する光ファイバに対してポリマー被覆物（例えば、
アクリル）を被覆する。この被覆された光ファイバは、
キャプスタン３８の牽引力により引き出され、巻取手段
４０によって巻き取られる。
【００１３】このような線引き工程における光ファイバ
のレーリー散乱損失等の招来要因の発生は、線引き温
度、線引き速度、及び線引き力（キャプスタンによる牽
引力）等の線引き条件により大きく影響される。例えば
線引き温度が高温で線引き力が小さい場合には、レーリ
ー散乱損失やＵＶ吸収損失が増大することになる。
【００１４】キャプスタン３８の牽引力と線引き炉３０
による加熱は、ファイバ最終母材２８に、その縮径部分
から未被覆の光ファイバが引き出される位置であるネッ
クダウンゾーン４８（図１０）を形成させる。このネッ
クダウンゾーン４８は、ガラスの軟化点で生じる。つま
りガラスは一定の軟化点（天然石英管では約１７５０℃
以下、合成石英管では約１６００℃以下）を有し、この
軟化点以上になると、ガラスは固体状態から液体状態に
変化し、その粘性度が低下する。すると自重や牽引力に
よりガラスは下方に延伸してネックダウンゾーン４８を
形成する。このネックダウンゾーン４８では光ファイバ
の外径はほぼ１２５μｍとなり、コアが最高の温度にな
る。
【００１５】ところで、従来のファイバ最終母材は１次
石英管と２次石英管が同一の物性（熱伝導率及び粘性係
数）を有することから、上記ネックダウンゾーンにおけ
る変化が非常に大きい。即ちネックダウンゾーンにおけ
る変化が最も大きくなるのは、クラッド外部に加えられ
る温度とコア内部に加えられる温度が同一の場合である
が、線引き工程にあって従来のファイバ最終母材では、
図７及び図８のような構造におけるコア中心軸に近いク
ラッドＡ（２）に加わる温度がその外側のクラッドＢ
（２０）に加わる温度よりも低温となるものの、クラッ
ドＡ（２）を形成する１次石英管とクラッドＢ（２０）
を形成する２次石英管が同一の物性を有するために、そ
の温度差が僅かであることから、ネックダウンゾーンに
は大きな変化が発生してしまう。このネックダウンゾー
ンにおける大きな変化は、光ファイバのコア及びクラッ
ドの屈折率を変化させてしまい、このことが光伝送損失
のうちで最大の問題となるレーリー散乱損失に影響を与
える。また、線引き炉３０の炉内温度が高温の場合に
は、ファイバ最終母材のうちコアの主要成分であるＧｅ
Ｏ2 がイオン化（約２１５０℃でイオン化される）して
しまい、これによりＧｅＯ2 の分布が不均一になること
でレーリー散乱損失の増加要因をもたらす。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の目
的は、光伝送効率に優れた単一モードの光ファイバを得
ることのできる光ファイバ母材の製造方法を提供するこ
とにある。本発明の他の目的は、特にレーリー散乱損失
が少ない単一モードの光ファイバを得ることのできる光
ファイバ母材の製造方法を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記のような目的のため
に本発明では、１次母材用の石英管を用いて内付け化学
蒸着法で形成した１次ファイバ母材にオーバクラッド用
の石英管を用いてオーバクラッディングを施すことでフ
ァイバ最終母材を形成する方法について、１次母材用の
石英管の熱伝導率より小さな熱伝導率を有する石英管を
オーバクラッド用の石英管として用いるようにしてい
る。
【００１８】また本発明では、上記のような光ファイバ
母材の製造方法について、オーバクラッディング用の石
英管を複数の石英管で形成し、且つ外周に向けて各石英
管の熱伝導率を順次小さくするようにしている。
【００１９】また本発明では、上記のような光ファイバ
母材の製造方法について、複数のオーバクラッディング
用の石英管を順次オーバクラッディングするようにし、
且つ外周に向けて各石英管の熱伝導率を順次小さくする
ようにしている。
【００２０】さらに本発明では、上記のような光ファイ
バ母材の製造方法について、１次母材用の石英管として
合成石英管を用いるようにし、またオーバクラッディン
グ用の石英管として天然石英管を用いるようにし、さら
に合成石英管についてはその水酸基濃度を５ｐｐｍ以下
とするようにしている。
【００２１】上記のような本発明では、コアとこれを囲
むクラッドからなる光ファイバ母材について、クラッド
の熱伝導率を径方向で外周に向けて小さくなるように変
化させるようにし、あるいはクラッドの粘性度を径方向
で外周に向けて大きくなるように変化させるようにして
いる。このような光ファイバ母材は、単一モード光ファ
イバ用として適している。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態を
添付の図面を参照して説明する。先ずこれに先立って論
文集「OFC ′94 Technical Digest」に掲載された“Fl
uorine’s effect on fiber optical losses induced b
y drawing ”に言及する。この論文は、フッ素をコアに
ドーピングすることで、レーリー散乱損失を低減する内
容を開示している。それによると、コアにドーピングさ
れるフッ素は、コアに加わる線引き温度に若干依存しつ
つ、コアにおけるＧｅＯ2 のイオン化を防止する働きが
ある。
【００２３】本発明では、ネックダウンゾーンにおける
変化を小さくし、またコアにおけるＧｅＯ2 のイオン化
を防止するため、クラッド層のうち中心軸に近いクラッ
ド層が最も熱伝導率が高くなるようにする。つまり中心
軸から遠くなるクラッド層ほど熱伝導率を低くなるよう
な構成とする。このようにすると、線引き工程時にコア
に加わる温度を低くすることができ（図２参照）コアに
おけるＧｅＯ2 の電離を防止することができる。
【００２４】このような本発明によるクラッド層におけ
る熱伝導率等の物性値の分布は、コアに加わる温度を相
対的に低くすることができるので、光伝送損失の増加原
因を減らすことができる。本発明の一実施形態では、本
発明の精神に基づき、互いに物性値が異なる２つの石英
管を用いて光ファイバの最終母材を製造する。即ち、本
発明では、図７及び図８の構造における２次石英管即ち
クラッドＢ（２０）の材質を１次石英管即ちクラッドＡ
（２）よりも小さい熱伝導率を有する材質とする。一般
的に熱伝導率は粘性係数と反比例の関係にあることか
ら、本発明においてクラッドＢ（２０）の粘性係数は、
クラッドＡ（２）よりも高い粘性係数を有することにな
る。これを整理すると、次のような関係となる。
【００２５】
【表１】 熱伝導率（Ｋ）；クラッドＡ（２）＞クラッドＢ（２０） 粘性係数（μ）；クラッドＡ（２）＜クラッドＢ（２０） （但し、Ｋ；熱伝導率の単位 μ；粘性係数の単位）
【００２６】本発明により製造される光ファイバの最終
母材２８の物性値は、結果として図１と図２に示す曲線
Ｆ（実線）を満足するものとなる。ここで図１及び図２
は、最終母材２８の物性値（例えば、熱伝導率または粘
性係数）に応じてコアに加わる温度の状態を表し、また
図３は最終母材２８の構造と屈折率分布を示し、これら
の図において、横軸（ｒ）は半径を、ｒ0 は中心軸を、
ｒ1 は蒸着コアまでの半径を、ｒ2 は蒸着クラッドまで
の半径を、ｒ3 はクラッドＡ（２）の外半径を、ｒ4 は
クラッドＢ（２０）の外半径をそれぞれ示す。
【００２７】先ず、図３における最終母材２８の１次石
英管２及び２次石英管２０が従来と同様に同一の物性を
有する場合について本発明と比較のために検討する。こ
の場合、最終母材２８の径方向における熱伝導率と温度
分布は、図１及び図２に示した曲線Ｅ（点線）のように
なる。
【００２８】次に、１次石英管２及び２次石英管２０が
本発明のような物性値、すなわち熱伝導率（Ｋ）；クラ
ッドＡ（２）＞クラッドＢ（２０）、粘性係数（μ）；
クラッドＡ（２）＜クラッドＢ（２０）となる場合につ
いて説明する。この場合には、ファイバ最終母材２８の
断面における熱伝導率と温度分布は、図１及び図２に示
した曲線Ｆのようになる。円柱における温度と熱伝導の
関係については、Ｊ．Ｐ．Holmanによる「Heat Transfe
r 」の第７版を参照すれば、そこに示されているグラフ
は図２と類似する曲線であることを理解できる。
【００２９】つまり、図３の蒸着層１０のコアでは、図
２に示す如くＴ２−Ｔ１の温度差が生じるが、この温度
差だけコアにおけるＧｅＯ2 のイオン化を防止すること
ができる。ここで、Ｔ１は本発明に係る所定の物性値に
よって製造された光ファイバにおいてコアに加わる温度
を、Ｔ２はクラッドＡ、Ｂが同一の物性値によってつく
られた光ファイバにおいてコアに加わる温度をそれぞれ
示す。
【００３０】光ファイバは線引きの際の温度（特にコア
の温度）が低ければ低いほど、その伝送損失レベルを低
減できることは当業者に周知であり、また本発明で先に
引用した論文を参照しても容易に理解することができ
る。したがって、図１及び図２に示すような熱伝導率と
温度特性を有する本発明は、光ファイバの散乱損失を減
少することのできるという効果を奏する。
【００３１】また、本発明の好適な一実施形態では、１
次石英管２として合成石英管を使用し、２次石英管２０
として天然石英管を使用する。この合成石英管と天然石
英管を使用する光ファイバの最終母材２８は、図３〜図
２の温度特性をほぼ満足させている。天然石英管と合成
石英管の特性は下記の表１に示す通りである。また図４
に天然石英管と合成石英管についての線引き温度と粘性
係数との関係をグラフで示す。このグラフからも分かる
ように、天然石英管は、すべての温度領域（１０００〜
２０００℃）で合成石英管よりも高い粘性係数を有する
という特性をもつ。
【００３２】
【表２】
【００３３】このように一実施形態で１次石英管２とし
て合成石英管を使用する理由は、図３に示す蒸着層１０
のクラッド厚を減らすことができるということにもあ
る。このことを以下に説明する。蒸着クラッドは、１次
石英管での水酸基（ＯＨ- ）が温度差によりコアに染み
込むのを防止するための保護層として機能するものであ
る。したがって従来のように、１次石英管２として水酸
基濃度が２００ｐｐｍ以上である天然石英管を使用した
場合は、吸収損失を減少させるために図３に示すＤ／ｄ
比（Ｄは中心軸から蒸着クラッドまでの半径、ｄは中心
軸から蒸着コアまでの半径）は、７以上とするのが望ま
しい。すなわち保護層の厚さを厚くする必要がある。こ
れに対し、本発明のように１次石英管２として合成石英
管（水酸基濃度が５ｐｐｍ程度）を使用する場合は、水
酸基の濃度が低いので、保護層である蒸着クラッドの厚
さを薄くすることができる。そしてこの蒸着クラッドの
厚さの減少は、ＭＣＶＤ法による光ファイバ母材の製造
についてコスト節減効果をもたらす。
【００３４】光ファイバを生産するに際し、太径の光フ
ァイバ母材を製造し、その品質を向上させるためには、
必然的に多層タイプのオーバクラッド法を用いることに
なるが、その場合でも光ファイバの伝送損失を低減させ
る必要がある。そのためには、図５における各層の物性
値（例えば、熱伝導率または粘性係数）が、次のような
関係をもたなければならない。
【００３５】
【表３】 熱伝導率（Ｋ）；Ｋ0 ＞Ｋ1 ＞Ｋ2 …＞Ｋn 粘性係数（μ）；μ0 ＜μ1 ＜μ2 …＜μn ここで、１〜ｎはオーバクラッドを行う回数を、Ｋ0 及
びμ0 はＭＣＶＤ法で使用する１次石英管の熱伝導率及
び粘性係数を意味する。
【００３６】合成石英管を１次石英管として使用す場合
には、各オーバクラッドに用いる天然石英管は外側に行
くにしたがってその熱伝導率が１次石英管として用いた
合成石英管の熱伝導率より順次低くなるようにする。石
英管の熱伝導率は石英管内の金属イオン（例えば、Ｌ
ｉ、Ｎａ、Ｋ、Ａｌ、Ｆｅ、Ｃｕ等）成分の濃度及び水
酸基（ＯＨ- ）の濃度により決定され、一般的にはこれ
らの濃度が低ければ低いほど熱伝導率は増加する。した
がって、石英管の製造時に金属イオン成分及び水酸基濃
度を調節すれば、Ｋ0 、Ｋ1 、Ｋ2 、…、Ｋn のように
互いに異なる熱伝導率を有する石英管をつくることがで
きる。こうしてつくられたそれぞれ異なる熱伝導率の多
数の石英管を前記Ｋ0 ＞Ｋ1 ＞Ｋ2 …＞Ｋn のような熱
伝導率分布が形成されるようにオーバクラッディングす
ることで、光ファイバの伝送損失を減少させることがで
きる。この場合、オーバクラッディングに使用する各石
英管（各石英管の物性値は異なる）は、その厚さを任意
に調節でき、予め設定したコアとクラッドの体積比率を
充足させることも可能である。なお、本発明の最終母材
をつくる工程は従来の母材製造工程と同一の過程となる
ので、本発明には特別の設備を必要としない。ただＭＣ
ＶＤ法によるクラッド蒸着の層厚を従来よりは薄くする
調整が必要となる。なお本発明による単一モードの最終
母材は単位長毎の特性が均一となる点でも特徴付けられ
る。
【００３７】
【発明の効果】以上述べてきたように本発明によると、
光ファイバ母材が径方向で熱伝導率または粘性係数の勾
配を持つため、光ファイバの線引き時における光伝送損
失招来要因の発生を減少させることができる。また、本
発明によると、光ファイバ母材の単位長毎の特性を均一
にすることができるので、歩留り向上による製造原価を
節減することができる効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるファイバ最終母材の熱伝導率分布
状態図。
【図２】図１に対応するファイバ最終母材における線引
き時の温度分布状態図。
【図３】図１に対応するファイバ最終母材の屈折率分布
状態図。
【図４】天然石英管と合成石英管における温度と粘性係
数の関係を示すグラフ図。
【図５】本発明の一実施形態によるファイバ最終母材の
径方向断面の構造図。
【図６】ＭＣＶＤ法による１次ファイバ母材の製造工程
の概略図。
【図７】オーバクラッディングで得られるファイバ最終
母材の径方向断面の構造図。
【図８】オーバクラッディングで得られるファイバ最終
母材の線引き時における状態を示す斜視図。
【図９】光ファイバの線引き工程のブロック図。
【図１０】オーバクラッディングで得られるファイバ最
終母材の線引き時におけるネックダウンゾーンを示す斜
視図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−103924（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−78707（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−191432（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−33460（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 37/00 - 37/16

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 １次母材用の石英管を用いて内付け化学
    蒸着法で形成した１次光ファイバ母材にオーバクラッド
    用の石英管を用いてオーバクラッディングを施すことで
    ファイバ最終母材を形成する光ファイバ母材の製造方法
    において、 １次母材用の石英管の熱伝導率より小さな熱伝導率を有
    する石英管をオーバクラッド用の石英管として用いるよ
    うにし、そのオーバクラッド用の石英管を複数の石英管
    で形成し且つ外周に向けて各石英管の熱伝導率を順次小
    さくするようにしたことを特徴とする光ファイバ母材の
    製造方法。
  2. 【請求項２】 １次母材用の石英管を用いて内付け化学
    蒸着法で形成した１次光ファイバ母材にオーバクラッド
    用の石英管を用いてオーバクラッディングを施すことで
    ファイバ最終母材を形成する光ファイバ母材の製造方法
    において、 １次母材用の石英管の熱伝導率より小さな熱伝導率を有
    する複数の石英管をオーバクラッド用の石英管として順
    次オーバクラッディングするようにし、且つ外周に向け
    て各石英管の熱伝導率を順次小さくするようにしたこと
    を特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
  3. 【請求項３】 １次母材用の石英管として合成石英管を
    用いるようにした請求項１又は請求項２記載の光ファイ
    バ母材の製造方法。
  4. 【請求項４】 オーバクラッド用の石英管として天然石
    英管を用いるようにした請求項３記載の光ファイバ母材
    の製造方法。
  5. 【請求項５】 水酸基濃度が５ｐｐｍ以下である合成石
    英管を用いるようにした請求項３又は請求項４記載の光
    ファイバ母材の製造方法。
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