JP2967427B2 - 需要変動に適した空気分離方法及び装置 - Google Patents

需要変動に適した空気分離方法及び装置

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、需要変動に適した空気分離方法及び装置に
関し、詳しくは、精留塔の状態を一定に維持しながら需
要変動に対応する空気分離方法及び装置に関する。
〔従来の技術〕
空気分離装置から得られる酸素や窒素の量を、その需
要変動に応じて増減する手段として、従来から様々な方
法及び装置が提案されてきている。例えば、特公昭49−
45998号公報に記載された空気分離装置では、製品酸素
ガスの需要変動に対して、需要が減少した場合には、精
留塔上部塔から導出する酸素ガス量を減らすとともに、
上部塔から導出する液化酸素量を増して液化酸素貯槽に
貯留し、逆に製品酸素ガスの需要が増大した場合には、
上部塔からの酸素ガスの導出量を増すとともに、前記液
化酸素貯槽内の液化酸素を精留塔下部塔から導出した窒
素ガスで気化させて製品酸素ガスとし、前記上部塔から
得られる酸素ガスと合流させるように構成している。ま
た、液化酸素貯槽内の液化酸素を気化させる際に液化し
た液化窒素は、一旦液化窒素貯槽に貯留された後、上部
塔の還流液として上部塔に導入するようにしている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上述の方法では、製品酸素ガスの需要
変動により、上部塔から導出する酸素ガスと液化酸素の
割合が変化し、また、下部塔からの窒素ガスの導出量や
上下両塔の還流液量等の精留塔に導入，導出する流体の
流量が変化するため、精留塔内の圧力や精留バランスが
不安定となり、効率が低下することがあった。
特にアルゴンを採取するために、上部塔に粗アルゴン
塔を付設した空気分離装置においては、上部塔内の精留
バランスの乱れがアルゴンの採取効率に大きく影響を与
えるため、アルゴンの収率を大幅に悪化させてしまうこ
とがあった。
また、上記公報以外にも、いくつかの方法や装置が提
案されているが、いずれも精留塔の状態が変化するた
め、各製品ガスの収率をある程度犠牲にして需要変動に
対応しているのが実情である。
そこで、本発明は、精留塔に導入，導出する流体の流
量を一定に維持し、精留塔の状態を常に最良の状態に保
ち、各製品ガス、特にアルゴンガスが高収率で得られる
とともに、簡単な装置構成で需要変動に対応することが
できる空気分離方法及び装置を提供することを目的とし
ている。
〔課題を解決するための手段〕
上記した目的を達成するために、本発明は、精留塔に
導入，導出する流体の流量を一定量に維持し、精留塔の
上部塔から一定量で導出している酸素ガスを、主熱交換
器に導入して前記原料空気と熱交換させ、常温付近迄温
度回復させて製品酸素ガスとして取出すと同時に、上部
塔から一定量で導出している液化酸素を液化酸素貯槽に
導入して貯液し、前記製品酸素ガスの需要変動に応じて
該液化酸素貯槽に貯液されている液化酸素を導出して副
熱交換器に導入し、後述の窒素ガスと熱交換させて気化
し、気化した酸素ガスを前記製品酸素ガスに合流させる
とともに、前記精留塔から一定量で導出している窒素ガ
スを分岐し、該分岐した窒素ガスを前記副熱交換器に導
入して前記液化酸素の気化量に応じた量の窒素ガスを液
化させ、液化した液化窒素を液化窒素貯槽に導入し、残
余の窒素ガスを系外に導出することを特徴とする需要変
動に適した空気分離方法を提供するとともに、精留塔の
状態を一定に維持するために、定常運転時に原料空気量
を一定に制御する原料空気量制御手段と、複精留塔下部
塔底部の液化空気の液面を一定に制御するか、あるいは
該液化空気の上部塔への流量を一定に制御する液化空気
量制御手段と、主凝縮器における液化酸素の液面を一定
に制御するか、あるいは液化酸素の液化酸素貯槽への導
出量を一定に制御する液化酸素量制御手段と、液化窒素
貯槽から上部塔頂部に導入する液化窒素量を一定に制御
する液化窒素量制御手段と、上部塔下部から導出する酸
素ガスの流量を一定に制御する酸素ガス量制御手段と、
下部塔及び／又は上部塔から導出する窒素ガスの圧力ま
たは流量を一定に制御する窒素ガス量制御手段とを設け
るとともに、製品酸素ガスの需要変動に応じて前記液化
酸素貯槽の液化酸素を導出して気化する液化酸素導出手
段を設けたことを特徴とする需要変動に適した空気分離
装置を提供するものである。
〔作 用〕
従って、製品ガスを需要変動に応じて増減しても、精
留塔からは常に一定量のガス及び液が導出されるととも
に、それに応じた一定量の原料空気、還流液塔が導入さ
れるので、精留塔内の精留状態を常に最良の状態に維持
することができる。
〔実施例〕
以下、本発明を、図面に示す空気分離装置の一実施例
を参照しながら、各気液の流れに基づいて、さらに詳細
に説明する。
まず、第１図において、原料空気は、圧縮機１で圧縮
され、冷却装置２を経て吸着器３に導入され、含有する
水分や炭酸ガス等の不純物が除去された後、コールドボ
ックス４に導入される。コールドボックス４に導入され
た原料空気は、主熱交換器５で各種帰還ガスと熱交換し
て冷却され、複精留塔６の下部塔７の下部に導入され
る。下部塔７内での精留操作により、原料空気は下部塔
上部の窒素ガスと、下部塔底部の酸素富化液化空気（以
下、液化空気という）とに分離し、該液化空気は、下部
塔７から導出されて膨張弁31bを経て上部塔９の中段に
導入され、上部塔９内での精留により、上部塔上部の窒
素ガスと上部塔底部の液化酸素及び酸素ガスとに分離す
る。また、窒素ガスは、その一部が主凝縮器28で液化
し、下部塔７から導出されて弁８を経て上部塔９の頂部
に導入され、上部塔９の還流液となる。
この複精留塔６からは、分離した酸素ガス，液化酸素
及び窒素ガスが、それぞれ一定量で導出されている。即
ち、上部塔下部の酸素ガスは、導管10により導出されて
主熱交換器５に導入され、原料空気と熱交換して常温付
近まで温度回復した後、製品酸素供給導管11から需要先
に供給される。
尚、この製品酸素ガスの抜出し量は、標準使用量に応
じて設定するものとし、需要減少時に酸素ガスの使用量
が零の時間帯である場合は、全量液化酸素で抜出し、酸
素ガス抜出し一定量が零の場合を標準として運転条件の
設定を行う。
上部塔底部の液化酸素は、導管12により導出されて液
化酸素貯槽13に導入され、製品酸素ガスの需要変動に応
じて該液化酸素貯槽13から導出され、副熱交換器14で後
述の窒素ガスと熱交換を行い、気化した後に前記製品酸
素供給導管11の製品酸素ガスに合流する。
一方、上部塔９の頂部から導出された高純度製品窒素
ガスは、導管15に導入され、上記酸素ガスと同様に、主
熱交換器５を経て常温として系外に導出される。また、
上部塔９の上部から導管15aに導出された低純度窒素ガ
スは、上記同様に、主熱交換器５を経て系外に導出され
る。この低純度窒素ガスは、一部を製品ガスとして用い
る場合もあり、廃ガスとして、前記吸着器３の再生等に
用いた後に放出する部分もある。
下部塔７の上部から導管16に常時一定量で導出されて
いる高純度窒素ガスは、その一部が導管17に分岐し、さ
らにその一部が副熱交換器14での液化酸素気化用の熱源
として用いられ、液化した後に液化窒素貯槽18に導入さ
れる。この熱源としての窒素ガス量は、液化酸素の気化
に要する量を副熱交換器14に導入し、残余の窒素ガス
を、後述の如く、高純度窒素ガス導出管19から系外に放
出される量にするか、又は、図示しないが、上記気化相
当量より過剰の量を供給し、未液化分は、液化窒素貯槽
から再度副熱交換器14を経て高純度窒素ガス導出管19に
合流させて系外に放出してもよく、さらには、別途設け
た配管を介して系外に放出してもよい。
上記液化窒素貯槽18に貯液された液化窒素は、常時一
定量が底部から導出され、還流液として上部塔９の頂部
に導入されている。この一定量の液化窒素は、一度下部
塔７に導入し、下部塔７の頂部から上部塔９頂部へ弁８
を介して導入するラインへ合流させても良い。また、副
熱交換器14に導入される以外の高純度窒素ガスは、窒素
ガス導出管19から系外に導出される。
また、前記下部塔７から導出された高純度窒素ガスの
常時一定量の残部は、主熱交換器５で一旦常温付近まで
温度回復し、または温度回復後一定量が分岐して膨張タ
ービン20のブレーキブロワー21に導入されて昇圧した
後、温度側から主熱交換器５に導入され、中間温度まで
冷却されて主熱交換器５の中間部から導出され、膨張タ
ービン20に導入される。膨張タービン20で膨張降温した
高純度窒素ガスは、上記上部塔９頂部から導出された高
純度製品窒素ガスに合流して再び主熱交換器５に導入さ
れ、寒冷回収が行われた後に系外に導出される。このよ
うにすることにより、下部塔７からの窒素の抜出し量を
減少させて、後述のアルゴンの収率を上げることができ
る。尚、膨張タービン20に導入する窒素ガスは、上記下
部塔７頂部の高純度窒素ガスに限らず、頂部から任意段
数下からの低純度窒素ガスを一定量導出して、上記同様
の経路で膨張タービン20に供給しても良い。
さらに、この複精留塔６には、粗アルゴン塔22が付設
されている。この粗アルゴン塔22には、導管23により上
部塔中段下部のアルゴン原料ガスが一定量導入され、精
留されて該塔上部の導管24から一定量の粗アルゴンが導
出される。該粗アルゴン塔22での精留によりアルゴン分
が低下した液化酸素は、該塔底部から導管25を経て上部
塔に戻される。また、粗アルゴン塔22の頂部に設けられ
た凝縮器26には、前記下部塔７の底部から導出された液
化空気の一部が分岐して膨張弁27を経て導入され、該粗
アルゴン塔22の還流液を生成するとともに、該液化空気
は、一部が気化した後に上部塔９に導入される。
そして、この空気分離装置には、複精留塔６の運転状
態を一定に保つとともに、製品酸素ガスの需要変動に対
応するため、各種自動制御手段が設けられている。ま
ず、原料空気供給系統には、定常運転時に原料空気量を
一定に制御する原料空気量制御手段としての流量調節器
30aと圧縮機の風量調節器30b又は吸入ガイドベーンとが
設けられている。液化空気の系統には、下部塔７の底部
の液化空気の液面を一定に制御するか、あるいは該液化
空気の上部塔９への流量を一定に制御する液化空気量制
御手段としての液面計31aと調節弁31bとが設けられてい
る。上部塔９の底部の液化酸素の導出系統には、主凝縮
器28における液化酸素の液面を一定に制御するか、ある
いは液化酸素の液化酸素貯槽13への導出量を一定に制御
する液化酸素量制御手段としての液面計32aと調節弁32b
とが設けられている。液化窒素貯槽18から上部塔９の頂
部に液化窒素を導入する系統には、該液化窒素量を一定
に制御する液化窒素量制御手段としての流量調節器33a
と調節弁33bが設けられている。上部塔下部から酸素ガ
スを導出する系統には、該酸素ガスの流量を一定に制御
する酸素ガス量制御手段としての流量調節器34aと調節
弁34bが設けられている。下部塔７から窒素ガスを導出
する系統には、該窒素ガスの圧力または流量を一定に制
御する窒素ガス量制御手段としての圧力調節器35aと調
節弁35b、及び膨張タービン流量を制御するための流量
調節器35cと調節弁35dが設けられている。そして、製品
酸素ガスの需要変動に応じて前記液化酸素貯槽13の液化
酸素を導出して気化する系統には、液化酸素導出手段と
して、前記製品酸素供給導管11内の圧力変化に応じて作
動する圧力調節器36aと調節弁36bとが設けられている。
次に、このように構成した空気分離装置で、前記製品
酸素ガスの需要変動に対応する場合の動きを説明する。
まず、製品酸素ガスの需要が増大した場合には、該需
要増加に伴い前記製品酸素供給導管11内の圧力が低下す
るので、前記液化酸素導出手段の圧力調節器36aが作動
して、圧力の低下量に応じて調節弁36bを開く。これに
より、製品酸素供給導管11内と液化酸素貯槽13内との圧
力差で液化酸素が導管29に導出されて副熱交換器14に導
入され、該副熱交換器14に導入される窒素ガスと熱交換
を行い、気化して酸素ガスとなり、製品酸素供給導管11
の製品酸素ガスに合流して需要先に供給される。副熱交
換器14に液化酸素が導入されると、該副熱交換器14に液
化酸素気化用の熱源として導入される窒素ガスの液化量
が増し、窒素ガス導出管19内の圧力が低下するので、前
記窒素ガス量制御手段の圧力調節器35aが作動して調節
弁35bを絞り、副熱交換器14に導入する窒素ガス量を液
化酸素の気化量に対応した量にするとともに、該導出管
19内の圧力を一定に保つ。一方、膨張タービン20へ供給
される窒素ガス量は、流量調節器35c,調節弁35dにより
常に一定量に保たれている。従って、下部塔７から導出
された窒素の分岐量が一定に保たれ、下部塔７から導出
される窒素ガスの一部が液化しても窒素ガス導出系統の
圧力や流量が変化することを防止し、下部塔上部から導
出する窒素ガス量を一定に保つようにする。
一方、製品酸素ガスの需要が減少した場合には、該需
要減少に伴い前記製品酸素供給導管11内の圧力が高まる
ので、前記液化酸素導出手段の圧力調節器36aが作動し
て、圧力の増加量に応じて調節弁36bを絞る。これによ
り、液化酸素貯槽13からの液化酸素導出量が減少し、副
熱交換器14での気化量が減少するので、需要先に供給す
る製品酸素ガス量を減少させることができる。このとき
も、前記窒素ガス量制御手段が作動して窒素ガス導出管
19への窒素ガスの導出量を増加させ、複精留塔６の状態
を一定に維持するように作動する。
尚、上記の変動期間中、上部塔９頂部から導管15によ
り導出する高純度製品窒素ガス、及び同塔９上部から導
管15aにより導出する低純度窒素ガスは、共に一定流量
に維持されている。これらのガスの一定流量の維持は、
そのための制御手段を設けても良いが、手動操作でも良
い。
従って、製品酸素ガスの需要変動に対しては、前記液
化酸素導出手段と窒素ガス量制御手段とが作動し、液化
酸素の気化量と、窒素ガスの液化による窒素ガス導出量
とを、両者が対応する量になるよう調節するとともに、
複精留塔６から導出する窒素ガス量を一定に保つように
制御するので、複精留塔６の状態を一定に保ったまま製
品酸素ガスの供給量を調節することができる。同時に、
前記各制御手段が常時作動しているため、各部の運転状
態が常に最良の状態に保たれ、最高の収率で運転するこ
とが可能となる。特に上部塔９内の状態を一定に保つこ
とができるため、前記粗アルゴン塔22に導入するアルゴ
ン富化ガスの組成を一定にでき、得られる粗アルゴン中
に含まれる窒素や酸素等の不純物成分を低減するととも
に、粗アルゴンの収率を向上させることができる。
また、本実施例に示すように、圧縮機や冷凍機等の回
転機器を有する付帯設備を設けることなく需要変動に対
応することができるので、これらの機器の起動，停止作
業も不要であり、装置の建設コストの低減とともに、運
転コストの低減も図ることができる。加えて、精留塔の
状態が常時一定に保たれるので、該空気分離装置に設け
られる回転機器は、常時一定の回転，負荷で運転できる
ため、その制御も容易であり、処理量の変動が無いので
必要最小限の大きさの機器を設置でき、これによっても
コストの低減を図れる。
尚、上記実施例では、酸素ガスの需要変動に対応する
例で説明したが、上記説明からも明らかなように、製品
酸素ガスの増減に伴い、窒素ガス導出管から導出される
窒素ガス量も変化するので、窒素ガス導出管の圧力変化
等、窒素ガス需要量の変動により生じる変化に対応し
て、前記液化酸素導出手段と窒素ガス量制御手段とを連
動させるようにすれば、容易に窒素ガスの需要変動にも
対応することが可能である。
ここで、前記構成の空気分離装置において、製品酸素
ガスの平均需要量が約20000Nm3/h,需要変動幅が24000〜
9000Nm3/hであり、８時間の内、需要増大時間が約６時
間、需要減少時間が約２時間の設備の操作条件を計算し
た結果を説明する。
まず、原料空気量は、約100000Nm3/hの一定量であ
り、酸素は、酸素ガスとして約9000Nm3/h,液化酸素とし
て約11000Nm3/hが、それぞれ精留塔から常時導出され、
酸素ガスは、その全量が常時製品酸素ガスとして製品酸
素供給導管から需要先に供給される。
そして、需要減少時の液化酸素は、その全てが液化酸
素貯槽に貯留されるため、製品酸素ガスの供給量は9000
Nm3/hとなる。このとき、窒素ガス導出管からは、精留
塔から導出した窒素ガスの一部、17000Nm3/hの窒素ガス
が導出される。
需要増大時には、液化酸素貯槽内の液化酸素が15000N
m3/h気化して製品に合流し、製品酸素ガスの供給量を24
000Nm3/hに増加させる。このとき、液化酸素15000Nm3/h
に相当する窒素ガスの全量17000Nm3/hが副熱交換器に導
入され、液化窒素となり液化窒素貯槽に導入される。
また、液化窒素貯槽内の液化窒素は、常時13000Nm3/h
が還流液として上部塔に導入されている。
このときの主要部の流量変化を第２図に示す。
上記のように、精留塔における気液の収支を一定に保
った状態で、製品酸素供給導管及び窒素ガス導出管の圧
力変化に応じて弁を開閉するだけで、容易に製品酸素ガ
スの需要変動に対応することができ、その対応幅も広く
とることができる。
第３図は、本発明の他の実施例を示すもので、製品窒
素ガスを、昇圧機40で昇圧して送り出す装置に本発明を
適用したものである。即ち、上部塔９の頂部から導管15
に導出した製品窒素ガスを、昇圧機40で昇圧して窒素ガ
ス導出管19に送り出すとともに、昇圧後の製品窒素ガス
の一部を分岐して副熱交換器14に導入し、前記液化酸素
の加熱源とする。また、上記導管15には、流量調節器35
e,調節弁35fあるいは圧力調節器が設けられ、上部塔９
の頂部から導出する製品窒素ガス量を一定にし、上部塔
９内の状態を常に一定状態に保つようにしている。これ
により、下部塔７からの窒素の抜出し量を減らしてアル
ゴンの収率を上げることができ、さらに昇圧機40は、需
要変動に合わせて起動／停止を行い、動力消費を最小限
にすることができる。
また、第４図及び第５図は、本発明のさらに他の実施
例を示すものである。即ち、副熱交換器14における液化
酸素の気化導出温度を、主熱交換器５の冷端側の温度と
し、副熱交換器14では潜熱の熱交換のみを行うようにし
たものである。従って、分岐した窒素ガスは主熱交換器
５に導入されること無く副熱交換器14に導入され、副熱
交換器14で気化した酸素ガスは、主熱交換器５で温度回
復した後に需要先に送られる。第４図と第５図の差は、
第５図における副熱交換器14が凝縮器タイプであること
のみである。
尚、上記第３図，第４図及び第５図においては、空気
分離装置の主要部のみを示し、前記第１図に示した実施
例装置と同一構成要素には同一符号を付して詳細な説明
を省略する。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、精留塔に導
入，導出する流体の流量を一定量に維持していることに
より、精留塔の状態を一定に保ったまま需要変動に対応
できるので、精留効率，製品収率を最良の状態にでき、
製品のコスト、動力原単位を低減することができる。ま
た、需要変動に対応する部分に圧縮機や冷凍機等の機器
を設置する必要がないので、設備コストの低減ととも
に、動力費や保守費の低減も図れ、また、装置の信頼
性，運転性にも優れている。さらに、変動量，変動パタ
ーンに対する適応性にも優れている。
特に、粗アルゴン塔を付設した空気分離装置において
は、上部塔の状態を一定に保つことが粗アルゴンの収率
を高める大きな要因であるので、本発明の方法及び装置
は、酸素及び／又は窒素の需要変動に効率よく対応する
とともに、アルゴンも同時に効率よく採取できるので、
各種製品ガスをより低廉に得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の空気分離装置の一実施例を示す系統
図、第２図は需要変動時の流量変化を示す図、第３図は
本発明の他の実施例を示す系統図、第４図及び第５図は
それぞれ本発明のさらに他の実施例を示す系統図であ
る。 ５……主熱交換器、６……複精留塔、７……下部塔、９
……上部塔、11……製品酸素供給導管 13……液化酸素貯槽、14……副熱交換器 18……液化窒素貯槽、19……窒素ガス導出管 20……膨張タービン、22……粗アルゴン塔 35a……窒素ガス量制御手段としての圧力調節器 35b……同調節弁、36a……液化酸素導出手段としての圧
力調節器、36b……同調節弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−98695（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−190277（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−63490（ＪＰ，Ａ) 特公 昭49−45998（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F25J 3/00 - 3/08

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】原料空気を圧縮し、炭酸ガス，水分を除去
    し、帰還ガスと熱交換させて冷却し、精留塔に導入して
    酸素，窒素等を製品として採取する空気分離方法におい
    て、前記精留塔に導入，導出する流体の流量を一定量に
    維持し、前記精留塔の上部塔から一定量で導出している
    酸素ガスを、主熱交換器に導入して前記原料空気と熱交
    換させ、常温付近迄温度回復させて製品酸素ガスとして
    取出すと同時に、上部塔から一定量で導出している液化
    酸素を液化酸素貯槽に導入して貯液し、前記製品酸素ガ
    スの需要変動に応じて該液化酸素貯槽に貯液されている
    液化酸素を導出して副熱交換器に導入し、後述の窒素ガ
    スと熱交換させて気化し、気化した酸素ガスを前記製品
    酸素ガスに合流させるとともに、前記精留塔から一定量
    で導出している窒素ガスを分岐し、該分岐した窒素ガス
    を前記副熱交換器に導入して前記液化酸素の気化量に応
    じた量の窒素ガスを液化させ、液化した液化窒素を液化
    窒素貯槽に導入して貯液し、残余の窒素ガスを系外に導
    出することを特徴とする需要変動に適した空気分離方
    法。
  2. 【請求項２】前記精留塔から導出する窒素ガスが、下部
    塔から導出した窒素ガスであることを特徴とする請求項
    １記載の需要変動に適した空気分離方法。
  3. 【請求項３】前記精留塔から導出する窒素ガスが、上部
    塔から導出して昇圧された窒素ガスであることを特徴と
    する請求項１記載の需要変動に適した空気分離方法。
  4. 【請求項４】前記下部塔から導出した窒素ガスを、主熱
    交換器で昇温した後、少なくともその一部の一定量を分
    岐し、または分岐後に主熱交換器で昇温し、膨張タービ
    ンのブレーキブロワーに導入して昇圧し、主熱交換器で
    中間温度まで冷却後導出し、膨張タービンに導入して膨
    張降温させた後に、再び前記主熱交換器に導入して寒冷
    回収を行うことを特徴とする請求項２記載の需要変動に
    適した空気分離方法。
  5. 【請求項５】原料空気圧縮機，不純物除去用吸着器，主
    熱交換器，複精留塔，液化酸素貯槽，液化窒素貯槽等を
    備え、原料空気を液化精留して酸素，窒素等を採取する
    空気分離装置において、精留塔の状態を一定に維持する
    ために、定常運転時に原料空気量を一定に制御する原料
    空気量制御手段と、複精留塔下部塔底部の液化空気の液
    面を一定に制御するか、あるいは該液化空気の上部塔へ
    の流量を一定に制御する液化空気量制御手段と、主凝縮
    器における液化酸素の液面を一定に制御するか、あるい
    は液化酸素の液化酸素貯槽への導出量を一定に制御する
    液化酸素量制御手段と、液化窒素貯槽から上部塔頂部に
    導入する液化窒素量を一定に制御する液化窒素量制御手
    段と、上部塔下部から導出する酸素ガスの流量を一定に
    制御する酸素ガス量制御手段と、下部塔及び／又は上部
    塔から導出する窒素ガスの圧力または流量を一定に制御
    する窒素ガス量制御手段とを設けるとともに、製品酸素
    ガスの需要変動に応じて前記液化酸素貯槽の液化酸素を
    導出して気化する液化酸素導出手段を設けたことを特徴
    とする需要変動に適した空気分離装置。
  6. 【請求項６】請求項５記載の需要変動に適した空気分離
    装置において、前記液化酸素貯槽から導出する液化酸素
    と窒素ガスとを熱交換させて液化酸素を気化させる副熱
    交換器を設けるとともに、前記液化酸素量と窒素ガス量
    とを対応する量に調節する調節手段を設けたことを特徴
    とする需要変動に適した空気分離装置。
  7. 【請求項７】請求項５記載の需要変動に適した空気分離
    装置において、前記上部塔から導出する窒素ガスが、高
    純度窒素ガス及び／又は低純度窒素ガスであることを特
    徴とする需要変動に適した空気分離装置。
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