JP2965557B1 - 変位量検出器及び変位量計測装置 - Google Patents
変位量検出器及び変位量計測装置Info
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- JP2965557B1 JP2965557B1 JP10251091A JP25109198A JP2965557B1 JP 2965557 B1 JP2965557 B1 JP 2965557B1 JP 10251091 A JP10251091 A JP 10251091A JP 25109198 A JP25109198 A JP 25109198A JP 2965557 B1 JP2965557 B1 JP 2965557B1
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
タンス変化を利用した変位量検出器において、コイルに
特殊な巻回方法を必要とせずに測定ストロークが大きく
直線性の良好な検出器を実現する。 【解決手段】 中空ボビン1上に均一なピッチで測定コ
イル2を巻回し、その中心軸線4に沿って強磁性体コア
3を移動させ、かつ中心軸線4上に強磁性体ボビン5に
巻回された基準コイル6を配置し、演算増幅器の非反転
入力と反転入力との間に基準コイル6と交流電源とを直
列に接続し、上記演算増幅器の反転入力と出力との間に
測定コイル2を接続し、上記演算増幅器の非反転入力と
出力との間より強磁性体コア3の変位量に比例した出力
を取出す。
Description
移動することによってコイルのインダクタンスを変化さ
せるようにした変位量検出器並びにこの検出器を利用し
た変位量計測装置に関するものである。
出器として、従来は差動変圧器が知られている。しかし
差動変圧器は測定ストロークに対する全長の割合が大き
いために嵩張り、また直線性を良好にするために2次側
巻線を特殊な巻き方にするため、製作に多大の時間を要
し、制作費も高くなっていた。
3に示すように測定範囲の両端付近に出力電圧のピーク
が現れるため、異なる変位量d1 、d2 に対して同じ値
の出力電圧V1 を生じ、変位量と出力電圧とが1対1で
対応しなくなる。これによる誤計測を防ぐには、出力電
圧のピークに近い領域の使用を避けるしかなく、これに
より測定できる変位量の範囲が狭くなる。
変圧器のように嵩張らず、製作が容易で、直線性が良好
で、測定ストロークが大きい変位量検出器及びこれを用
いた変位量計測装置を実現しようとするものである。
は、中空ボビンに均一なピッチで巻回した測定コイル
と、このボビン内に被検出対象物の変位量に対応して移
動可能に設けた検出用強磁性体コアと、強磁性体コアを
有し上記ボビンに接近して配置された基準コイルとより
なる。基準コイルは、全体の外形を細くするために、中
空ボビンの中心軸上に配置するのが有利であり、この場
合は、検出用強磁性体コアは中空ボビン内に基準コイル
と反対端から出し入れされる。
位量検出器に交流電源及び演算増幅器を組合せたもので
あり、基準コイル及び交流電源が演算増幅器の反転入力
と非反転入力との間に接続され、測定コイルが演算増幅
器の反転入力と出力との間に接続され、中空ボビン内の
検出用強磁性体コアの位置に対応する出力信号が演算増
幅器の出力と非反転入力との間から取出される。
されているので、そのインダクタンスは検出用強磁性体
コアの変位量に比例する。そして、電源交流の角速度を
ω、電圧をVo 、基準コイルのインダクタンスをLs 、
測定コイルのインダクタンスをLx とすると、演算増幅
器の出力電圧Vx は、
で、演算増幅器から検出用強磁性体コアの移動量に比例
した出力電圧を得ることになる。
空ボビンで、外形16mm、長さ780mmであり、こ
れに線径0.1mmの銅線が均一な密度で7700回巻
回されて測定コイル2を構成している。3は中空ボビン
1内にその中心軸線4に沿って移動可能に設けた検出用
コアで、パーマロイ合金で製作され、直径4mm、長さ
1000mmである。5は中空ボビン1の中心軸線4の
延長上に設けたパーマロイ合金製のボビンで、これに基
準コイル6が巻回されており、そのインダクタンスは5
0mHである。
し、演算増幅器8の反転入力(−)と基準電位点との間
に基準コイル6及び交流電源9が直列に接続され、演算
増幅器8の反転入力(−)と出力との間に測定コイル2
が接続され、演算増幅器8の非反転入力(+)は基準電
位点に接続されている。ここで、交流電源9に5KHz
の交流を発生させ、検出用コア3を中心軸線4に沿って
移動させながら演算増幅器8の出力を求めた結果を表1
に示す。
に対する演算増幅器の出力変化は (1.959 − 1.090)÷(740 −40)=0.001241(V/m
m) である。またその直線性は、検出用コアの変位量が44
0mmのときに偏差が最大値+0.00560Vになっ
ているので、 (+ 0.00560)÷(1.959 − 1.090)×100 =0.64
(%) で表すことができる。
位量対出力電圧の関係をプロットすると、図4に示すよ
うな特性線図が得られ、これにより変位量と出力電圧
は、0%から100%までの全測定範囲で常に1対1の
対応をしていることがわかる。従って、本発明では特性
曲線の傾斜部の殆ど全域を計測に使用することができ
る。
が容易で、測定ストロークが大きく、かつ外形寸法が小
さい変位量の検出器を実現することができ、かつこれを
用いて極めて直線性の良好な変位量の計測装置を併せて
実現することができる。
ク図である。
出力電圧の特性線図である。
対出力電圧の特性線図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 中空ボビン上に均一なピッチで巻回した
測定コイルと、上記ボビン内に被検出対象物の変位量に
対応して移動可能に設けた検出用強磁性体コアと、強磁
性体のコアを有し上記ボビンに接近して配置された基準
コイルとよりなる変位量検出器。 - 【請求項2】 上記基準コイルは、上記ボビンの中心軸
の延長上に配置され、上記検出用強磁性体コアは上記ボ
ビン内に上記基準コイルとは反対端から出入可能に設け
られていることを特徴とする請求項1記載の変位量検出
器。 - 【請求項3】 強磁性体のコアを有する基準コイル及び
交流電源の直列回路が演算増幅器の反転入力と非反転入
力との間に接続され、中空ボビン上に均一なピッチで巻
回した測定コイルが上記演算増幅器の反転入力と出力と
の間に接続され、上記演算増幅器の出力と非反転入力と
の間に上記中空ボビン内に移動可能に設けた検出用強磁
性体コアの変位量に対応する出力信号を生ずるよう構成
した変位量計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10251091A JP2965557B1 (ja) | 1998-09-04 | 1998-09-04 | 変位量検出器及び変位量計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10251091A JP2965557B1 (ja) | 1998-09-04 | 1998-09-04 | 変位量検出器及び変位量計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2965557B1 true JP2965557B1 (ja) | 1999-10-18 |
JP2000081343A JP2000081343A (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=17217517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10251091A Expired - Lifetime JP2965557B1 (ja) | 1998-09-04 | 1998-09-04 | 変位量検出器及び変位量計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2965557B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10120822C2 (de) * | 2000-09-20 | 2003-03-06 | Balluff Gmbh | Induktiver Wegmessaufnehmer mit linearem Kennlinienverhalten |
JP4639273B2 (ja) * | 2000-10-18 | 2011-02-23 | 多摩川精機株式会社 | ブラシレスレゾルバ |
KR101178253B1 (ko) | 2012-02-08 | 2012-08-29 | 하나에버텍 주식회사 | 공기예열기의 변위 측정장치 |
-
1998
- 1998-09-04 JP JP10251091A patent/JP2965557B1/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000081343A (ja) | 2000-03-21 |
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