JP2957325B2 - 半導体露光装置 - Google Patents
半導体露光装置Info
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- JP2957325B2 JP2957325B2 JP26878991A JP26878991A JP2957325B2 JP 2957325 B2 JP2957325 B2 JP 2957325B2 JP 26878991 A JP26878991 A JP 26878991A JP 26878991 A JP26878991 A JP 26878991A JP 2957325 B2 JP2957325 B2 JP 2957325B2
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- Japan
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- cassette
- door
- slot
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフォトマスク又はレチク
ルを扱う半導体露光装置におけるレチクル搬送等の自動
処理に関するものである。
ルを扱う半導体露光装置におけるレチクル搬送等の自動
処理に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体素子の微細化に伴い、レチ
クルへの異物付着を防止するため、半導体露光装置内の
レチクルを収納するレチクルカセットからレチクルを抜
き出し露光位置まで人手を介さず自動的に搬送する装置
が開発されている。
クルへの異物付着を防止するため、半導体露光装置内の
レチクルを収納するレチクルカセットからレチクルを抜
き出し露光位置まで人手を介さず自動的に搬送する装置
が開発されている。
【０００３】また、近年ＩＣの多様化、カスタム化によ
るレチクル数の急増とともにレチクルカセットを収納す
るレチクル収納棚の収納数も増加している。
るレチクル数の急増とともにレチクルカセットを収納す
るレチクル収納棚の収納数も増加している。
【０００４】このような装置において、従来、レチクル
カセットの交換、新規挿入或いは取出し作業を行った場
合、作業者は収納棚内のスロット位置を装置制御部に入
力し、装置制御内部データを更新すると同時に新たに挿
入されたレチクルカセット面状に添付されているレチク
ルの固有情報を読み取るための動作開始指示を装置制御
部に与えていた。
カセットの交換、新規挿入或いは取出し作業を行った場
合、作業者は収納棚内のスロット位置を装置制御部に入
力し、装置制御内部データを更新すると同時に新たに挿
入されたレチクルカセット面状に添付されているレチク
ルの固有情報を読み取るための動作開始指示を装置制御
部に与えていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、レチクルカセット交換後人手により交換作業
に伴う情報を入力していたため、交換時の作業のわずら
わしさ、情報の入力ミス、情報の未入力等の問題が発生
していた。
来例では、レチクルカセット交換後人手により交換作業
に伴う情報を入力していたため、交換時の作業のわずら
わしさ、情報の入力ミス、情報の未入力等の問題が発生
していた。
【０００６】本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされ
たものであって、レチクルカセット挿入又は交換時に、
挿入或いは取り外したレチクルカセットのスロットを自
動検知し、且つ扉の開閉状態を検知する事により、作業
者の作業完了を自動的に判断し、前記レチクルカセット
交換後の作業者による情報入力或いは操作を省略するこ
とができる半導体露光装置の提供を目的とする。
たものであって、レチクルカセット挿入又は交換時に、
挿入或いは取り外したレチクルカセットのスロットを自
動検知し、且つ扉の開閉状態を検知する事により、作業
者の作業完了を自動的に判断し、前記レチクルカセット
交換後の作業者による情報入力或いは操作を省略するこ
とができる半導体露光装置の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の半導体露光装置は、レチクルを収納するカ
セットを複数収納可能なスロット並びに開閉可能な扉を
備えた収納棚と、前記スロットのカセットを検知するカ
セット検知センサーと、前記扉の開閉状態を検知する扉
開閉センサーと、前記スロットのカセット上のレチクル
情報を読取る読取り手段を有し、前記扉開閉センサーが
前記扉が開状態にあることを検知した後に前記スロット
に対するカセットの挿入又は交換が行なわれたかを前記
カセッ卜検知センサーを介して検知し、カセットの挿入
又は交換が行なわれたことが検知された前記スロットの
カセット上のレチクル情報を前記扉開閉センサーが前記
扉が閉状態にあることを検知した後に前記読取り手段で
読取ることを特徴とする。
め、本発明の半導体露光装置は、レチクルを収納するカ
セットを複数収納可能なスロット並びに開閉可能な扉を
備えた収納棚と、前記スロットのカセットを検知するカ
セット検知センサーと、前記扉の開閉状態を検知する扉
開閉センサーと、前記スロットのカセット上のレチクル
情報を読取る読取り手段を有し、前記扉開閉センサーが
前記扉が開状態にあることを検知した後に前記スロット
に対するカセットの挿入又は交換が行なわれたかを前記
カセッ卜検知センサーを介して検知し、カセットの挿入
又は交換が行なわれたことが検知された前記スロットの
カセット上のレチクル情報を前記扉開閉センサーが前記
扉が閉状態にあることを検知した後に前記読取り手段で
読取ることを特徴とする。
【０００８】
【作用】この構成において、人手によりカセット収納棚
の扉が開かれ、挿入または取出しされたレチクルカセッ
トの収納棚上のスロットはレチクルカセット挿入取出し
検知手段により判別される。カセット交換作業が完了す
ると作業者は前記扉を閉める。
の扉が開かれ、挿入または取出しされたレチクルカセッ
トの収納棚上のスロットはレチクルカセット挿入取出し
検知手段により判別される。カセット交換作業が完了す
ると作業者は前記扉を閉める。
【０００９】扉開閉検知手段により扉が閉じられたこと
を検知した後、情報読み取り手段は収納棚上のレチクル
カセット面上のレチクル情報を読み取る。情報読み取り
手段によって読み取られた個々のレチクル情報は情報伝
送手段を経てレチクル処理手段に送られる。
を検知した後、情報読み取り手段は収納棚上のレチクル
カセット面上のレチクル情報を読み取る。情報読み取り
手段によって読み取られた個々のレチクル情報は情報伝
送手段を経てレチクル処理手段に送られる。
【００１０】このような構成によりレチクルカセットの
新規挿入、交換位置及び作業完了が検知可能となり新規
挿入、交換作業に伴う以後の前記操作が不要となる。
新規挿入、交換位置及び作業完了が検知可能となり新規
挿入、交換作業に伴う以後の前記操作が不要となる。
【００１１】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１２】図１は本発明の実施例に係る半導体露光装
置のレチクルカセット収納棚を示す。
置のレチクルカセット収納棚を示す。
【００１３】図１に示すように、収納棚３は略密閉する
扉１を備えその内部に複数のレチクルカセット２を収納
することができる図２は収納棚３の内部を図１のＡ側よ
り見た図である。図２に示すように、収納棚３は複数個
のカセット置き台８を持ち、各カセット置き台８にはカ
セット２の挿入および取出しを検知するカセット検知セ
ンサー５が取り付けられている。また、扉１に対向する
位置に扉開閉検知センサー４が取りつけられ、扉１の状
態を常時確認している。
扉１を備えその内部に複数のレチクルカセット２を収納
することができる図２は収納棚３の内部を図１のＡ側よ
り見た図である。図２に示すように、収納棚３は複数個
のカセット置き台８を持ち、各カセット置き台８にはカ
セット２の挿入および取出しを検知するカセット検知セ
ンサー５が取り付けられている。また、扉１に対向する
位置に扉開閉検知センサー４が取りつけられ、扉１の状
態を常時確認している。
【００１４】扉１とは反対の位置である収納棚の後面に
はカセット２上の情報保持手段であるバーコード９を読
み取るバーコードリーダー６が取りつけられている。こ
のバーコードリーダー６は、垂直方向駆動機構７によ
り、垂直方向にカセット置き台８の最上段から最下段ま
で自由に移動できる。またバーコードリーダー６はバー
コードのデータを処理する情報処理装置１０に接続され
ている。
はカセット２上の情報保持手段であるバーコード９を読
み取るバーコードリーダー６が取りつけられている。こ
のバーコードリーダー６は、垂直方向駆動機構７によ
り、垂直方向にカセット置き台８の最上段から最下段ま
で自由に移動できる。またバーコードリーダー６はバー
コードのデータを処理する情報処理装置１０に接続され
ている。
【００１５】図３は本装置に使用されるレチクルカセッ
トの各情報を記憶するデータテーブルを示す図である。
トの各情報を記憶するデータテーブルを示す図である。
【００１６】図３に示すようにデータテーブルは収納棚
内のスロット数と同数の記憶エリア１４を持つ。記憶エ
リア１４は、カセットの挿入および取出しを検知するカ
セット検知センサー５の情報を記憶するエリア１１と、
バーコードリーダー６による読み取り動作の完了又は未
完了を記憶するエリア１２と、レチクル固有情報を記憶
するエリア１３とにより構成されている。
内のスロット数と同数の記憶エリア１４を持つ。記憶エ
リア１４は、カセットの挿入および取出しを検知するカ
セット検知センサー５の情報を記憶するエリア１１と、
バーコードリーダー６による読み取り動作の完了又は未
完了を記憶するエリア１２と、レチクル固有情報を記憶
するエリア１３とにより構成されている。
【００１７】次に装置の動作について説明する。
【００１８】半導体露光装置にレチクルを供給するに際
して、操作者の手によって収納棚３の扉１が開けられ、
扉開閉検知センサー４は扉が開状態になったことを検知
する。扉開閉センサー４が開状態を検知したことによ
り、カセット検知センサー５の動作が開始される。操作
者の手により収納棚３の任意のスロットにカセット２を
挿入し、カセット２が収納棚３の前記スロットのカセッ
ト置き台８に固定される。カセット２がカセット置き台
８に固定されると、カセット検知センサー５はカセット
側面を検知する。
して、操作者の手によって収納棚３の扉１が開けられ、
扉開閉検知センサー４は扉が開状態になったことを検知
する。扉開閉センサー４が開状態を検知したことによ
り、カセット検知センサー５の動作が開始される。操作
者の手により収納棚３の任意のスロットにカセット２を
挿入し、カセット２が収納棚３の前記スロットのカセッ
ト置き台８に固定される。カセット２がカセット置き台
８に固定されると、カセット検知センサー５はカセット
側面を検知する。
【００１９】カセット検知センサー５による検知状態
は、収納棚３内のスロット位置に該当する記憶エリア１
４のカセット検知センサー５の情報を記憶するエリア１
１に記憶される。
は、収納棚３内のスロット位置に該当する記憶エリア１
４のカセット検知センサー５の情報を記憶するエリア１
１に記憶される。
【００２０】操作者によるカセット挿入作業が完了し、
操作者の手により収納棚３の扉１が閉じられると、扉開
閉検知センサー４は扉が閉状態になったことを検知す
る。扉開閉センサー４が閉状態を検知したことによりカ
セット検知センサー５の動作が停止される。
操作者の手により収納棚３の扉１が閉じられると、扉開
閉検知センサー４は扉が閉状態になったことを検知す
る。扉開閉センサー４が閉状態を検知したことによりカ
セット検知センサー５の動作が停止される。
【００２１】また、扉開閉検知センサー４が閉状態を検
知したのと同時に本装置は前記、記憶エリア１４のカセ
ット検知センサー５の情報を記憶するエリア１１を検索
し挿入されたカセット２の位置を調べ、垂直方向駆動機
構７を使用し、前記位置にバーコードリーダー６を移動
させる。垂直方向駆動機構７は収納棚３の前記スロット
位置にバーコードリーダー６が移動するまで下降させカ
セット２の後面のバーコード９を読み取る。
知したのと同時に本装置は前記、記憶エリア１４のカセ
ット検知センサー５の情報を記憶するエリア１１を検索
し挿入されたカセット２の位置を調べ、垂直方向駆動機
構７を使用し、前記位置にバーコードリーダー６を移動
させる。垂直方向駆動機構７は収納棚３の前記スロット
位置にバーコードリーダー６が移動するまで下降させカ
セット２の後面のバーコード９を読み取る。
【００２２】バーコードリーダー６がカセット２の後面
のバーコード９を読み取ると、本装置は記憶エリア１４
のレチクル固有情報を記憶するエリア１３にレチクル情
報を書き込み、同時にバーコードリーダー６による読み
取り動作の完了、未完了を記憶するエリア１２に読み取
り動作が完了したことを書き込む。
のバーコード９を読み取ると、本装置は記憶エリア１４
のレチクル固有情報を記憶するエリア１３にレチクル情
報を書き込み、同時にバーコードリーダー６による読み
取り動作の完了、未完了を記憶するエリア１２に読み取
り動作が完了したことを書き込む。
【００２３】更に、前記記憶エリア１４のカセット検知
センサー５の情報を記憶するエリア１１を検索し、次に
挿入されたカセット２の位置を調べ、前記動作同様垂直
方向駆動機構７を使用しバーコードリーダー６を移動さ
せ、次に挿入させたカセット２のバーコード９を読み取
る。
センサー５の情報を記憶するエリア１１を検索し、次に
挿入されたカセット２の位置を調べ、前記動作同様垂直
方向駆動機構７を使用しバーコードリーダー６を移動さ
せ、次に挿入させたカセット２のバーコード９を読み取
る。
【００２４】カセットが挿入された全てのスロット位置
においてカセット２上のバーコード９を読み取ると垂直
方向駆動機構７はバーコードリーダー６を最上段の位置
に移動させる。
においてカセット２上のバーコード９を読み取ると垂直
方向駆動機構７はバーコードリーダー６を最上段の位置
に移動させる。
【００２５】カセット２のバーコード９の情報はデータ
テーブルとして情報処理装置１０に伝送される。情報処
理装置１０は収納棚３のデータテーブルを情報として蓄
える。
テーブルとして情報処理装置１０に伝送される。情報処
理装置１０は収納棚３のデータテーブルを情報として蓄
える。
【００２６】半導体露光装置よりレチクルを取出すに際
して操作者の手によって収納棚３の扉１が開けられ扉開
閉検知センサー４は扉が開状態になったことを検知す
る。扉開閉センサー４が開状態を検知したことによりカ
セット検知センサー５の動作が開始される。
して操作者の手によって収納棚３の扉１が開けられ扉開
閉検知センサー４は扉が開状態になったことを検知す
る。扉開閉センサー４が開状態を検知したことによりカ
セット検知センサー５の動作が開始される。
【００２７】操作者の手により収納棚３の任意のスロッ
トよりカセット２を取出し、カセット２が収納棚３の前
記スロットのカセット置き台８からはずされると、カセ
ット検知センサー５はカセット２が取り出されたことを
検知する。カセット検知センサー５による検知状態は収
納棚３内のスロット位置に該当する記憶エリア１４のカ
セット検知センサー５の情報を記憶するエリア１１に記
憶される。
トよりカセット２を取出し、カセット２が収納棚３の前
記スロットのカセット置き台８からはずされると、カセ
ット検知センサー５はカセット２が取り出されたことを
検知する。カセット検知センサー５による検知状態は収
納棚３内のスロット位置に該当する記憶エリア１４のカ
セット検知センサー５の情報を記憶するエリア１１に記
憶される。
【００２８】操作者によるカセット取出し作業が完了
し、操作者の手により収納棚３の扉１が閉じられると扉
開閉検知センサー４は扉が閉状態になったことを検知す
る。扉開閉センサー４が閉状態を検知したことによりカ
セット検知センサー５の動作が停止される。
し、操作者の手により収納棚３の扉１が閉じられると扉
開閉検知センサー４は扉が閉状態になったことを検知す
る。扉開閉センサー４が閉状態を検知したことによりカ
セット検知センサー５の動作が停止される。
【００２９】また、扉開閉検知センサー４が閉状態を検
知したのと同時に本装置は前記記憶エリア１４のカセッ
ト検知センサー５の情報を記憶するエリア１１を検索し
取り出されたカセット２の位置を調べ、記憶エリア１４
のレチクル固有情報を記憶するエリア１３のレチクル情
報を消去し、同時にバーコードリーダー６に読み取り動
作の完了、未完了を記憶するエリア１２に読み取り動作
が未完了であることをかきこむ。
知したのと同時に本装置は前記記憶エリア１４のカセッ
ト検知センサー５の情報を記憶するエリア１１を検索し
取り出されたカセット２の位置を調べ、記憶エリア１４
のレチクル固有情報を記憶するエリア１３のレチクル情
報を消去し、同時にバーコードリーダー６に読み取り動
作の完了、未完了を記憶するエリア１２に読み取り動作
が未完了であることをかきこむ。
【００３０】更に、前記記憶エリア１４のカセット検知
センサー５の情報を記憶するエリア１１を検索し、次に
取り出されたカセット２の位置を調べ、前記動作同様レ
チクル固有情報を記憶するエリア１３のレチクル情報を
消去し、同時にバーコードリーダー６による読み取り動
作の完了、未完了を記憶するエリア１２に動作が未完了
であることを書きこむ。
センサー５の情報を記憶するエリア１１を検索し、次に
取り出されたカセット２の位置を調べ、前記動作同様レ
チクル固有情報を記憶するエリア１３のレチクル情報を
消去し、同時にバーコードリーダー６による読み取り動
作の完了、未完了を記憶するエリア１２に動作が未完了
であることを書きこむ。
【００３１】前記記憶エリア１４の情報はデータテーブ
ルとして情報処理装置１０に伝送される。情報処理装置
１０は収納棚３のデータテーブルを情報として蓄える。
ルとして情報処理装置１０に伝送される。情報処理装置
１０は収納棚３のデータテーブルを情報として蓄える。
【００３２】上記実施例においてはカセット上の情報読
み取り動作を開始する信号として扉検知手段の信号を使
用しているが、収納棚が扉を具備しない半導体露光装置
についてはカセット挿入取出し検知手段の信号のみを用
いて情報の読み取り動作を行えば、本発明と同様の動作
を行うことができる。
み取り動作を開始する信号として扉検知手段の信号を使
用しているが、収納棚が扉を具備しない半導体露光装置
についてはカセット挿入取出し検知手段の信号のみを用
いて情報の読み取り動作を行えば、本発明と同様の動作
を行うことができる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
扉開閉センサーが扉が開状態にあることを検知した後に
スロットに対するカセットの挿入又は交換が行なわれた
かをカセット検知センサーを介して検知し、カセットの
挿入又は交換が行なわれたことが検知されたスロットの
カセット上のレチクル情報を扉開閉センサーが扉が閉状
態にあることを検知した後に前記読取り手段で読取るこ
とにより、作業者の作業完了を自動で判断し、前記レチ
クルカセット交換以後の作業者による情報入力或いは操
作を省略することが可能となり、新規挿入又は交換後の
作業および操作が簡略化され、情報の入力ミスや、情報
の未入力等の問題発生を防止することができる。
扉開閉センサーが扉が開状態にあることを検知した後に
スロットに対するカセットの挿入又は交換が行なわれた
かをカセット検知センサーを介して検知し、カセットの
挿入又は交換が行なわれたことが検知されたスロットの
カセット上のレチクル情報を扉開閉センサーが扉が閉状
態にあることを検知した後に前記読取り手段で読取るこ
とにより、作業者の作業完了を自動で判断し、前記レチ
クルカセット交換以後の作業者による情報入力或いは操
作を省略することが可能となり、新規挿入又は交換後の
作業および操作が簡略化され、情報の入力ミスや、情報
の未入力等の問題発生を防止することができる。
【図１】 半導体露光装置のレチクルカセット収納棚の
外観斜視図である。
外観斜視図である。
【図２】 レチクルカセット収納棚の内部を示す斜視図
である。
である。
【図３】 レチクルカセットのデータテーブルを示すレ
イアウト図である。
イアウト図である。
１；収納棚の扉、２；収納棚に収納されたレチクルカセ
ット、３；収納棚、４；扉の開閉状態を検知する扉開閉
検知センサー、５；カセットの挿入および取出しを検知
するカセット検知センサー、６；カセット上のバーコー
ドを読み取るバーコードリーダー、７；バーコードリー
ダーを垂直方向に駆動する垂直駆動機構、８；カセット
を固定するためのカセット置き台、９；カセット上のバ
ーコード、１０；バーコード情報を記憶および処理する
情報処理手段、１１；カセット検知センサーの情報を記
憶するエリア、１２；カセットバーコードリーダの読み
取り完了および未完了を記憶するエリア、１３；レチク
ル固有情報を記憶するエリア、１４；１スロットのデー
ター記憶エリア。
ット、３；収納棚、４；扉の開閉状態を検知する扉開閉
検知センサー、５；カセットの挿入および取出しを検知
するカセット検知センサー、６；カセット上のバーコー
ドを読み取るバーコードリーダー、７；バーコードリー
ダーを垂直方向に駆動する垂直駆動機構、８；カセット
を固定するためのカセット置き台、９；カセット上のバ
ーコード、１０；バーコード情報を記憶および処理する
情報処理手段、１１；カセット検知センサーの情報を記
憶するエリア、１２；カセットバーコードリーダの読み
取り完了および未完了を記憶するエリア、１３；レチク
ル固有情報を記憶するエリア、１４；１スロットのデー
ター記憶エリア。
Claims (4)
- 【請求項１】 レチクルを収納するカセットを複数収納
可能なスロット並びに開閉可能な扉を備えた収納棚と、
前記スロットのカセットを検知するカセット検知センサ
ーと、前記扉の開閉状態を検知する扉開閉センサーと、
前記スロットのカセット上のレチクル情報を読取る読取
り手段を有し、前記扉開閉センサーが前記扉が開状態に
あることを検知した後に前記スロットに対するカセット
の挿入又は交換が行なわれたかを前記カセッ卜検知セン
サーを介して検知し、カセットの挿入又は交換が行なわ
れたことが検知された前記スロットのカセット上のレチ
クル情報を前記扉開閉センサーが前記扉が閉状態にある
ことを検知した後に前記読取り手段で読取ることを特徴
とする半導体露光装置。 - 【請求項２】 前記読取り手段で読取られた前記スロッ
トのカセット上のレチクル情報を前記スロットごとに記
憶する記憶手段を有することを特徴とする請求項１の半
導体露光装置。 - 【請求項３】 前記スロットに対するカセットの取外し
を前記カセット検知センサーを介して検知し、カセット
の取外しが行われたことが検知された前記スロットのカ
セット上のレチクル情報を前記扉開閉センサーが前記扉
が閉状態にあることを検知した後に前記記憶手段から消
去することを特徴とする請求項２の半導体露光装置。 - 【請求項４】 前記記憶手段は前記カセット検知センサ
ーを介して検知された前記スロットに対するカセットの
挿入又は交換を示す情報を前記スロットごとに記憶する
ことを特徴とする請求項３の半導体露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26878991A JP2957325B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 半導体露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26878991A JP2957325B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 半導体露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582408A JPH0582408A (ja) | 1993-04-02 |
| JP2957325B2 true JP2957325B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=17463302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26878991A Expired - Fee Related JP2957325B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 半導体露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2957325B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5754113B2 (ja) * | 2010-11-15 | 2015-07-29 | 株式会社ニコン | 基板貼り合わせ装置、基板貼り合わせ方法および積層半導体装置製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62102524A (ja) * | 1985-10-29 | 1987-05-13 | Canon Inc | マスクチエンジヤ− |
| JP2532836B2 (ja) * | 1986-05-21 | 1996-09-11 | キヤノン株式会社 | マスク自動交換装置 |
| JPS6322448A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-29 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
-
1991
- 1991-09-20 JP JP26878991A patent/JP2957325B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0582408A (ja) | 1993-04-02 |
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