JP2946591B2 - 固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents

固体電解コンデンサの製造方法

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隆 伊田
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郁 渡辺
▲吉▼浩 樋口
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、固体電解コンデンサの製造方法に関し、特
に、半導体層の形成方法に関するものである。
従来の技術 従来においては、固体電解コンデンサを製造する場
合、弁作用を有する金属焼結体の表面に陽極酸化により
酸化皮膜を形成し、そしてこの金属焼結体の酸化皮膜上
に半導体層として二酸化マンガン層を形成していたが、
この二酸化マンガン層を形成するために、陽極酸化を行
った金属焼結体に、ある濃度の硝酸マンガン溶液を含浸
させ、その後200〜300℃・湿度2%以下の乾燥雰囲気中
で熱分解するということを10数回繰り返していた。な
お、硝酸マンガンは比重1.10〜1.95の濃度のものが用い
られ、最初は低い濃度のものを用い、順次高い濃度のも
のを用いていた。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、このような従来の方法では、容量達成
率は高いが、生成された二酸化マンガンは非常に多孔性
であり、かつ陽極体との接触強度が弱いため、損失値が
大きく、容量の周波数特性もあまり好ましいものではな
かった。従って、緻密な二酸化マンガンを生成させるこ
とが望ましいが、その目的のために熱分解の雰囲気の湿
度を高くすると、容量達成率が悪く、かつ漏れ電流値も
高くなるという課題があった。
本発明は、これらの課題を解決するもので、容量達成
率、損失特性、容量の周波数特性および漏れ電流特性が
良好な二酸化マンガンよりなる半導体層を形成すること
ができる固体電解コンデンサの製造方法を提供すること
を目的とする。
課題を解決するための手段 上記目的を達成するために、本発明の固体電解コンデ
ンサの製造方法は、陽極酸化により酸化皮膜を形成した
金属焼結体の酸化皮膜上に半導体母液を含浸させ、これ
を熱分解することによって二酸化マンガンよりなる半導
体層を形成する際、湿度50%以上のスチーム雰囲気と湿
度2%以下の乾燥雰囲気とを交互に用いて半導体母液を
熱分解することによって、二酸化マンガンよりなる半導
体層を形成するようにしたものである。
作用 上記した製造方法によれば、2種類の雰囲気で交互に
熱分解するようにしているため、2種類、すなわち多孔
性の二酸化マンガンよりなる半導体層と緻密な二酸化マ
ンガンよりなる半導体層とが交互に繰り返されるという
構造となり、その結果、でき上がった固体電解コンデン
サでは、各々単独の雰囲気で熱分解を行った場合の長所
のみが反映されることになるため、容量達成率、損失特
性、容量の周波数特性及び漏れ電流特性の優れたものを
得ることができる。
実施例 以下、本発明の実施例を従来例と比較しながら説明す
る。
従来例1 弁作用金属であるタンタル粉末を周知の方法で成形,
焼結して金属焼結体とし、この金属焼結体をリン酸水溶
液中で陽極酸化することにより酸化皮膜を形成する。次
いで比重が1.35の硝酸マンガン溶液を常温で前記酸化皮
膜上に浸漬付着させた後、温度250℃・湿度1%の乾燥
雰囲気で熱分解することによって二酸化マンガンよりな
る半導体層を形成する。この操作を6回繰り返した後、
比重が1.90の硝酸マンガン溶液でも同様に4回繰り返
す。次にグラファイト層,銀ペースト層及び半田層の陰
極導体部を形成し、そして樹脂外装を施して固体電解コ
ンデンサを製造した。
従来例2 従来例1における熱分解を、温度250℃・湿度60%の
スチーム雰囲気で行ったものを従来例2とする。
実施例1 従来例1,2では、温度250℃・湿度1%の乾燥雰囲気あ
るいは温度250℃・湿度60%のスチーム雰囲気を単独で
用いて熱分解を行っていたが、実施例1は、温度250℃
・湿度60%のスチーム雰囲気と温度250℃・湿度1%の
乾燥雰囲気を交互に用いて熱分解を行うようにしたもの
のうち、温度250℃・湿度60%のスチーム雰囲気での熱
分解から始めたものである。
実施例2 実施例1では、温度250℃・湿度60%のスチーム雰囲
気での熱分解から始めたが、実施例2は温度250℃・湿
度1%の乾燥雰囲気での熱分解から始めたものである。
表1は以上説明した本発明の実施例1,2における固体
電解コンデンサの特性を、従来例1,2の特性と比較した
結果を示したものである。
表1の結果から明らかなように、本発明の実施例1,2
における固体電解コンデンサは、単一の熱分解雰囲気で
行った従来例1,2の全ての特性を改善することができ
た。
発明の効果 以上のように本発明の固体電解コンデンサの製造方法
によれば、陽極酸化により酸化皮膜を形成した金属焼結
体の酸化皮膜上に半導体母液を含浸させ、これを熱分解
することによって二酸化マンガンよりなる半導体層を形
成する際、湿度50%以上のスチーム雰囲気と湿度2%以
下の乾燥雰囲気とを交互に用いて半導体母液を熱分解す
ることによって、二酸化マンガンよりなる半導体層を形
成するようにしているため、単一の熱分解雰囲気で行っ
た従来のものよりも容量達成率、損失特性、容量の周波
数特性および漏れ電流特性の優れた固体電解コンデンサ
を製造することができるものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樋口 ▲吉▼浩 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平1−232711(JP,A) 特開 昭59−115516(JP,A) 特公 昭52−10840(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01G 9/032

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】弁作用を有する金属焼結体の表面に陽極酸
    化により酸化皮膜を形成し、この金属焼結体の酸化皮膜
    上に半導体母液を含浸させ、これを熱分解することによ
    って二酸化マンガンよりなる半導体層を形成する際、湿
    度50%以上のスチーム雰囲気と湿度2%以下の乾燥雰囲
    気とを交互に用いて半導体母液を熱分解することによっ
    て、二酸化マンガンよりなる半導体層を形成することを
    特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
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