JP2944015B2 - 磁気ディスク検査装置 - Google Patents
磁気ディスク検査装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気ディスクの検査
方法に関するものである。
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータシステムに使用される磁気
ディスク（以下単にディスクという）は、その磁気膜の
表面が平滑で、かつ良好な記録性能が要求されている。
表面を平滑にするために、まずバーニッシュ・ヘッドに
より表面に存在する突起がバーニッシュ（研磨）された
後、グライドテスターにより突起の有無を検出してその
平滑度が検査される。ついで、サーティファイヤにより
磁気膜に対してテスト信号の書込み／読み出しを行い、
エラーの有無を検出して記録性能がサーティファイ（保
証）されている。
ディスク（以下単にディスクという）は、その磁気膜の
表面が平滑で、かつ良好な記録性能が要求されている。
表面を平滑にするために、まずバーニッシュ・ヘッドに
より表面に存在する突起がバーニッシュ（研磨）された
後、グライドテスターにより突起の有無を検出してその
平滑度が検査される。ついで、サーティファイヤにより
磁気膜に対してテスト信号の書込み／読み出しを行い、
エラーの有無を検出して記録性能がサーティファイ（保
証）されている。
【０００３】当初においては、バーニッシュと、グライ
ドテスター、サーティファイヤは、それぞれ独立した装
置とされていたが、その場合は各装置にスピンドルとキ
ャリッジ機構が必要であり、また被検査のディスクを各
スピンドルに装着替えするための時間を要するため効率
的でない。そこで、各装置を一元化した検査装置が開発
され、この発明の特許出願人により「特開平6-162496
号、磁気ディスク検査装置」が特許出願されている。
ドテスター、サーティファイヤは、それぞれ独立した装
置とされていたが、その場合は各装置にスピンドルとキ
ャリッジ機構が必要であり、また被検査のディスクを各
スピンドルに装着替えするための時間を要するため効率
的でない。そこで、各装置を一元化した検査装置が開発
され、この発明の特許出願人により「特開平6-162496
号、磁気ディスク検査装置」が特許出願されている。
【０００４】図３により上記の特許出願にかかる磁気デ
ィスク検査装置の概要を説明する。図３(a) はこの検査
装置１０の平面図を示し、ベース盤３の中央部に開口31
を設け、ベース盤３の下側に設けたスピンドル移動機構
２a により、開口内のＹ方向の一定距離間隔Ｙ1 をなす
２点Ｏ1 とＯ2 間を移動するスピンドル２を設ける。開
口31の両側には、２組のキャリッジ機構４Ａ，４Ｂを配
設し、キャリッジ機構４Ａの移動部41a に、上記の一定
距離間隔Ｙ1 をなしてバーニッシュ・ヘッド（ＢＨ）と
第１のサーティファイ・ヘッド（ＣＨA)とを固定する。
またキャリッジ機構４Ｂの移動部41b に、同様にグライ
ド・ヘッド（ＧＨ）と第２のサーティファイ・ヘッド
（ＣＨB)とを固定する。
ィスク検査装置の概要を説明する。図３(a) はこの検査
装置１０の平面図を示し、ベース盤３の中央部に開口31
を設け、ベース盤３の下側に設けたスピンドル移動機構
２a により、開口内のＹ方向の一定距離間隔Ｙ1 をなす
２点Ｏ1 とＯ2 間を移動するスピンドル２を設ける。開
口31の両側には、２組のキャリッジ機構４Ａ，４Ｂを配
設し、キャリッジ機構４Ａの移動部41a に、上記の一定
距離間隔Ｙ1 をなしてバーニッシュ・ヘッド（ＢＨ）と
第１のサーティファイ・ヘッド（ＣＨA)とを固定する。
またキャリッジ機構４Ｂの移動部41b に、同様にグライ
ド・ヘッド（ＧＨ）と第２のサーティファイ・ヘッド
（ＣＨB)とを固定する。
【０００５】検査においては、点Ｏ1 にいるスピンドル
２に被検査のディスク１を装着して回転する。これに対
してキャリッジ機構４Ａにより（ＢＨ）がディスク１に
対して前進し、その表面をバーニッシュし、これが終了
すると（ＢＨ）は後退し、代わってキャリッジ機構４Ｂ
により（ＧＨ）が前進してグライドテストがなされ、そ
の終了により後退する。ついで、スピンドル２は点Ｏ2
に移動し、両キャリッジ機構４Ａ，４Ｂにより、（ＣＨ
A)と（ＣＨB)とがディスク１に対して同時に前進する。
この場合ディスク１は、図(b) に示すように、表面は外
周と内周の中間に設けた仮想境界線Ｃにより領域１a と
１b に２区分され、（ＣＨA)により領域１a が、（ＣＨ
B)により領域１b がそれぞれ並列にサーティファイテス
トされる。このように、表面を２区分して並列に行う理
由は、サーティファイテストにはかなり長時間を要する
からであり、２区分並列により所要時間は１／２に短縮
されている。
２に被検査のディスク１を装着して回転する。これに対
してキャリッジ機構４Ａにより（ＢＨ）がディスク１に
対して前進し、その表面をバーニッシュし、これが終了
すると（ＢＨ）は後退し、代わってキャリッジ機構４Ｂ
により（ＧＨ）が前進してグライドテストがなされ、そ
の終了により後退する。ついで、スピンドル２は点Ｏ2
に移動し、両キャリッジ機構４Ａ，４Ｂにより、（ＣＨ
A)と（ＣＨB)とがディスク１に対して同時に前進する。
この場合ディスク１は、図(b) に示すように、表面は外
周と内周の中間に設けた仮想境界線Ｃにより領域１a と
１b に２区分され、（ＣＨA)により領域１a が、（ＣＨ
B)により領域１b がそれぞれ並列にサーティファイテス
トされる。このように、表面を２区分して並列に行う理
由は、サーティファイテストにはかなり長時間を要する
からであり、２区分並列により所要時間は１／２に短縮
されている。
【０００６】図３(c) は回路構成を示し、上記の（Ｇ
Ｈ）は突起信号処理回路５に、（ＣＨA)および（ＣＨB)
はサーティファイ回路６にそれぞれ接続され、また各キ
ャリッジ機構４Ａ，４Ｂとスピンドル移動機構２a に対
する制御回路７が設けられる。各回路５，６，７はコン
ピュータ（ＣＰＵ）８に接続され、その指令の下に各キ
ャリッジ機構４Ａ，４Ｂが移動して上記のバーニッシュ
と、グライドテストおよびサーティファイテストがこの
順序でなされ、（ＧＨ）が出力する突起検出信号と、
（ＣＨA)および（ＣＨB)が出力するサーティファイ信号
とが、回路５と回路６にそれぞれ入力して処理され、処
理された各データはＣＰＵ８に入力し、適当に編集され
て出力される。以上により、ディスクはスピンドルに対
して装着替えすることなく、各処理が同一装置でなされ
て検査効率が向上する。なお上記においては、回路５と
回路６は交互に動作し、一方が動作中は他方は動作を休
止している。
Ｈ）は突起信号処理回路５に、（ＣＨA)および（ＣＨB)
はサーティファイ回路６にそれぞれ接続され、また各キ
ャリッジ機構４Ａ，４Ｂとスピンドル移動機構２a に対
する制御回路７が設けられる。各回路５，６，７はコン
ピュータ（ＣＰＵ）８に接続され、その指令の下に各キ
ャリッジ機構４Ａ，４Ｂが移動して上記のバーニッシュ
と、グライドテストおよびサーティファイテストがこの
順序でなされ、（ＧＨ）が出力する突起検出信号と、
（ＣＨA)および（ＣＨB)が出力するサーティファイ信号
とが、回路５と回路６にそれぞれ入力して処理され、処
理された各データはＣＰＵ８に入力し、適当に編集され
て出力される。以上により、ディスクはスピンドルに対
して装着替えすることなく、各処理が同一装置でなされ
て検査効率が向上する。なお上記においては、回路５と
回路６は交互に動作し、一方が動作中は他方は動作を休
止している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】さて、最近においては
磁気ディスクの需要が増加し、上記の磁気ディスク検査
装置１０の増設が必要とされている。増設により２組と
された場合、各検査装置１０が有する突起信号処理回路
５とサーティファイ回路６は、上記のように交互に動作
するので、検査手順を適切に設定すれば、２組の検査装
置に対して１組の回路５と回路６とを共通に使用するこ
とが可能であり、これにより検査装置のコストパホーマ
ンスを向上することができる。この発明は、以上に鑑み
てなされたもので、２組の検査装置に対して共通の突起
信号検出回路５とサーティファイ回路６を設け、検査装
置のコストパホーマンスを向上した磁気ディスク検査装
置を提供することを目的とする。
磁気ディスクの需要が増加し、上記の磁気ディスク検査
装置１０の増設が必要とされている。増設により２組と
された場合、各検査装置１０が有する突起信号処理回路
５とサーティファイ回路６は、上記のように交互に動作
するので、検査手順を適切に設定すれば、２組の検査装
置に対して１組の回路５と回路６とを共通に使用するこ
とが可能であり、これにより検査装置のコストパホーマ
ンスを向上することができる。この発明は、以上に鑑み
てなされたもので、２組の検査装置に対して共通の突起
信号検出回路５とサーティファイ回路６を設け、検査装
置のコストパホーマンスを向上した磁気ディスク検査装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成する磁気ディスク検査装置であって、磁気ディス
クが装着されるスピンドルと、バーニッシュ・ヘッド及
びグライド・ヘッド（ＧＨ）の一方と第１のサーティフ
ァイ・ヘッド（ＣＨ A )とがこれらヘッドを移動させる方
向に対して直角な方向に並べられた第１の・ヘッド移動
機構と、バーニッシュ・ヘッド及びグライド・ヘッドの
他方と第２のサーティファイ・ヘッド（ＣＨ B )とがこれ
らヘッドを移動させる方向に対して直角な方向に並べら
れた第２のヘッド移動機構とを有し、一方のヘッド及び
他方のヘッドから第１及び第２のサーティファイ・ヘッ
ドへヘッド切替を行うものであって、ヘッド切替を各ヘ
ッドの移動方向に対して直角な方向にスピンドル側を移
動させることにより行う第１および第２の検査装置と、
グライド・ヘッドから突起検出信号を受けて突起検出を
行う突起検出信号処理回路と、サーティファイ・ヘッド
からの信号を受けて記録性能としてのエラーの有無を検
出するサーティファイエラー検出回路と、第１の検査装
置のグライド・ヘッドの突起検出信号を突起検出信号処
理回路へ入力しかつ第２の検査装置の第１および第２の
サーティファイ・ヘッドをサーティファイエラー検出回
路に入力する第１の接続と第２の検査装置のグライド・
ヘッドの突起検出信号を突起検出信号処理回路へ入力し
かつ第１の検査装置の第１および第２のサーティファイ
・ヘッドをサーティファイエラー検出回路に入力する第
２の接続との接続切換えを行う接続切換回路とを備えて
いて、第１および第２の検査装置のいずれか一方がサー
ティファイ・ヘッドによりサーティファイ検査をしてい
るときにいずれか他方がグライド・ヘッドによりグライ
ド検査を行うものである。
を達成する磁気ディスク検査装置であって、磁気ディス
クが装着されるスピンドルと、バーニッシュ・ヘッド及
びグライド・ヘッド（ＧＨ）の一方と第１のサーティフ
ァイ・ヘッド（ＣＨ A )とがこれらヘッドを移動させる方
向に対して直角な方向に並べられた第１の・ヘッド移動
機構と、バーニッシュ・ヘッド及びグライド・ヘッドの
他方と第２のサーティファイ・ヘッド（ＣＨ B )とがこれ
らヘッドを移動させる方向に対して直角な方向に並べら
れた第２のヘッド移動機構とを有し、一方のヘッド及び
他方のヘッドから第１及び第２のサーティファイ・ヘッ
ドへヘッド切替を行うものであって、ヘッド切替を各ヘ
ッドの移動方向に対して直角な方向にスピンドル側を移
動させることにより行う第１および第２の検査装置と、
グライド・ヘッドから突起検出信号を受けて突起検出を
行う突起検出信号処理回路と、サーティファイ・ヘッド
からの信号を受けて記録性能としてのエラーの有無を検
出するサーティファイエラー検出回路と、第１の検査装
置のグライド・ヘッドの突起検出信号を突起検出信号処
理回路へ入力しかつ第２の検査装置の第１および第２の
サーティファイ・ヘッドをサーティファイエラー検出回
路に入力する第１の接続と第２の検査装置のグライド・
ヘッドの突起検出信号を突起検出信号処理回路へ入力し
かつ第１の検査装置の第１および第２のサーティファイ
・ヘッドをサーティファイエラー検出回路に入力する第
２の接続との接続切換えを行う接続切換回路とを備えて
いて、第１および第２の検査装置のいずれか一方がサー
ティファイ・ヘッドによりサーティファイ検査をしてい
るときにいずれか他方がグライド・ヘッドによりグライ
ド検査を行うものである。
【０００９】
【作用】上記の検査装置においては、第１および第２の
検査装置のうちの一方の検査装置のグライド・ヘッド
（ＧＨ）が動作するときは、接続切換回路（切替えスイ
ッチ）により（ＧＨ）が共通の突起信号処理回路に接続
されて、その突起検出信号が処理され、これと並列に、
他方の検査装置の第１および第２のサーティファイ・ヘ
ッド（ＣＨA)，（ＣＨB)が動作し、これらが共通のサー
ティファイエラー検出回路（以下サーティファイ回路）
に接続され、そのサーティファイ信号がサーティファイ
回路により処理される。両処理が終了すると、一方の検
査装置のサーティファイ・ヘッド（ＣＨA)，（ＣＨB)
と、他方の検査装置のグライド・ヘッド（ＧＨ）とがそ
れぞれ動作し、スイッチの切替えにより、これらが突起
信号処理回路とサーティファイ回路にそれぞれ接続され
て、その突起検出信号とサーティファイ信号が並列に処
理される。このように第１，第２の検査装置の突起検出
信号とサーティファイ信号の処理が共通の両回路により
並列で、かつ交互になされるので、両回路が効率的に稼
働して検査装置のコストパホーマンスが向上するわけで
ある。
検査装置のうちの一方の検査装置のグライド・ヘッド
（ＧＨ）が動作するときは、接続切換回路（切替えスイ
ッチ）により（ＧＨ）が共通の突起信号処理回路に接続
されて、その突起検出信号が処理され、これと並列に、
他方の検査装置の第１および第２のサーティファイ・ヘ
ッド（ＣＨA)，（ＣＨB)が動作し、これらが共通のサー
ティファイエラー検出回路（以下サーティファイ回路）
に接続され、そのサーティファイ信号がサーティファイ
回路により処理される。両処理が終了すると、一方の検
査装置のサーティファイ・ヘッド（ＣＨA)，（ＣＨB)
と、他方の検査装置のグライド・ヘッド（ＧＨ）とがそ
れぞれ動作し、スイッチの切替えにより、これらが突起
信号処理回路とサーティファイ回路にそれぞれ接続され
て、その突起検出信号とサーティファイ信号が並列に処
理される。このように第１，第２の検査装置の突起検出
信号とサーティファイ信号の処理が共通の両回路により
並列で、かつ交互になされるので、両回路が効率的に稼
働して検査装置のコストパホーマンスが向上するわけで
ある。
【００１０】
【実施例】図１はこの発明を適用した磁気ディスク検査
装置の一実施例を示し、(a) は平面図、(b) は接続回路
図である。図２はこの発明の検査処理のタイムチャート
を示す。図１(a) において、２組の検査装置１０Ｌ，１
０Ｒは、前記した図３の検査装置１０と同一のもので、
同一構成要素は同じ符号とする。ただし各符号には検査
装置１０Ｌと１０Ｒに対応して添え字Ｌ，Ｒをつけて区
別する。なお、以下の実施例は、磁気ディスク１の上面
側（表面側）のみを中心に説明するが、実際の装置とし
ては、磁気ディスク１の下面側（裏面側）も同時にテス
トするために、下面側にも上面と同様にそれぞれのヘッ
ドが配置されていて、上下ヘッドに対応してそれぞれの
測定部が設けられている。そして、下面側の測定関係も
上面と同様である。また、図は、上面側のヘッド配置の
みを示すが、その下側には、それらに対応して下面側の
ヘッドが配置されている。
装置の一実施例を示し、(a) は平面図、(b) は接続回路
図である。図２はこの発明の検査処理のタイムチャート
を示す。図１(a) において、２組の検査装置１０Ｌ，１
０Ｒは、前記した図３の検査装置１０と同一のもので、
同一構成要素は同じ符号とする。ただし各符号には検査
装置１０Ｌと１０Ｒに対応して添え字Ｌ，Ｒをつけて区
別する。なお、以下の実施例は、磁気ディスク１の上面
側（表面側）のみを中心に説明するが、実際の装置とし
ては、磁気ディスク１の下面側（裏面側）も同時にテス
トするために、下面側にも上面と同様にそれぞれのヘッ
ドが配置されていて、上下ヘッドに対応してそれぞれの
測定部が設けられている。そして、下面側の測定関係も
上面と同様である。また、図は、上面側のヘッド配置の
みを示すが、その下側には、それらに対応して下面側の
ヘッドが配置されている。
【００１１】次に図１(b) において、突起信号処理回路
５とサーティファイ回路６は、図３(c) と同一のものと
する。９は切替えスイッチを示し、両検査装置１０Ｌ，
１０Ｒのグライド・ヘッド（ＧＨL),(ＧＨR)は、図示の
ようにスイッチ９を経て回路５に接続される。同様に、
両検査装置の第１および第２のサーティファイ・ヘッド
（ＣＨAL),（ＣＨBL）と（ＣＨAR),（ＣＨBR）は、同様
にスイッチ９を経て回路６に接続される。また、制御回
路７ｉは両検査装置の各キャリッジ機構４ＡL,４ＡR と
４ＢL,４ＢR と各スピンドル移動機構２aL，２aRのほ
か、スイッチ９が接続され、さらに各回路５，６，７は
ＣＰＵ８に接続される。
５とサーティファイ回路６は、図３(c) と同一のものと
する。９は切替えスイッチを示し、両検査装置１０Ｌ，
１０Ｒのグライド・ヘッド（ＧＨL),(ＧＨR)は、図示の
ようにスイッチ９を経て回路５に接続される。同様に、
両検査装置の第１および第２のサーティファイ・ヘッド
（ＣＨAL),（ＣＨBL）と（ＣＨAR),（ＣＨBR）は、同様
にスイッチ９を経て回路６に接続される。また、制御回
路７ｉは両検査装置の各キャリッジ機構４ＡL,４ＡR と
４ＢL,４ＢR と各スピンドル移動機構２aL，２aRのほ
か、スイッチ９が接続され、さらに各回路５，６，７は
ＣＰＵ８に接続される。
【００１２】以下、図１(a),(b) に図２を併用して、デ
ィスクの検査方法を説明する。図１(a) において、検査
装置１０Ｌのスピンドル２L を点Ｏ1 の位置におき、こ
れに被検査のディスク１L を装着（タイムチャートの
［ＨL]、以下同様）する。キャリッジ機構４ＡL により
バーニッシュヘッド（ＢＨL)をディスク１L に対して移
動し、その表面がバーニッシュ［Ｂ］され、ついで（Ｇ
ＨL)を移動してディスクの表面の突起が検出され、突起
検出信号がスイッチ９を経て突起信号処理回路５に入力
してグライドテスト［Ｇ］される。これが終了するとス
ピンドル２Lは点Ｏ2 に移動［Ｔ］し、サーティファイ
テスト［Ｃ］に移行する。一方検査装置１０Ｒにおいて
は、スピンドル２R に装着されたディスク１R は、ディ
スク１L と同様のバーニッシュ［Ｂ］とグライドテスト
［Ｇ］がすでに終了し、スピンドル２L が実線のように
点Ｏ2 に移動している。ここで、上記のディスク１L の
装着［ＨL]，バーニッシュ［Ｂ］，グライドテスト
［Ｇ］に並行して、サーティファイ・ヘッド（ＣＨAR),
（ＣＨBR）が表面を走査し、それぞれのサーティファイ
信号がスイッチ９を経てサーティファイ回路６に入力し
てサーティファイテスト［Ｃ］がなされ、つづいてイレ
ーズ処理［Ｅ］がなされる。これが終了するとディスク
１R はスピンドル２R から脱去［ＨU]され、ついでスピ
ンドル２R は点Ｏ1 に移動［Ｔ］して、次位のディスク
１R の装着［ＨL]に移行する。
ィスクの検査方法を説明する。図１(a) において、検査
装置１０Ｌのスピンドル２L を点Ｏ1 の位置におき、こ
れに被検査のディスク１L を装着（タイムチャートの
［ＨL]、以下同様）する。キャリッジ機構４ＡL により
バーニッシュヘッド（ＢＨL)をディスク１L に対して移
動し、その表面がバーニッシュ［Ｂ］され、ついで（Ｇ
ＨL)を移動してディスクの表面の突起が検出され、突起
検出信号がスイッチ９を経て突起信号処理回路５に入力
してグライドテスト［Ｇ］される。これが終了するとス
ピンドル２Lは点Ｏ2 に移動［Ｔ］し、サーティファイ
テスト［Ｃ］に移行する。一方検査装置１０Ｒにおいて
は、スピンドル２R に装着されたディスク１R は、ディ
スク１L と同様のバーニッシュ［Ｂ］とグライドテスト
［Ｇ］がすでに終了し、スピンドル２L が実線のように
点Ｏ2 に移動している。ここで、上記のディスク１L の
装着［ＨL]，バーニッシュ［Ｂ］，グライドテスト
［Ｇ］に並行して、サーティファイ・ヘッド（ＣＨAR),
（ＣＨBR）が表面を走査し、それぞれのサーティファイ
信号がスイッチ９を経てサーティファイ回路６に入力し
てサーティファイテスト［Ｃ］がなされ、つづいてイレ
ーズ処理［Ｅ］がなされる。これが終了するとディスク
１R はスピンドル２R から脱去［ＨU]され、ついでスピ
ンドル２R は点Ｏ1 に移動［Ｔ］して、次位のディスク
１R の装着［ＨL]に移行する。
【００１３】上記において、各キャリッジ機構４ＡL,４
ＢL,４ＡR,４ＢR と、各スピンドル移動機構２aL，２aR
に対する移動制御、および切替えスイッチ９に対する切
替え制御は、ＣＰＵ８に設けた制御プログラムの実行に
より、上記のタイムチャートの手順に従った制御命令を
制御回路７に与えてなされ、各回路５と回路６が出力す
る突起データとサーティファイデータは、ＣＰＵ８によ
り編集されて出力される。
ＢL,４ＡR,４ＢR と、各スピンドル移動機構２aL，２aR
に対する移動制御、および切替えスイッチ９に対する切
替え制御は、ＣＰＵ８に設けた制御プログラムの実行に
より、上記のタイムチャートの手順に従った制御命令を
制御回路７に与えてなされ、各回路５と回路６が出力す
る突起データとサーティファイデータは、ＣＰＵ８によ
り編集されて出力される。
【００１４】上記のタイムチャートにおいて、各処理
［ＨL], ［Ｂ］，［Ｇ］……の所要時間の関係によって
は、両検査装置のグライド・ヘッド（ＧＨL)と（ＧＨR)
が、またはサーティファイ・ヘッド（ＣＨAL),（Ｃ
ＨBL）と（ＣＨAR),（ＣＨBR）が同時に動作する可能性
があり、その場合は、各ヘッドのいずれかの動作を中止
して待ち合わせることが必要となる。そこで、各処理の
タイミングを検討してみると、各処理［ＨL], ［Ｂ］，
［Ｇ］……の所要時間ｔ1,ｔ2,ｔ3 ……の数値例とし
て、ｔ1 ＝７sec ，ｔ2 ＝１８sec ，ｔ3 ＝１５sec ，
ｔ4 ＝２．５sec で、その合計は４２．５sec であり、
また、ｔ5 ＝６８sec ，ｔ6 ＝８sec ，ｔ7 ＝７sec ，
ｔ8 ＝２．５sec で、その合計は８５．５sec である。
このうち、ｔ3 は突起信号処理回路５の動作時間であ
り、ｔ5 はサーティファイ回路５の動作時間であるか
ら、図示のように、検査装置１０Ｌの［ＨL]と、検査装
置１０Ｒの［Ｃ］のそれぞれの開始時点が同一となるよ
うに、制御プログラムにタイミングを設定すれば、両検
査装置のグライド・テストまたはサーティファイテスト
が競合することなく、タイムチャートのとおりに並列、
かつ交互に行うことができる。
［ＨL], ［Ｂ］，［Ｇ］……の所要時間の関係によって
は、両検査装置のグライド・ヘッド（ＧＨL)と（ＧＨR)
が、またはサーティファイ・ヘッド（ＣＨAL),（Ｃ
ＨBL）と（ＣＨAR),（ＣＨBR）が同時に動作する可能性
があり、その場合は、各ヘッドのいずれかの動作を中止
して待ち合わせることが必要となる。そこで、各処理の
タイミングを検討してみると、各処理［ＨL], ［Ｂ］，
［Ｇ］……の所要時間ｔ1,ｔ2,ｔ3 ……の数値例とし
て、ｔ1 ＝７sec ，ｔ2 ＝１８sec ，ｔ3 ＝１５sec ，
ｔ4 ＝２．５sec で、その合計は４２．５sec であり、
また、ｔ5 ＝６８sec ，ｔ6 ＝８sec ，ｔ7 ＝７sec ，
ｔ8 ＝２．５sec で、その合計は８５．５sec である。
このうち、ｔ3 は突起信号処理回路５の動作時間であ
り、ｔ5 はサーティファイ回路５の動作時間であるか
ら、図示のように、検査装置１０Ｌの［ＨL]と、検査装
置１０Ｒの［Ｃ］のそれぞれの開始時点が同一となるよ
うに、制御プログラムにタイミングを設定すれば、両検
査装置のグライド・テストまたはサーティファイテスト
が競合することなく、タイムチャートのとおりに並列、
かつ交互に行うことができる。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による磁
気ディスク検査装置においては、第１および第２の検査
装置に対してそれぞれに共通に突起信号処理回路とサー
ティファイ回路を設け、両検査装置の突起検出信号とサ
ーティファイ信号を両回路により並列で、かつ交互に処
理するもので、両回路が効率的に稼働して検査装置のコ
ストパホーマンスが向上する効果には大きいものがあ
る。
気ディスク検査装置においては、第１および第２の検査
装置に対してそれぞれに共通に突起信号処理回路とサー
ティファイ回路を設け、両検査装置の突起検出信号とサ
ーティファイ信号を両回路により並列で、かつ交互に処
理するもので、両回路が効率的に稼働して検査装置のコ
ストパホーマンスが向上する効果には大きいものがあ
る。
【図１】 この発明を適用した磁気ディスク検査装置の
一実施例を示し、(a) は平面図、(b) は回路構成図であ
る。
一実施例を示し、(a) は平面図、(b) は回路構成図であ
る。
【図２】 この発明の検査処理のタイムチャートを示
す。
す。
【図３】 特許出願にかかる磁気ディスク検査装置の説
明図を示し、(a) は平面図、(b) は部分図、(c) は回路
構成図である。
明図を示し、(a) は平面図、(b) は部分図、(c) は回路
構成図である。
１，１L,１R …磁気ディスク、単にディスク、 ２，２L,２R …スピンドル、２a,２aL，２aR…スピンド
ル移動機構、 ３…ベース盤、31…開口、 ４Ａ，４ＡL,４ＡR,４Ｂ，４ＢL,４ＢR …キャリッジ機
構、41a,41b …移動部 ５…突起信号処理回路、６…サーティファイ回路、７…
制御回路、 ８…コンピュータ（ＣＰＵ）、９…切替えスイッチ、 １０，１０Ｌ，１０Ｒ…磁気ディスク検査装置、 ＢＨ，ＢＨL,ＢＨR …バーニッシュ・ヘッド、 ＧＨ，ＧＨL,ＧＨR …グライド・ヘッド、 ＣＨA,ＣＨAL，ＣＨAR…第１のサーティファイ・ヘッ
ド、 ＣＨB,ＣＨBL，ＣＨBR…第２のサーティファイ・ヘッ
ド、 ［ＨL]…ディスク装着、［Ｂ］…バーニッシュ、［Ｇ］
…グライドテスト、 ［Ｔ］…スピンドル移動、［Ｃ］…サーティファイテス
ト、［Ｅ］…イレーズ ［ＨU]…ディスク脱去。
ル移動機構、 ３…ベース盤、31…開口、 ４Ａ，４ＡL,４ＡR,４Ｂ，４ＢL,４ＢR …キャリッジ機
構、41a,41b …移動部 ５…突起信号処理回路、６…サーティファイ回路、７…
制御回路、 ８…コンピュータ（ＣＰＵ）、９…切替えスイッチ、 １０，１０Ｌ，１０Ｒ…磁気ディスク検査装置、 ＢＨ，ＢＨL,ＢＨR …バーニッシュ・ヘッド、 ＧＨ，ＧＨL,ＧＨR …グライド・ヘッド、 ＣＨA,ＣＨAL，ＣＨAR…第１のサーティファイ・ヘッ
ド、 ＣＨB,ＣＨBL，ＣＨBR…第２のサーティファイ・ヘッ
ド、 ［ＨL]…ディスク装着、［Ｂ］…バーニッシュ、［Ｇ］
…グライドテスト、 ［Ｔ］…スピンドル移動、［Ｃ］…サーティファイテス
ト、［Ｅ］…イレーズ ［ＨU]…ディスク脱去。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−36063（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−162496（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/84 G01B 21/30 101
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気ディスクが装着されるスピンドル
と、バーニッシュ・ヘッド及びグライド・ヘッドの一方
と第１のサーティファイ・ヘッドとがこれらヘッドを移
動させる方向に対して直角な方向に並べられた第１のヘ
ッド移動機構と、前記バーニッシュ・ヘッド及び前記グ
ライド・ヘッドの他方と第２のサーティファイ・ヘッド
とがこれらヘッドを移動させる方向に対して直角な方向
に並べられた第２のヘッド移動機構とを有し、前記一方
のヘッド及び前記他方のヘッドから前記第１及び第２の
サーティファイ・ヘッドへヘッド切替を行うものであっ
て、前記ヘッド切替を前記各ヘッドの移動方向に対して
直角な方向に前記スピンドル側を移動させることにより
行う第１および第２の検査装置と、 前記グライド・ヘッドから突起検出信号を受けて突起検
出を行う突起検出信号処理回路と、 前記サーティファイ・ヘッドからの信号を受けて記録性
能としてのエラーの有無を検出するサーティファイエラ
ー検出回路と、 前記第１の検査装置の前記グライド・ヘッドの前記突起
検出信号を前記突起検出信号処理回路へ入力しかつ前記
第２の検査装置の前記第１および第２のサーティファイ
・ヘッドを前記サーティファイエラー検出回路に入力す
る第１の接続と前記第２の検査装置の前記グライド・ヘ
ッドの前記突起検出信号を前記突起検出信号処理回路へ
入力しかつ前記第１の検査装置の前記第１および第２の
サーティファイ・ヘッドを前記サーティファイエラー検
出回路に入力する第２の接続との接続切換えを行う接続
切換回路とを備え、 前記第１および第２の検査装置のいずれか一方が前記サ
ーティファイ・ヘッドによりサーティファイ検査をして
いるときにいずれか他方が前記グライド・ヘッドにより
グライド検査を行うことを特徴とする磁気ディスク検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13667593A JP2944015B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 磁気ディスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13667593A JP2944015B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 磁気ディスク検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06325361A JPH06325361A (ja) | 1994-11-25 |
| JP2944015B2 true JP2944015B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=15180851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13667593A Expired - Fee Related JP2944015B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 磁気ディスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2944015B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006179107A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 磁気特性検査装置及びそれを用いた検査方法 |
| US7288935B2 (en) | 2005-04-15 | 2007-10-30 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | System, method, and apparatus for dynamic electrical testing of workpieces by multiplexing test sites with shared electronics |
| JP2010267374A (ja) * | 2010-07-12 | 2010-11-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気特性検査装置及びそれを用いた検査方法 |
| JP2014199695A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 磁気ディスク検査方法及びその装置 |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP13667593A patent/JP2944015B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06325361A (ja) | 1994-11-25 |
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