JP2941940B2 - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

Info

Publication number
JP2941940B2
JP2941940B2 JP34065790A JP34065790A JP2941940B2 JP 2941940 B2 JP2941940 B2 JP 2941940B2 JP 34065790 A JP34065790 A JP 34065790A JP 34065790 A JP34065790 A JP 34065790A JP 2941940 B2 JP2941940 B2 JP 2941940B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
redundant
address
circuit
signal
memory
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP34065790A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04209389A (en
Inventor
徹哉 三苫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
Priority to JP34065790A priority Critical patent/JP2941940B2/en
Publication of JPH04209389A publication Critical patent/JPH04209389A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2941940B2 publication Critical patent/JP2941940B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Dram (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、例えばダイナミックRAM(ランダム・アク
セス・メモリ)、スタティックRAM、ROM(リード・オン
リ・メモリ)等の半導体記憶装置(以下、半導体メモリ
装置という)、特に、通常のメモリセルを有する主メモ
リ領域の他に、例えば冗長性を持たせるための冗長メモ
リセルを有する冗長メモリ領域とその冗長メモリ領域を
有効とするための冗長回路とを設け、主メモリ領域中の
不良メモリセルに代えて冗長メモリ領域中の冗長メモリ
セルを使用する冗長回路方式を採用した半導体メモリ装
置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a semiconductor memory device (hereinafter, semiconductor memory) such as a dynamic RAM (random access memory), a static RAM, and a ROM (read only memory). In particular, in addition to a main memory area having ordinary memory cells, a redundant memory area having, for example, a redundant memory cell for providing redundancy and a redundant circuit for enabling the redundant memory area are provided. The present invention relates to a semiconductor memory device employing a redundant circuit system using redundant memory cells in a redundant memory area instead of defective memory cells in a main memory area.

(従来の技術) 近年、半導体メモリ装置は、高集積・大容量化の傾向
にあり、先端技術をもってしても完全良品を高歩留りで
製造するのは困難である。そのため、最近の半導体メモ
リ装置、例えば16M5DRAMなどにおいては、通常のメモリ
セルを有する主メモリ領域の他に、冗長性を持たせるた
めの冗長メモリ領域を備えることにより、主メモリ領域
の一部に不良メモリセルが存在していたとしても、その
不良メモリセルのアドレスを冗長回路パターン内のヒュ
ーズにプログラムすることで、主メモリ領域の不良メモ
リセルを読み書きすることはせずに、冗長メモリ領域内
の冗長メモリセルを読み書きすることができるようにし
ている。
(Prior Art) In recent years, semiconductor memory devices tend to be highly integrated and have a large capacity, and it is difficult to manufacture completely non-defective products at a high yield even with advanced technology. For this reason, in recent semiconductor memory devices, for example, 16M5DRAM, in addition to a main memory region having a normal memory cell, a redundant memory region for providing redundancy is provided, so that a part of the main memory region is defective. Even if a memory cell exists, by programming the address of the defective memory cell into a fuse in the redundant circuit pattern, the defective memory cell in the main memory area is not read / written, and The redundant memory cells can be read and written.

第2図は、従来の冗長回路方式を採用した半導体メモ
リ装置の一構成例を概略的に示す構成ブロック図であ
る。また、第3図は、第2図中の冗長回路の回路構成例
を概略的に示すものであり、例えばカラム方向またはロ
ウ方向からアドレス指定を行う場合についての回路図、
第4図は、第3図の冗長回路のレイアウト配置例を示す
図である。
FIG. 2 is a block diagram schematically showing a configuration example of a semiconductor memory device employing a conventional redundant circuit system. FIG. 3 schematically shows an example of a circuit configuration of the redundant circuit in FIG. 2. For example, FIG. 3 is a circuit diagram showing a case where an address is specified from a column direction or a row direction.
FIG. 4 is a diagram showing an example of a layout arrangement of the redundant circuit of FIG.

この半導体メモリ装置は、例えば16M5DRAMを示すもの
で、例えば多数のメモリセルがマトリクス状に配列され
た主メモリ領域1を備えている。
This semiconductor memory device is, for example, a 16M5 DRAM, and includes, for example, a main memory area 1 in which a large number of memory cells are arranged in a matrix.

主メモリ領域1には、アドレスバッファ回路2が接続
され、主メモリ領域1とアドレスバッファ回路2との間
にはアドレスデコーダ3が設けられている。アドレスバ
ッファ回路2は、アドレス入力線を介しクロック信号C1
に同期してアドレスA1IN〜A10INを入力し、アドレス信
号線を介してアドレス信号A1a〜A10a及び反転アドレス
信号(以下、単にアドレス信号という)A1b〜A10bを出
力する回路であり、複数のアドレスバッファで構成され
ている。アドレスデコーダ3は、アドレス信号A1a〜A10
a,A1b〜A10bを解読して主メモリ領域1のメモリセルの
アドレスを選択する回路であり、行アドレスデコーダ3a
及び列アドレスデコーダ3bで構成されている。さらに、
主メモリ領域1には、書込みデータDINと読出しデータ
DOUTの入出力を行うリード/ライト入出力回路(以
下、R/W入出力回路という)4が接続されている。
An address buffer circuit 2 is connected to the main memory area 1, and an address decoder 3 is provided between the main memory area 1 and the address buffer circuit 2. The address buffer circuit 2 receives the clock signal C1 via the address input line.
A circuit that inputs addresses A1IN to A10IN in synchronization with and outputs address signals A1a to A10a and inverted address signals (hereinafter simply referred to as address signals) A1b to A10b via address signal lines. It is configured. The address decoder 3 includes address signals A1a to A10
a, A1b to A10b are decoded, and the address of the memory cell in the main memory area 1 is selected.
And a column address decoder 3b. further,
A read / write input / output circuit (hereinafter referred to as an R / W input / output circuit) 4 for inputting / outputting write data DIN and read data DOUT is connected to the main memory area 1.

主メモリ領域1の近傍には、複数の冗長メモリセルが
配列された冗長メモリ領域5が設けられている。冗長メ
モリ領域5には冗長アドレスデコーダ6が接続され、ア
ドレスバッファ回路2と冗長アドレスデコーダ6との間
には、冗長回路10が設けられている。
Near the main memory area 1, a redundant memory area 5 in which a plurality of redundant memory cells are arranged is provided. A redundant address decoder 6 is connected to the redundant memory area 5, and a redundant circuit 10 is provided between the address buffer circuit 2 and the redundant address decoder 6.

冗長アドレスデコーダ6は、冗長メモリ活性化信号NR
DBに基づき活性化され、例えばアドレス信号A8a〜A10b
を解読して冗長メモリ領域5の冗長メモリセルを選択す
る回路であり、冗長列アドレスデコーダ6a及び冗長行ア
ドレスデコーダ6bで構成されている。冗長回路10は、ア
ドレス信号A1a〜A10bに基づき主メモリ領域1に代えて
冗長メモリ領域5にアクセスするための回路であり、複
数の冗長メモリ選択回路11−n(例えば、n=1〜8、
以下、同様)を有している。
The redundant address decoder 6 outputs a redundant memory activation signal NR
Activated based on DB, for example, address signals A8a to A10b
To select a redundant memory cell in the redundant memory area 5, and is composed of a redundant column address decoder 6a and a redundant row address decoder 6b. The redundant circuit 10 is a circuit for accessing the redundant memory area 5 instead of the main memory area 1 based on the address signals A1a to A10b, and includes a plurality of redundant memory selection circuits 11-n (for example, n = 1 to 8,
Hereinafter, the same applies).

各冗長メモリ選択回路11−nは、アドレス信号A1a〜A
10bに基づきそれぞれ冗長信号NRDB0〜NRDB7を出力する
回路であり、冗長選択回路12−n及びヒューズ回路13−
nを備えている。
Each of the redundant memory selection circuits 11-n includes address signals A1a to A1a.
10b are circuits for outputting redundant signals NRDB0 to NRDB7, respectively, based on a redundant selection circuit 12-n and a fuse circuit 13-n.
n.

各冗長選択回路12−nは、例えばアドレス信号A8a〜A
10bのうちの3つをそれぞれゲート入力とする3個のN
チャネル型MOSFET(以下、NMOSFETという)12−nAで構
成されている。3個のNMOSFET12−nAは、それぞれのソ
ースが接地電位に接続され、それぞれのドレインが、P
チャネル型MOSFET(以下、PMOSFETという)及びインバ
ータからなりクロック信号CK2に同期したプリチャージ
機能を有するプリチャージ回路14−nに接続されてい
る。
Each of the redundancy selection circuits 12-n includes, for example, address signals A8a to A8a.
Three Ns each having three of 10b as gate inputs
It is composed of 12-nA channel type MOSFET (hereinafter referred to as NMOSFET). Each of the three NMOSFETs 12-nA has a source connected to the ground potential and a drain connected to P
It is connected to a precharge circuit 14-n which includes a channel type MOSFET (hereinafter referred to as a PMOSFET) and an inverter and has a precharge function synchronized with the clock signal CK2.

各ヒューズ回路13−nは、例えばアドレス信号A1a〜A
7bをそれぞれゲート入力とし、それぞれソースが接地電
位に接続された14個のNMOSFET13−nAと、そのNMOSFET13
−nAのドレインにそれぞれ一端が接続された14個のヒュ
ーズ13−nBを有している。ここで、各ヒューズ回路13−
nがそれぞれ備える14個のヒューズ13−nBは、主メモリ
領域1中の不良メモリセルのアドレスを予めプログラム
しておくために、所定の組み合わせで切断されている。
Each fuse circuit 13-n has, for example, an address signal A1a to A1A.
14 NMOSFETs 13-nA, each having a gate input 7b and a source connected to ground potential, and the NMOSFET 13
It has 14 fuses 13-nB each having one end connected to the drain of -nA. Here, each fuse circuit 13−
The fourteen fuses 13-nB included in n are blown in a predetermined combination in order to program an address of a defective memory cell in the main memory area 1 in advance.

さらに、各冗長メモリ選択回路11−nは、冗長選択回
路12−nの3個のNMOSFET12−nAのドレインと、ヒュー
ズ回路13−nの14個のヒューズ13−nBの他端とが、それ
ぞれ共通結線されており、各共通結線部分は、それぞれ
プリチャージ回路12−nBに接続され、クロック信号CK2
に同期してプリチャージされる構成を有している。共通
結線された各冗長メモリ選択回路11−nの出力側には、
8本の信号線を介して冗長アドレス回路15が接続されて
いる。
Further, in each of the redundant memory selection circuits 11-n, the drains of the three NMOSFETs 12-nA of the redundancy selection circuit 12-n and the other ends of the fourteen fuses 13-nB of the fuse circuit 13-n are common. Each common connection is connected to the precharge circuit 12-nB, and the clock signal CK2
, And is precharged in synchronization with. On the output side of each commonly connected redundant memory selection circuit 11-n,
The redundant address circuit 15 is connected via eight signal lines.

冗長アドレス回路15は、例えば冗長信号NRDB0〜NRDB7
の論理をとってアドレスデコーダ3を不活性化し冗長ア
ドレスデコーダ6を活性化する冗長メモリ活性化信号NR
DBを生成し、その冗長メモリ活性化信号NRDBを、アドレ
スデコーダ3の行アドレスデコーダ3a及び列アドレスデ
コーダ3bと、冗長アドレスデコーダ6の冗長列アドレス
デコーダ6a及び冗長行アドレスデコーダ6bとに、出力す
る回路であり、例えば8入力ORゲート15−1で構成され
ている。
The redundant address circuit 15 includes, for example, redundant signals NRDB0 to NRDB7.
And a redundant memory activating signal NR for inactivating the address decoder 3 and activating the redundant address decoder 6.
DB, and outputs the redundant memory activation signal NRDB to the row address decoder 3a and the column address decoder 3b of the address decoder 3 and the redundant column address decoder 6a and the redundant row address decoder 6b of the redundant address decoder 6. This is a circuit, for example, composed of an 8-input OR gate 15-1.

次に、動作を説明する。 Next, the operation will be described.

例えば冗長メモリ選択回路11−1のヒューズ回路13−
1に設けられた14個のヒューズ13−1Bのうち、アドレス
信号A1a,A2a,A3a,A4a,A5a,A6a,A7aをゲート入力とする
7個のNMOFET13−1Aのドレイン側にそれぞれ接続された
7個のヒューズ13−1Bが切断されているとする。この
時、クロック信号CK1に同期して入力されるアドレスA1I
N〜A10INが、主メモリ領域1中の不良メモリセルを指定
するものであり、例えば全てハイレベル(以下、“1"と
いう)であると、アドレスバッファ回路2から出力され
るアドレス信号A1a〜A10aが例えば全て“1"となり、ア
ドレス信号A1b〜A10bが全て例えば接地電位であるロー
レベル(以下、“0"という)となる。
For example, the fuse circuit 13- of the redundant memory selection circuit 11-1
Of the 14 fuses 13-1B provided in the circuit 1, each of which is connected to the drain side of seven NMOFETs 13-1A having the gate signals of the address signals A1a, A2a, A3a, A4a, A5a, A6a, A7a. It is assumed that the fuses 13-1B have been blown. At this time, the address A1I input in synchronization with the clock signal CK1
N to A10IN designate defective memory cells in the main memory area 1. For example, if all of them are at a high level (hereinafter referred to as "1"), address signals A1a to A10a output from the address buffer circuit 2 Are all "1", for example, and all the address signals A1b to A10b are at a low level (hereinafter, referred to as "0") which is, for example, the ground potential.

すると、各冗長選択回路12−n(n=1〜8)のう
ち、3個のNMOSFET12−nAが全てオフしてその出力側が
接地電位につながらないのは冗長選択回路12−1のみで
あり、他の冗長選択回路12−2〜12−8の出力側につい
ては全て接地電位につながる。一方、この冗長選択回路
12−1を有する冗長メモリ選択回路11−1のヒューズ回
路13−1では、ヒューズ13−1Bの切断状態と、アドレス
信号A1b,A2b,A3b,A4b,A5b,A6b,A7bをゲート入力とする
7個のNMOSFET13−1Aが全てオフすることにより、ヒュ
ーズ回路13−1の出力側は接地電位につながらない。
Then, in each of the redundant selection circuits 12-n (n = 1 to 8), all of the three NMOSFETs 12-nA are turned off and the output side thereof is not connected to the ground potential only in the redundant selection circuit 12-1. Of the redundant selection circuits 12-2 to 12-8 are connected to the ground potential. On the other hand, this redundancy selection circuit
In the fuse circuit 13-1 of the redundant memory selection circuit 11-1 having 12-1 the fuse 13-1B is cut off and the address signals A1b, A2b, A3b, A4b, A5b, A6b, A7b are used as gate inputs. Since all the NMOSFETs 13-1A are turned off, the output side of the fuse circuit 13-1 is not connected to the ground potential.

従って、クロック信号CK2に同期したプリチャージ回
路14−nのプリチャージ動作により、冗長信号NRDB0〜N
RDB7のうち、冗長信号NRDB0だけが“1"となり、各冗長
信号NRDB0〜NRDB7の論理和が、ORゲート15−1によって
とられ、そのORゲート15−1は、信号レベルが“1"の冗
長メモリ活性化信号NRDBをアドレスデコーダ3及び冗長
アドレスデコーダ6へ出力する。
Therefore, the precharge operation of the precharge circuit 14-n synchronized with the clock signal CK2 allows the redundant signals NRDB0 to NRDB
Of the RDB7, only the redundant signal NRDB0 becomes "1", and the OR of the redundant signals NRDB0 to NRDB7 is obtained by the OR gate 15-1, and the OR gate 15-1 outputs the redundant signal having the signal level "1". The memory activation signal NRDB is output to the address decoder 3 and the redundant address decoder 6.

冗長メモリ活性化信号NRDBをそれぞれ入力したアドレ
スデコーダ3は不活性化し、冗長アドレスデコーダ6は
活性化する。活性化した冗長アドレスデコーダ6は、例
えばアドレス信号A8a〜A10bを解読して冗長メモリ領域
5内の所定の冗長メモリセルを活性化する。その後、活
性化された冗長メモリセルに対して、R/W入出力回路4
を介してアクセスすれば、その冗長メモリセルへの書込
みデータDINの書込み、あるいは読出しデータDOUTの
読出しが行える。
The address decoder 3 to which the redundant memory activation signal NRDB is input is inactivated, and the redundant address decoder 6 is activated. The activated redundant address decoder 6 decodes, for example, the address signals A8a to A10b and activates predetermined redundant memory cells in the redundant memory area 5. Then, the R / W input / output circuit 4 is activated for the activated redundant memory cell.
, Writing of the write data DIN to the redundant memory cell or reading of the read data DOUT can be performed.

このように、従来の半導体メモリ装置では、主メモリ
領域1中の不良メモリセルを指定するアドレスが入力さ
れた場合に、各冗長メモリ選択回路11−nによりそれを
検出し、その検出によって各冗長メモリ選択回路11−n
から出力される冗長信号NRDB0〜NRDB7に対して、冗長ア
ドレス回路15で、例えば論理和をとり、その論理結果と
し冗長メモリ活性化信号NRDBを生成して、その冗長メモ
リ活性化信号NRDBによりアドレスデコーダ3を不活性
化、即ちディスエーブルとし、冗長アドレスデコーダ6
を活性化、即ちイネーブルとする冗長回路方式を採用し
ている。
As described above, in the conventional semiconductor memory device, when an address designating a defective memory cell in the main memory area 1 is input, it is detected by each redundant memory selection circuit 11-n, and each redundant memory selection circuit 11-n detects the input. Memory selection circuit 11-n
A redundant address circuit 15 takes, for example, a logical sum of the redundant signals NRDB0 to NRDB7 output from the CPU, generates a redundant memory activation signal NRDB as a logical result, and generates an address decoder by the redundant memory activation signal NRDB. 3 is inactivated, that is, disabled, and the redundant address decoder 6
Is activated, that is, a redundant circuit method of enabling is adopted.

このような冗長回路方式の採用によって、半導体メモ
リ装置に冗長性を持たせ、主メモリ領域1の一部が完全
良品でなくても、冗長メモリ領域5の一部を代替するこ
とで、半導体メモリ装置としての良品を得ることができ
る。
By adopting such a redundant circuit system, the semiconductor memory device is provided with redundancy, and even if a part of the main memory area 1 is not completely non-defective, a part of the redundant memory area 5 is replaced. A good product as the device can be obtained.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記の冗長回路方式の半導体メモリ装
置では、次のような課題があった。
(Problems to be Solved by the Invention) However, the above-described semiconductor memory device of the redundant circuit type has the following problems.

第4図に示されるように、第3図の従来の冗長回路10
を例えばチップ化された半導体メモリ装置に組み込む場
合、例えば8個の冗長メモリ選択回路11−1〜11−8と
1個の冗長アドレス回路15が図示するように並べられ、
それに沿って配線領域が設けられる。この配線領域を構
成する配線本数は、アドレス信号A1a〜A10bのための配
線20本、NRDB0〜NRDB3(NRDB4〜NRDB7)のための配線4
本、それと冗長メモリ活性化信号NRDBのための配線1本
の、計25本となる。ところが、配線領域の配線本数が25
本ともなると、これに要する回路面積(チップ面積)が
大きくなり、例えばチップサイズが大きくなってしま
う。
As shown in FIG. 4, the conventional redundant circuit 10 shown in FIG.
For example, when the semiconductor memory device is integrated into a chip, for example, eight redundant memory selection circuits 11-1 to 11-8 and one redundant address circuit 15 are arranged as shown in FIG.
A wiring region is provided along it. The number of wires constituting this wiring area is 20 wires for address signals A1a to A10b, and 4 wires for NRDB0 to NRDB3 (NRDB4 to NRDB7).
There are a total of 25 lines, one line and one line for the redundant memory activation signal NRDB. However, if the number of wires in the wiring area is 25
In the case of a book, the circuit area (chip area) required for this increases, for example, the chip size increases.

また、第2図に示した冗長回路10では、その回路構成
を示す第3図から分かるように、各冗長メモリ選択回路
11−nにそれぞれ設けられた冗長選択回路12−nとヒュ
ーズ回路13−nの出力側がそれぞれ共通結線されてお
り、それぞれの結線部分が、冗長アドレス回路15の入力
側へ8本の信号線を介して接続されている。そのため、
これらの結線部分及び信号線上における配線抵抗及び配
線容量、即ち配線負荷が大きくなってしまう。つまり配
線の時定数が大きくなってしまう。
In addition, in the redundant circuit 10 shown in FIG. 2, as can be seen from FIG.
The output side of the redundancy selection circuit 12-n and the output side of the fuse circuit 13-n respectively provided in 11-n are commonly connected, and each connection portion connects eight signal lines to the input side of the redundancy address circuit 15. Connected through. for that reason,
The wiring resistance and the wiring capacitance on these connection portions and the signal lines, that is, the wiring load increases. That is, the time constant of the wiring increases.

これを補うためには、主メモリ領域1を使用する場
合、即ち冗長信号NRDB0〜NRDB7が全て“0"となる場合に
対して、NMOSFET12−nAや、NMOSFET13−nAのディメンジ
ョンを大きくすることにより、冗長信号NRDB0〜NRDB7を
“0"とするための駆動能力を高める必要がある。しか
し、これによって、チップサイズの増大を来し、ひいて
は各MMOS12−nA,13−nAのゲート入力となっているアド
レス信号線のゲート容量が大きくなって負荷が重くなっ
てしまう。
To compensate for this, the dimensions of the NMOSFETs 12-nA and 13-nA are increased when the main memory area 1 is used, that is, when the redundant signals NRDB0 to NRDB7 are all "0". It is necessary to increase the driving capability for setting the redundant signals NRDB0 to NRDB7 to "0". However, this leads to an increase in chip size and, consequently, a gate capacity of an address signal line serving as a gate input of each of the MMOSs 12-nA and 13-nA increases, resulting in a heavy load.

本発明は、前記従来技術が持っていた課題として、配
線領域の配線に起因して大きな回路面積を要してしまう
点について解決した冗長回路方式の半導体メモリ装置を
提供するものである。
An object of the present invention is to provide a redundant circuit type semiconductor memory device which solves the problem of the prior art that a large circuit area is required due to wiring in a wiring region.

(課題を解決するための手段) 第1の発明は、前記課題を解決するために、複数のア
ドレス信号により選択される主メモリ領域中の不良メモ
リセルに代えて用いられる冗長メモリセルを有する冗長
メモリ領域と、前記複数のアドレス信号の一部を解読し
て前記冗長メモリ領域中の冗長メモリセルを選択する冗
長アドレスデコーダと、前記不良メモリセルを指定する
前記アドレス信号を検出し、その検出結果に基づき、前
記主メモリ領域のアドレス選択を行うアドレスデコーダ
を不活性化しかつ前記冗長アドレスデコーダを活性化す
る冗長メモリ活性化信号を出力する複数の冗長メモリ選
択回路とを、備えた半導体メモリ装置において、前記各
冗長メモリ選択回路は、前記複数のアドレス信号を第1
及び第2のアドレス信号に分割したその第1のアドレス
信号を解読して選択信号を出力するデコーダ回路と、予
めプログラムされたヒューズを用い前記第2のアドレス
信号の一部を解読して冗長信号を出力するヒューズ回路
と、前記選択信号に基づき前記冗長信号を出力ノードヘ
伝達する伝達手段とを、それぞれ有する複数のサブ冗長
メモリ選択回路で構成し、前記各サブ冗長メモリ選択回
路中の出力ノードを共通結線して前記冗長メモリ活性化
信号を生成するようにしたものである。
(Means for Solving the Problem) According to a first aspect of the present invention, there is provided a redundant memory having a redundant memory cell used in place of a defective memory cell in a main memory area selected by a plurality of address signals. A memory area, a redundant address decoder that decodes a part of the plurality of address signals to select a redundant memory cell in the redundant memory area, and detects the address signal that specifies the defective memory cell, and the detection result A plurality of redundant memory selection circuits for inactivating an address decoder for selecting an address of the main memory area and outputting a redundant memory activation signal for activating the redundant address decoder based on , Each of the redundant memory selection circuits transmits the plurality of address signals to a first
And a decoder circuit for decoding the first address signal divided into a second address signal and outputting a selection signal, and decoding a part of the second address signal using a pre-programmed fuse to generate a redundant signal. And a transmitting means for transmitting the redundant signal to an output node based on the selection signal, comprising a plurality of sub-redundant memory selection circuits each having a plurality of sub-redundant memory selection circuits. The redundant memory activation signal is generated by common connection.

第2の発明は、第1の発明において、前記サブ冗長メ
モリ選択回路のうち、同一の前記第2のアドレス信号を
解読するヒューズ回路を有するものを、隣接させてまと
めて配置したものである。
According to a second invention, in the first invention, the sub-redundant memory selection circuits having a fuse circuit for decoding the same second address signal are arranged adjacently and collectively.

(作 用) 第1の発明によれば、以上のように冗長回路方式の半
導体メモリ装置を構成したので、前記サブ冗長メモリ選
択回路のデコーダ回路は、前記複数のアドレス信号を第
1及び第2のアドレス信号に分割したその第1のアドレ
ス信号を解読して前記選択信号を出力するように働く。
(Operation) According to the first aspect of the present invention, since the semiconductor memory device of the redundant circuit type is configured as described above, the decoder circuit of the sub-redundant memory selection circuit converts the plurality of address signals into the first and second address signals. And decodes the first address signal divided into the first address signal to output the selection signal.

前記ヒューズ回路は、例えば予め主メモリ領域の不良
メモリセルのアドレスがプログラムされたヒューズを用
いて前記第2のアドレス信号の一部を解読し、その第2
のアドレス信号の一部が不良メモリセルを指定するアド
レスの一部か否かを示す冗長信号を出力するように働
く。
The fuse circuit decodes a part of the second address signal using, for example, a fuse in which an address of a defective memory cell in the main memory area is programmed in advance, and the second
And outputs a redundant signal indicating whether or not a part of the address signal is a part of an address designating a defective memory cell.

前記伝達手段は、例えば前記選択信号に基づき前記冗
長信号を前記出力ノードへ伝達するように働くが、例え
ば前記冗長信号の非伝達時には、その出力が他の伝達手
段の出力と切り離される。
The transmission means functions to transmit the redundant signal to the output node based on, for example, the selection signal. For example, when the redundant signal is not transmitted, the output is separated from the output of another transmission means.

以上のように機能するデコーダ回路、ヒューズ回路、
及び伝達手段を有するサブ冗長メモリ選択回路を用いた
冗長回路方式の半導体メモリ装置では、例えばいくつか
のサブ冗長メモリ選択回路が組となって、所定の不良メ
モリセルを指定するアドレス信号を検出するように働
く。ここで、その組となるサブ冗長メモリ選択回路が、
離散的にレイアウト配置されたとしては、該当する組の
サブ冗長メモリ選択回路は、それぞれが有するデコーダ
回路によって選択される。選択された組のサブ冗長メモ
リ選択回路は、それぞれのヒューズ回路が第2のアドレ
ス信号の一部を解読してそれが不良メモリセルを指定す
るものか否かを示す冗長信号をそれぞれ出力し、その各
冗長信号が前記選択信号に基づき前記伝達手段によっ
て、共通結線された出力ノードに伝達される。
The decoder circuit, fuse circuit,
In a semiconductor memory device of a redundant circuit type using a sub-redundant memory selection circuit having transmission means, for example, several sub-redundant memory selection circuits are paired to detect an address signal designating a predetermined defective memory cell. Work like that. Here, the sub-redundant memory selection circuit forming the set is
Assuming that the layout is discretely arranged, a corresponding set of sub-redundant memory selection circuits is selected by a decoder circuit included in each. The selected set of sub-redundant memory selection circuits each outputs a redundant signal indicating whether or not each fuse circuit decodes a part of the second address signal and designates a defective memory cell, Each of the redundant signals is transmitted to the commonly connected output nodes by the transmission means based on the selection signal.

なお、構成に応じて、例えば、各組のヒューズ回路
は、第2のアドレス信号の一部をそれぞれ解読するが、
それらのヒューズ回路全体で第2のアドレス信号全てに
対してもれなく解読が行われる。
Note that, depending on the configuration, for example, each set of fuse circuits decodes a part of the second address signal.
All of the second address signals are decoded without fail in all of the fuse circuits.

以上のようにして、選択された組の各冗長信号が不良
メモリセルのアドレスを示す信号に相当する場合に、そ
れらの冗長信号が伝達された出力ノードに、前記冗長ア
ドレスデコーダのみを活性化する冗長メモリ活性化信号
が生成される。
As described above, when each redundant signal in the selected set corresponds to a signal indicating the address of a defective memory cell, only the redundant address decoder is activated at the output node to which those redundant signals have been transmitted. A redundant memory activation signal is generated.

第2の発明によれば、サブ冗長メモリ選択回路に関す
るレイアウトが、配線領域における配線本数の低減及び
配線の短縮化をより効果的に行えるように働く。
According to the second aspect, the layout relating to the sub-redundant memory selection circuit works so that the number of wirings in the wiring area and the wiring can be reduced more effectively.

従って、前記課題を解決できるのである。 Therefore, the above problem can be solved.

(実施例) 第1図は本発明の実施例を示す冗長回路方式を採用し
た半導体メモリ装置の概略的な構成ブロック図、第5図
は、第1図中の冗長回路の一構成例を示す概略的な回路
図、第6図は、第5図の冗長回路のレイアウト配置例を
示す図である。なお、第1図中、第2図と共通の要素に
は共通の符号が付されている。
(Embodiment) FIG. 1 is a schematic block diagram of a semiconductor memory device employing a redundant circuit system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 shows an example of the configuration of the redundant circuit in FIG. FIG. 6 is a schematic circuit diagram and FIG. 6 is a diagram showing an example of a layout arrangement of the redundant circuit in FIG. In FIG. 1, the same elements as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals.

この半導体メモリ装置は、第2図の半導体メモリ装置
と同様に構成される主メモリ領域1、アドレスデコーダ
3、R/W入出力回路4、冗長メモリ領域5、及び冗長ア
ドレスデコーダ6に加えて、アドレスバッファ回路21,2
2と、冗長回路30とを有している。
This semiconductor memory device includes a main memory region 1, an address decoder 3, an R / W input / output circuit 4, a redundant memory region 5, and a redundant address decoder 6, which are configured similarly to the semiconductor memory device of FIG. Address buffer circuits 21, 2
2 and a redundant circuit 30.

アドレスバッファ回路21,22は、両方でアドレスバッ
ファ回路2と同様に機能しその機能がそれぞれに分割さ
れた構成を有している。即ち、アドレスバッファ回路21
は、クロック信号CK11に同期して、アドレス入力線を介
してアドレスA1IN〜A3INを入力し、アドレス信号線を介
してアドレス信号A1a〜A3a,反転アドレス信号(以下、
アドレス信号という)A1b〜A3bを出力し、アドレスバッ
ファ回路22は、クロック信号CK11に同期して、アドレス
入力線を介してアドレスA4IN〜A10INを入力し、アドレ
ス信号線を介してアドレス信号A4a〜A10a,反転アドレス
信号(以下、アドレス信号という)A4b〜A10bを出力す
るものであり、それぞれ複数のアドレスバッファによっ
て構成されている。
Each of the address buffer circuits 21 and 22 functions in the same manner as the address buffer circuit 2 and has a configuration in which the function is divided. That is, the address buffer circuit 21
Receives addresses A1IN to A3IN via address input lines in synchronization with a clock signal CK11, and outputs address signals A1a to A3a and inverted address signals (hereinafter,
A1b to A3b are output, and the address buffer circuit 22 inputs the addresses A4IN to A10IN through the address input lines in synchronization with the clock signal CK11, and outputs the address signals A4a to A10a through the address signal lines. , And outputs inverted address signals (hereinafter, referred to as address signals) A4b to A10b, each of which is constituted by a plurality of address buffers.

冗長回路30は、アドレスバッファ回路21,22を介して
入力されるアドレス信号A1a〜A10bに基づき主メモリ領
域1に代えて冗長メモリ領域5にアクセスするための回
路であり、複数のサブ冗長メモリ選択回路31−n(n=
1〜8)と、複数のサブ冗長メモリ選択回路41−n(n
=1〜8)を有している。
The redundant circuit 30 is a circuit for accessing the redundant memory area 5 in place of the main memory area 1 based on address signals A1a to A10b input via the address buffer circuits 21 and 22, and a plurality of sub-redundant memory selections. The circuit 31-n (n =
1 to 8) and a plurality of sub-redundant memory selection circuits 41-n (n
= 1 to 8).

一方、各サブ冗長メモリ選択回路31−nは、アドレス
信号A1a〜A3b,A8a〜A10bに基づきそれが不良メモリセル
を指定するアドレスのものであるか否かを検出し、不良
メモリセルを指定するアドレスのものである場合にそれ
を示す冗長信号NRDB 0L〜NRDB 7Lをそれぞれ出力ノード
N1に出力する回路であり、冗長選択回路32−nとヒュー
ズ回路33−nを備えている。
On the other hand, each sub-redundant memory selection circuit 31-n detects whether or not it is of an address for specifying a defective memory cell based on the address signals A1a to A3b and A8a to A10b, and specifies the defective memory cell. Redundancy signals NRDB 0L to NRDB 7L indicating that the address is the output node, respectively
This is a circuit for outputting to N1, and includes a redundancy selection circuit 32-n and a fuse circuit 33-n.

各冗長選択回路32−nは、それぞれデコーダ回路34−
nを有しており、そのデコーダ回路34−nは、例えば3
入力NANDゲートで構成されている。この3入力NANDゲー
トは、アドレス信号A1a〜A10bのうちの第1のアドレス
信号A8a〜A10bを入力信号とし、これら第1のアドレス
信号A8a〜A10bを解読して、それぞれ選択信号S0L〜S7L
を出力する。
Each redundancy selection circuit 32-n is connected to a decoder circuit 34-n.
n, and the decoder circuit 34-n has, for example, 3
It consists of an input NAND gate. The three-input NAND gate receives the first address signals A8a-A10b of the address signals A1a-A10b as input signals, decodes the first address signals A8a-A10b, and selects the selection signals S0L-S7L, respectively.
Is output.

各ヒューズ回路33−nは、第2のアドレス信号A1a〜A
7bの一部であるアドレス信号A1a〜A3bをゲート入力とし
ソースが接地電位に接続された6個のNMOSFET33−nA
と、そのNMOSFET33−nAのドレインに一端がそれぞれ接
続された6個のヒューズ33−nBとを有している。この各
6個のヒューズ33−nBは、例えば所定のヒューズが切断
され、主メモリ領域1の不良メモリセルのアドレスの一
部が予めプログラムされているものである。各6個のヒ
ューズ33−nBの他端はそれぞれノードN2L−nに共通接
続されている。その各ノードN2L−nには、それぞれ例
えば電源電圧VCCに接続されクロック信号CK12により制
御されるプリチャージ用のPMOSFET35−nが接続されて
いる。
Each fuse circuit 33-n includes a second address signal A1a to A1A.
6 NMOSFETs 33-nA whose gate inputs are address signals A1a to A3b which are part of 7b and whose sources are connected to the ground potential.
And six fuses 33-nB each having one end connected to the drain of the NMOSFET 33-nA. Each of the six fuses 33-nB is such that, for example, a predetermined fuse is blown and a part of the address of the defective memory cell in the main memory area 1 is programmed in advance. The other end of each of the six fuses 33-nB is commonly connected to a node N2L-n. Each of the nodes N2L-n is connected to, for example, a precharge PMOSFET 35-n connected to the power supply voltage VCC and controlled by the clock signal CK12.

さらに、各サブ冗長メモリ選択回路31−nにおいて
は、各冗長選択回路32−nに、デコーダ回路34−nに加
えて伝達手段36−nが設けられている。
Further, in each of the sub-redundant memory selection circuits 31-n, a transmission means 36-n is provided in each of the redundancy selection circuits 32-n in addition to the decoder circuit 34-n.

各伝達手段36−nは、それぞれ選択信号SmL(m=0
〜7)に基づき冗長信号NRDB mL(m=0〜7)を出力
ノードN1に伝達する機能を有し、NORゲート36−nAとNMO
SFET36−nBとで構成され、デコーダ回路34−nとの間に
2個のNMOSFET37−nが接続されている。ここで、NORゲ
ート36−nAは、選択信号SmLにより制御されて冗長信号
NRDB mLを反転して出力し、NMOSFET36−nBは、その反転
出力によりオン・オフ制御されて冗長信号NRDB mLを出
力ノードN1に伝達するものである。
Each transmission means 36-n outputs a selection signal SmL (m = 0
7) to transmit the redundant signal NRDB mL (m = 0 to 7) to the output node N1 based on the NOR gate 36-nA and the NMO
Two NMOSFETs 37-n are connected to the SFET 36-nB and the decoder circuit 34-n. Here, the NOR gate 36-nA is controlled by the selection signal SmL to output the redundant signal.
The NRDB mL is inverted and output, and the NMOSFET 36-nB is turned on / off by the inverted output to transmit the redundant signal NRDB mL to the output node N1.

他方の各サブ冗長メモリ選択回路41−nは、サブ冗長
メモリ選択回路31−nと同様に、それぞれ冗長選択回路
42−n及びヒューズ回路43−nを有し、その冗長選択回
路42−nは、デコーダ回路44−nを有している。
Each of the other sub-redundant memory selection circuits 41-n, like the sub-redundant memory selection circuit 31-n, has its own redundancy selection circuit.
42-n and a fuse circuit 43-n, and the redundancy selection circuit 42-n has a decoder circuit 44-n.

各デコーダ回路44−nは、それぞれ各デコーダ回路34
−nと同様に機能して選択信号S0R〜S7Rを出力する回路
であり、例えば3入力NANDゲートで構成されている。
Each decoder circuit 44-n is connected to each decoder circuit 34-n.
This is a circuit that functions in the same manner as −n and outputs the selection signals S0R to S7R, and is configured by, for example, a three-input NAND gate.

各ヒューズ回路43−nは、第2のアドレス信号のうち
アドレス信号A1a〜3b以外のアドレス信号A4a〜A7bを解
読して冗長信号NRDB0R〜NRDB7Rをそれぞれ出力する回路
であり、アドレス信号A4a〜A7bをゲート入力としソース
が接地電位に接続された8個のNMOSFET43−nAと、その
8個のNMOSFET43−nAのドレインにそれぞれ一端が接続
された8個のヒューズ43−nBとを有している。
Each fuse circuit 43-n is a circuit that decodes the address signals A4a to A7b other than the address signals A1a to 3b among the second address signals and outputs the redundant signals NRDB0R to NRDB7R, respectively, and outputs the address signals A4a to A7b. It has eight NMOSFETs 43-nA whose gates are input and whose sources are connected to the ground potential, and eight fuses 43-nB whose one ends are respectively connected to the drains of the eight NMOSFETs 43-nA.

このヒューズ43−nBは、例えば所定のヒューズが切断
されることにより、主メモリ領域1の不良メモリセルの
アドレスのうちヒューズ33−nBでプログラムされた以外
の部分が予めプログラムされているものである。各8個
のヒューズ43−nBの他端はそれぞれノードN2R−nに共
通接続されている。その各ノードN2R−nには、それぞ
れ例えば電源電圧VCCに接続されクロック信号CK12によ
り制御されるプリチャージ用のPMOSFET45−nが接続さ
れている。
The portion of the address of the defective memory cell in the main memory area 1 other than that programmed by the fuse 33-nB is programmed in advance by, for example, cutting a predetermined fuse. . The other end of each of the eight fuses 43-nB is commonly connected to a node N2R-n. Each of the nodes N2R-n is connected to a precharge PMOSFET 45-n which is connected to, for example, a power supply voltage VCC and controlled by a clock signal CK12.

さらに、各サブ冗長メモリ選択回路41−nにおいて
は、各冗長選択回路42−nにデコーダ回路44−nに加え
て、伝達手段46−nが設けられている。
Further, in each sub-redundant memory selection circuit 41-n, a transmission means 46-n is provided in addition to the decoder circuit 44-n in each redundancy selection circuit 42-n.

各伝達手段46−nは、それぞれ選択信号SmR(m=0
〜7)に基づき冗長信号NRDBmR(m=0〜7)を出力ノ
ードN1に伝達する機能を有し、NORゲート46−nAとNMOSF
ET46−nBで構成され、デコーダ回路44−nとの間に2個
のNMOSFET47−nが接続されている。ここで、NORゲート
46−nAは、選択信号SmRにより制御されて冗長信号SmRを
反転して出力し、NMOSFET46−nBは、その反転出力によ
りオン・オフ制御されて冗長信号SmRを出力ノードN1に
伝達するものである。
Each transmission means 46-n outputs a selection signal SmR (m = 0
7) to transmit the redundant signal NRDBmR (m = 0 to 7) to the output node N1 based on the NOR gate 46-nA and the NMOSF
ET46-nB, and two NMOSFETs 47-n are connected to the decoder circuit 44-n. Where the NOR gate
46-nA is controlled by the selection signal SmR to invert and output the redundant signal SmR, and the NMOSFET 46-nB is ON / OFF controlled by the inverted output to transmit the redundant signal SmR to the output node N1. .

以上のように構成される各サブ冗長メモリ選択回路31
−n及び41−nの出力側は、出力ノードN1において共通
結線されており、その出力ノードN1がアドレスデコーダ
3及び冗長アドレスデコーダ6に接続されている。さら
に、この出力ノードN1には、プリチャージ回路50が接続
されている。このプリチャージ回路50は、例えば電源電
圧VCC供給を受けクロック信号CK12に同期して出力ノー
ドN1をプリチャージする機能を有し、例えば2個のPMOS
FETとインバータにより構成されている。
Each sub-redundant memory selection circuit 31 configured as described above
Output sides of -n and 41-n are commonly connected at an output node N1, and the output node N1 is connected to the address decoder 3 and the redundant address decoder 6. Further, a precharge circuit 50 is connected to the output node N1. The precharge circuit 50 has a function of, for example, receiving the supply of the power supply voltage VCC and precharging the output node N1 in synchronization with the clock signal CK12.
It is composed of FET and inverter.

これらの各サブ冗長メモリ選択回路31−n,41−nで
は、サブ冗長メモリ選択回路31−1及び41−1の組が、
それぞれのデコーダ回路34−1,44−1の入力する第1の
アドレス信号を同一とし、それぞれのヒューズ回路33−
1,43−1の入力する第2のアドレス信号の一部の総和が
第2のアドレス信号A1a〜A10b全体となっており、以
下、サブ冗長メモリ選択回路31−2と41−2、サブ冗長
メモリ選択回路31−3と41−3、サブ冗長メモリ選択回
路31−4と41−4、サブ冗長メモリ選択回路31−5と41
−5、サブ冗長メモリ選択回路31−6と41−6、サブ冗
長メモリ選択回路31−7と41−7、サブ冗長メモリ選択
回路31−8と41−8の各組についても同様である。
In each of these sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n, a set of sub-redundant memory selection circuits 31-1 and 41-1 is
The first address signals input to the respective decoder circuits 34-1 and 44-1 are made the same, and the respective fuse circuits 33-1 and 44-1 are used.
The sum of a part of the second address signals input to the first and the second address signals becomes the entire second address signals A1a to A10b. Memory selection circuits 31-3 and 41-3, sub-redundant memory selection circuits 31-4 and 41-4, and sub-redundant memory selection circuits 31-5 and 41
-5, the same applies to the respective sets of the sub-redundant memory selection circuits 31-6 and 41-6, the sub-redundant memory selection circuits 31-7 and 41-7, and the sub-redundant memory selection circuits 31-8 and 41-8.

従って、これら各組のいずれかによって、それぞれ所
定の1つの不良メモリセルのアドレスを指定するアドレ
ス信号が検出され、出力ノードN1には、必ず、選択され
たデコーダ回路34−n,44−nの選択信号SnL,SnRに基づ
いてその組のサブ冗長メモリ選択回路31−n,41−nの冗
長信号NRDB mL,NRDB mRが伝達されるように構成されて
いる。
Therefore, an address signal designating the address of a predetermined one defective memory cell is detected by one of these sets, and the output node N1 always includes the selected decoder circuits 34-n and 44-n. The redundant signals NRDB mL and NRDB mR of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n of the set are configured to be transmitted based on the selection signals SnL and SnR.

次に、動作を説明する。 Next, the operation will be described.

例えばサブ冗長メモリ選択回路31−8及び41−8の組
において、ヒューズ回路33−8,43−8に設けられたヒェ
ーズのうち、アドレス信号A1b,A2b,A3b,A4b,A5b,A6b,A7
bをゲート入力とするNMOSFET33−8A,43−8Aのドレイン
に接続されたヒューズ33−8B,43−8Bが切断されている
とする。
For example, in a set of sub-redundant memory selection circuits 31-8 and 41-8, among the hazes provided in the fuse circuits 33-8 and 43-8, the address signals A1b, A2b, A3b, A4b, A4b, A5b, A6b, A7
It is assumed that fuses 33-8B and 43-8B connected to the drains of NMOSFETs 33-8A and 43-8A having b as a gate input are cut.

この時、クロック信号CK11に同期してアドレスバッフ
ァ回路21,22に入力されるアドレスA1IN〜A10INが、不良
メモリセルのアドレスを指定するものであってその信号
レベルが全て“1"であるとすると、アドレスバッファ回
路21から検出されるアドレス信号A1a〜A3aが“1"で、ア
ドレス信号A1b〜A3bが“0"となり、アドレスバッファ回
路22から出力されるアドレス信号A4a〜A10aが“1"で、
アドレス信号A4b〜A10bが“0"となる。
At this time, assuming that the addresses A1IN to A10IN input to the address buffer circuits 21 and 22 in synchronization with the clock signal CK11 specify the address of the defective memory cell and all the signal levels are "1". The address signals A1a to A3a detected from the address buffer circuit 21 are "1", the address signals A1b to A3b are "0", and the address signals A4a to A10a output from the address buffer circuit 22 are "1".
The address signals A4b to A10b become "0".

すると、各サブ冗長メモリ選択回路31−n,41−nにお
いて、各デコーダ回路34−n,44−nのうち、選択信号S
mL,SmRが“0"となるのは、サブ冗長メモリ選択回路34−
8及び44−8の選択信号S7L及びS7Rのみであり、他は
全て“1"となる。
Then, in each of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n, the selection signal S among the decoder circuits 34-n and 44-n is selected.
mL and SmR become “0” because the sub-redundant memory selection circuit 34−
8 and 44-8 are only the selection signals S7L and S7R, and all others are "1".

信号レベルが“1"の選択信号SmL,SmRを出力するデコ
ーダ回路34−n,44−nを有するのは、サブ冗長メモリ選
択回路31−8,41−8を除く他の回路、即ちサブ冗長メモ
リ選択回路31−1〜31−7及び41−1〜41−7である。
これらのサブ冗長メモリ選択回路31−1〜31−7及び41
−1〜41−7では、選択信号S0L〜S6L,S0R〜S6Rが全
て“1"であるので、各伝達手段36−n,46−n(n=1〜
7)において、各NORゲート36−nA,46−nA(n=1〜
7)の出力が常に“0"に固定されるため、NMOSFET36−n
B,46−nB(n=1〜7)は常にオフしており、ヒューズ
回路33−n,43−n(n=1〜7)からの冗長信号NRDB m
L,NRDB mRは出力ノードN1側に伝達されず、その出力が
出力ノードN1から切り離される。
The decoder circuits 34-n and 44-n which output the selection signals SmL and SmR having the signal level "1" are provided by other circuits except the sub-redundant memory selection circuits 31-8 and 41-8, namely, the sub-redundancy. They are memory selection circuits 31-1 to 31-7 and 41-1 to 41-7.
These sub-redundant memory selection circuits 31-1 to 31-7 and 41
In the case of -1 to 41-7, since the selection signals S0L to S6L and S0R to S6R are all "1", the transmission means 36-n and 46-n (n = 1 to 4)
7) In each of the NOR gates 36-nA and 46-nA (n = 1 to
Since the output of 7) is always fixed to “0”, the NMOSFET 36−n
B, 46-nB (n = 1 to 7) is always off, and the redundant signal NRDB m from the fuse circuits 33-n, 43-n (n = 1 to 7).
L and NRDB mR are not transmitted to the output node N1, and their outputs are disconnected from the output node N1.

一方、信号レベルが“0"の選択信号S7L,S7Rを出力す
るデコーダ34−8,44−8を有するサブ冗長メモリ選択回
路31−8,41−8では、その選択信号S7L,S7Rが伝達手段
36−8,46−8のNORゲート36−8A,46−8Aにそれぞれ入力
される。また、それらのヒューズ回路33−8,43−8にお
いては、NMOSFET33−8A,43−8Aのオン・オフ動作及びヒ
ューズ33−8B,43−8Bの切断状態の設定に起因して、ク
ロック信号CK12に同期したPMOSFET35−8,45−8のプリ
チャージ動作により、信号レベルが“1"の冗長信号NRDB
7L,NRDB 7Rを出力する。この冗長信号NRDB 7L,NRDB 7R
は、それぞれ伝達手段36−8,46−8のNORゲート36−8A,
46−8Aに入力される。
On the other hand, in the sub-redundant memory selection circuits 31-8 and 41-8 having the decoders 34-8 and 44-8 outputting the selection signals S7L and S7R having the signal level "0", the selection signals S7L and S7R are transmitted by the transmission means.
Input to NOR gates 36-8A and 46-8A of 36-8 and 46-8, respectively. In the fuse circuits 33-8 and 43-8, the clock signal CK12 is generated due to the ON / OFF operation of the NMOSFETs 33-8A and 43-8A and the setting of the cut state of the fuses 33-8B and 43-8B. Signal NRDB whose signal level is "1" by the precharge operation of PMOSFETs 35-8 and 45-8 synchronized with
Outputs 7L and NRDB 7R. This redundant signal NRDB 7L, NRDB 7R
Are the NOR gates 36-8A, 36-8A,
Input to 46-8A.

この時、各サブ冗長メモリ選択回路31−8,41−8で
は、2個のNMOSFET37−8の組と、2個のNMOSFET47−8
の組で、一方がオン、他方がオフして、冗長信号NRDB 7
L,NRDB 7Rの信号レベル“1"が強められる。
At this time, in each of the sub-redundant memory selection circuits 31-8 and 41-8, a set of two NMOSFETs 37-8 and two NMOSFETs 47-8
One is on, the other is off, and the redundant signal NRDB 7
The signal level “1” of L, NRDB 7R is strengthened.

信号レベルが“0"の選択信号S7Lを入力したNORゲー
ト36−8Aは同じく入力した冗長信号NRDB 7Lを反転して
出力し、そのNORゲート36−8Aの出力は“0"となり、NMO
SFET36−8Bがオフする。
The NOR gate 36-8A to which the selection signal S7L having the signal level of "0" is input inverts and outputs the same input redundant signal NRDB 7L, the output of the NOR gate 36-8A becomes "0", and the NMO
SFET36-8B turns off.

同様に、信号レベルが“0"の選択信号S7Rを入力した
NORゲート46−8Aは同じく入力した冗長信号NRDB 7Rを反
転して出力し、そのNORゲート46−8Aの出力は“0"とな
り、NMOSFET46−8Bがオフする。
Similarly, a selection signal S7R whose signal level is "0" is input.
The NOR gate 46-8A inverts and outputs the same redundant signal NRDB 7R, the output of the NOR gate 46-8A becomes "0", and the NMOSFET 46-8B is turned off.

このようにして、サブ冗長メモリ選択回路31−8,41−
8における冗長信号NRDB 7L,NRDB 7Rのみが伝達手段36
−8,46−8によって出力ノードN1に伝達される。従っ
て、各サブ冗長メモリ選択回路31−n,41−nによって、
出力ノードN1に信号レベルが“1"の冗長メモリ活性化信
号NRDBが生成される。
Thus, the sub-redundant memory selection circuits 31-8, 41-
8, only the redundant signals NRDB 7L and NRDB 7R are transmitted by the transmission means 36.
-8, 46-8 to the output node N1. Therefore, each of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n
A redundant memory activation signal NRDB whose signal level is "1" is generated at output node N1.

以上のようにして生成された冗長メモリ活性化信号NR
DBは、アドレスデコーダ3に入力されて行アドレスデコ
ーダ3a及び列アドレスデコーダ3bを不活性化し、冗長ア
ドレスデコーダ6に入力されて冗長列アドレスデコーダ
6a及び冗長行アドレスデコーダ6bを活性化する。
The redundant memory activation signal NR generated as described above
DB is input to the address decoder 3 to inactivate the row address decoder 3a and the column address decoder 3b, and is input to the redundant address decoder 6 to input the redundant column address decoder
6a and the redundant row address decoder 6b are activated.

冗長メモリ活性化信号NRDBにより活性化された冗長列
アドレスデコーダ6a及び冗長行アドレスデコーダ6bは、
例えばアドレス信号A8a〜A10bに基づき冗長メモリ領域
5中の冗長メモリセルのアドレス選択を行ってその冗長
メモリセルを活性化する。すると、活性化された冗長メ
モリセルに対して、R/W入出力回路4を介してアクセス
することにより、書込みデータDINの書込みあるいは読
出しデータDOUTの読出しを行うことができる。
The redundant column address decoder 6a and the redundant row address decoder 6b activated by the redundant memory activation signal NRDB
For example, the address of the redundant memory cell in the redundant memory area 5 is selected based on the address signals A8a to A10b, and the redundant memory cell is activated. Then, by accessing the activated redundant memory cell via the R / W input / output circuit 4, writing of the write data DIN or reading of the read data DOUT can be performed.

以上のようにして冗長メモリ領域5が選択されて、主
メモリ領域1の不良メモリセルに代えて冗長メモリ領域
5の冗長メモリセルに対してアクセスすることができる
が、通常時、主メモリ領域1に対してアクセスする場合
には、各サブ冗長メモリ選択回路31−n,41−nによって
出力ノードN1を接地電位につなぐことにより主メモリ領
域1を選択できる。
As described above, the redundant memory area 5 is selected, and the redundant memory cell in the redundant memory area 5 can be accessed in place of the defective memory cell in the main memory area 1. , The main memory area 1 can be selected by connecting the output node N1 to the ground potential by each of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n.

そのためには、例えば、ヒューズ回路33−n,43−nの
ヒューズ33−nA,43−nBの切断状態により不良メモリセ
ルのアドレスをプログラムしておくことにより、不良メ
モリセルのアドレス以外のアドレス入力に対しては、各
サブ冗長メモリ選択回路31−n,41−nのいずれか1つで
も、選択信号SmL及び冗長信号NRDB mLの組、あるいは
選択信号SmR及び冗長信号NRDB mRの組が共に“0"とな
るようにしておけばよい。
For this purpose, for example, by programming the address of the defective memory cell according to the cut state of the fuses 33-nA and 43-nB of the fuse circuits 33-n and 43-n, the address input other than the address of the defective memory cell can be performed. , In any one of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n, the combination of the selection signal SmL and the redundancy signal NRDB mL or the combination of the selection signal SmR and the redundancy signal NRDB mR is both " It should be set to 0 ".

このようにしておけば、該当する組の伝達手段36−n
のNMOSFET36−nBや、伝達手段46−nのNMOSFET46−nBが
オンして、出力ノードN1が接地電位につながり、冗長ア
ドレスデコーダ6が不活性化され、アドレスデコーダ3
が活性化される。
By doing so, the corresponding set of transmission means 36-n
The NMOSFET 36-nB and the NMOSFET 46-nB of the transmission means 46-n are turned on, the output node N1 is connected to the ground potential, the redundant address decoder 6 is inactivated, and the address decoder 3
Is activated.

本実施例では、次のような利点を有している。 This embodiment has the following advantages.

(A)本実施例の冗長回路方式の半導体メモリ装置で
は、第2のアドレス信号について分割されたサブ冗長メ
モリ選択回路31−n及び41−nの各組のいずれかによ
り、1つの不良メモリセルを指定するアドレスを検出す
るようにし、その各組はデコーダ回路34−n,44−nによ
って選択されるようにしている。
(A) In the redundant circuit type semiconductor memory device of this embodiment, one defective memory cell is generated by one of the sets of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n divided for the second address signal. Are detected, and each pair is selected by the decoder circuits 34-n and 44-n.

このため、その各組のサブ冗長メモリ選択回路31−n,
41−nは、必ずしも同一領域に配置する必要はなく、異
なる領域に配置することが可能となる。これにより、例
えば第6図のレイアウト配置例に示すように、第2のア
ドレス信号について、アドレス信号A1a〜A3bを入力する
サブ冗長メモリ選択回路31−1〜31−8を隣接させてま
とめて配置し、アドレス信号A4a〜A7bを入力するサブ冗
長メモリ選択回路41−1〜41−8を隣接させてまとめて
配置できる。よって、各サブ冗長メモリ選択回路31−n,
41−nのアドレス信号線に関する配線領域の配線本数
は、例えば従来20本必要であったものを14本にできる。
For this reason, each set of sub-redundant memory selection circuits 31-n,
41-n do not necessarily need to be arranged in the same area, and can be arranged in different areas. Thereby, as shown in the layout example of FIG. 6, for the second address signal, the sub-redundant memory selection circuits 31-1 to 31-8 for inputting the address signals A1a to A3b are arranged adjacently and collectively. However, the sub-redundant memory selection circuits 41-1 to 41-8 to which the address signals A4a to A7b are input can be arranged adjacently and collectively. Therefore, each sub-redundant memory selection circuit 31-n,
For example, the number of wirings in the wiring area for the 41-n address signal lines can be reduced from, for example, 14 to 20 in the past.

また、本実施例の冗長回路方式の半導体メモリ装置で
は、各サブ冗長メモリ選択回路31−n,41−nに伝達手段
36−n,46−nを設けて、その伝達手段36−n,46−nが選
択信号SmL,SmRに基づき冗長信号NRDB mL,NRDB mRを出
力ノードN1に伝達させることにより、冗長メモリ活性化
信号NRDBを生成するようにしている。このため、各サブ
冗長メモリ選択回路31−n,41−nの出力側において冗長
メモリ活性化信号NRDBを生成するための配線領域では、
従来の冗長回路方式では8本必要であった配線が、出力
ノードN1部分の1本にすることができる。
Further, in the semiconductor memory device of the redundant circuit type of the present embodiment, the transmission means is provided to each of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n.
36-n and 46-n are provided, and the transmission means 36-n and 46-n transmit the redundant signals NRDB mL and NRDB mR to the output node N1 based on the selection signals SmL and SmR, thereby activating the redundant memory. The signal NRDB is generated. Therefore, at the output side of each of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n, in the wiring area for generating the redundant memory activation signal NRDB,
The eight lines required in the conventional redundant circuit system can be changed to one line of the output node N1.

従って、以上のことから分かるように、本実施例の冗
長回路方式の半導体メモリ装置では、例えば第6図に示
されるように配線領域の配線本数を、従来の25本に対し
て15本に低減させることができ、この配線領域の配線本
数の削減効果に伴って、半導体メモリ装置のチップ面
積、即ちチップサイズの低減を図ることができる。
Therefore, as can be seen from the above, in the semiconductor memory device of the redundant circuit type of the present embodiment, the number of wirings in the wiring area is reduced to 15, for example, as shown in FIG. With the effect of reducing the number of wirings in the wiring region, the chip area of the semiconductor memory device, that is, the chip size can be reduced.

(B)本実施例の場合、出力ノードN1の配線負荷が重く
なるが、伝達手段36−n,46−nを設けたことにより、主
メモリ領域1を使用する際、そのNMOSFET36−nB,46−nB
によって出力ノードN1の電荷が放電されるため、そのNM
OSFET36−nB,46−nBの駆動能力を高めたとしても、各サ
ブ冗長メモリ選択回路31−n,41−nのアドレス信号入力
側のアドレス信号線への影響はなく、従来と同等の動作
スピードを期待することができる。
(B) In the case of the present embodiment, although the wiring load on the output node N1 becomes heavy, the provision of the transmission means 36-n and 46-n allows the use of the NMOSFETs 36-nB and 46 when the main memory area 1 is used. −nB
Discharges the output node N1.
Even if the driving capability of OSFETs 36-nB and 46-nB is increased, there is no effect on the address signal lines on the address signal input side of each of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n, and the operation speed is the same as that of the conventional one Can be expected.

なお、本発明は、図示の実施例に限定されず、種々の
変形が可能である。その変形例としては、例えば次のよ
うなものが挙げられる。
Note that the present invention is not limited to the illustrated embodiment, and various modifications are possible. The following are examples of such modifications.

(I)上記実施例の冗長回路方式の半導体メモリ装置で
は、第1図、第5図及び第6図に示した半導体メモリ装
置の構成等の変形が可能である。
(I) In the redundant circuit type semiconductor memory device of the above embodiment, the configuration of the semiconductor memory device shown in FIGS. 1, 5 and 6 can be modified.

例えば、冗長回路30では、第2のアドレス信号(例え
ばアドレス信号A1a〜A7b)について2分割し、その分割
されたアドレス信号をそれぞれ入力するサブ冗長メモリ
選択回路31−n,41−nの組を、8組設けて不良メモリセ
ルを指定するアドレス検出を行い冗長メモリ活性化信号
NRDBを生成するようにしている。しかし、これは、第2
のアドレス信号について2分割ではなく他の複数分割で
分割されたアドレス信号をそれぞれ入力する該複数のサ
ブ冗長メモリ選択回路によって、不良メモリセルを示す
アドレスの検出を行うようにしてもよい。また、上記実
施例では、サブ冗長メモリ選択回路31−n,41−nの組が
8組の場合を例示したが、これは8組である必要はな
い。
For example, the redundancy circuit 30 divides a second address signal (for example, the address signals A1a to A7b) into two parts, and sets a set of sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n that respectively input the divided address signals. , Eight addresses are provided to detect an address for designating a defective memory cell and a redundant memory activation signal is provided.
NRDB is generated. But this is the second
The address indicating the defective memory cell may be detected by the plurality of sub-redundant memory selection circuits that respectively input the address signals obtained by dividing the address signal by a plurality of divisions instead of the two divisions. Further, in the above-described embodiment, the case where the number of the sets of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n is eight is exemplified, but the number is not necessarily eight.

アドレス信号についても、信号数、アドレス信号線の
入り方等について種々の変更が可能である。
As for the address signal, various changes can be made in the number of signals, how to enter the address signal line, and the like.

また、サブ冗長メモリ選択回路31−n,41−nは、冗長
選択回路32−n,42−n、ヒューズ回路33−n,43−n、デ
コーダ回路34−n,44−n、プリチャージ用PMOSFET35−
n,45−n、伝達手段36−n,46−n、及びPMOSFET37−n,4
7−n等の構成の変更が可能であるし、またプリチャー
ジ回路50についても構成を適宜変更することができる。
The sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n include redundancy selection circuits 32-n and 42-n, fuse circuits 33-n and 43-n, decoder circuits 34-n and 44-n, and precharge circuits. PMOSFET35−
n, 45-n, transmission means 36-n, 46-n, and PMOSFET 37-n, 4
The configuration such as 7-n can be changed, and the configuration of the precharge circuit 50 can also be changed as appropriate.

さらに、サブ冗長メモリ選択回路31−n,41−n及びプ
リチャージ回路50のレイアウト配置は適宜変更が可能で
ある。
Further, the layout arrangement of the sub-redundant memory selection circuits 31-n and 41-n and the precharge circuit 50 can be changed as appropriate.

(II)上記実施例で示した動作例は、一例を概略的に示
したものであり、構成の変更等に応じて適宜変更可能で
ある。また、各信号のレベル設定については、構成の変
形等に応じて変更可能である。
(II) The operation example shown in the above embodiment is merely an example, and can be appropriately changed according to a change in the configuration or the like. Further, the level setting of each signal can be changed according to a modification of the configuration or the like.

(III)本発明の冗長回路方式の半導体メモリ装置は、
ダイナミックRAMに限定されず、例えばスタティックRAM
及びROM等を含む種々の半導体メモリ装置等に対して幅
広く適用が可能である。
(III) The redundant circuit type semiconductor memory device of the present invention
Not limited to dynamic RAM, for example, static RAM
And various semiconductor memory devices including ROMs and the like.

(発明の効果) 以上詳細に説明したように、第1の発明によれば、前
記複数のサブ冗長メモリ選択回路を設け、かつ各サブ冗
長メモリ選択回路は前記デコーダ回路、ヒューズ回路及
び伝達手段を備えるように構成し、所定の組合わせのサ
ブ冗長メモリ選択回路によって、不良メモリセルを指定
するアドレスの検出を行い、前記冗長メモリ活性化信号
を生成するようにしている。そのため、前記所定の組合
わせのサブ冗長メモリ選択回路については、必ずしも同
一領域に配置される必要はなく、離散的なレイアウト配
置が可能となる。
(Effects of the Invention) As described above in detail, according to the first aspect, the plurality of sub-redundant memory selection circuits are provided, and each of the sub-redundant memory selection circuits includes the decoder circuit, the fuse circuit, and the transmission unit. The redundant memory selection circuit of a predetermined combination detects an address designating a defective memory cell, and generates the redundant memory activation signal. Therefore, the predetermined combination of sub-redundant memory selection circuits does not necessarily have to be arranged in the same region, and a discrete layout arrangement is possible.

また、各サブ冗長メモリ選択回路中の出力ノードを共
通結線し、前記選択信号に基づき前記伝達手段によって
冗長信号を該出力ノードに伝達させることにより前記冗
長メモリ活性化信号を生成するようにしているので、各
サブ冗長メモリ選択回路の出力側の配線は例えば出力ノ
ードの共通結線部分の1本ですむ。
Further, the output nodes in each of the sub-redundant memory selection circuits are commonly connected, and the redundant signal is transmitted to the output nodes by the transmission means based on the selection signal, thereby generating the redundant memory activation signal. Therefore, the wiring on the output side of each sub-redundant memory selection circuit may be, for example, one of the common connection portions of the output nodes.

従って、本発明の冗長回路方式の半導体メモリ装置で
は、配線領域における配線の本数の低減及び引き回しの
効率の向上等を図れ、メモリチップサイズの縮小化を達
成できる。しかも、前記伝達手段を設けたことにより、
従来の冗長回路方式の半導体メモリ装置に対して少なく
とも同等の動作スピードを期待することができる。
Therefore, in the semiconductor memory device of the redundant circuit type according to the present invention, the number of wirings in the wiring area can be reduced, the efficiency of routing can be improved, and the memory chip size can be reduced. Moreover, by providing the transmission means,
At least the same operation speed can be expected with respect to the conventional redundant circuit type semiconductor memory device.

第2の発明によれば、前記サブ冗長メモリ選択回路の
うち、同一の前記第2のアドレス信号を解読するヒュー
ズ回路を有するサブ冗長メモリ選択回路を、隣接させて
まとめて配置することにより、配線領域における配線本
数の低減効率を促進でき、かつ配線の引き回しの最適化
を図ることができる。
According to the second invention, among the sub-redundant memory selection circuits, a sub-redundant memory selection circuit having a fuse circuit that decodes the same second address signal is arranged adjacently and collectively, so that wiring The efficiency of reducing the number of wires in the region can be promoted, and the routing of wires can be optimized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の実施例を示す冗長回路方式を採用した
半導体メモリ装置の概略的な構成ブロック図、第2図は
従来の冗長回路方式を採用した半導体メモリ装置の一構
成例を概略的に示す構成ブロック図、第3図は第2図中
の冗長回路の概略的な回路図、第4図は第3図の冗長回
路のレイアウト配置例を示す図、第5図は第1図中の冗
長回路の概略的な回路図、第6図は第5図の冗長回路の
レイアウト配置例を示す図である。 1……主メモリ領域、3……アドレスデコーダ、5……
冗長メモリ領域、6……冗長アドレスデコーダ、30……
冗長回路、31−1〜41−8……サブ冗長メモリ選択回
路、33−1〜43−8……ヒューズ回路、33−1B〜43−8B
……ヒューズ、34−1〜44−8……デコーダ回路、36−
1〜46−8……伝達手段、A8a〜A10a,A8b〜A10b……第
1のアドレス信号、A1a〜A7a,A1b〜A7b……第2のアド
レス信号、S0L〜S7L,S0R〜S7R……選択信号、NRDB 0
L〜NRDB 7L,NRDB 0R〜NRDB 7R……冗長信号、NRDB……
冗長メモリ活性化信号。
FIG. 1 is a schematic block diagram of a semiconductor memory device adopting a redundant circuit system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic structural example of a semiconductor memory device adopting a conventional redundant circuit system. , FIG. 3 is a schematic circuit diagram of the redundant circuit in FIG. 2, FIG. 4 is a diagram showing an example of a layout arrangement of the redundant circuit in FIG. 3, and FIG. 5 is a diagram in FIG. FIG. 6 is a schematic circuit diagram of the redundant circuit shown in FIG. 6, and FIG. 6 is a diagram showing an example of a layout arrangement of the redundant circuit in FIG. 1 ... Main memory area, 3 ... Address decoder, 5 ...
Redundant memory area, 6 Redundant address decoder, 30
Redundancy circuit, 31-1 to 41-8: Sub-redundant memory selection circuit, 33-1 to 43-8: Fuse circuit, 33-1B to 43-8B
... Fuse, 34-1 to 44-8 ... Decoder circuit, 36-
1 to 46-8: transmission means, A8a to A10a, A8b to A10b ... first address signal, A1a to A7a, A1b to A7b ... second address signal, S0L to S7L, S0R to S7R ... selection Signal, NRDB 0
L to NRDB 7L, NRDB 0R to NRDB 7R ... redundant signal, NRDB ...
Redundant memory activation signal.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11C 29/00 G11C 16/06 G11C 11/401 G11C 11/413 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G11C 29/00 G11C 16/06 G11C 11/401 G11C 11/413

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数のアドレス信号により選択される主メ
モリ領域中の不良メモリセルに代えて用いられる冗長メ
モリセルを有する冗長メモリ領域と、 前記複数のアドレス信号の一部を解読して前記冗長メモ
リ領域中の冗長メモリセルを選択する冗長アドレスデコ
ーダと、 前記不良メモリセルを指定する前記アドレス信号を検出
し、その検出結果に基づき、前記主メモリ領域のアドレ
ス選択を行うアドレスデコーダを不活性化しかつ前記冗
長アドレスデコーダを活性化する冗長メモリ活性化信号
を出力する複数の冗長メモリ選択回路とを、備えた半導
体記憶装置において、 前記各冗長メモリ選択回路は、前記複数のアドレス信号
を第1及び第2のアドレス信号に分割したその第1のア
ドレス信号を解読して選択信号を出力するデコーダ回路
と、予めプログラムされたヒューズを用い前記第2のア
ドレス信号の一部を解読して冗長信号を出力するヒュー
ズ回路と、前記選択信号に基づき前記冗長信号を出力ノ
ードヘ伝達する伝達手段とを、それぞれ有する複数のサ
ブ冗長メモリ選択回路で構成し、 前記各サブ冗長メモリ選択回路中の出力ノードを共通結
線して前記冗長メモリ活性化信号を生成することを特徴
とする半導体記憶装置。
A redundant memory area having a redundant memory cell used in place of a defective memory cell in a main memory area selected by a plurality of address signals; A redundant address decoder for selecting a redundant memory cell in a memory area; and an address signal for designating the defective memory cell, wherein the address decoder for selecting an address of the main memory area is deactivated based on the detection result. And a plurality of redundant memory selection circuits for outputting a redundant memory activation signal for activating the redundant address decoder, wherein each of the redundant memory selection circuits transmits the plurality of address signals to the first and second address signals. A decoder circuit for decoding the first address signal divided into the second address signals and outputting a selection signal; A plurality of fuse circuits each including a fuse circuit for decoding a part of the second address signal using a pre-programmed fuse to output a redundant signal, and a transmitting unit for transmitting the redundant signal to an output node based on the selection signal; A semiconductor memory device comprising: a plurality of sub-redundant memory selection circuits; and a common connection between output nodes in each of the sub-redundant memory selection circuits to generate the redundant memory activation signal.
【請求項2】請求項1記載の半導体記憶装置において、
前記サブ冗長メモリ選択回路のうち、同一の前記第2の
アドレス信号を解読するヒューズ回路を有するものを、
隣接させてまとめて配置したことを特徴とする半導体記
憶装置。
2. The semiconductor memory device according to claim 1,
Among the sub-redundant memory selection circuits, one having a fuse circuit that decodes the same second address signal,
A semiconductor memory device characterized by being arranged adjacently and collectively.
JP34065790A 1990-11-30 1990-11-30 Semiconductor storage device Expired - Fee Related JP2941940B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34065790A JP2941940B2 (en) 1990-11-30 1990-11-30 Semiconductor storage device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34065790A JP2941940B2 (en) 1990-11-30 1990-11-30 Semiconductor storage device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04209389A JPH04209389A (en) 1992-07-30
JP2941940B2 true JP2941940B2 (en) 1999-08-30

Family

ID=18339072

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34065790A Expired - Fee Related JP2941940B2 (en) 1990-11-30 1990-11-30 Semiconductor storage device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2941940B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100301812B1 (en) * 1998-03-13 2001-09-06 김영환 Y-redundancy control device
KR100304951B1 (en) * 1998-04-07 2001-09-24 김영환 dolumn repair circuit for semiconductor memory device
KR100351902B1 (en) * 2000-09-28 2002-09-12 주식회사 하이닉스반도체 Circuit of Column Redundancy Repair

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04209389A (en) 1992-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7710764B2 (en) Semiconductor memory cells with shared p-type well
KR100211760B1 (en) Data i/o path control circuit of semiconductor memory device having multi-bank structure
US6650582B2 (en) Semiconductor memory device
US4839864A (en) Semiconductor memory device comprising programmable redundancy circuit
JPH09128994A (en) Column redundancy circuit for semiconductor memory device
JP2000011639A (en) Semiconductor storage
US5973976A (en) Logic semiconductor integrated circuit device having embedded dynamic random-access memory
US5828622A (en) Clocked sense amplifier with wordline tracking
US20040062096A1 (en) Rapidly testable semiconductor memory device
KR100294965B1 (en) How to configure an input / output device and its circuit
JP2941940B2 (en) Semiconductor storage device
KR950009073B1 (en) Semiconductor memory element
JPH0421956B2 (en)
US7639557B1 (en) Configurable random-access-memory circuitry
KR100728927B1 (en) Semiconductor integrated circuit device
JP2001101893A (en) Static type semiconductor memory
JPH01125799A (en) Semiconductor memory device
JP2000021169A (en) Synchronous semiconductor memory device
JP5131816B2 (en) Semiconductor memory device
JPH09198898A (en) Semiconductor memory
JP2867256B2 (en) Semiconductor memory device
KR0166496B1 (en) Redundancy apparatus of semiconductor memory device
JP2580128B2 (en) Semiconductor storage device
US6529419B2 (en) Apparatus for varying data input/output path in semiconductor memory device
JP2976745B2 (en) Semiconductor integrated circuit

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees