JP2940663B2 - Stage vertical and horizontal movement rotation support mechanism - Google Patents
Stage vertical and horizontal movement rotation support mechanismInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は精密測定器具、精密
加工機構、精密位置決め装置等に使用される、ステージ
の縦横移動旋回支持機構に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stage vertical and horizontal movement turning support mechanism used for a precision measuring instrument, a precision machining mechanism, a precision positioning device, and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、ステージを縦横方向に移動可能に
構成した、いわゆるＸ−Ｙ移動テーブルにおいては、左
右一対の直動案内軸受と一つの送りねじ機構により一方
向に移動可能に構成した一軸移動機構の２組を、その移
動方向が直交するように上下に重ねて組み合わせること
により、上述した移動を可能に構成しており、これに旋
回機構を組み合わせることにより縦横移動と旋回を可能
としている。2. Description of the Related Art Conventionally, in a so-called XY moving table in which a stage is configured to be movable vertically and horizontally, a single shaft configured to be movable in one direction by a pair of right and left linear motion guide bearings and one feed screw mechanism. The above-described movement is configured by combining two sets of moving mechanisms vertically one on the other so that their moving directions are orthogonal to each other, and by combining this with a turning mechanism, vertical and horizontal movement and turning are enabled. .
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】このような構成では、
ａ．支持台からステージまでの高さが高くなって、不安
定である、ｂ．機構の占有スペースが大きい、ｃ．組立
て工数がかかる、ｄ．組立精度を確保するのが比較的難
しい、等々の課題がある。In such a configuration,
a. The height from the support to the stage is high and unstable, b. A large space occupied by the mechanism; c. Assembly time is required, d. There are problems such as relatively difficulty in ensuring assembly accuracy.
【０００４】このような課題を解決するために種々の工
夫がされつつあり、例えば特開平１−２４２９８９号公
報に記載のものでは、縦、横移動機構及び旋回機構を、
夫々の機構の組合せでなく構成している。Various solutions have been devised to solve such problems. For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-242989, a vertical and horizontal moving mechanism and a turning mechanism are provided.
The configuration is not a combination of the respective mechanisms.
【０００５】[0005]
【発明の目的】本発明では、このような構成を更に発展
させ、軽量で安価な縦横移動旋回支持機構を提供するこ
とを第１の目的とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION It is a first object of the present invention to further develop such a structure and to provide a lightweight and inexpensive vertical and horizontal movement turning support mechanism.
【０００６】また本発明では、ステージの中央部分に対
応する位置に機構部材を配置しないようにすることによ
り、このステージの中央部分を有効に利用し得るように
することを第２の目的とするものである。A second object of the present invention is to prevent the mechanical member from being arranged at a position corresponding to the central portion of the stage so that the central portion of the stage can be effectively used. Things.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明では、内側支持板と２つの外側支持板の
縁に、夫々の位置をずらして複数の凹部を構成し、２つ
の外側支持板を内側支持板の凹部の位置において結合部
材により結合することにより、内側支持板と、この内側
支持板を挟んで一体に結合した２つの外側支持板とを備
え、内側支持板と夫々の外側支持板間に保持部材に保持
したボールを介装して、内側支持板と外側支持板を平面
上で相対的に自由運動可能として、夫々内側支持板側と
外側支持板側を取付部とした支持ユニットを構成し、内
側支持板の取付部材は、一方側の外側支持板の凹部の位
置において突出させた構成とし、この支持ユニットを支
持台とステージ間に複数取付けて構成したステージの縦
横移動旋回支持機構を提案する。In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, a plurality of recesses are formed at the edges of the inner support plate and the two outer support plates by shifting their respective positions. The outer support plate is coupled to the inner support plate by the coupling member at the position of the concave portion, so that the inner support plate and two outer support plates integrally coupled with the inner support plate interposed therebetween are provided. A ball held by a holding member is interposed between the outer support plates of the inner support plate and the outer support plate so that the inner support plate and the outer support plate can relatively freely move on a plane. The mounting member of the inner support plate is configured to protrude at the position of the concave portion of the outer support plate on one side, and a plurality of such support units are mounted between the support base and the stage. Vertical and horizontal swing support machine Suggest.
【０００８】そして本発明では、以上の構成において、
内側支持板側を支持台に取付け、外側支持板側をステー
ジに取付ける構成としたり、または逆に、内側支持板側
をステージに取付け、外側支持板側を支持台に取付ける
構成とすることができる。In the present invention, in the above configuration,
A configuration in which the inner support plate side is mounted on the support base and the outer support plate side is mounted on the stage, or conversely, a configuration in which the inner support plate side is mounted on the stage and the outer support plate side is mounted on the support base. .
【０００９】そして本発明では、以上の構成において、
支持ユニットの形状を細長形状に構成することを提案す
る。According to the present invention, in the above configuration,
It is proposed to configure the shape of the support unit to be elongated.
【００１０】また本発明では、上記の構成において、少
なくともステージを枠状に形成して中央部に窓部を構成
し、枠部に複数の支持ユニットを設置することを提案す
る。そして、この場合、上述したように支持ユニットを
細長形状に構成した場合において、ステージの対向する
枠部に一対設置することを提案する。Further, the present invention proposes, in the above configuration, that at least the stage is formed in a frame shape, a window portion is formed in a central portion, and a plurality of support units are installed in the frame portion. In this case, it is proposed that a pair of support units be provided on the opposite frame portions of the stage when the support units are configured to have an elongated shape as described above.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１〜図５は本発明の実施の
形態の平面図で、符号１は支持台、２はこの支持台１上
に支持するステージ、３は支持台１とステージ２間に設
置して、ステージ２を縦横移動旋回可能に支持する支持
ユニットである。図１に示すように、ステージ２は枠状
に形成して、中央部に窓部４ａを構成している。同様に
支持台１も枠状に形成して窓部４ｂを構成していて、こ
れらの窓部４ａ，４ｂにより貫通空間を構成している。
尚、支持台１の窓部４ｂはステージ２の窓部４ａよりも
広く構成している。このような枠の形状は、図に示すよ
うに矩形枠とする他、方形枠、円形枠等、適宜である。
このような貫通空間ができることから、例えばステージ
２にマスク等を設置すると共に、貫通空間を隔てた適所
に露光部を構成する等の使用をすることができる。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. 1 to 5 are plan views of an embodiment of the present invention. Reference numeral 1 denotes a support, reference numeral 2 denotes a stage supported on the support 1, and reference numeral 3 denotes a stage provided between the support 1 and the stage 2. 2 is a support unit that supports the vertical and horizontal movement and rotation. As shown in FIG. 1, the stage 2 is formed in a frame shape, and has a window 4a at the center. Similarly, the support base 1 is also formed in a frame shape to form a window 4b, and these windows 4a and 4b form a through space.
The window 4b of the support 1 is wider than the window 4a of the stage 2. The shape of such a frame is not limited to a rectangular frame as shown in the figure, but may be a square frame, a circular frame, or the like.
Since such a penetrating space is formed, for example, a mask or the like can be installed on the stage 2 and an exposure unit can be formed at an appropriate position across the penetrating space.
【００１２】次に本発明に適用する支持ユニット３の実
施の形態を、図２〜図４について説明する。この実施の
形態では、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ
は帯板状とし、夫々の長手辺側に位置をずらして複数の
凹部２８ａ，２８ｂを構成している。即ち、外側支持板
２７ａ，２７ｂでは両端と中央に凹部２８ｂを構成する
と共に、内側支持板２６では両端と中央以外の２個所に
凹部２８ａを構成している。Next, an embodiment of the support unit 3 applied to the present invention will be described with reference to FIGS. In this embodiment, the inner support plate 26 and the outer support plates 27a, 27b
Has a strip shape, and a plurality of recesses 28a and 28b are formed with their positions shifted to the respective longitudinal sides. That is, the outer support plates 27a and 27b have recesses 28b at both ends and the center, and the inner support plate 26 has recesses 28a at two places other than both ends and the center.
【００１３】このため、このような内側支持板２６と外
側支持板２７ａ，２７ｂを重ねると、夫々の凹部２８
ａ，２８ｂは重ならずに交互に位置する。即ち、外側支
持板２７ａ，２７ｂの凹部２８ｂ以外の個所、即ち凸部
２９ｂは内側支持板２６の凹部２８ａに対応するので、
内側支持板２６の両面側に対応する外側支持板２７ａ，
２７ｂの凸部１９ｂ間に、内側支持板２６の凹部２８ａ
を通して結合部材３０により結合することができる。一
方、内側支持板２６の凸部２９ａは外側支持板２７ｂの
凹部２８ｂに対応するので、上記凸部２９ａから外側支
持板２７ｂの凹部２８ｂを通して内側支持板２６の取付
部材３１を突出させることができる。For this reason, when the inner support plate 26 and the outer support plates 27a and 27b are overlapped with each other,
a and 28b are alternately located without overlapping. That is, the portions other than the concave portions 28b of the outer support plates 27a and 27b, that is, the convex portions 29b correspond to the concave portions 28a of the inner support plate 26.
Outer support plates 27a corresponding to both sides of the inner support plate 26,
27b between the projections 19b of the inner support plate 26
Through the connecting member 30. On the other hand, since the protrusion 29a of the inner support plate 26 corresponds to the recess 28b of the outer support plate 27b, the mounting member 31 of the inner support plate 26 can be projected from the protrusion 29a through the recess 28b of the outer support plate 27b. .
【００１４】以上のように内側支持板２６の両面側の外
側支持板２７ａ，２７ｂを結合部材３０により結合する
に際して、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ
間に保持部材３２に保持したボール３３を介装すること
により、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂを
平面上で相対的に自由運動可能とすることができる。
尚、保持部材３２には遊び孔３５を形成すると共に内側
支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ間には遊び孔３
５内を通るストッパー３４を設けており、このストッパ
ー３４と遊び孔３５が自由運動のストロークを規定す
る。従って、この遊び孔３５の寸法を適宜設計すること
により、自由運動のストロークを調節することができ
る。When the outer supporting plates 27a and 27b on both sides of the inner supporting plate 26 are connected by the connecting member 30 as described above, the inner supporting plate 26 and the outer supporting plates 27a and 27b are connected.
By interposing the ball 33 held by the holding member 32 therebetween, the inner support plate 26 and the outer support plates 27a and 27b can relatively freely move on a plane.
A play hole 35 is formed in the holding member 32, and a play hole 3 is formed between the inner support plate 26 and the outer support plates 27a and 27b.
A stopper 34 passing through the inside 5 is provided, and the stopper 34 and the play hole 35 define a stroke of free movement. Therefore, the stroke of the free movement can be adjusted by appropriately designing the size of the play hole 35.
【００１５】以上の構成において、内側支持板２６の取
付部材３１を支持台１の枠部に取り付けると共に、上側
の外側支持板２７ａをステージ２の枠部に取り付けるこ
とにより、支持台１上にステージ２を支持することがで
きる。例えば図１は、細長形状の支持ユニット３におい
てステージの縦横移動旋回支持機構を構成する場合の、
支持ユニット３の配置の実施の形態を示すもので、図１
に示すようにステージ２及び支持台１を枠状に構成した
ものにおいて、それらの対向する枠部に一対設置するこ
とにより、ステージ２の荷重を支えることができ、構成
が簡素化されて組立てが非常に簡単になると共に軽量化
が図れる。In the above arrangement, the mounting member 31 of the inner support plate 26 is mounted on the frame of the support base 1 and the upper outer support plate 27a is mounted on the frame of the stage 2, so that the stage 2 can be supported. For example, FIG. 1 shows a case in which a vertically and horizontally rotating support mechanism for a stage is formed in an elongated support unit 3.
FIG. 1 shows an embodiment of an arrangement of a support unit 3, and FIG.
As shown in the figure, the stage 2 and the support base 1 are configured in a frame shape, and by installing a pair on the frame portions facing each other, the load of the stage 2 can be supported, the configuration is simplified, and the assembly is simplified. Very simple and lightweight.
【００１６】こうして、ステージ２と支持台１間に、適
宜の駆動機構を構成することにより、ステージ２を支持
台１に対して所定の縦横移動旋回を行うことができる。
このような駆動機構は、例えば上述した特開平１−２４
２９８９号公報に記載のもの等、適宜の駆動機構を利用
することができる。Thus, by forming an appropriate drive mechanism between the stage 2 and the support 1, the stage 2 can be rotated vertically and horizontally relative to the support 1.
Such a driving mechanism is disclosed in, for example, the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-24.
An appropriate drive mechanism such as that described in JP-A-2989 can be used.
【００１７】そこで、駆動機構の実施の形態を説明する
と、図１において、符号１１は直動軸受であり、レール
１２をステージ２の枠部の軸方向と直交する方向に設置
すると共に、このレール１２に軸受本体１３を直線移動
可能に保持している。レール１２は、概ね、支持ユニッ
ト３間のステージ２の枠部、即ち、両端に支持ユニット
３を設置している辺の中間と、この辺に隣接する辺の夫
々に設置しており、図中下側のレール１２と左右側のレ
ール１２は直交している。そして夫々において軸受本体
１３はヒンジ部１４を介してリニアアクチュエータ１５
の作動ロッド１６に固定しており、リニアアクチュエー
タ１５の基部は支持台１の枠部に固定している。The embodiment of the driving mechanism will be described. Referring to FIG. 1, reference numeral 11 denotes a linear motion bearing, and a rail 12 is installed in a direction perpendicular to the axial direction of the frame portion of the stage 2. A bearing body 13 is held by the bearing 12 so as to be able to move linearly. The rails 12 are generally installed at the frame portion of the stage 2 between the support units 3, that is, at the middle of the side where the support units 3 are installed at both ends and at each of the sides adjacent to this side. The rail 12 on the side and the rail 12 on the left and right sides are orthogonal to each other. In each case, the bearing body 13 is connected to the linear actuator 15 via the hinge 14.
And the base of the linear actuator 15 is fixed to the frame of the support base 1.
【００１８】以上の構成において、例えば図１の状態で
下側の直動軸受１１を駆動するリニアアクチュエータ１
５の作動ロッド１６を伸長すると、軸受本体１３はレー
ル１２を介してステージ２を図中左方向に押し、この方
向は左右側のレール１２の移動方向であるので、ステー
ジ２は図中左方向に移動する。逆に、下側のリニアアク
チュエータ１５の作動ロッド１６を短縮すると、軸受本
体１３はレール１２を介してステージ２を引っ張り、ス
テージ２は図中右方向に移動する。In the above configuration, for example, the linear actuator 1 that drives the lower linear motion bearing 11 in the state shown in FIG.
When the operating rod 16 of FIG. 5 is extended, the bearing body 13 pushes the stage 2 to the left in the figure via the rail 12, and this direction is the moving direction of the left and right rails 12, so that the stage 2 is moved to the left in the figure. Go to Conversely, when the operating rod 16 of the lower linear actuator 15 is shortened, the bearing body 13 pulls the stage 2 via the rail 12, and the stage 2 moves rightward in the figure.
【００１９】次に、図１において図中下側の直動軸受１
１のリニアアクチュエータ１５はそのままで、左右側の
リニアアクチュエータ１５の作動ロッド１６を等量同方
向、即ち図中下方向又は上方向に移動すると、下側のレ
ール１２が軸受本体１３に対して移動してステージ２は
下方に移動する。Next, in FIG.
When the actuating rods 16 of the left and right linear actuators 15 are moved in the same direction in the same direction, that is, in the downward or upward direction in the drawing, while the one linear actuator 15 is kept as it is, the lower rail 12 moves with respect to the bearing body 13. Then, the stage 2 moves downward.
【００２０】次に、図中下側の直動軸受１１のリニアア
クチュエータ１５はそのままで、左側の直動軸受１１の
リニアアクチュエータ１５の作動ロッド１６を伸長させ
ると共に、右側の直動軸受１１のリニアアクチュエータ
１５の作動ロッド１６を短縮させると、ステージ２は図
中時計方向に旋回する。この際の各部材間の距離の変化
は、各ヒンジ部１４の回りの回動と、各軸受本体１３に
対する各レール１２の移動により吸収するため、機構上
の不都合は起こらない。Next, the operating rod 16 of the linear actuator 15 of the left linear bearing 11 is extended while the linear actuator 15 of the lower linear bearing 11 is left as it is, and the linear actuator 15 of the right linear bearing 11 is extended. When the operating rod 16 of the actuator 15 is shortened, the stage 2 turns clockwise in the drawing. The change in the distance between the members at this time is absorbed by the rotation around each hinge portion 14 and the movement of each rail 12 with respect to each bearing main body 13, so that no inconvenience occurs in the mechanism.
【００２１】以上の構成において、支持ユニット３は、
図１に示すように対向位置に一対構成する他、夫々の枠
部の一辺の両端と、対向する辺の中間の３個所に設置し
て、いわゆる３点支持式に支持することもできる。勿
論、支持ユニット３の設置数は、支持台１やステージ２
の形状や大きさ等に応じて適宜に設定することができ
る。また図の構成とは逆に、図示は省略するが、内側支
持板２６の取付部材３１をステージ２の枠部に取付ける
と共に、外側支持板６を支持台１の枠部に取り付けるこ
とにより支持台１上にステージ２を支持することもでき
る。In the above configuration, the support unit 3
As shown in FIG. 1, a pair may be provided at opposing positions. Alternatively, they may be installed at both ends of one side of each frame portion and at three intermediate positions between the opposing sides to support a so-called three-point support system. Of course, the number of the support units 3 to be installed is
Can be set appropriately according to the shape, size, etc. In contrast to the configuration shown in the drawings, although not shown, the mounting member 31 of the inner support plate 26 is mounted on the frame of the stage 2 and the outer support plate 6 is mounted on the frame of the support 1 to support the support. The stage 2 can also be supported on 1.
【００２２】[0022]
【発明の効果】本発明は、以上のとおりであるので、次
のような効果がある。ａ． 縦、横移動機構と旋回支持機構を上下に重ねて組み
合わせずにステージの縦横移動旋回支持機構を構成する
ことができる。ｂ． 縦横移動旋回させるステージは枠状に構成すること
ができるので、機構の軽量化を図ることができる。ｃ． 枠状のステージにより、縦横移動旋回可能な支持部
材や駆動部材に邪魔されない貫通空間を構成することが
できるので、この貫通空間を通した露光等、貫通空間を
有効に利用することができる。ｄ． 精密加工を必要とする支持ユニットの小型化を図
れ、加工が容易となる。ｅ． 支持ユニットを細長形状に構成して、長さ方向のス
トロークを大きくすることが可能である。ｆ． 支持ユニットを細長形状に構成したものでは、最少
２つの設置により枠状のステージを自由運動可能に支持
することができる。As described above, the present invention has the following effects. a. The vertical / horizontal movement rotation support mechanism of the stage can be configured without combining the vertical / horizontal movement mechanism and the rotation support mechanism vertically. b. Since the stage to be moved vertically and horizontally can be formed in a frame shape, the weight of the mechanism can be reduced. c. With the frame-shaped stage, a through space that is not obstructed by the support member and the drive member that can be rotated vertically and horizontally can be configured, so that the through space such as exposure through the through space can be effectively used. d. The support unit that requires precision processing can be reduced in size and processing can be facilitated. e. The support unit can be configured in an elongated shape to increase the lengthwise stroke. f. In the case where the support unit is formed in an elongated shape, the frame-shaped stage can be supported so as to be freely movable by installing at least two.
【図１】 本発明の支持機構の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a support mechanism of the present invention.
【図２】 支持ユニットの更に他の実施の形態の斜視図
である。FIG. 2 is a perspective view of still another embodiment of a support unit.
【図３】 図２の支持ユニットの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the support unit of FIG. 2;
【図４】 図２の支持ユニットの正面図である。FIG. 4 is a front view of the support unit of FIG. 2;
【図５】 図２の支持ユニットの側面図である。FIG. 5 is a side view of the support unit of FIG. 2;
１ 支持台 ２ ステージ ３ 支持ユニット ４ａ，４ｂ 窓部 ２６ 内側支持板 ２７ａ，２７ｂ 外側支持板 ２８ａ，２８ｂ 凹部 ２９ａ，２９ｂ 凸部 ３０ 結合部材 ３１ 取付部材 ３２ 保持部材 ３３ ボール ３４ ストッパー ３５ 遊び孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support stand 2 Stage 3 Support unit 4a, 4b Window 26 Inner support plate 27a, 27b Outer support plate 28a, 28b Concave part 29a, 29b Convex part 30 Coupling member 31 Mounting member 32 Holding member 33 Ball 34 Stopper 35 Play hole
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23Q 1/00 - 1/76 B23Q 5/22 B23Q 5/34 G12B 5/00 H01L 21/68 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) B23Q 1/00-1/76 B23Q 5/22 B23Q 5/34 G12B 5/00 H01L 21/68
Claims (6)
夫々の位置をずらして複数の凹部を構成し、２つの外側
支持板を内側支持板の凹部の位置において結合部材によ
り結合することにより、内側支持板と、この内側支持板
を挟んで一体に結合した２つの外側支持板とを備え、内
側支持板と夫々の外側支持板間に保持部材に保持したボ
ールを介装して、内側支持板と外側支持板を平面上で相
対的に自由運動可能として、夫々内側支持板側と外側支
持板側を取付部とした支持ユニットを構成し、内側支持
板の取付部材は、一方側の外側支持板の凹部の位置にお
いて突出させた構成とし、この支持ユニットを支持台と
ステージ間に複数取付けて構成したことを特徴とするス
テージの縦横移動旋回支持機構 1. An edge of an inner support plate and two outer support plates,
Each position is shifted to form a plurality of recesses, and two outer
Attach the support plate to the coupling member at the position of the concave portion of the inner support plate.
The inner support plate and the inner support plate
And two outer support plates integrally joined with the
Between the side support plate and each outer support plate.
The inner support plate and the outer support plate on a plane
It is possible to move freely on the opposite side, and the inner support plate side and the outer support
Construct a support unit with the holding plate side as the mounting part, and support inside
The mounting member of the plate is located at the position of the concave portion of the outer support plate on one side.
The support unit and the support stand
A switch characterized by being configured with multiple attachments between stages
Tension vertical and horizontal movement swivel support mechanism
持板側をステージに取付ける構成としたことを特徴とす
る請求項１記載のステージの縦横移動旋回支持機構 2. The method according to claim 1, wherein the inner support plate side is attached to the support table, and the outer support is provided.
The holding plate side is attached to the stage.
The vertical and horizontal movement swivel support mechanism of the stage according to claim 1.
支持板側を支持台に取付ける構成としたことを特徴とす
る請求項１記載のステージの縦横移動旋回支持機構 3. An inner supporting plate side is attached to a stage,
The support plate side is attached to the support base.
The vertical and horizontal movement swivel support mechanism of the stage according to claim 1.
を特徴とする請求項１〜３までのいずれか１項に記載の
ステージの縦横移動旋回支持機構 4. The support unit is formed in an elongated shape.
The method according to any one of claims 1 to 3, wherein
Stage vertical and horizontal movement rotation support mechanism
央部に窓部を構成し、枠部に複数の支持ユニットを設置
することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記
載のステージの縦横移動旋回支持機構 5. The method according to claim 5, wherein at least the stage is formed in a frame shape.
Construct a window in the center and install multiple support units in the frame
The method according to any one of claims 1 to 4, wherein
Support mechanism for vertical and horizontal movement of the mounted stage
ージの対向する枠部に一対設置したことを特徴とする請
求項５記載のステージの縦横移動旋回支持機構 6. The support unit is formed in an elongated shape, and
The pair is installed in the opposite frame part of the page
6. The stage vertical and horizontal movement turning support mechanism according to claim 5.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7313920A JP2940663B2 (en) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | Stage vertical and horizontal movement rotation support mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7313920A JP2940663B2 (en) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | Stage vertical and horizontal movement rotation support mechanism |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155666A JPH09155666A (en) | 1997-06-17 |
| JP2940663B2 true JP2940663B2 (en) | 1999-08-25 |
Family
ID=18047117
Family Applications (1)
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