JP2939791B2 - 拡散炉断熱リング - Google Patents

拡散炉断熱リング

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JP2939791B2
JP2939791B2 JP7134717A JP13471795A JP2939791B2 JP 2939791 B2 JP2939791 B2 JP 2939791B2 JP 7134717 A JP7134717 A JP 7134717A JP 13471795 A JP13471795 A JP 13471795A JP 2939791 B2 JP2939791 B2 JP 2939791B2
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heat insulating
insulating ring
ceramic
ring
diffusion furnace
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信夫 藤井
浩 中村
邦正 下野
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MITSUI KOZAN MATERIARU KK
NICHIBI KK
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MITSUI KOZAN MATERIARU KK
NICHIBI KK
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体、集積回路等を製
造する工程の一段階である 1,000〜1,200 ℃の温度にて
処理する、一般に言う拡散工程における拡散炉の断熱リ
ングに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来からも、拡散炉内の拡散チューブを
保持するリング状支持体は使用されていた。その構造は
耐熱性を有する材料を単にリング状に形成したものであ
ったため、チューブを加熱炉に設置する際、および、装
置の加熱運転中に多量の塵埃を発生し、その発生した塵
埃が製造中の半導体の表面に沈積し、不良製品の発生の
原因となっていた。一方、特公昭６０−４３０１１号公
報にこの塵埃の発生を防ぐ目的で、このチューブ支持リ
ング断熱材の表面をマット状物で被覆せんとする試みが
なされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】かかる手段を使用して
も、従来の方法であれば、被覆材料は二酸化ケイ素を主
成分とする織物、編物、シート等から構成されていたた
め、被覆材料の耐熱性が絶対的に不足し、炉内の 1,000
〜1,200 ℃という高温雰囲気において長時間連続的に、
あるいは断続的に暴露されることにより、急速にその表
面が脆化するという現象が生ずる。その結果、微小の塵
埃の発生が生じ、この塵埃が製品の歩留まりの低下を招
くという難点を有しており、このような塵埃の発生のな
い被覆材料の出現が待たれていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、かかる欠
点を解消すべく鋭意検討した結果、本発明に到達したも
ので、その要旨とするところは、(1) 半導体および集積
回路等の製造に使用する拡散炉内の拡散チューブを支持
する断熱リングにおいて、リング構造体の表面をアルミ
ナ成分構成比率が、少なくとも50％以上であり、かつ、
ホウ素成分を含まないセラミック長繊維からなる編織物
にて被覆したことを特徴とする拡散炉断熱リングであっ
て、(2) 該断熱リングの構造体内部がセラミック短繊維
成形構造体もしくは綿状体からなる拡散炉断熱リングに
ある。
【０００５】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
断熱リングは、リング構造体の表面をセラミック長繊維
からなる編織物にて被覆したものであり、また、セラミ
ック長繊維からなる被覆材の内部にセラミック繊維形成
構造体もしくは綿状体を充填したものである。
【０００６】本発明で被覆材として使用するセラミック
長繊維編織物のアルミナ成分構成比率は50％以上が好ま
しく、より好ましくは60％以上、さらに好ましくは70％
以上である。また、ホウ素成分を含まない。
【０００７】アルミナ成分構成比率が５０％以下の被覆
材では、その耐熱性が不十分となり好ましくない。ま
た、ホウ素成分を含むアルミナ繊維は耐熱性が劣り、使
用寿命に問題があるばかりでなく、高温下においてホウ
素の離脱が発生し、高温雰囲気中に脱離したホウ素によ
って製品が汚染され、性能低下につながるという好まし
くない問題を起こす。すなわち、ホウ素を含有するセラ
ミック繊維も高温雰囲気での使用では十分な耐久性がな
く、脆化し、塵埃の発生をともなう。さらに、セラミッ
ク繊維中に含まれるホウ素成分が発塵により、炉内に導
入されることにより、炉内でｐ型半導体を形成させるホ
ウ素成分の拡散源となり、ｎ型半導体を拡散法で形成さ
せる場合に、製品歩留りおよび半導体特性の低下を招い
ていたのである。
【０００８】図１にホウ素成分を含むアルミナ繊維と、
含まないアルミナ繊維との加熱時の強度変化を示してい
る。加熱時間は２時間である。この結果からも明らかな
ように、ホウ素成分を含むアルミナ繊維は、低温域にお
いてはホウ素成分を含まないアルミナ繊維より強度は大
きいが、 1,050℃近辺の温度を境にして強度は逆転する
ことがわかる。
【０００９】編織物を構成する繊維は長繊維であること
が必要である。上記アルミナ成分構成比率のセラミック
繊維でも短繊維からなるものでは、被覆材自体から短繊
維の抜け等による塵埃の発生があり、好ましくない。
【００１０】本発明でいうセラミック短繊維成形構造体
とは、セラミック短繊維を接着剤等で成形固化したもの
をいう。従って、一定の形状に固化したものを断熱リン
グ構造体とした場合は、その構造体の表面をセラミック
長繊維編織物で被覆し、端部を縫製することにより、断
熱リングとすることができる。また、内容物をセラミッ
ク短繊維の綿状体とする場合には、セラミック長繊維ス
リーブ等に充填し、端部を縫糸にて縫製することによ
り、断熱リングとすることができる。
【００１１】本発明で用いる縫糸としては、熱に対する
挙動が被覆材と同じであることが好ましく、この点から
も被覆材に使用するセラミック長繊維と化学組成面で同
質のものを用いるのが好ましい。
【００１２】本発明のごとく、断熱リング構造物の表面
をセラミック長繊維からなる編織物にて被覆することに
より、拡散チューブの設置時における塵埃の発生がな
く、また、セラミック長繊維の耐熱性がそのアルミナ成
分の高い含有率に由来して高いため、拡散炉運転にとも
なう雰囲気温度が 1,000〜1,200 ℃の高温域に連続して
長時間暴露されても、被覆材本体からその脆化に伴う塵
埃の発生は全くなく、アルミナ長繊維からのホウ素成分
の揮散がないため、極めてクリーンな雰囲気を保つこと
が可能となったのである。これは被覆材が無限長のセラ
ミック繊維フィラメントを原料として、編物、織物に加
工しているためであり、優れた耐熱性とともに常時塵埃
を発生しない作用を具備しているためである。当然のこ
とながら、前述したように、短繊維からなる編織物で
は、短繊維の抜けによる塵埃の発生があり、このような
作用はない。
【００１３】また、被覆材として使用しているセラミッ
ク長繊維編織物がその優れた耐熱性のため、リング内部
構造物の断熱保護材としても作用している。このため高
温雰囲気下においての劣化を防止することができ、断熱
リング全体としての寿命を格段に向上させる効果もあ
る。
【００１４】以下、実施例により本発明をさらに詳細に
説明する。
【００１５】
【実施例１】単繊維径１０μｍ、Ａｌ２Ｏ３／ＳｉＯ２
＝７０／３０なる組成のアルミナ長繊維から製織したア
ルミナ長繊維綾織クロス（厚さ０．３ｍｍ、経糸密度３
０本／インチ、緯糸密度２５本／インチ、重さ４４０ｇ
／ｍ２）を使用してセラミックモールド品を被覆し、断
熱リングとした。使用したセラミックモールド品は、Ａ
ｌ２Ｏ３／ＳｉＯ２＝４９／５１の構成比率で、サイズ
は外径２５０ｍｍ、内径１８０ｍｍ、厚さ５０ｍｍの円
筒状で、密度は２８５Ｋｇ／ｍ３であった。
【００１６】アルミナ長繊維クロスは、このモールド品
に合わせて立体的に裁断し、縫糸としてはクロスと同成
分のアルミナ長繊維を使用し、手縫いで縫製した。この
断熱リングを１８０ｍｍ径の拡散チューブに装着し、
１，１００℃にて６０分加熱する拡散工程に供した。こ
の断熱リングの装着は容易であり、３カ月間にわたる使
用後において、断熱リングの表面は平滑であり、脆化に
ともなう塵埃の発生はほとんど見られなかった。
【００１７】
【実施例２】単繊維径10μm 、Al2O3/SiO2＝80／20なる
組成のアルミナ長繊維を円筒状に編組して、内径40mm、
厚さ 1.3mm、重さ 105ｇ／ｍのアルミナ長繊維スリーブ
を得た。このスリーブの内部にセラミック短繊維綿状物
（セラミツクウール、商品名：イビウール、イビデン株
式会社製）を充填し、端部をアルミナ長繊維縫糸にて縫
合することにより、外径 280mm、内径 200mmのドーナツ
状断熱リングを形成した。
【００１８】このドーナツ状断熱リングに外径２００ｍ
ｍの拡散チューブを保持するように装着して拡散炉に入
れた。拡散工程で１，０００℃に加熱しながら、断続的
に５カ月間使用したが、リングの外観に全く変化が見ら
れず、また、取り外して分解したところ、内部のセラミ
ックウールにもほとんど脆化が見られなかった。また、
このリングを使用することにより、塵埃の沈着による製
品の不良率は大幅に低減した。
【００１９】
【発明の効果】断熱リングの被覆材として、本発明のセ
ラミック長繊維編織物を使用することにより、従来の断
熱リングに見られた塵埃の発生に伴う多大の製品不良を
著しく低減することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】ホウ素成分を含むアルミナ繊維と含まないアル
ミナ繊維との耐熱性を示した図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 下野 邦正 東京都中央区日本橋室町２丁目１番１号 三井鉱山マテリアル株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/205 H01L 21/22 501 H01L 21/22 511

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体および集積回路等の製造に使用す
    る拡散炉内の拡散チューブを支持する断熱リングにおい
    て、リング構造体の表面をアルミナ成分構成比率が、少
    なくとも50％以上であり、かつ、ホウ素成分を含まない
    セラミック長繊維からなる編織物にて被覆したことを特
    徴とする拡散炉断熱リング。
  2. 【請求項２】 断熱リングの構造体内部がセラミツク短
    繊維成形構造体もしくは綿状体からなることを特徴とす
    る請求項１記載の拡散炉断熱リング。
JP7134717A 1995-05-09 1995-05-09 拡散炉断熱リング Expired - Lifetime JP2939791B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04167595A (ja) * 1990-10-31 1992-06-15 Nec Corp 多層セラミック配線基板
JPH04273990A (ja) * 1991-02-28 1992-09-30 Nichias Corp 加熱装置
JPH05215473A (ja) * 1992-02-03 1993-08-24 Tokyo Electron Tohoku Kk 加熱装置
JPH076973A (ja) * 1993-06-18 1995-01-10 Kokusai Electric Co Ltd 加熱装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH04167595A (ja) * 1990-10-31 1992-06-15 Nec Corp 多層セラミック配線基板
JPH04273990A (ja) * 1991-02-28 1992-09-30 Nichias Corp 加熱装置
JPH05215473A (ja) * 1992-02-03 1993-08-24 Tokyo Electron Tohoku Kk 加熱装置
JPH076973A (ja) * 1993-06-18 1995-01-10 Kokusai Electric Co Ltd 加熱装置

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