JP2929926B2 - Electronic component bonding apparatus and bonding method - Google Patents

Electronic component bonding apparatus and bonding method

Info

Publication number
JP2929926B2
JP2929926B2 JP33637593A JP33637593A JP2929926B2 JP 2929926 B2 JP2929926 B2 JP 2929926B2 JP 33637593 A JP33637593 A JP 33637593A JP 33637593 A JP33637593 A JP 33637593A JP 2929926 B2 JP2929926 B2 JP 2929926B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
crimping
lcd
bonding
display panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP33637593A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07201932A (en
Inventor
寿樹 安部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=18298491&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP2929926(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP33637593A priority Critical patent/JP2929926B2/en
Publication of JPH07201932A publication Critical patent/JPH07201932A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2929926B2 publication Critical patent/JP2929926B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フィルムキャリヤにて
作られた電子部品のアウターリードを、表示パネルの電
極にボンディングする電子部品のボンディング装置およ
びボンディング方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component bonding apparatus and a bonding method for bonding outer leads of an electronic component made of a film carrier to electrodes of a display panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶パネルなどの電子機器の表示パネル
は、表示パネルの端部に沿って形成された電極に、ドラ
イバである電子部品のアウターリードをボンディングし
て組み立てられる。このドライバ用の電子部品として
は、TAB(Tape Automated Bond
ing)法により、フィルムキャリヤにチップを搭載し
て作られた電子部品が多用されている。また電子部品の
アウターリードと表示パネルの電極は狭ピッチであっ
て、高い位置合わせ精度が要求されることから、アウタ
ーリードと電極の間に異方性導電シート(以下「AC
F」という)を介在させてボンディングする方法が多用
されている。
2. Description of the Related Art A display panel of an electronic device such as a liquid crystal panel is assembled by bonding outer leads of an electronic component as a driver to electrodes formed along an end of the display panel. Electronic components for the driver include TAB (Tape Automated Bond).
Electronic components manufactured by mounting chips on a film carrier by the ing) method are often used. In addition, since the outer leads of the electronic component and the electrodes of the display panel have a narrow pitch and high alignment accuracy is required, an anisotropic conductive sheet (hereinafter referred to as “AC”) is provided between the outer leads and the electrodes.
F ") for bonding.

【0003】ACFは粘着性を有する合成樹脂シートか
ら成っており、このACFを予め電極の上面、もしくは
アウターリードの下面に貼着させておき、アウターリー
ドを圧着ツールにより電極にボンディングするのに先立
って、カメラなどの測定装置によりアウターリードと電
極を予め観察して電子部品と表示パネルの相対的な位置
ずれを検出し、例えば表示パネルが載置されたXYθテ
ーブルなどの位置合わせ手段により表示パネルをX方
向、Y方向、θ方向(水平回転方向)に移動させるなど
して上記位置ずれを補正した後、圧着ツールによりアウ
ターリードを電極に圧着してボンディングするようにな
っている。
The ACF is made of an adhesive synthetic resin sheet. The ACF is previously adhered to the upper surface of the electrode or the lower surface of the outer lead, and prior to bonding the outer lead to the electrode by a crimping tool. Then, the outer leads and the electrodes are observed in advance by a measuring device such as a camera to detect a relative displacement between the electronic component and the display panel. For example, the display panel is positioned by an alignment means such as an XYθ table on which the display panel is mounted. Is moved in the X direction, the Y direction, and the θ direction (horizontal rotation direction) to correct the positional deviation, and then the outer lead is crimped to the electrode by a crimping tool for bonding.

【0004】図17は、従来の電子部品のボンディング
方法における電子部品と表示パネルの相対的な位置ずれ
の分布図である。横軸がX方向の位置ずれ量であり、縦
軸は頻度である。また図中、aは上述した位置合わせ手
段によりアウターリードと電極のX方向の位置ずれを補
正した後の両者の位置ずれの分布を示しており、この分
布aは図示するように0を中心とする正規分布である。
またbは上述した圧着後のアウターリードと電極の位置
ずれの分布であり、この分布bも正規分布であり、分布
bは分布aからTX位置ずれしている。すなわちACF
を介してアウターリードを電極に圧着する際には、位置
ずれTXが生じる。このように位置ずれTXが生じる原
因としては、圧着ツールの下面と表示パネルの電極面の
平行度の不一致、圧着荷重、温度、ACFの物理的特性
などの様々な要因が考えられる。圧着後の電子部品と表
示パネルとの位置ずれ量が許容値±DX以内であればO
Kであるが、許容値±DX以上であればNGである。図
中、ハッチングを付した部分が、X方向の位置ずれ量が
許容値±DX以上であってNGである。この図17で
は、X方向の位置ずれを例にとって説明したが、Y方向
の位置ずれも同様である。
FIG. 17 is a distribution diagram of relative displacement between an electronic component and a display panel in a conventional method of bonding electronic components. The horizontal axis represents the amount of displacement in the X direction, and the vertical axis represents the frequency. Further, in the drawing, a shows the distribution of the positional deviation between the outer lead and the electrode after the positional deviation in the X direction has been corrected by the above-described positioning means, and this distribution a is centered on 0 as shown in the figure. Is a normal distribution.
Also, b is the distribution of the displacement between the outer lead and the electrode after the above-mentioned crimping, and this distribution b is also a normal distribution, and the distribution b is deviated from the distribution a by the TX position. That is, ACF
When the outer lead is crimped to the electrode via the through hole, a displacement TX occurs. Various factors such as the mismatch of the parallelism between the lower surface of the crimping tool and the electrode surface of the display panel, the crimping load, the temperature, and the physical characteristics of the ACF can be considered as causes of the displacement TX. If the displacement between the electronic component and the display panel after crimping is within the allowable value ± DX, O
Although it is K, it is NG if it is equal to or more than the allowable value ± DX. In the figure, the hatched portions indicate NG where the positional deviation amount in the X direction is equal to or more than the allowable value ± DX. In FIG. 17, the displacement in the X direction has been described as an example, but the displacement in the Y direction is the same.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の電
子部品のボンディング方法では、アウターリードを電極
に圧着する際にアウターリードと電極に相対的な位置ず
れTXが発生しやすいものであり、この位置ずれが極力
発生しないように、機械の調整などを電子部品を表示パ
ネルにボンディングする毎に、毎回繰り返し行ってい
た。このため多大な時間と労力を要し、生産性があがら
ず、ひいては表示パネルのコストアップになるという問
題点があった。
As described above, in the conventional method for bonding electronic components, when the outer lead is pressed against the electrode, a relative displacement TX is likely to occur between the outer lead and the electrode. In order to minimize this displacement, mechanical adjustments and the like are repeatedly performed each time an electronic component is bonded to a display panel. For this reason, there is a problem that a great deal of time and labor is required, productivity is not improved, and the cost of the display panel is increased.

【0006】ところで図17において、圧着前の分布a
と圧着後の分布bは共に正規分布であり、両者の間には
一定の相関関係がある。そこで本発明はこの点に着眼し
てなされたものであって、この相関関係を利用してアウ
ターリードと電極の位置ずれを自動補正しながら、アウ
ターリードと電極の位置合わせを行ってボンディングで
きる電子部品のボンディング装置およびボンディング方
法を提供することを目的とする。
In FIG. 17, the distribution a
And the distribution b after compression are both normal distributions, and there is a certain correlation between them. Therefore, the present invention has been made focusing on this point, and an electronic device that can perform bonding by performing alignment between the outer lead and the electrode while automatically correcting the positional deviation between the outer lead and the electrode using this correlation. An object of the present invention is to provide a component bonding apparatus and a bonding method.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】このために本発明は、フ
ィルムキャリヤにて作られた電子部品と表示パネルの位
置合わせを行う位置合わせ手段と、位置合わせされた電
子部品のアウターリードを表示パネルの電極に圧着する
圧着手段と、この圧着を行う際に生じるアウターリード
と電極の相対的な位置ずれをオフセットデータとして記
憶する記憶部と、電子部品と表示パネルとをオフセット
データに基づいて位置合わせするべく位置合わせ手段を
制御する制御手段とから電子部品のボンディング装置を
構成し、かつ前記圧着手段として、前記アウターリード
を前記電極に仮付けする仮付け用圧着ツールと、仮付け
後に本圧着する本圧着ツールとを備えたものである。
SUMMARY OF THE INVENTION To this end, the present invention provides a positioning means for positioning an electronic component made of a film carrier and a display panel, and an outer lead for the aligned electronic component on a display panel. Crimping means for crimping to the electrode, a storage unit for storing relative displacement between the outer lead and the electrode caused when performing the crimping as offset data, and positioning of the electronic component and the display panel based on the offset data. Control means for controlling the positioning means so as to form an electronic component bonding apparatus , and as the crimping means, the outer lead
A crimping tool for temporarily attaching the electrode to the electrode;
And a final crimping tool for performing final crimping .

【0008】[0008]

【作用】上記構成によれば、アウターリードを電極に圧
着する際に生じる位置ずれを予め見込んで電子部品と表
示パネルの位置合わせを行うことにより、圧着後には、
電子部品と表示パネルの位置ずれを許容範囲内に抑える
ことができる。
According to the above arrangement, the electronic component and the display panel are aligned in anticipation of a positional shift occurring when the outer lead is crimped to the electrode.
The displacement between the electronic component and the display panel can be suppressed within an allowable range.

【0009】[0009]

【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の一実施例
を説明する。図1は本発明の一実施例の電子部品のボン
ディング装置の全体構成を示す平面図である。この電子
部品のボンディング装置は、表示パネルである液晶パネ
ル(以下「LCD」という)の供給部A、異方性導電シ
ート貼着部B、アウターリードボンディング部C、第1
本圧着部D、第2本圧着部E、電子部品がボンディング
されたLCDを回収する回収部F、装置全体の稼働状況
や各種データの通信等を管理するラインコントローラ
G、ラインコントローラGと各部を接続する通信ケーブ
ルHなどから構成されている。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view showing the overall configuration of an electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention. This electronic component bonding apparatus includes a supply section A, an anisotropic conductive sheet bonding section B, an outer lead bonding section C, a first section of a liquid crystal panel (hereinafter, referred to as “LCD”) as a display panel.
The main crimping section D, the second main crimping section E, a collecting section F for collecting the LCD to which the electronic components are bonded, a line controller G for managing the operation status of the entire apparatus and communication of various data, and the like. It is composed of a communication cable H to be connected.

【0010】図中、1はLCD、2は各部に沿うように
設けられた搬送部である。搬送部2には一定ピッチでア
ーム3が多数個設けられており、アーム3の先端部には
LCD1を真空吸着するパッド4が取り付けられてい
る。各パッド4は載置台W1,W2,W3上のLCD1
を真空吸着し、X方向に往復動作を行うことにより、L
CD1を各部に設けられたXYθテーブルに移載した
り、XYθテーブル上のLCD1を次の載置台W2,W
3へ搬出する。次に、各部について説明を行う。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an LCD, and reference numeral 2 denotes a transport section provided along each section. A large number of arms 3 are provided at a constant pitch in the transport unit 2, and a pad 4 for vacuum-sucking the LCD 1 is attached to the tip of the arm 3. Each pad 4 is an LCD 1 on a mounting table W1, W2, W3.
By vacuum suction and reciprocating in the X direction,
The CD1 is transferred to an XYθ table provided in each section, or the LCD 1 on the XYθ table is
Take out to 3. Next, each part will be described.

【0011】まずアウターリードボンディング部Cにつ
いて説明する。図2は本発明の一実施例の電子部品のボ
ンディング装置のアウターリードボンディング部Cの平
面図、図3は同部分斜視図である。図2において、11
はXYθテーブルであって、Yテーブル12上にXテー
ブル13を載置し、Xテーブル13上にθテーブル14
を載置して構成されており、θテーブル14上にLCD
1を載置する。θテーブル14は図示しない吸着手段に
よりLCD1を吸着して固定する。Yテーブル12のモ
ータ15が駆動するとLCD1はY方向に移動し、Xテ
ーブル13のモータ16が駆動するとLCD1はX方向
に移動し、θテーブル14のアクチュエータ(図示せ
ず)が駆動するとLCD1はθ回転(水平回転)する。
このようにしてLCD1をXYθ方向に移動させること
により、その位置決めを行う。なお搬送部2によるLC
D1の搬送方向をX方向とする。
First, the outer lead bonding portion C will be described. FIG. 2 is a plan view of an outer lead bonding portion C of the electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a partial perspective view of the same. In FIG. 2, 11
Is an XYθ table, on which the X table 13 is placed on the Y table 12 and the θ table 14 is placed on the X table 13.
And the LCD is placed on the θ table 14.
1 is placed. table 14 sucks and fixes LCD 1 by a suction means (not shown). When the motor 15 of the Y table 12 is driven, the LCD 1 moves in the Y direction. When the motor 16 of the X table 13 is driven, the LCD 1 moves in the X direction. When the actuator (not shown) of the θ table 14 is driven, the LCD 1 moves Rotate (horizontal rotation).
By moving the LCD 1 in the XYθ directions in this manner, the positioning is performed. LC by the transport unit 2
The transport direction of D1 is the X direction.

【0012】XYθテーブル11の側方にはインデック
スヘッド20が設けられている。インデックスヘッド2
0は放射状に外方へ延出する4本のアーム21を備えて
おり、アーム21の先端部には電子部品を真空吸着する
吸着ヘッド22を備えている。アーム21は90°の間
隔でインデックスヘッド20に取り付けられており、イ
ンデックスヘッド20は90°毎にインデックス回転す
る。インデックスヘッド20の両側部には第1のフィル
ムキャリヤ供給部23と第2のフィルムキャリヤ供給部
24が設置されている。またインデックスヘッド20と
第1のフィルムキャリヤ供給部23の間には第1の金型
25が設けられており、また第2のフィルムキャリヤ供
給部24との間には第2の金型26が設けられている。
An index head 20 is provided beside the XYθ table 11. Index head 2
Numeral 0 is provided with four arms 21 extending radially outward, and at the tip of the arm 21 is provided a suction head 22 for vacuum-sucking electronic components. The arms 21 are attached to the index head 20 at intervals of 90 °, and the index head 20 rotates the index every 90 °. A first film carrier supply unit 23 and a second film carrier supply unit 24 are provided on both sides of the index head 20. A first mold 25 is provided between the index head 20 and the first film carrier supply unit 23, and a second mold 26 is provided between the index head 20 and the second film carrier supply unit 24. Is provided.

【0013】第1のフィルムキャリヤ供給部23にはL
CD1の長辺にボンディングされる第1の電子部品6a
(以下、単に電子部品6aともいう)の素材である第1
のフィルムキャリヤ7aが備えられている。第1のフィ
ルムキャリヤ供給部23から導出された第1のフィルム
キャリヤ7aは、第1の金型25に打抜かれる。打抜か
れて得られた第1の電子部品6aは吸着ヘッド22に真
空吸着され、インデックスヘッド20が駆動して90°
実線矢印方向に水平回転することにより、LCD1の長
辺の端部上方へ搬送され、後述する手段によりLCD1
の端部にボンディングされる。
The first film carrier supply unit 23 has L
First electronic component 6a bonded to the long side of CD1
(Hereinafter, also simply referred to as electronic component 6a)
The film carrier 7a is provided. The first film carrier 7 a led out from the first film carrier supply section 23 is punched into a first mold 25. The first electronic component 6a obtained by punching is vacuum-sucked by the suction head 22, and the index head 20 is driven to 90 °
By horizontally rotating in the direction of the solid line arrow, the LCD 1 is transported above the long side end, and the LCD 1 is rotated by means described later.
Is bonded to the end.

【0014】また第2のフィルムキャリヤ供給部24か
ら導出された第2のフィルムキャリヤ7bは、第2の金
型26に打抜かれる。打抜かれて得られた第2の電子部
品6b(以下、単に電子部品6bともいう)は吸着ヘッ
ド22に真空吸着され、インデックスヘッド20が破線
矢印方向へ駆動することによりLCD1の短辺の端部上
方へ搬送され、この端部にボンディングされる。なおL
CD1の短辺の端部に第2の電子部品6aをボンディン
グする場合は、θテーブル14が駆動することによりL
CD1を予め90°水平回転させ、その短辺がインデッ
クスヘッド20に対向する位置に移動させる。
The second film carrier 7b led out from the second film carrier supply section 24 is punched into a second mold 26. The second electronic component 6b (hereinafter, also simply referred to as “electronic component 6b”) obtained by punching is sucked in vacuum by the suction head 22, and the index head 20 is driven in the direction of the dashed arrow. It is conveyed upward and bonded to this end. Note that L
When bonding the second electronic component 6a to the end of the short side of the CD1, the θ table 14 is driven to
The CD 1 is previously rotated horizontally by 90 °, and the short side thereof is moved to a position facing the index head 20.

【0015】図3は、第1の電子部品6aをLCD1に
搭載している様子を示している。LCD1はガラス板か
ら成る下板1aと上板1bを貼り合わせて形成されてお
り、下板1aの端部には電極9が狭ピッチで形成されて
いる。また電極9上には異方性導電シート(以下、AC
Fともいう)27の貼着部B(図1参照)においてAC
F27が予め貼着されている。第1の電子部品6aは、
第1のフィルムキャリヤ7aの上面に第1のチップ8a
を搭載して作られており、第1のフィルムキャリヤ7a
端部にはアウターリード28が狭ピッチで形成されてい
る。また吸着ヘッド22はその下面に第1のフィルムキ
ャリヤ7aを真空吸着している。29は吸着ヘッド22
に結合されたノズルシャフトであり、このノズルシャフ
ト29を通して第1のフィルムキャリヤ7aを真空吸着
する。
FIG. 3 shows a state in which the first electronic component 6a is mounted on the LCD 1. The LCD 1 is formed by laminating a lower plate 1a and an upper plate 1b made of a glass plate, and electrodes 9 are formed at an end of the lower plate 1a at a narrow pitch. An anisotropic conductive sheet (hereinafter referred to as AC
F) (see FIG. 1).
F27 is attached in advance. The first electronic component 6a is
A first chip 8a is provided on the upper surface of the first film carrier 7a.
And the first film carrier 7a
Outer leads 28 are formed at the ends at a narrow pitch. Further, the suction head 22 has a first film carrier 7a vacuum-sucked on the lower surface thereof. 29 is the suction head 22
The first film carrier 7a is vacuum-sucked through the nozzle shaft 29 through the nozzle shaft 29.

【0016】図2において、LCD1の上方には仮圧着
ヘッド30が設けられている。図3において、31はこ
の仮圧着ヘッド30に備えられた仮圧着ツールであっ
て、この仮圧着ツール31によりアウターリード28を
ACF27に押し付けて仮圧着する。この仮圧着は、後
述する第1本圧着部Dによる第1の電子部品6aの本圧
着および第2本圧着部Eによる第2の電子部品6bの本
圧着に先立って行われるものである。すなわち電子部品
6a,6bの仮圧着と本圧着を別々の場所で行うことに
より、ボンディングの作業性を向上させる。仮圧着ツー
ル31にはアウターリード28をACF27に軽く仮圧
着できるように図示しないヒータにより加熱されてい
る。なおACF27は、異方性導電シート貼着部B(図
1参照)において、電極9上に予め貼着されている。
In FIG. 2, a temporary pressure bonding head 30 is provided above the LCD 1. In FIG. 3, reference numeral 31 denotes a temporary crimping tool provided in the temporary crimping head 30. The temporary crimping tool 31 presses the outer lead 28 against the ACF 27 to perform temporary crimping. This temporary crimping is performed prior to the final crimping of the first electronic component 6a by the first final crimping section D and the final crimping of the second electronic component 6b by the second final crimping section E, which will be described later. That is, by performing the temporary crimping and the final crimping of the electronic components 6a and 6b in different places, the workability of the bonding is improved. The temporary crimping tool 31 is heated by a heater (not shown) so that the outer lead 28 can be lightly temporarily crimped to the ACF 27. The ACF 27 is previously adhered on the electrode 9 in the anisotropic conductive sheet attaching portion B (see FIG. 1).

【0017】図3において、仮圧着ツール31の下方に
は、第1のカメラ32と第2のカメラ33が設置されて
いる。また下板1aの電極9の近傍にはサークル状のマ
ーク34,35が形成されている。図4は本発明の一実
施例における仮圧着直前のLCDと電子部品の底面図で
あって、第1のカメラ32と第2のカメラ33による観
察状態を示している。図中、36,37はフィルムキャ
リヤ7aの両側部に形成されたスポット状のマークであ
る。第1のカメラ32は図において左側のマーク34,
36を観察し、また第2のカメラ33は右側のマーク3
5,37を観察する。下板1a側のマーク34,35は
サークル状である。
In FIG. 3, a first camera 32 and a second camera 33 are provided below the temporary crimping tool 31. Circle marks 34 and 35 are formed near the electrode 9 of the lower plate 1a. FIG. 4 is a bottom view of the LCD and the electronic component immediately before the temporary crimping in one embodiment of the present invention, and shows an observation state by the first camera 32 and the second camera 33. In the drawing, 36 and 37 are spot-shaped marks formed on both sides of the film carrier 7a. The first camera 32 has a mark 34,
Observe 36, and the second camera 33
Observe 5,37. The marks 34 and 35 on the lower plate 1a side are in a circle shape.

【0018】図5は本発明の一実施例の電子部品のボン
ディング装置のアウターリードボンディング部Cの制御
系のブロック図である。41はCPUであって、アウタ
ーリードボンディング部C全体の制御、電子部品6a,
6bとLCD1のX方向の位置ずれSx、Y方向の位置
ずれSy等の演算などを行う。42はROMであって装
置動作のプログラムなどが格納されている。43はRA
Mであって、オフセットデータTX、TYなどを記憶す
る。なおSx,Sy,TX,TYについては後で説明す
る。44は認識部であって、上記した第1のカメラ32
と第2のカメラ33に接続されており、入手された画像
データに基づいてマーク34,35,36,37のセン
ター座標Ga,Gb,Fa,Fb(後述)を求める。4
5はXYθテーブルコントローラであって、XYθテー
ブル11を制御する。46は吸着ヘッドコントローラで
あって、吸着ヘッド22を制御する。47は仮圧着ヘッ
ドコントローラであって、仮圧着ヘッド30を制御す
る。上記した各手段はバス48に接続されており、更に
外部との通信を制御する通信部49を介して上記通信ケ
ーブルHに接続されている。
FIG. 5 is a block diagram of a control system of the outer lead bonding section C of the electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention. Reference numeral 41 denotes a CPU which controls the entire outer lead bonding section C and controls the electronic components 6a,
The calculation of the X-direction displacement Sx and the Y-direction displacement Sy of the LCD 6 and the LCD 1 is performed. A ROM 42 stores a program for operating the apparatus. 43 is RA
M, and stores offset data TX, TY, and the like. Note that Sx, Sy, TX, and TY will be described later. Reference numeral 44 denotes a recognition unit, and the first camera 32
And the second camera 33, and obtains center coordinates Ga, Gb, Fa, Fb (described later) of the marks 34, 35, 36, 37 based on the obtained image data. 4
An XYθ table controller 5 controls the XYθ table 11. A suction head controller 46 controls the suction head 22. Reference numeral 47 denotes a temporary pressure bonding head controller, which controls the temporary pressure bonding head 30. The above-described units are connected to a bus 48, and further connected to the communication cable H via a communication unit 49 that controls communication with the outside.

【0019】次に第1本圧着部Dおよび第2本圧着部E
について説明する。図6は本発明の一実施例の電子部品
のボンディング装置の第1本圧着部Dと第2本圧着部E
の平面図、図7は同第1本圧着部Dに備えられた本圧着
ツール付近の斜視図である。図6において、第1本圧着
部Dは、LCD1の長辺の端部に第1の電子部品6aを
本圧着する。また第2本圧着部EはLCD1を90°水
平回転させて、その短辺の端部に第2の電子部品6bを
本圧着する。
Next, a first final crimping section D and a second final crimping section E
Will be described. FIG. 6 shows a first crimping portion D and a second crimping portion E of the electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a perspective view of the vicinity of the final crimping tool provided in the first final crimping section D. In FIG. 6, a first final press-bonding unit D press-bonds the first electronic component 6 a to the end of the long side of the LCD 1. In addition, the second final crimping section E horizontally rotates the LCD 1 by 90 °, and performs final crimping of the second electronic component 6b to the end of the short side.

【0020】まず第1本圧着部Dの構造を説明する。図
6において、51AはXYθテーブルであって、Yテー
ブル52A、Xテーブル53A、θテーブル54Aから
成っている。Yテーブル52Aのモータ55Aを駆動す
るとLCD1はY方向に移動し、Xテーブル53Aのモ
ータ56Aを駆動するとLCD1はX方向に移動し、θ
テーブル54Aのアクチュエータ(図示せず)を駆動す
るとLCD1はθ回転する。第2本圧着部Eにも同構造
のXYθテーブル51Bが設けられている。
First, the structure of the first final crimping section D will be described. In FIG. 6, reference numeral 51A denotes an XYθ table, which comprises a Y table 52A, an X table 53A, and a θ table 54A. When the motor 55A of the Y table 52A is driven, the LCD 1 moves in the Y direction. When the motor 56A of the X table 53A is driven, the LCD 1 moves in the X direction.
When an actuator (not shown) of the table 54A is driven, the LCD 1 rotates by θ. The XYθ table 51B having the same structure is also provided in the second final crimping section E.

【0021】第1本圧着部Dには第1本圧着ヘッド部6
1が設けられている。この第1本圧着ヘッド部61は駆
動系が内蔵された第1本体部62と、第1本体部62に
保持された第1本圧着ツール63を備えている。第1本
圧着ツール63は、LCD1の長辺に圧着される第1の
電子部品6aの個数の応じて複数個(本実施例では3
個)設けられている。図7において、第1本体部62か
らアーム64が延出しており、アーム64の先端部に第
1本圧着ツール63が保持されている。第1本圧着ツー
ル63にはヒータ65が内蔵されており、第1本圧着ツ
ール63を加熱する。66は第1本圧着ツール63の下
方に設けられた下受部材であって、図示しない昇降手段
に駆動されて上下動する。この下受部材66は、上昇動
作を行うことによりLCD1の下板1aの端部を下方か
ら支える。その状態で第1本圧着ツール63は下降し、
第1のフィルムキャリヤ7aのアウターリード28を下
板1aの電極9に押し付けて本圧着する。
The first final crimping section D has a first final crimping head section 6.
1 is provided. The first final crimping head 61 includes a first main body 62 having a drive system built therein, and a first final crimping tool 63 held by the first main body 62. The first actual pressure bonding tool 63 has a plurality (3 in the present embodiment) according to the number of the first electronic components 6a to be pressure-bonded to the long side of the LCD 1.
) Are provided. In FIG. 7, an arm 64 extends from the first main body 62, and a first final crimping tool 63 is held at the tip of the arm 64. The first final crimping tool 63 has a built-in heater 65 for heating the first final crimping tool 63. Reference numeral 66 denotes a lower receiving member provided below the first final pressure bonding tool 63, which is driven by an elevating means (not shown) to move up and down. The lower receiving member 66 supports the end of the lower plate 1a of the LCD 1 from below by performing a lifting operation. In this state, the first final crimping tool 63 descends,
The outer leads 28 of the first film carrier 7a are pressed against the electrodes 9 of the lower plate 1a to perform full pressure bonding.

【0022】第1本圧着部Dと第2本圧着部Eの間に
は、第1本圧着部Dで本圧着が完了したLCD1が一時
的に載置される載置台W3が配設されており、搬送部2
のパッド4に吸着されて、XYθテーブル51Aから載
置台W3へ移載される。載置台W3上に載置されたLC
D1は次の吸着パッド4に吸着され、第2本圧着部Eの
XYθテーブル51Bの上へ移載される。
A mounting table W3 on which the LCD 1 which has been completely bonded by the first final bonding section D is temporarily placed is disposed between the first final bonding section D and the second final bonding section E. And transport section 2
Is transferred to the mounting table W3 from the XYθ table 51A. LC mounted on mounting table W3
D1 is sucked by the next suction pad 4, and is transferred onto the XYθ table 51B of the second final pressure bonding section E.

【0023】図6において、第2本圧着部Eは第2本圧
着ヘッド71が設けられている。この第2本圧着ヘッド
71は第2本圧着ツール73を有する第2本体部72を
備えている。第2本圧着ツール73は2個設けられてい
る。この第2本圧着部Eの構造や動作は第1本圧着部D
と同じであって、第1本圧着部DがLCD1の長辺に第
1の電子部品6aを本圧着するのに対し、第2本圧着部
EはLCD1の短辺に第2の電子部品6bを本圧着する
点で相違している。
In FIG. 6, the second final pressure bonding section E is provided with a second final pressure bonding head 71. The second pressure bonding head 71 includes a second main body 72 having a second pressure bonding tool 73. Two second final pressure bonding tools 73 are provided. The structure and operation of the second final crimping section E are as follows.
In the same manner as in the first embodiment, the first final crimping section D permanently press-bonds the first electronic component 6a to the long side of the LCD 1, while the second final crimping section E presses the second electronic component 6b to the short side of the LCD1. Is completely bonded.

【0024】第2本圧着部Eで本圧着が完了したLCD
1は、搬送部2によってXYθテーブル51B上から回
収部Fへ搬送される。
LCD for which the final press bonding is completed in the second final press bonding section E
1 is conveyed from the XYθ table 51B to the collection unit F by the conveyance unit 2.

【0025】この電子部品のボンディング装置は上記の
ように構成されており、次に全体の動作を説明する。ま
ず、圧着時の位置ずれを考慮しない通常ボンディングモ
ードについて説明する。図1において、供給部Aに備え
られたLCD1は、異方性導電シート貼着部Bへ送ら
れ、LCD1の電極9上にACF27が貼着される。次
にこのLCD1はアウターリードボンディング部Cへ送
られる。図2において、載置台W1上のLCD1はパッ
ド4に真空吸着されてXYθテーブル11上に移載され
る。本実施例では、まず、LCD1の長辺の電極9に第
1の電子部品6aのアウターリード28を仮付けするも
のであり、以下、この仮付け工程を説明する。
This electronic component bonding apparatus is configured as described above. Next, the overall operation will be described. First, a description will be given of a normal bonding mode that does not consider the displacement during crimping. In FIG. 1, the LCD 1 provided in the supply unit A is sent to the anisotropic conductive sheet sticking unit B, and the ACF 27 is stuck on the electrode 9 of the LCD 1. Next, the LCD 1 is sent to the outer lead bonding section C. In FIG. 2, the LCD 1 on the mounting table W1 is vacuum-sucked on the pad 4 and transferred onto the XYθ table 11. In the present embodiment, first, the outer leads 28 of the first electronic component 6a are temporarily attached to the long-side electrodes 9 of the LCD 1. This temporary attaching step will be described below.

【0026】第1のフィルムキャリヤ供給部23から導
出された第1のフィルムキャリヤ7aは第1の金型25
で打抜かれ、第1の電子部品6aが得られる。この第1
の電子部品6aは吸着ヘッド22に真空吸着されてピッ
クアップされ、インデックスヘッド20が図2において
90°実線矢印方向に水平回転することにより、LCD
1の電極9の上方へ移送される。そしてLCD1のマー
ク34,35と電子部品6aのマーク36,37とが重
なるように、電子部品6aをLCD1上に仮位置合わせ
する(図3参照)。
The first film carrier 7a led out of the first film carrier supply section 23 is used for the first mold 25.
And the first electronic component 6a is obtained. This first
The electronic component 6a is vacuum-adsorbed and picked up by the suction head 22, and the index head 20 is horizontally rotated in the direction of the solid line arrow 90 ° in FIG.
It is transferred above one electrode 9. Then, the electronic component 6a is provisionally positioned on the LCD 1 so that the marks 34, 35 of the LCD 1 and the marks 36, 37 of the electronic component 6a overlap (see FIG. 3).

【0027】図3はこのときの状態を示している。この
状態で、第1のカメラ32と第2のカメラ33によりマ
ーク34,35,36,37を観察し、電子部品6aと
LCD1のXY方向の相対的な位置ずれを検出する。そ
してこの位置ずれを補正した後、アウターリード28は
電極9に仮圧着される。図4は、仮圧着直前のLCD1
と電子部品6aの底面図であり、以下、図8(a)
(b)を参照して、仮圧着前、すなわち吸着ヘッド22
に保持された第1の電子部品6aとXYθテーブル11
上のLCD1の位置ずれ検出方法を説明する。
FIG. 3 shows the state at this time. In this state, the first camera 32 and the second camera 33 observe the marks 34, 35, 36, and 37, and detect the relative displacement between the electronic component 6a and the LCD 1 in the X and Y directions. After correcting the positional deviation, the outer lead 28 is temporarily bonded to the electrode 9. FIG. 4 shows the LCD 1 immediately before the temporary compression bonding.
And FIG. 8A is a bottom view of the electronic component 6a.
Referring to (b), before the temporary compression bonding, that is, the suction head 22
Electronic component 6a and XYθ table 11 held in
A method of detecting a displacement of the upper LCD 1 will be described.

【0028】図8(a)(b)は本発明の一実施例のL
CDとアウターリードのマークの画像図である。図8
(a)において、第1のカメラ32により各マーク3
4,36を、また第2のカメラ33によりマーク35,
37を観察し、それぞれのセンター座標Ga(XGa.
YGa),Gb(XGb.YGb),Fa(XFa.Y
Fa),Fb(XFb.YFb)を認識部44(図5)
により求める。このような画像のセンター座標の検出は
周知画像処理技術により容易に行えるものであり、した
がってその説明は省略する。
FIGS. 8A and 8B show L of one embodiment of the present invention.
It is an image figure of a mark of CD and an outer lead. FIG.
In (a), each mark 3 is
4, 36, and marks 35,
37, and the center coordinates Ga (XGa.
YGa), Gb (XGb.YGb), Fa (XFa.Y
Fa) and Fb (XFb.YFb) are recognized by the recognition unit 44 (FIG. 5).
Ask by The detection of the center coordinates of such an image can be easily performed by a well-known image processing technique, and therefore, the description thereof is omitted.

【0029】次に求められたセンター座標Ga,Gb,
Fa,Fbに基づいて、マーク34のセンター座標Ga
(XGa.YGa)とマーク36のセンター座標Fa
(XFa.YFa)との位置ずれdx3(X方向),d
y3(Y方向)及びマーク35のセンター座標Gb(X
Gb.YGb)とマーク37のセンター座標Fb(XF
b.YFb)との位置ずれdx4(X方向),dy4
(Y方向)を次式より求める。
The center coordinates Ga, Gb,
Based on Fa and Fb, the center coordinate Ga of the mark 34 is calculated.
(XGa.YGa) and the center coordinate Fa of the mark 36
(XFa.YFa) misalignment dx3 (X direction), d
y3 (Y direction) and the center coordinate Gb (X
Gb. YGb) and the center coordinates Fb (XF
b. YFb), dx4 (X direction), dy4
(Y direction) is obtained from the following equation.

【0030】 dx1=XFa−XGa (1) dy1=YFa−YGa (2) dx2=XFb−XGb (3) dy2=YFb−YGb (4) 次に上記結果を基にして、LCD1と第1の電子部品6
aのX方向の位置ずれSx、Y方向の相対的な位置ずれ
Syを次式より求める。
Dx1 = XFa−XGa (1) dy1 = YFa−YGa (2) dx2 = XFb−XGb (3) dy2 = YFb−YGb (4) Next, based on the above results, the LCD1 and the first electron Part 6
The position shift Sx in the X direction and the relative position shift Sy in the Y direction are obtained by the following equation.

【0031】 Sx=(dx1+dx2)÷2 (5) Sy=(dy1+dy2)÷2 (6) 式(5)は、第1のカメラ32で検出された位置ずれd
x1と第2のカメラ33で検出された位置ずれdx2の
平均値をLCD1と第1の電子部品6aのX方向の位置
ずれとするものであり、また式(6)は同様に位置ずれ
dy1と位置ずれdy2の平均値をLCD1と第1の電
子部品6aのY方向の位置ずれとするものである。この
ようにして位置ずれSx,Syを求めたならば、図2に
おいてXテーブル13とYテーブル12を駆動してLC
D1を−Sx,−Sy移動させることにより、この位置
ずれSx,Syを補正する。
Sx = (dx1 + dx2) ÷ 2 (5) Sy = (dy1 + dy2) ÷ 2 (6) The equation (5) represents the displacement d detected by the first camera 32.
x1 and the average value of the displacements dx2 detected by the second camera 33 are defined as the displacements of the LCD 1 and the first electronic component 6a in the X direction. The average value of the displacement dy2 is used as the displacement in the Y direction between the LCD 1 and the first electronic component 6a. After the positional shifts Sx and Sy are obtained in this manner, the X table 13 and the Y table 12 are driven in FIG.
The position shifts Sx and Sy are corrected by moving D1 by -Sx and -Sy.

【0032】図8(b)は上記補正後のマーク34,3
5,36,37の位置関係を示している。図中、mx
a,myaはマーク34,36のセンター座標Ga,F
aのX方向とY方向の距離、mxb,mybはマーク3
5,37のセンター座標Gb,FbのX方向とY方向の
距離であって、mxa=mxb,mya=mybであ
る。なおマーク34,35のセンター座標間の距離L1
はマーク36,37のセンター座標間の距離L2よりも
大きくしている。その理由は、後の工程でアウターリー
ド28を電極9に熱圧着する際に、フィルムキャリヤ7
a,7bが伸びて距離L2が大きくなるので、この伸び
を見込んだものである。因みに、この伸びを見込む必要
がなければ図8(b)においてL1=L2となる。
FIG. 8B shows the marks 34 and 3 after the correction.
5, 36, and 37 are shown. In the figure, mx
a and mya are the center coordinates Ga and F of the marks 34 and 36, respectively.
a is the distance between the X direction and the Y direction, and mxb and myb are marks 3
The distances in the X and Y directions of the center coordinates Gb and Fb of 5, 37, where mxa = mxb and mya = myb. The distance L1 between the center coordinates of the marks 34 and 35
Is larger than the distance L2 between the center coordinates of the marks 36 and 37. The reason is that when the outer lead 28 is thermocompression-bonded to the electrode 9 in a later step, the film carrier 7
Since a and 7b are extended and the distance L2 is increased, this extension is expected. Incidentally, if it is not necessary to anticipate this growth, L1 = L2 in FIG. 8B.

【0033】以上のようにしてLCD1と第1の電子部
品6aの位置ずれSx,Syを補正したならば、図3に
おいて吸着ヘッド22を下降させてアウターリード28
をACF27上に着地させ、次に仮圧着ツール31を下
降させてアウターリード28をACF27に押し付けて
仮圧着する。
After the positional deviations Sx and Sy between the LCD 1 and the first electronic component 6a have been corrected as described above, the suction head 22 is lowered in FIG.
Is landed on the ACF 27, and then the temporary crimping tool 31 is lowered to press the outer lead 28 against the ACF 27 for temporary crimping.

【0034】以上のようにして第1の電子部品6aをL
CD1の長辺の電極9上に仮付けしたならば、続いて短
辺の電極9上に第2の電子部品6bを仮付けする。第2
の電子部品6bの仮付け方法は上述した第1の電子部品
6aの仮付け工程と同じであり、以下、簡単に説明す
る。図2において、LCD1の一方の長辺の電極9上に
第1の電子部品6aをすべて(本実施例では3個)仮付
けしたならば、θテーブル14を駆動してLCD1を9
0°水平回転させ、その短辺をインデックスヘッド20
側に対向させる。また第2のフィルムキャリヤ供給部2
4から第2の金型26に第2のフィルムキャリヤ7bを
導出し、第2のフィルムキャリヤ7bを打抜いて第2の
電子部品6bを得る。そこで吸着ヘッド22はこの第2
の電子部品6bをピックアップし、インデックスヘッド
20が駆動して破線矢印方向へ回転することにより、こ
の第2の電子部品6bをLCD1の短辺の電極9上へ移
送し、図8を参照しながら説明した第1の電子部品6a
の場合と同様に、LCD1と第2の電子部品6aの位置
ずれSx,Syを求める。次にこの位置ずれSx,Sy
を補正したうえで、仮圧着ツール31によりアウターリ
ード28をACF27に仮圧着する。すなわち、通常ボ
ンディングモードでは、LCD1と電子部品6a,6b
との位置ずれがゼロとなるように両者を位置合わせした
うえで仮圧着を行う。
As described above, the first electronic component 6a is
After the temporary attachment on the long side electrode 9 of the CD 1, the second electronic component 6b is temporarily attached on the short side electrode 9 subsequently. Second
The method of temporarily attaching the electronic component 6b is the same as the above-described process of temporarily attaching the first electronic component 6a, and will be briefly described below. In FIG. 2, if all of the first electronic components 6a (three in this embodiment) are temporarily attached on the electrode 9 on one long side of the LCD 1, the θ table 14 is driven to move the LCD 1 to 9
0 ° horizontal rotation, the short side of the index head 20
To the side. Second film carrier supply unit 2
4, the second film carrier 7 b is led out to the second mold 26, and the second film carrier 7 b is punched to obtain the second electronic component 6 b. Therefore, the suction head 22
The second electronic component 6b is transferred onto the short-side electrode 9 of the LCD 1 by picking up the electronic component 6b, and rotating the index head 20 in the direction of the dashed arrow, with reference to FIG. First electronic component 6a described
As in the case of (1), the positional deviations Sx and Sy between the LCD 1 and the second electronic component 6a are obtained. Next, the displacements Sx, Sy
Is corrected, and the outer lead 28 is temporarily bonded to the ACF 27 by the temporary bonding tool 31. That is, in the normal bonding mode, the LCD 1 and the electronic components 6a, 6b
After the two are aligned so that the positional deviation from the above becomes zero, temporary crimping is performed.

【0035】図12は上述した通常ボンディングモード
時の仮付け工程を示すアウターリードボンディング部C
のフローチャートである。以上のようにしてLCD1に
第1の電子部品6aと第2の電子部品6bをすべて仮付
けしたならば、図2においてXYθテーブル11は駆動
してLCD1を図2において中央のパッド4の下方へ移
送する。そこでこのパッド4はXYθテーブル11上の
LCD1を真空吸着してピックアップし、矢印N1で示
すように次の載置台W2へ移送する。そこで次のパッド
4はこのLCD1を真空吸着してピックアップする。
FIG. 12 shows an outer lead bonding portion C showing a temporary bonding step in the normal bonding mode described above.
It is a flowchart of FIG. When the first electronic component 6a and the second electronic component 6b are all temporarily attached to the LCD 1 as described above, the XYθ table 11 is driven in FIG. 2 to move the LCD 1 below the central pad 4 in FIG. Transfer. Then, the pad 4 picks up the LCD 1 on the XYθ table 11 by vacuum suction and transfers it to the next mounting table W2 as shown by the arrow N1. Then, the next pad 4 picks up the LCD 1 by vacuum suction.

【0036】次の図6において、第1本圧着部Dに備え
られたXYθテーブル51Aは駆動してパッド4に真空
吸着されたLCD1の下方へ移動し、パッド4が真空吸
着状態を解除することにより、LCD1をXYθテーブ
ル51A上に移載する。次にXYθテーブル51AはL
CD1の長辺に仮付けされた第1の電子部品6aを第1
本圧着ツール63の下方へ移動させ、本圧着が行われ
る。図7は第1本圧着ツール63により本圧着を行って
いる様子を示している。図において、第1本圧着ツール
63はヒータ65で予め加熱されており、下受部材66
により下板1aを下方から支え、アウターリード28に
強く押し付けることにより電極9上に本圧着する。
Referring to FIG. 6, the XYθ table 51A provided in the first final pressure bonding section D is driven to move below the LCD 1 vacuum-adsorbed to the pad 4, and the pad 4 is released from the vacuum suction state. To transfer the LCD 1 onto the XYθ table 51A. Next, the XYθ table 51A is L
The first electronic component 6a temporarily attached to the long side of CD1 is
The main crimping tool 63 is moved below to perform the main crimping. FIG. 7 shows a state in which the final press bonding is performed by the first final press tool 63. In the figure, the first final pressure bonding tool 63 is pre-heated by a heater 65,
, The lower plate 1a is supported from below, and pressed firmly against the outer leads 28 to perform full pressure bonding on the electrode 9.

【0037】以上のようにして第1本圧着部Dにおいて
第1の電子部品6aが本圧着されたLCD1は、一旦、
載置台W3上へ移載された後、搬送部2によって続いて
第2本圧着部Eに備えられたXYθテーブル51B上へ
送られる。XYθテーブル51B上に移載されたLCD
1は、θテーブル54Bが90°回転することにより、
その短辺の第2の電子部品6bを第2本圧着ツール73
の下方に位置させる。そこで図7を参照しながら説明し
た第1本圧着ツール63による本圧着の場合と同様に、
第2本圧着ツール73によりアウターリード28を電極
9に本圧着する。
As described above, the LCD 1 on which the first electronic component 6a has been completely compression-bonded in the first final compression bonding section D is once
After being transferred onto the mounting table W3, the sheet is successively sent by the transport unit 2 onto the XYθ table 51B provided in the second final pressure bonding unit E. LCD transferred on XYθ table 51B
1 is that the θ table 54B is rotated by 90 °,
The second electronic component 6b on the short side is attached to the second final crimping tool 73.
Located below. Therefore, similarly to the case of the final crimping by the first final crimping tool 63 described with reference to FIG.
The outer lead 28 is completely press-bonded to the electrode 9 by the second final press tool 73.

【0038】図9は本発明の一実施例の第1の電子部品
6aと第2の電子部品6bがボンディングされたLCD
の平面図、図10は本発明の一実施例における位置ずれ
計測装置の要部斜視図である。図9に示すようにボンデ
ィング位置#1〜#3,#6〜#8には第1の電子部品
6aが、ボンディング位置#4,#5には第2の電子部
品6bがボンディングされている。
FIG. 9 shows an LCD in which a first electronic component 6a and a second electronic component 6b are bonded according to an embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a perspective view of a main part of a displacement measuring apparatus according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 9, a first electronic component 6a is bonded to bonding positions # 1 to # 3 and # 6 to # 8, and a second electronic component 6b is bonded to bonding positions # 4 and # 5.

【0039】これらの電子部品6a,6bは、仮付け及
び本圧着時に位置ずれを起しており、このため正規の位
置からずれた位置にボンディングされている。そこで回
収部Fから通常ボンディングモードで電子部品6a,6
bがボンディングされたLCD1を複数枚取り出して図
10に示すような位置ずれ計測装置で上述した位置ずれ
の位置ずれ量Tx,Tyを計測する。図10において、
81は観察部であり、2台のカメラ82,83を備えて
いる。このカメラ82,83は、LCD1のマーク3
4,35と電子部品6a,6bのマーク36,37を観
察するものであり、このカメラ82,83が接続された
計測部(図示せず)によりマーク同士の位置ずれ及び位
置ずれ量Tx,Tyを算出する。
These electronic components 6a and 6b are displaced during the temporary attachment and the final pressure bonding, and are therefore bonded at positions deviated from their regular positions. Then, the electronic parts 6a, 6
A plurality of the LCDs 1 to which b is bonded are taken out, and the displacements Tx and Ty of the displacement described above are measured by a displacement measuring device as shown in FIG. In FIG.
An observation unit 81 includes two cameras 82 and 83. The cameras 82 and 83 are provided with the mark 3 on the LCD 1.
4 and 35 and the marks 36 and 37 of the electronic components 6a and 6b are observed. A measuring unit (not shown) to which the cameras 82 and 83 are connected shifts the marks and shifts the positions Tx and Ty. Is calculated.

【0040】図11において、左側はカメラ82の画
像、右側はカメラ83の画像を示している。
In FIG. 11, the left side shows the image of the camera 82, and the right side shows the image of the camera 83.

【0041】さて図11において、マーク34のセンタ
ー座標Ga(XGa.YGa)とマーク36のセンター
座標Fa(XFa.YFa)との位置ずれdx3(X方
向),dy3(Y方向)及びマーク35のセンター座標
Gb(XGb.YGb)とマーク37のセンター座標F
b(XFb.YFb)との位置ずれdx4(X方向),
dy4(Y方向)を次式より求める。
In FIG. 11, the positional deviations dx3 (X direction) and dy3 (Y direction) between the center coordinates Ga (XGa.YGa) of the mark 34 and the center coordinates Fa (XFa.YFa) of the mark 36 and the mark 35 Center coordinates Gb (XGb.YGb) and center coordinates F of mark 37
b (XFb.YFb), a displacement dx4 (X direction),
dy4 (Y direction) is obtained from the following equation.

【0042】 dx3=XFa−XGa (7) dy3=YFa−YGa (8) dx4=XFb−XGb (9) dy4=YFb−YGb (10) したがって本圧着後の電子部品6a(6b)とLCD1
のX方向の位置ずれ量TxとY方向の位置ずれ量Tyは
次式となる。
Dx3 = XFa−XGa (7) dy3 = YFa−YGa (8) dx4 = XFb−XGb (9) dy4 = YFb−YGb (10) Therefore, the electronic component 6a (6b) and the LCD 1 after the final compression bonding
The displacement amount Tx in the X direction and the displacement amount Ty in the Y direction are expressed by the following equations.

【0043】 Tx=(dx3+dx4)÷2 (11) Ty=(dy3+dy4)÷2 (12) (表1)は、このようにして各ボンディング位置#1〜
#8毎に計測した位置ずれ量の検査データを示す。
Tx = (dx3 + dx4) ÷ 2 (11) Ty = (dy3 + dy4) ÷ 2 (12) (Table 1) shows that each of the bonding positions # 1 to # 1
The inspection data of the displacement amount measured for each # 8 is shown.

【0044】[0044]

【表1】 [Table 1]

【0045】(表1)において、TX,TYは各ボンデ
ィング位置#1〜#8毎に計測された位置ずれ量Tx,
Tyの平均値であり、本実施例ではLCD50枚分のデ
ータから求めている。図17を参照しながら説明したよ
うに位置ずれ量Tx,Tyには一定の傾向があり、この
平均値TX,TYは位置ずれ補正のためのオフセットデ
ータとして使用される。従ってこの平均値TX,TYを
アウターリードボンディング部CのRAM43にオフセ
ットデータとして記憶させる。(表2)にこのオフセッ
トデータを示す。
In Table 1, TX and TY represent positional deviation amounts Tx and Tx measured for each of bonding positions # 1 to # 8.
This is an average value of Ty, which is obtained from data of 50 LCDs in this embodiment. As described with reference to FIG. 17, the displacement amounts Tx and Ty have a certain tendency, and the average values TX and TY are used as offset data for displacement correction. Therefore, the average values TX and TY are stored as offset data in the RAM 43 of the outer lead bonding section C. (Table 2) shows the offset data.

【0046】[0046]

【表2】 [Table 2]

【0047】なお(表1)(表2)で「*」が使用され
ているが、これは数字を示すものである。
In Tables 1 and 2, "*" is used, which indicates a numeral.

【0048】次に図13及至図16を参照しながら、オ
フセットデータフィードバックモードを説明する。図1
3(a)(b)は本発明の一実施例のLCDと電子部品
のマークの画像図、図14は本圧着後のLCDと電子部
品のマークの図、図15は本発明の一実施例の位置ずれ
補正方法の説明図である。図13(a)は、図8(a)
と同様の画像であって、図3に示すアウターリード28
の仮付けを行う前の第1のカメラ33と第2のカメラ3
4の画像を示している。第1のフィルムキャリヤ供給部
23から導出された第1のフィルムキャリヤ7aは第1
の金型25で打抜かれ、第1の電子部品6aが得られ
る。この第1の電子部品6aは吸着ヘッド22に真空吸
着されてピックアップされ、インデックスヘッド20が
図2において90°実線矢印方向に水平回転することに
より、LCD1の電極9の上方へ移送される。そしてL
CD1のマーク34,35と電子部品6aのマーク3
6,37とが重なるように、電子部品6aをLCD1上
に位置合わせする(図3参照)。
Next, the offset data feedback mode will be described with reference to FIGS. FIG.
3 (a) and 3 (b) are image diagrams of LCD and electronic component marks according to one embodiment of the present invention, FIG. 14 is a diagram of LCD and electronic component marks after final compression bonding, and FIG. 15 is an embodiment of the present invention. FIG. 4 is an explanatory diagram of a method of correcting a positional shift. FIG. 13A shows the state shown in FIG.
The image is similar to that of the outer lead 28 shown in FIG.
Camera 33 and second camera 3 before performing temporary attachment of
4 shows the image of FIG. The first film carrier 7a derived from the first film carrier supply unit 23 is the first film carrier 7a.
And the first electronic component 6a is obtained. The first electronic component 6a is vacuum-sucked by the suction head 22 and picked up, and is transferred above the electrode 9 of the LCD 1 by rotating the index head 20 horizontally in the direction of the solid line arrow at 90 ° in FIG. And L
Marks 34 and 35 of CD1 and mark 3 of electronic component 6a
The electronic component 6a is positioned on the LCD 1 so that the electronic components 6 and 37 overlap (see FIG. 3).

【0049】この状態で通常ボンディング時と同様にし
て上記した式(1)〜(6)からX方向の位置ずれSx
とY方向の位置ずれSyを求める。次にRAM43に格
納されたオフセットデータTX,TYを補正値としてこ
のSx,Syに加え、最終補正値Ux,Uyを求める
(以上、図15も参照)。
In this state, the displacement Sx in the X direction can be obtained from the above equations (1) to (6) in the same manner as during normal bonding.
And the displacement Sy in the Y direction are obtained. Next, the offset data TX and TY stored in the RAM 43 are added to these Sx and Sy as correction values to obtain final correction values Ux and Uy (see also FIG. 15).

【0050】次にXYθテーブル11を駆動してLCD
1をX方向に−Ux、Y方向に−Uy移動させることに
より位置補正を行う。すなわち、オフセットデータフィ
ードバックモードでは、仮付け及び本圧着時に生じる位
置ずれの平均値TX,TYを予め見込んでLCD1と各
電子部品6a,6bとをずらして位置合わせを行う。図
13(b)はこの位置補正されたLCD1と電子部品6
a(6b)のマーク34,35,36,37の画像であ
る。このようにして位置補正をしたならば、上述したよ
うに仮圧着ツール31によりアウターリード28をAC
F27に押しつけてLCD1に仮付けする。続いてLC
D1を搬送部2で第1本圧着部D、第2本圧着部Eへ搬
送し、第1本圧着ツール63と第2本圧着ツール73に
より本圧着する。図14は本圧着後のLCDと電子部品
のマークの図である。この本圧着後の位置ずれ量Tx,
Tyは式(11)(12)のとおりであり、仮付けや本
圧着を行う過程でLCD1と電子部品6a,6bとの相
対的な位置がずれることにより位置ずれ量Tx,Tyは
許容値±D以下になる。その後、搬送部2によってこの
LCD1を回収部Fに搬送して回収する。
Next, the XYθ table 11 is driven to drive the LCD
1 is moved by -Ux in the X direction and -Uy in the Y direction to perform position correction. That is, in the offset data feedback mode, the LCD 1 and each of the electronic components 6a and 6b are displaced and position adjustment is performed in advance by estimating the average values TX and TY of the position deviations generated during the temporary attachment and the final pressure bonding. FIG. 13B shows the position-corrected LCD 1 and electronic component 6.
It is an image of mark 34,35,36,37 of a (6b). After the position is corrected in this manner, the outer leads 28 are connected to the outer leads 28 by the temporary crimping tool 31 as described above.
Press F27 to temporarily attach to LCD1. Then LC
D1 is transported by the transport unit 2 to the first final crimping unit D and the second final crimping unit E, and the first final crimping tool 63 and the second final crimping tool 73 perform final crimping. FIG. 14 is a view of the LCD and the mark of the electronic component after the final pressure bonding. The displacement amount Tx after the final pressure bonding is
Ty is as shown in the formulas (11) and (12), and the relative displacement between the LCD 1 and the electronic components 6a and 6b is shifted during the process of performing the temporary attachment and the final pressure bonding, so that the displacement amounts Tx and Ty are within the allowable range ±. D or less. Thereafter, the LCD 1 is conveyed to the collection unit F by the conveyance unit 2 and collected.

【0051】図16は上述したオフセットデータフィー
ドバックモードにおけるアウターリードボンディング部
Cのフローチャートである。
FIG. 16 is a flowchart of the outer lead bonding section C in the offset data feedback mode described above.

【0052】本発明は上記実施例に限らず、様々な設計
変更や運転方法が考えられるものであり、例えば(表
1)ではオフセットデータTX,TYを入手するための
LCD1の枚数は50枚であるが、この枚数は何枚でも
よい。また位置ずれを検出するマークとしては、要は観
察のターゲットになり得るものであればよく、上記マー
ク34,35,36,37に限定されない。さらに本実
施例では、XYθテーブル11にて位置合わせの際の
X,Y方向の位置補正を行っていたが、吸着ヘッド22
側を移動させて位置補正を行うような機構でもよい。ま
た本実施例では、2台のカメラを使用して位置ずれS
x,Syを求めたが、1台のカメラで観察するように構
成してもよい。このように本発明は様々な設計変更が可
能である。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various design changes and operating methods are conceivable. For example, in Table 1, the number of LCDs 1 for obtaining offset data TX and TY is 50. However, this number may be any number. In addition, the mark for detecting the positional shift is not limited to the marks 34, 35, 36, and 37 as long as it can be a target for observation. Further, in the present embodiment, the position correction in the X and Y directions at the time of position alignment is performed by the XYθ table 11, but the suction head 22
A mechanism that performs position correction by moving the side may be used. In the present embodiment, the displacement S
Although x and Sy have been determined, it may be configured to observe with one camera. As described above, the present invention allows various design changes.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、電子部品
のアウターリードを表示パネルの電極に本圧着する際に
生じる位置ずれをオフセットデータとして入手し、この
オフセットデータを予め見込んで電子部品と表示パネル
の位置合わせを行いながら、アウターリードを電極に圧
着していくので、アウターリードの電極に対する位置ず
れを許容範囲内に抑えることができ、LCDへの電子部
品のボンディングを歩留りよく行うことができる。
As described above, the present invention obtains, as offset data, the positional shift that occurs when the outer leads of the electronic component are permanently bonded to the electrodes of the display panel, and this offset data is estimated in advance to determine the position of the electronic component. The outer leads are crimped to the electrodes while aligning the display panel, so that the displacement of the outer leads with respect to the electrodes can be kept within an allowable range, and the bonding of electronic components to the LCD can be performed with good yield. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の電子部品のボンディング装
置の全体構成を示す平面図
FIG. 1 is a plan view showing the overall configuration of an electronic component bonding apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例の電子部品のボンディング装
置のアウターリードボンディング部の平面図
FIG. 2 is a plan view of an outer lead bonding portion of the electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例の電子部品のボンディング装
置のアウターリードボンディング部の部分斜視図
FIG. 3 is a partial perspective view of an outer lead bonding portion of the electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例における仮圧着直前のLCD
と電子部品の底面図
FIG. 4 is an LCD immediately before temporary compression bonding according to an embodiment of the present invention.
And bottom view of electronic components

【図5】本発明の一実施例の電子部品のボンディング装
置のアウターリードボンディング部の制御系のブロック
FIG. 5 is a block diagram of a control system of an outer lead bonding section of the electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施例の電子部品のボンディング装
置の第1本圧着部と第2本圧着部の平面図
FIG. 6 is a plan view of the first and second crimping sections of the electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention.

【図7】本発明の一実施例の電子部品のボンディング装
置の第1本圧着部に備えられた本圧着ツール付近の斜視
FIG. 7 is a perspective view of the vicinity of a final crimping tool provided in a first final crimping unit of the electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention.

【図8】(a)本発明の一実施例のLCDと電子部品の
マークの画像図 (b)本発明の一実施例のLCDと電子部品のマークの
画像図
8A is an image diagram of an LCD and an electronic component mark according to an embodiment of the present invention; FIG. 8B is an image diagram of an LCD and an electronic component mark according to an embodiment of the present invention;

【図9】本発明の一実施例の第1の電子部品と第2の電
子部品が本圧着されたLCDの平面図
FIG. 9 is a plan view of an LCD in which a first electronic component and a second electronic component according to one embodiment of the present invention are permanently bonded.

【図10】本発明の一実施例における位置ずれ計測装置
の要部斜視図
FIG. 10 is a perspective view of a main part of a displacement measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図11】本発明の一実施例における本圧着後のLCD
と電子部品のマークの図
FIG. 11 is an LCD after final compression bonding according to an embodiment of the present invention.
And electronic parts mark illustration

【図12】本発明の一実施例の電子部品のボンディング
装置の通常ボンディングモード時の仮付け工程を示すフ
ローチャート
FIG. 12 is a flowchart showing a temporary attaching step in a normal bonding mode of the electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention;

【図13】(a)本発明の一実施例のLCDと電子部品
のマークの画像図 (b)本発明の一実施例のLCDと電子部品のマークの
画像図
13A is an image diagram of an LCD and an electronic component mark according to an embodiment of the present invention. FIG. 13B is an image diagram of an LCD and an electronic component mark according to an embodiment of the present invention.

【図14】本発明の一実施例における本圧着後のLCD
と電子部品のマークの図
FIG. 14 is an LCD after final compression bonding according to an embodiment of the present invention.
And electronic parts mark illustration

【図15】本発明の一実施例の電子部品のボンディング
装置の位置ずれ補正方法の説明図
FIG. 15 is a diagram illustrating a method for correcting a displacement of an electronic component bonding apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図16】本発明の一実施例の電子部品のボンディング
装置のオフセットデータフィードバックモードのフロー
チャート
FIG. 16 is a flowchart of an offset data feedback mode of the electronic component bonding apparatus according to one embodiment of the present invention.

【図17】従来の電子部品のボンディング方法における
電子部品と表示パネルの相対的な位置ずれの分布図
FIG. 17 is a distribution diagram of relative displacement between an electronic component and a display panel in a conventional electronic component bonding method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

C アウターリードボンディング部 D 第1本圧着部 E 第2本圧着部 1 表示パネル(LCD) 6a 第1の電子部品 6b 第2の電子部品 7a 第1のフィルムキャリヤ 7b 第2のフィルムキャリヤ 9 電極 11,51A,51B XYθテーブル 22 吸着ヘッド 27 異方性導電シート(ACF) 28 アウターリード 30 仮圧着ヘッド 31 仮圧着ツール 32 第1のカメラ 33 第2のカメラ 34,35,36,37 マーク 41 CPU 43 RAM 44 認識部 45 XYθテーブルコントローラ 63 第1本圧着ツール 73 第2本圧着ツール C Outer lead bonding section D First final crimping section E Second final crimping section 1 Display panel (LCD) 6a First electronic component 6b Second electronic component 7a First film carrier 7b Second film carrier 9 Electrode 11 , 51A, 51B XYθ table 22 Suction head 27 Anisotropic conductive sheet (ACF) 28 Outer lead 30 Temporary pressure bonding head 31 Temporary pressure bonding tool 32 First camera 33 Second camera 34, 35, 36, 37 Mark 41 CPU 43 RAM 44 Recognition unit 45 XYθ table controller 63 First crimping tool 73 Second crimping tool

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】フィルムキャリヤにて作られた電子部品と
表示パネルの位置合わせを行う位置合わせ手段と、位置
合わせされた前記電子部品のアウターリードを前記表示
パネルの電極に圧着する圧着手段と、この圧着を行う際
に生じる前記アウターリードと前記電極の相対的な位置
ずれに関するデータをオフセットデータとして記憶する
記憶部と、前記電子部品と前記表示パネルとを前記オフ
セットデータに基づいて位置合わせするべく前記位置合
わせ手段を制御する制御手段とを備え、前記圧着手段と
して、前記アウターリードを前記電極に仮付けする仮付
け用圧着ツールと、仮付け後に本圧着する本圧着ツール
とを備えたことを特徴とする電子部品のボンディング装
置。
A positioning means for positioning an electronic component made of a film carrier with a display panel; a crimping means for crimping an outer lead of the aligned electronic component to an electrode of the display panel; A storage unit that stores, as offset data, data relating to a relative displacement between the outer lead and the electrode that occurs when performing the crimping, and to align the electronic component and the display panel based on the offset data. Control means for controlling the positioning means , the crimping means and
And temporarily attaching the outer lead to the electrode.
Crimping tool and final crimping tool for final crimping after tacking
Electronic component bonding apparatus characterized by comprising:
Place.
【請求項2】フィルムキャリヤにて作られた電子部品と
表示パネルの仮位置合わせを行う第1の工程と、 仮位置合わせされた前記電子部品と前記表示パネルをカ
メラで観察して両者の相対的な位置ずれを検出する第2
の工程と、 前記電子部品のアウターリードを前記表示パネルの電極
に圧着する際に生じる位置ずれに関するオフセットデー
タと、前記第2の工程で検出した位置ずれに基づいて、
前記電子部品の前記表示パネルに対する相対的な最終位
置補正値を算出する第3の工程と、 前記最終位置補正値に基づいて、前記電子部品と前記表
示パネルとを前記オフセットデータに相当する距離だけ
ずらした位置に位置合わせする第4の工程と、 前記第4の工程で位置合わせされた前記電子部品のアウ
ターリードを前記表示パネルの電極に圧着する第5の工
程と、 を含むことを特徴とする電子部品のボンディング方法。
2. A first step of temporarily aligning an electronic component made of a film carrier and a display panel, and observing the electronic component and the display panel, which have been temporarily aligned, with a camera and comparing the two with each other. 2nd to detect dynamic displacement
And, based on the offset data relating to the displacement generated when the outer leads of the electronic component are pressed against the electrodes of the display panel, and the displacement detected in the second step.
A third step of calculating a final position correction value of the electronic component relative to the display panel; and, based on the final position correction value, moving the electronic component and the display panel by a distance corresponding to the offset data. A fourth step of positioning the electronic component at the shifted position; and a fifth step of crimping the outer leads of the electronic component positioned in the fourth step to electrodes of the display panel. Electronic component bonding method.
JP33637593A 1993-12-28 1993-12-28 Electronic component bonding apparatus and bonding method Expired - Lifetime JP2929926B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33637593A JP2929926B2 (en) 1993-12-28 1993-12-28 Electronic component bonding apparatus and bonding method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33637593A JP2929926B2 (en) 1993-12-28 1993-12-28 Electronic component bonding apparatus and bonding method

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP06974499A Division JP3271606B2 (en) 1999-03-16 1999-03-16 Electronic component bonding apparatus and bonding method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07201932A JPH07201932A (en) 1995-08-04
JP2929926B2 true JP2929926B2 (en) 1999-08-03

Family

ID=18298491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33637593A Expired - Lifetime JP2929926B2 (en) 1993-12-28 1993-12-28 Electronic component bonding apparatus and bonding method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2929926B2 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6544377B1 (en) 1997-11-20 2003-04-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Heating and pressurizing apparatus for use in mounting electronic components, and apparatus and method for mounting electronic components
JP3763747B2 (en) 2000-05-31 2006-04-05 シャープ株式会社 Mounting apparatus and mounting method
KR101051498B1 (en) 2002-09-30 2011-07-22 소니 주식회사 Electronic component positioning method and device
JP4628205B2 (en) * 2005-07-06 2011-02-09 パナソニック株式会社 Feedback correction method and component mounting method
JP2010256669A (en) * 2009-04-27 2010-11-11 Hitachi High-Technologies Corp Panel processing device and method therefor
JP2011035178A (en) * 2009-08-03 2011-02-17 Hitachi High-Technologies Corp Electronic component mounting apparatus
JP7157950B2 (en) * 2018-08-10 2022-10-21 パナソニックIpマネジメント株式会社 Mounting device and mounting method
JP7369916B2 (en) * 2019-10-10 2023-10-27 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component mounting system and component mounting method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07201932A (en) 1995-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4628205B2 (en) Feedback correction method and component mounting method
KR101260429B1 (en) Electronic component mounting system electronic component placing apparatus and electronic component mounting method
TWI702660B (en) Die bonding device and manufacturing method of semiconductor device
JP5876000B2 (en) Bonding apparatus and bonding method
US20160351528A1 (en) Mounting apparatus and method of correcting offset amount of the same
JP4768731B2 (en) Flip chip mounting deviation inspection method and mounting apparatus
JP2929926B2 (en) Electronic component bonding apparatus and bonding method
WO2019184628A1 (en) Workpiece alignment mounting apparatus and method thereof
JP3271606B2 (en) Electronic component bonding apparatus and bonding method
JP3833912B2 (en) Bonding method for electronic components
JP3596492B2 (en) Bonding method
JP4338883B2 (en) Component mounting apparatus and component mounting method
US7089073B2 (en) Component mounting apparatus and component mounting method, and recognition apparatus for a component mount panel, component mounting apparatus for a liquid crystal panel, and component mounting method for a liquid crystal panel
JP3243973B2 (en) Electronic component bonding apparatus and bonding method
JPH098104A (en) Calibrating method in chip bonding device
JP5168074B2 (en) Semiconductor module manufacturing apparatus, manufacturing apparatus system, manufacturing direction, and manufacturing processing program
CN114823414A (en) Chip mounting device and method for manufacturing semiconductor device
TW202107575A (en) Die bonding device and method of manufacturing semiconductor device mounting a semiconductor chip (die) on a temporary substrate with high positioning accuracy
JP2011096956A (en) Device and method for mounting component
JP3598862B2 (en) Image recognition device and image recognition method
JP2822448B2 (en) Electronic component mounting method
JPH0982764A (en) Thermocompression bonding method for chip
JP2005259729A (en) Liquid crystal cell tab mounting apparatus and method therefor, and liquid crystal display
JP3505948B2 (en) Display panel assembly method
CN218388522U (en) Joining device

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 10

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090521

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100521

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100521

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110521

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110521

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120521

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120521

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521

Year of fee payment: 14

EXPY Cancellation because of completion of term