JP2822448B2 - Electronic component mounting method - Google Patents

Electronic component mounting method

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JP2822448B2
JP2822448B2 JP1128213A JP12821389A JP2822448B2 JP 2822448 B2 JP2822448 B2 JP 2822448B2 JP 1128213 A JP1128213 A JP 1128213A JP 12821389 A JP12821389 A JP 12821389A JP 2822448 B2 JP2822448 B2 JP 2822448B2
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、環境温度の変化による機械の膨張収縮やノ
ズルの撓み等に起因するノズルの位置ずれを自動的に検
出し、かつ補正して電子部品を精度よく基板に実装する
電子部品の実装方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention automatically detects and corrects nozzle misalignment caused by expansion and contraction of a machine due to a change in environmental temperature, bending of a nozzle, and the like. The present invention relates to a method for mounting an electronic component on a substrate with high accuracy.

(従来の技術) 第5図は従来の電子部品実装装置により電子部品を基
板に実装している状態の平面図を示すものである。101,
102はXY方向移動装置、103はY方向移動装置102に設け
られた移載ヘッド、104はそのノズル、OAはノズル104の
移動原点、OBはノズル104のセンター、105は電子部品P
の位置ずれを観察する観察装置、106,107はそのステー
ジ及びカメラ、OCはカメラ107の光軸、ODはステージ106
に載置された電子部品Pのセンター、108は基板であ
る。
(Prior Art) FIG. 5 is a plan view showing a state in which electronic components are mounted on a substrate by a conventional electronic component mounting apparatus. 101,
102 is an XY direction moving device, 103 is a transfer head provided in the Y direction moving device 102, 104 is its nozzle, OA is the origin of movement of the nozzle 104, OB is the center of the nozzle 104, and 105 is the electronic component P
Observation device for observing the positional shift of the camera, 106 and 107 are the stage and camera, OC is the optical axis of the camera 107, and OD is the stage 106.
The center 108 of the electronic component P mounted on the substrate is a substrate.

次にその動作を説明する。まず図示しない手段によ
り、トイレなどに備えられた電子部品Pをステージ106
上に移送し、カメラ107により、上記光軸OC、すなわち
電子部品Pの位置ずれの基準点となるカメラ107側の座
標原点からのセンターODの位置ずれ△x,△yを観察す
る。次にXY方向移動装置101,102を駆動して、ノズル104
のセンターOBを電子部品PのセンターODに一致させて、
このノズル104の下端部を電子部品Pの上面に着地さ
せ、この電子部品Pをテイクアップして基板108の所定
位置に移送搭載する。
Next, the operation will be described. First, an electronic component P provided in a toilet or the like is moved to a stage 106 by means (not shown).
Then, the camera 107 observes the optical axis OC, that is, the displacement △ x, △ y of the center OD from the coordinate origin on the camera 107 side, which is the reference point of the displacement of the electronic component P. Next, the XY direction moving devices 101 and 102 are driven, and the nozzle 104
The center OB of the electronic component P to the center OD,
The lower end of the nozzle 104 lands on the upper surface of the electronic component P, and the electronic component P is taken up and transferred to a predetermined position on the substrate 108.

この場合、移動原点OAに対する光軸OCの座標位置XC,Y
Cは予め既知である。したがって上記位置ずれ△x,△y
を加えた指令値(XC±△x,YC±△y)によりノズル104
をXY方向に移動させることにより、ノズル104のセンタ
ーOBを電子部品PのセンターODに一致させてこてをテイ
クアップするようになっている。
In this case, the coordinate position XC, Y of the optical axis OC with respect to the movement origin OA
C is known in advance. Therefore, the above positional deviation △ x, △ y
Is added to the command value (XC ± △ x, YC ± △ y).
Is moved in the X and Y directions so that the center OB of the nozzle 104 coincides with the center OD of the electronic component P to take up the iron.

ところが環境温度の変化による機械の膨脹収縮,ノズ
ル104の撓み、或いは長時間の運転にともなう組み付け
のがた等により、ノズル104のセンターOBに位置ずれを
生じる。このため上記指令値(XC±△x),(YC±△
y)を発してXY方向移動装置101,102を駆動しても、ノ
ズル104のセンターOBは電子部品PのセンターODに正し
く一致せず、センターODからずれた位置に着地してテイ
クアップし、そのまま基板108に移送搭載するため、実
装位置にXY方向の誤差を生じ、実装精度が低下すること
となる。
However, a displacement of the center OB of the nozzle 104 occurs due to expansion and contraction of the machine due to a change in the environmental temperature, bending of the nozzle 104, or assembling due to long-time operation. Therefore, the above command values (XC ± Cx), (YC ± △
y) to drive the XY-direction moving devices 101 and 102, the center OB of the nozzle 104 does not match the center OD of the electronic component P correctly, lands at a position deviated from the center OD and takes up, and Since the transfer is carried to 108, an error in the XY direction occurs at the mounting position, and the mounting accuracy is reduced.

従来、かかるノズル104の位置ずれを自動的に検出
し、かつ補正する装置はなかったため、以下のような作
業が行われていた。すなわち、電子部品Pが実装された
基板108を時々抽出し、これを作業者が顕微鏡などによ
り観察する。そこで多数の電子部品に同一傾向の位置ず
れ(定誤差)が観察された場合には、この位置ずれはノ
ズル104の位置ずれに基づく機械的誤差と判断し、この
位置ずれが解消されるように、装置全体を調整し直して
いた。
Conventionally, there has been no device that automatically detects and corrects the positional shift of the nozzle 104, and thus the following operation has been performed. That is, the board 108 on which the electronic component P is mounted is sometimes extracted, and the worker observes the board 108 with a microscope or the like. Therefore, when a displacement (constant error) having the same tendency is observed in a large number of electronic components, the displacement is determined to be a mechanical error based on the displacement of the nozzle 104, and the displacement is eliminated. , The whole device was readjusted.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら上記従来手段は、きわめて多大な手間と
時間を要するものであった。
(Problems to be Solved by the Invention) However, the above-mentioned conventional means requires a great deal of labor and time.

したがって本発明は、ノズルの位置ずれを自動的に検
出し、かつ補正して、電子部品を精度よく基板に実装で
きる手段を提供することを目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide a means for automatically detecting and correcting a nozzle position shift and mounting an electronic component on a substrate with high accuracy.

(課題を解決するための手段) このために本発明は、電子部品の供給部に備えられた
電子部品を、サブ移載ヘッドにより観察装置のステージ
上に移送して、この観察装置に設けられたカメラにより
この電子部品のセンターを検出し、次いで移載ヘッドを
XY方向移動装置の駆動によりこの電子部品の上方へ移動
させ、この移載ヘッドのノズルのセンターを上記電子部
品のセンターに一致させてこの電子部品をテイクアップ
し、次いでこの電子部品を位置決め部に位置決めされた
基板に移送搭載するようにした電子部品の実装工程中
に、次のようなノズルの位置ずれ補正工程、すなわち (i)上記ステージ上にサンプルを載せて、このサンプ
ルをこのステージに設けられたカメラにより観察し、こ
のサンプルのセンターの座標を検出する作業 (ii)次に上記移載ヘッドのノズルのセンターを、上記
サンプルのセンターに一致させるべく、上記XY方向移動
装置を駆動して、このサンプルをこのノズルによりテイ
クアップする作業 (iii)次に上記移載ヘッドに設けられたモータにより
ノズルをその軸心を中心に一定角度回転させたうえで、
サンプルを再度上記ステージ上に載せ、そのセンターの
座標を再度検出する作業 (iv)上記のようにして2回検出されたサンプルのセン
ターの座標から、ノズルのセンターの位置ずれを算出す
る作業 から成るノズルの位置ずれ検出工程、 を介入するようにしたものである。
(Means for Solving the Problems) For this purpose, according to the present invention, an electronic component provided in an electronic component supply unit is transferred onto a stage of an observation device by a sub-transfer head, and provided in the observation device. Camera detects the center of this electronic component, and then moves the transfer head
The electronic component is moved upward by driving the XY-direction moving device, the center of the nozzle of the transfer head is made to coincide with the center of the electronic component, and the electronic component is taken up. During the mounting process of the electronic component to be transferred and mounted on the positioned substrate, the following nozzle misalignment correction process is performed: (i) A sample is placed on the stage, and the sample is provided on this stage. (Ii) Next, the XY direction moving device is driven by driving the XY direction moving device so that the center of the nozzle of the transfer head coincides with the center of the sample. Work to take up this sample by this nozzle (iii) Then, the nozzle is moved to its axis by the motor provided on the transfer head. After having allowed a certain angle rotated about,
The operation of placing the sample on the stage again and detecting the coordinates of the center again (iv) The operation of calculating the positional deviation of the center of the nozzle from the coordinates of the center of the sample detected twice as described above. This is to intervene a nozzle misalignment detection process.

(作用) 移載ヘッドにより、ステージ上の電子部品を基板に繰
り返し実装する工程中に、上記(i)〜(iv)から成る
ノズルの位置ずれ検出工程を介入することにより、ノズ
ルの位置ずれを検出し、以後はこの位置ずれが補正され
るように、XY方向移動装置を駆動して、電子部品を基板
に実装する。
(Operation) During the process of repeatedly mounting the electronic components on the stage on the substrate by the transfer head, the nozzle misalignment detecting process of (i) to (iv) is intervened to reduce the misalignment of the nozzle. The electronic component is mounted on the substrate by driving the XY-direction moving device so that the positional deviation is corrected after that.

(実施例) 次に、図面を参照しながら本発明の実施例の説明を行
う。
(Example) Next, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は電子部品の実装装置を示すものであって、1
はテーブルであり、その上部両側部には、マガジン2か
ら成る第1の電子部品Pの供給部3と、テープユニット
4から成る第2の電子部品の供給部5が配設されてお
り、両供給部3,5の間に、クランプ手段から成る基板6
の位置決め部7が設けられている。8は基板6を位置決
め部7に搬入し、またこれから搬出するコンベヤ、9は
マガジン2に装備された電子部品Pの収納用トイレであ
る。
FIG. 1 shows an electronic component mounting apparatus.
Is a table, on both upper sides of which are provided a supply section 3 for a first electronic component P composed of a magazine 2 and a supply section 5 for a second electronic component composed of a tape unit 4. A substrate 6 comprising clamping means is provided between the supply units 3 and 5.
Are provided. Reference numeral 8 denotes a conveyor for carrying the substrate 6 into and out of the positioning unit 7, and reference numeral 9 denotes a toilet for storing the electronic components P mounted on the magazine 2.

12はテーブル1の側部に立設された駆動ボックスであ
って、その上部にXY方向移動装置13,14が配設されてい
る。15,16はその駆動用モータである。17はXY方向移動
装置13の下面に装着された装着部、18,19はこの装着部1
7に一体的に組み付けられたカメラと移載ヘッド、20は
そのノズル、21は装着部17の前部に取り付けられたLED
面発光体から成る光源である。
Numeral 12 denotes a drive box erected on the side of the table 1, on which XY direction moving devices 13 and 14 are disposed. Reference numerals 15 and 16 denote drive motors. Reference numeral 17 denotes a mounting portion mounted on the lower surface of the XY direction moving device 13, and reference numerals 18 and 19 denote the mounting portions 1
Camera and transfer head integrated into 7, 20 is its nozzle, 21 is the LED mounted on the front of the mounting part 17
This is a light source composed of a surface light emitter.

22はモータ22a,ベルト22bから成るθ方向駆動装置で
あって、ノズル20を軸心を中心に回転させることによ
り、ノズル20の下端部に吸着された電子部品のθ方向の
位置ずれの補正を行う。30は供給部3と位置決め部7の
間に設けられた電子部品Pの観察位置、26はトレイ9の
電子部品Pをこの観察装置30に移送するサブ移載ヘッド
である。27,28はサブ移載ヘッド26をXY方向に移動させ
るための駆動用モータとけん引用ワイヤであり、サブ移
載ヘッド26のXY方向移動装置を構成している。
Reference numeral 22 denotes a θ-direction driving device including a motor 22a and a belt 22b.The rotation device 22 rotates the nozzle 20 around an axis so as to correct the positional deviation in the θ direction of the electronic component sucked to the lower end of the nozzle 20. Do. Reference numeral 30 denotes an observation position of the electronic component P provided between the supply unit 3 and the positioning unit 7, and reference numeral 26 denotes a sub-transfer head for transferring the electronic component P on the tray 9 to the observation device 30. Reference numerals 27 and 28 denote driving motors and tow wires for moving the sub-transfer head 26 in the XY direction, and constitute a device for moving the sub-transfer head 26 in the XY direction.

第2図は観察装置30の詳細を示すものであって、この
観察装置30は、電子部品Pが載置されるステージ30a
と、ステージ30a上の電子部品Pの位置ずれを観察する
カメラ30bを備えている。ステージ30aには、電子部品P
が載置されるガラス板のような透光性のステージ板31の
下方に反射板32が斜設されており、その側方にカメラ30
bが配設されている。34はステージ板31の直下に配設さ
れた透光板であって、両板31,34の間には空間部35が確
保されている。またステージ板31の中央部には吸気孔36
が形成されており、吸引孔37から図示しないポンプなど
により空間部35の空気を吸入することにより、負圧によ
って着座38上に電子部品Pをステージ板31上に固定し、
その状態で上記光源21がステージ30aの上方に移動して
下方に光を照射することにより、電子部品Pをシルエッ
トとしてカメラ30bで観察し、電子部品PのXYθ方向の
位置ずれを検出する。
FIG. 2 shows the details of the observation device 30. The observation device 30 includes a stage 30a on which the electronic component P is placed.
And a camera 30b for observing the displacement of the electronic component P on the stage 30a. Electronic components P are provided on the stage 30a.
A reflection plate 32 is obliquely provided below a translucent stage plate 31 such as a glass plate on which a camera 30 is placed, and a camera 30 is provided beside the reflection plate 32.
b is provided. Numeral 34 is a light-transmitting plate disposed immediately below the stage plate 31, and a space 35 is secured between the two plates 31, 34. An intake hole 36 is provided at the center of the stage plate 31.
The electronic component P is fixed on the seat 38 by negative pressure on the stage plate 31 by sucking air in the space 35 from a suction hole 37 by a pump (not shown),
In this state, the light source 21 moves above the stage 30a and irradiates the light downward, thereby observing the electronic component P as a silhouette with the camera 30b and detecting the positional shift of the electronic component P in the XYθ direction.

40は観察装置30上に、これと一体的に設けられた電子
部品のサンプルSの載置部である。このサンプルSは、
後に詳述するように、これをステージ30a上に移送して
カメラ30bで観察しながら、ノズル20のXY方向の位置ず
れを補正するものである。サンプルSとしては、例えば
外観形状の良い電子部品が選択される。なおノズル20の
位置ずれの補正にそれ程高い精度が要求されないなら
ば、この載置部40は設けずに、トレイ9内の任意電子部
品Pをサンプルとして選択して、この電子部品Pをステ
ージ30a上に移送載置してもよい。
Numeral 40 denotes a mounting portion for the electronic component sample S provided integrally with the observation device 30 on the observation device 30. This sample S
As will be described in detail later, this is transferred onto the stage 30a, and the position of the nozzle 20 in the XY direction is corrected while observing with the camera 30b. As the sample S, for example, an electronic component having a good external shape is selected. If not so high accuracy is required for correcting the positional deviation of the nozzle 20, the mounting portion 40 is not provided, and an arbitrary electronic component P in the tray 9 is selected as a sample, and the electronic component P is transferred to the stage 30a. It may be transferred and mounted on the top.

本装置は上記のような構成より成り、次に実装作業の
説明を行う。
This device has the above configuration, and the mounting operation will be described next.

まずXY方向移動装置13,14を駆動して、カメラ18を基
板6の上方に移送し、このカメラ18により基板6に印刷
された印刷パターンを観察して、そのXYθ方向の位置ず
れを検出する。またサブ移載ヘッド26は、トレイ9の電
子部品Pを観察装置30のステージ30aに移送し、カメラ3
0bによりこの電子部品PのXYθ方向の位置ずれを認識し
ておく。
First, the XY direction moving devices 13 and 14 are driven to transfer the camera 18 above the substrate 6, and the camera 18 observes a print pattern printed on the substrate 6 to detect a displacement in the XYθ direction. . The sub-transfer head 26 transfers the electronic component P on the tray 9 to the stage 30a of the observation device 30, and
The position shift of the electronic component P in the XYθ direction is recognized based on 0b.

第3図はその様子を示すものであって、OAはノズル20
の移動原点、Pはステージ30a上に置かれた電子部品、O
Cはカメラ30bの光軸、ODは電子部品Pのセンター、XC,Y
Cは移動原点OAの座標系における光軸OCの座標位置であ
り、部分拡大図に示すように、電子部品PはXYθ方向
に、△x,△y,△θの位置ずれを生じている。なおこの電
子部品Pは、4方向にリードLを有するQFPであり、高
い実装精度が要求される。
FIG. 3 shows the situation, where OA is the nozzle 20
The origin of movement, P is the electronic component placed on the stage 30a, O
C is the optical axis of the camera 30b, OD is the center of the electronic component P, XC, Y
C is the coordinate position of the optical axis OC in the coordinate system of the movement origin OA, and as shown in the partially enlarged view, the electronic component P is displaced by △ x, △ y, △ θ in the XYθ direction. The electronic component P is a QFP having leads L in four directions, and requires high mounting accuracy.

次に上記位置ずれ△x,△yを加えた指令値(XC±△
x),(YC±△y)により、XY方向移動装置13,14を駆
動して、ノズル20のセンターOBを位置ずれした電子部品
PのセンターODに着地させてテイクアップすることによ
り、電子部品Pの位置ずれ△x,△yを補正する。以上の
ような△x,△yの補正手段は、第5図を参照しながら説
明した従来手段と同様である。
Next, the command value (XC ± △
x) and (YC ± △ y), the XY-direction moving devices 13 and 14 are driven to land the center OB of the nozzle 20 at the center OD of the electronic component P that is displaced and take up the electronic component. The position shift Δx, Δy of P is corrected. The means for correcting △ x and △ y as described above is the same as the conventional means described with reference to FIG.

次にノズル20によりステージ30a上の電子部品Pをテ
イクアップして基板6に移送する途中において、モータ
22aを駆動してノズル20を軸心線を中心に回転させるこ
とにより、上記電子部品P及び基板6の印刷パターンの
θ方向の位置ずれの補正を行い、更に上記のようにして
検出された基板6の印刷パターンのXY方向の位置ずれを
補整すべくXY方向移動装置13,14を駆動して、電子部品
Pを基板6に実装する。なお各モータ15,16,22a等の制
御は、図示しないコンピュータのような制御装置により
行われる。またテープユニット4の電子部品Pは、上記
手段と別の手段で基板6に実装されるが、その説明は省
略する。
Next, while the electronic component P on the stage 30a is being taken up by the nozzle 20 and transferred to the substrate 6, the motor
By driving the nozzle 22a to rotate the nozzle 20 about the axis, the displacement of the electronic component P and the printed pattern of the substrate 6 in the θ direction is corrected, and the substrate detected as described above is further corrected. The electronic components P are mounted on the substrate 6 by driving the XY direction moving devices 13 and 14 in order to compensate for the positional deviation of the print pattern 6 in the XY direction. Control of the motors 15, 16, 22a and the like is performed by a control device such as a computer (not shown). The electronic component P of the tape unit 4 is mounted on the board 6 by means different from the above-described means, but the description is omitted.

ところで、上述のように上記手段は、まずカメラ30b
によりステージ30a上の電子部品PのXYθ方向の位置ず
れを観察し、次いで電子部品PのセンターODにノズル20
のセンターOBを一致させてノズル20により電子部品Pを
テイクアップすることにより、電子部品PのXY方向の位
置ずれを補正するものである。したがってこの手段に
は、XY方向移動装置13,14によるノズル20の移動原点OA
を原点とする第1の座標系と、カメラ30bの光軸OCを原
点とする第2の座標系が存在している。そして原点OAに
対する光軸OCの座標値XC,YC(第3図参照)、すなわち
第1の座標系と第2の座標系の位置関係は既知であり、
したがって上述のように、この座標値XC,YCに上記位置
ずれ△x,△yを加えた指令値(XC±△x),(YC±△
y)によりXY方向移動装置13,14を駆動すれば、ノズル2
0のセンターOBを電子部品PのセンターODに一致させる
ことができる。ところが、環境温度の変化による部材の
膨脹収縮、ノズル20の撓み、長時間の運転にともなう装
置の組み付けのがた等の原因により、ノズル20に位置ず
れを生じやすい。かくなると、上記指令値によりノズル
20をXY方向に移動させても、そのセンターOBは電子部品
PのセンターODに一致しないようになる。
By the way, as mentioned above, the above-mentioned means
Observing the displacement of the electronic component P on the stage 30a in the XYθ direction, and then moving the nozzle 20 to the center OD of the electronic component P.
The electronic component P is taken up by the nozzle 20 while the center OB of the electronic component P is made coincident with the center OB, thereby correcting the displacement of the electronic component P in the XY direction. Therefore, this means includes a movement origin OA of the nozzle 20 by the XY direction movement devices 13 and 14.
There is a first coordinate system having the origin as the origin and a second coordinate system having the optical axis OC of the camera 30b as the origin. Then, the coordinate values XC and YC of the optical axis OC with respect to the origin OA (see FIG. 3), that is, the positional relationship between the first coordinate system and the second coordinate system are known,
Therefore, as described above, the command values (XC ± △ x), (YC ± △) obtained by adding the above-mentioned positional deviations △ x, △ y to the coordinate values XC, YC.
If the XY direction moving devices 13 and 14 are driven by y), the nozzle 2
The center OB of 0 can be matched with the center OD of the electronic component P. However, misalignment of the nozzle 20 is likely to occur due to expansion and contraction of members due to changes in the environmental temperature, bending of the nozzle 20, and assembling of the apparatus during long-time operation. When it becomes scratched, the nozzle
Even if 20 is moved in the XY direction, its center OB does not coincide with the center OD of the electronic component P.

そこで本手段においては、上述のようにステージ30a
上の電子部品Pを基板6に繰り返し移送搭載する工程が
繰り返される途中に、以下に述べるノズル20の位置ずれ
検出工程を適宜介入する。
Therefore, in this means, as described above, the stage 30a
While the process of repeatedly transferring and mounting the electronic component P on the substrate 6 is being repeated, the following process of detecting the positional deviation of the nozzle 20 is appropriately interposed.

すなわち、まず移載ヘッド19により載置部40のサンプ
ルSをステージ30aに移送し、第4図に示すように、カ
メラ30bによりそのセンターOS1の座標(△x1,△y1)を
検出する。次いで、ノズル20のセンターOBをこのセンタ
ーOS1に一致させるべく、XY方向移動装置13,14を駆動し
て、このサンプルSをノズル20によりテイクアップす
る。次にモータ22aを駆動して、ノズル20を任意角度
(例えば180゜)その軸心を中心に回転させる。次に再
度このサンプルSをステージ30aに載せて、カメラ30bに
よりそのセンターOS2の座標(△x2,△y2)を再度検出す
る(同図鎖線参照)。
That is, first, the sample S of the mounting section 40 is transferred to the stage 30a by the transfer head 19, and the coordinates (図 x1, △ y1) of the center OS1 are detected by the camera 30b as shown in FIG. Then, the XY direction moving devices 13 and 14 are driven so that the center OB of the nozzle 20 coincides with the center OS1, and the sample S is taken up by the nozzle 20. Next, the motor 22a is driven to rotate the nozzle 20 around an axis thereof at an arbitrary angle (for example, 180 °). Next, the sample S is mounted on the stage 30a again, and the coordinates (△ x2, △ y2) of the center OS2 are detected again by the camera 30b (see the chain line in the figure).

ここで、第1回目のセンターOS1と、第2回目のセン
ターOS2が一致したならば、ノズル20に位置ずれはない
ものと判断される。しかしながら第4図に示すように、
180゜回転させることにより、センターがOS1からOS2に
移動するならば、ノズル20は位置ずれを生じており、そ
のセンターOBは、第1回目のセンターOS1の座標(△x1,
△y1)と、第2回目のセンターOS2の座標(△x2,△y2)
の中間点に存在していることとなる。したがってこれか
らノズル20のセンターOBのの座標 を算出するとともに、センターOBの位置ずれ を算出する。そしてこれ以後は、この位置ずれの補正を
加えてXY方向移動装置13,14を駆動することにより、ノ
ズル20のセンターOBを電子部品PのセンターODに一致さ
せてテイクアップし、基板6の移送搭載する。
Here, if the first center OS1 matches the second center OS2, it is determined that there is no displacement of the nozzle 20. However, as shown in FIG.
If the center moves from OS1 to OS2 by rotating by 180 °, the nozzle 20 is displaced, and the center OB has the coordinates of the first center OS1 (△ x1,
Δy1) and the coordinates of the second center OS2 (Δx2, Δy2)
At the midpoint of Therefore, the coordinates of the center OB of the nozzle 20 And the center OB displacement Is calculated. Thereafter, by driving the XY-direction moving devices 13 and 14 while correcting this positional deviation, the center OB of the nozzle 20 is made coincident with the center OD of the electronic component P, and the substrate 6 is transferred. Mount.

このように本手段によれば、電子部品の実装工程中
に、上記のようなノズル20の位置ずれ検出工程を適宜介
入させて、ノズル20の位置ずれを検出し、これを補正す
るようXY方向移動装置13,14を駆動することにより、実
装精度の低下を防止することができる。
As described above, according to the present means, during the electronic component mounting process, the above-described misalignment detection process of the nozzle 20 is appropriately interposed to detect the misalignment of the nozzle 20 and to correct the misalignment of the nozzle 20 in the XY direction. By driving the moving devices 13 and 14, a decrease in mounting accuracy can be prevented.

なお、上記のようにしてセンターOBの位置ずれ を算出したならば、この位置ずれの補正を加えてノズル
20によりサンプルSをテイクアップし、180゜回転させ
てそのセンターが移動しないことを確認することによ
り、位置ずれの検出と補正が正しく行われたことを確認
することが望ましい。
Note that the center OB is misaligned as described above. Is calculated, this misalignment is corrected and the nozzle
It is desirable to confirm that the detection and correction of the displacement have been performed correctly by taking up the sample S by 20 and rotating it 180 ° to confirm that the center does not move.

(発明の効果) 以上説明したように本発明によれば、環境温度の変化
による機械の膨張収縮やノズルの撓みあるいは長時間の
運転にともなう組み付けのがた等に起因するノズルの位
置ずれを検出してこれを補正し、電子部品を精度よく基
板に実装することができる。また本発明は、ノズルの位
置ずれを検出したり、検収された位置ずれを補正するた
めの格別の位置はなくてもよく、コンピュータのソウト
処理により簡単に対応できる長所を有する。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, nozzle misalignment caused by expansion and contraction of a machine due to a change in environmental temperature, bending of a nozzle, or looseness in assembly due to long-term operation, etc., is detected. This can be corrected and the electronic component can be accurately mounted on the board. In addition, the present invention does not require a special position for detecting a nozzle position shift or correcting the detected position shift, and has an advantage that it can be easily handled by a computer out process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

図は本発明の実施例を示すものであって、第1図は電子
部品実装装置の斜視図、第2図は観察装置の断面図、第
3図は観察中の平面図、第4図は補正中の平面図、第5
図は従来手段の平面図である。 3……電子部品の供給部 6……基板 7……位置決め部 13,14……移載ヘッドのXY方向移動装置 18……カメラ 19……移載ヘッド 20……ノズル 22a……モータ 30……観察装置 30a……ステージ 30b……カメラ P……電子部品 S……サンプル OB……ノズルのセンター OD……電子部品のセンター OS1……第1回目のサンプルのセンター座標 OS2……第2回目のサンプルのセンター座標
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus, FIG. 2 is a sectional view of an observation apparatus, FIG. 3 is a plan view during observation, and FIG. Plan view during correction, fifth
The figure is a plan view of the conventional means. 3. Electronic part supply section 6. Substrate 7. Positioning section 13, 14 XY moving device for transfer head 18 Camera 19 Transfer head 20 Nozzle 22a Motor 30 … Observation device 30a… Stage 30b… Camera P… Electronic components S… Sample OB… Nozzle center OD… Electronic component center OS1… First sample center coordinates OS2… Second Sample center coordinates

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】電子部品の供給部に備えられた電子部品
を、サブ移載ヘッドにより観察装置のステージ上に移送
して、この観察装置に設けられたカメラによりこの電子
部品のセンターを検出し、次いで移載ヘッドをXY方向移
動装置の駆動によりこの電子部品の上方へ移動させ、こ
の移載ヘッドのノズルのセンターを上記電子部品のセン
ターに一致させてこの電子部品をテイクアップし、次い
でこの電子部品を位置決め部に位置決めされた基板に移
送搭載するようにした電子部品の実装工程中に、次のよ
うなノズルの位置ずれ検出工程、すなわち (i)上記ステージ上にサンプルを載せて、このサンプ
ルをこのステージに設けられたカメラにより観察し、こ
のサンプルのセンターの座標を検出する作業 (ii)次に上記移載ヘッドのノズルのセンターを、上記
サンプルのセンターに一致させるべく、上記XY方向移動
装置を駆動して、このサンプルをこのノズルによりテイ
クアップする作業 (iii)次に上記移載ヘッドに設けられたモータにより
ノズルをその軸心を中心に一定角度回転させたうえで、
サンプルを再度上記ステージ上に載せ、そのセンターの
座標を再度検出する作業 (iv)上記のようにして2回検出されたサンプルのセン
ターの座標から、ノズルのセンターの位置ずれを算出す
る作業 から成るノズルの位置ずれ検出工程、 を介入することを特徴とする電子部品の実装方法。
An electronic component provided in a supply section of the electronic component is transferred onto a stage of an observation device by a sub-transfer head, and a center of the electronic component is detected by a camera provided in the observation device. Then, the transfer head is moved above the electronic component by driving the XY direction moving device, the center of the nozzle of the transfer head is made to coincide with the center of the electronic component, and the electronic component is taken up. During the mounting process of the electronic component in which the electronic component is transferred and mounted on the substrate positioned at the positioning portion, the following nozzle misalignment detecting process is performed: (i) a sample is placed on the stage, and Observing the sample with a camera provided on this stage and detecting the coordinates of the center of this sample (ii) Next, the center of the nozzle of the transfer head To move the nozzle to its center by driving the XY-direction moving device so that the sample coincides with the center of the sample, and taking up the sample by the nozzle. After rotating a fixed angle around the heart,
The operation of placing the sample on the stage again and detecting the coordinates of the center again (iv) The operation of calculating the positional deviation of the center of the nozzle from the coordinates of the center of the sample detected twice as described above. A method for mounting an electronic component, comprising intervening a nozzle displacement detection step.
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