JP2924718B2 - 非金属介在物の検査装置 - Google Patents
非金属介在物の検査装置Info
- Publication number
- JP2924718B2 JP2924718B2 JP7179282A JP17928295A JP2924718B2 JP 2924718 B2 JP2924718 B2 JP 2924718B2 JP 7179282 A JP7179282 A JP 7179282A JP 17928295 A JP17928295 A JP 17928295A JP 2924718 B2 JP2924718 B2 JP 2924718B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metallic
- metallic inclusions
- inclusions
- inspection
- inclusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像処理技術を用
いた非金属介在物の検査装置に関する。
いた非金属介在物の検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属材料中に存在する非金属介在物（例
えば、ＭｎＳなどの硫化物、Ａｌ2 Ｏ3 などの酸化物や
Ｔｉ（ＣＮ）などの炭窒化物）は金属材料の機械的諸特
性に大きな影響を及ぼすため、これらの定量解析を行う
ことが金属材料の品質管理を行う上で非常に重要とな
る。
えば、ＭｎＳなどの硫化物、Ａｌ2 Ｏ3 などの酸化物や
Ｔｉ（ＣＮ）などの炭窒化物）は金属材料の機械的諸特
性に大きな影響を及ぼすため、これらの定量解析を行う
ことが金属材料の品質管理を行う上で非常に重要とな
る。
【０００３】金属材料中に存在する非金属介在物の検査
方法としては、ＡＳＴＭ法、ＪＩＳ法や仏国のＭＩＣＨ
ＥＬＩＮ（ミシュラン）社が開発したＭＩＣＨＥＬＩＮ
法などが知られている。しかし、これらの従来法はいず
れも光学顕微鏡による目視検査であるため、検査速度が
遅く、また測定の精度や誤差の面で問題があった。更
に、作業者の健康保持という面から、作業の内容・環境
を改善したいとする要望も生じている。このため最近で
は、画像処理技術を用いて金属材料中の非金属介在物を
自動的に検査する検査装置が開発されている。
方法としては、ＡＳＴＭ法、ＪＩＳ法や仏国のＭＩＣＨ
ＥＬＩＮ（ミシュラン）社が開発したＭＩＣＨＥＬＩＮ
法などが知られている。しかし、これらの従来法はいず
れも光学顕微鏡による目視検査であるため、検査速度が
遅く、また測定の精度や誤差の面で問題があった。更
に、作業者の健康保持という面から、作業の内容・環境
を改善したいとする要望も生じている。このため最近で
は、画像処理技術を用いて金属材料中の非金属介在物を
自動的に検査する検査装置が開発されている。
【０００４】しかしながら、従来の画像処理技術を用い
た非金属介在物の検査装置では、被検査体の表面（以
下、「被検面」ともいう）に存在する「塵埃」、「し
み」や「錆」などの非金属介在物とは異なるものを非金
属介在物と誤認してしまい（以下、これらの「塵埃」、
「しみ」や「錆」などをまとめて「非金属介在物誤認要
因」という）、被検面中の非金属介在物の定量解析が正
確には行い難いという問題があった。
た非金属介在物の検査装置では、被検査体の表面（以
下、「被検面」ともいう）に存在する「塵埃」、「し
み」や「錆」などの非金属介在物とは異なるものを非金
属介在物と誤認してしまい（以下、これらの「塵埃」、
「しみ」や「錆」などをまとめて「非金属介在物誤認要
因」という）、被検面中の非金属介在物の定量解析が正
確には行い難いという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記現状に
鑑みなされたもので、被検面上の非金属介在物と非金属
介在物誤認要因とを自動的に分別することができ、非金
属介在物の定量解析を正確に行うことが可能な非金属介
在物の検査装置を提供することを課題とする。
鑑みなされたもので、被検面上の非金属介在物と非金属
介在物誤認要因とを自動的に分別することができ、非金
属介在物の定量解析を正確に行うことが可能な非金属介
在物の検査装置を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、下記（１）の
非金属介在物の検査装置を要旨とする。
非金属介在物の検査装置を要旨とする。
【０００７】（１）被検査体を撮像する撮像装置と、そ
の撮像装置の撮像結果に基づいて被検査体中の非金属介
在物と非金属介在物誤認要因とを分別する分別装置と、
その分別装置の分別結果を出力する出力装置とで構成さ
れる非金属介在物の検査装置であって、上記分別装置
が、前記撮像装置により撮像された画像データから対象
物の形状度としての形状係数Ｋおよび周囲点外角標準偏
差σを算出する算出手段、ならびにこれら算出した形状
係数Ｋおよび周囲点外角標準偏差σを、予め設定してお
いた非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する
敷居値ＫC0、σC0と比較することにより非金属介在物で
あるか非金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判
定手段を備えることを特徴とする非金属介在物の検査装
置。
の撮像装置の撮像結果に基づいて被検査体中の非金属介
在物と非金属介在物誤認要因とを分別する分別装置と、
その分別装置の分別結果を出力する出力装置とで構成さ
れる非金属介在物の検査装置であって、上記分別装置
が、前記撮像装置により撮像された画像データから対象
物の形状度としての形状係数Ｋおよび周囲点外角標準偏
差σを算出する算出手段、ならびにこれら算出した形状
係数Ｋおよび周囲点外角標準偏差σを、予め設定してお
いた非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する
敷居値ＫC0、σC0と比較することにより非金属介在物で
あるか非金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判
定手段を備えることを特徴とする非金属介在物の検査装
置。
【０００８】本発明の非金属介在物の検査装置の「分別
装置」は、撮像装置により撮像された画像データから
対象物の形状度としての形状係数Ｋ、周囲点外角標準偏
差σを算出する算出手段、およびこれら算出した形状
係数Ｋ、周囲点外角標準偏差σを、予め設定しておいた
非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する敷居
値ＫC0、σC0と比較することにより非金属介在物である
か非金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判定手
段を備えている。前記非金属介在物と前記非金属介在物
誤認要因との形状度にはそれぞれ差異があるので、被検
面上の非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを容易、
且つ自動的に分別し得る。この結果、前記の非金属介在
物誤認要因を除外し、非金属介在物のみに関して測定お
よび分類できることとなり、定量解析を高速、且つ正確
に実施し得るのである。
装置」は、撮像装置により撮像された画像データから
対象物の形状度としての形状係数Ｋ、周囲点外角標準偏
差σを算出する算出手段、およびこれら算出した形状
係数Ｋ、周囲点外角標準偏差σを、予め設定しておいた
非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する敷居
値ＫC0、σC0と比較することにより非金属介在物である
か非金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判定手
段を備えている。前記非金属介在物と前記非金属介在物
誤認要因との形状度にはそれぞれ差異があるので、被検
面上の非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを容易、
且つ自動的に分別し得る。この結果、前記の非金属介在
物誤認要因を除外し、非金属介在物のみに関して測定お
よび分類できることとなり、定量解析を高速、且つ正確
に実施し得るのである。
【０００９】
【実施例】以下、本発明に係る非金属介在物の検査装置
の実施例を図面に基づいて説明する。
の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１０】図１は本発明に係る非金属介在物の検査装
置の一実施例を示すブロック図である。この非金属介在
物の検査装置１は、被検査体１０を撮像する撮像装置
２、撮像装置２の撮像結果に基づいて被検査体１０中の
非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する分別
装置３および分別装置３の分別結果を出力する出力装置
４とで構成されている。
置の一実施例を示すブロック図である。この非金属介在
物の検査装置１は、被検査体１０を撮像する撮像装置
２、撮像装置２の撮像結果に基づいて被検査体１０中の
非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する分別
装置３および分別装置３の分別結果を出力する出力装置
４とで構成されている。
【００１１】被検査体１０はＸ−Ｙステージ２１上に載
置され、Ｘ−Ｙステージ２１はＸ−Ｙステージコントロ
ーラ２２に接続されている。Ｘ−Ｙステージコントロー
ラ２２の制御により、Ｘ−Ｙステージ２１を介して被検
査体１０をＸ軸またはＹ軸の方向に所定距離移動させる
ことができる。一方、Ｘ−Ｙステージ２１の上方には被
検査体１０の表面（被検面）を光学的に拡大する光学顕
微鏡２３が配設され、光学顕微鏡２３の上には被検面を
光学顕微鏡２３の光軸と同軸で照射する照明光源２４を
介して工業用テレビカメラ（以下、ＩＴＶカメラとい
う）２５が接続されている。照明光源２４によって照射
された被検面は光学顕微鏡２３によって所定の倍率に拡
大され、この画像がＩＴＶカメラ２５によって撮像さ
れ、映像信号に変換されるようになっている。また光学
顕微鏡２３はオートフォーカスコントローラ２６に接続
されており、このオートフォーカスコントローラ２６の
制御によって、被検面に関する光学顕微鏡２３の焦点が
自動調整されるようになっている。すなわち、本発明に
係る非金属介在物の検査装置１の撮像装置２は、前記の
Ｘ−Ｙステージ２１、光学顕微鏡２３、ＩＴＶカメラ２
５などから構成されたものである。
置され、Ｘ−Ｙステージ２１はＸ−Ｙステージコントロ
ーラ２２に接続されている。Ｘ−Ｙステージコントロー
ラ２２の制御により、Ｘ−Ｙステージ２１を介して被検
査体１０をＸ軸またはＹ軸の方向に所定距離移動させる
ことができる。一方、Ｘ−Ｙステージ２１の上方には被
検査体１０の表面（被検面）を光学的に拡大する光学顕
微鏡２３が配設され、光学顕微鏡２３の上には被検面を
光学顕微鏡２３の光軸と同軸で照射する照明光源２４を
介して工業用テレビカメラ（以下、ＩＴＶカメラとい
う）２５が接続されている。照明光源２４によって照射
された被検面は光学顕微鏡２３によって所定の倍率に拡
大され、この画像がＩＴＶカメラ２５によって撮像さ
れ、映像信号に変換されるようになっている。また光学
顕微鏡２３はオートフォーカスコントローラ２６に接続
されており、このオートフォーカスコントローラ２６の
制御によって、被検面に関する光学顕微鏡２３の焦点が
自動調整されるようになっている。すなわち、本発明に
係る非金属介在物の検査装置１の撮像装置２は、前記の
Ｘ−Ｙステージ２１、光学顕微鏡２３、ＩＴＶカメラ２
５などから構成されたものである。
【００１２】ＩＴＶカメラ２５はＡ／Ｄ変換器３１ａな
どを含んで構成された画像処理装置３１に接続されてお
り、ＩＴＶカメラ２５により撮像・変換された画面単位
における一連のアナログ信号が画像処理装置３１におい
て多値化された一連のデジタル信号に変換される。画像
処理装置３１はコンピュータ３２ａ、メモリ３２ｂ、算
出手段３２ｃ、比較判定手段３２ｄなどを含んで構成さ
れた情報処理装置３２に接続され、情報処理装置３２は
Ｘ−Ｙステージコントローラ２２とオートフォーカスコ
ントローラ２６にも接続している。そして情報処理装置
３２によって上記のＸ−Ｙステージコントローラ２２と
オートフォーカスコントローラ２６が制御され、また画
像処理装置３１からの映像信号の取り込み指示が行われ
ると共に、画面単位における一連のデジタル信号デー
タ、予め設定された非金属介在物の分類データ、敷居値
ＫC0、σC0などが記憶されるようになっている。
どを含んで構成された画像処理装置３１に接続されてお
り、ＩＴＶカメラ２５により撮像・変換された画面単位
における一連のアナログ信号が画像処理装置３１におい
て多値化された一連のデジタル信号に変換される。画像
処理装置３１はコンピュータ３２ａ、メモリ３２ｂ、算
出手段３２ｃ、比較判定手段３２ｄなどを含んで構成さ
れた情報処理装置３２に接続され、情報処理装置３２は
Ｘ−Ｙステージコントローラ２２とオートフォーカスコ
ントローラ２６にも接続している。そして情報処理装置
３２によって上記のＸ−Ｙステージコントローラ２２と
オートフォーカスコントローラ２６が制御され、また画
像処理装置３１からの映像信号の取り込み指示が行われ
ると共に、画面単位における一連のデジタル信号デー
タ、予め設定された非金属介在物の分類データ、敷居値
ＫC0、σC0などが記憶されるようになっている。
【００１３】算出手段３２ｃによって対象物（測定物）
の形状度としての形状係数Ｋと周囲点外角標準偏差σと
が算出され、比較判定手段３２ｄにより前記の算出され
た形状係数Ｋ、周囲点外角標準偏差σが敷居値ＫC0、σ
C0とそれぞれ比較され、対象物が非金属介在物であるか
非金属介在物誤認要因であるかが判定される。すなわ
ち、本発明に係る非金属介在物の検査装置１の分別装置
３は、前記の画像処理装置３１、情報処理装置３２など
から構成されている。
の形状度としての形状係数Ｋと周囲点外角標準偏差σと
が算出され、比較判定手段３２ｄにより前記の算出され
た形状係数Ｋ、周囲点外角標準偏差σが敷居値ＫC0、σ
C0とそれぞれ比較され、対象物が非金属介在物であるか
非金属介在物誤認要因であるかが判定される。すなわ
ち、本発明に係る非金属介在物の検査装置１の分別装置
３は、前記の画像処理装置３１、情報処理装置３２など
から構成されている。
【００１４】画像処理装置３１はそこで画像処理された
画像の表示を行う画像モニタ４１および画像処理された
画像のハードコピーを出力するビデオプリンタ４２に接
続されており、撮像装置２によって撮像された映像が画
像モニタ４１およびビデオプリンタ４２に出力されるよ
うになっている。また情報処理装置３２はそこで処理さ
れたデータの表示を行うモニタディスプレイ４３および
処理された測定データなどの印字を行うプリンタ４４に
接続され、情報処理装置３２によって処理された検査結
果などが出力されるようになっている。すなわち、本発
明に係る非金属介在物の検査装置１の出力装置４は、前
記の画像モニタ４１、モニタディスプレイ４３などから
構成されたものである。
画像の表示を行う画像モニタ４１および画像処理された
画像のハードコピーを出力するビデオプリンタ４２に接
続されており、撮像装置２によって撮像された映像が画
像モニタ４１およびビデオプリンタ４２に出力されるよ
うになっている。また情報処理装置３２はそこで処理さ
れたデータの表示を行うモニタディスプレイ４３および
処理された測定データなどの印字を行うプリンタ４４に
接続され、情報処理装置３２によって処理された検査結
果などが出力されるようになっている。すなわち、本発
明に係る非金属介在物の検査装置１の出力装置４は、前
記の画像モニタ４１、モニタディスプレイ４３などから
構成されたものである。
【００１５】そして前記撮像装置２、分別装置３、出力
装置４により非金属介在物の検査装置１が構成されてい
る。
装置４により非金属介在物の検査装置１が構成されてい
る。
【００１６】次に、上記のように構成された非金属介在
物の検査装置１を用いて被検査体１０の表面（被検面）
を撮像し、撮像された対象物が非金属介在物であるか、
あるいは非金属介在物誤認要因であるかを分別した後、
非金属介在物の定量解析を行う際の基本動作を下記〜
で説明する。このうち特に、分別装置３を構成する情
報処理装置３２の動作手順を取り出し、図２にフローチ
ャート化して示す。なお、図２中のなどの数字は、下
記の説明の番号と対応するものである。
物の検査装置１を用いて被検査体１０の表面（被検面）
を撮像し、撮像された対象物が非金属介在物であるか、
あるいは非金属介在物誤認要因であるかを分別した後、
非金属介在物の定量解析を行う際の基本動作を下記〜
で説明する。このうち特に、分別装置３を構成する情
報処理装置３２の動作手順を取り出し、図２にフローチ
ャート化して示す。なお、図２中のなどの数字は、下
記の説明の番号と対応するものである。
【００１７】先ず、撮像装置２により被検査体１０の
被検面が撮像され、画素単位でサンプリングされた多値
画像が分別装置３の構成要素である画像処理装置３１に
転送される。
被検面が撮像され、画素単位でサンプリングされた多値
画像が分別装置３の構成要素である画像処理装置３１に
転送される。
【００１８】画像処理装置３１では撮像データがＡ／
Ｄ変換器３１ａによって、例えば８ビット（２５６階
調）で量子化され、対象物（１つの非金属介在物あるい
は非金属介在物誤認要因）のデジタル画像が分別装置３
を構成する情報処理装置３２のメモリ３２ｂに入力され
る。
Ｄ変換器３１ａによって、例えば８ビット（２５６階
調）で量子化され、対象物（１つの非金属介在物あるい
は非金属介在物誤認要因）のデジタル画像が分別装置３
を構成する情報処理装置３２のメモリ３２ｂに入力され
る。
【００１９】情報処理装置３２を構成するコンピュー
タ３２ａにおいて、メモリ３２ｂに入力された対象物の
デジタル画像（デジタル信号）が取り出される。
タ３２ａにおいて、メモリ３２ｂに入力された対象物の
デジタル画像（デジタル信号）が取り出される。
【００２０】次いで、情報処理装置３２の算出手段３
２ｃによって、対象物デジタル画像から形状係数Ｋが算
出される。なお、ここでいう形状係数Ｋとは凸凹の度合
いを表す形状係数のことをいい、下記の式によって求め
られる「等周不等式による円形度係数の逆数」のことで
ある。
２ｃによって、対象物デジタル画像から形状係数Ｋが算
出される。なお、ここでいう形状係数Ｋとは凸凹の度合
いを表す形状係数のことをいい、下記の式によって求め
られる「等周不等式による円形度係数の逆数」のことで
ある。
【００２１】Ｋ＝（周囲長）2 ／（４π×面積の和） 図３に示すように、Ｋが１にほとんど等しい（ニヤリイ
コール）場合は円、Ｋが１より大きい場合は楕円、Ｋが
１より非常に大きい場合は不規則形状であって、Ｋの値
が１から離れるほど凸凹の度合いは大きくなる。
コール）場合は円、Ｋが１より大きい場合は楕円、Ｋが
１より非常に大きい場合は不規則形状であって、Ｋの値
が１から離れるほど凸凹の度合いは大きくなる。
【００２２】同じく情報処理装置３２を構成する算出
手段３２ｃによって、対象物デジタル画像から周囲点外
角Ａ1 、Ａ2 、・・・が求められ、次いでその周囲点外
角の標準偏差σが算出される。図４に周囲点外角の概念
図を示す。
手段３２ｃによって、対象物デジタル画像から周囲点外
角Ａ1 、Ａ2 、・・・が求められ、次いでその周囲点外
角の標準偏差σが算出される。図４に周囲点外角の概念
図を示す。
【００２３】なお、周囲点外角Ａn は下記（ａ）〜
（ｅ）の手順によって求められる（図４参照）。
（ｅ）の手順によって求められる（図４参照）。
【００２４】（ａ）対象物における最大間隔（最大長
さ）を直径とする円を求め、前記の最大間隔となる２点
を通る直径をＸ軸と定める。
さ）を直径とする円を求め、前記の最大間隔となる２点
を通る直径をＸ軸と定める。
【００２５】（ｂ）上記の円の中心座標を（Ｘ0 、
Ｙ0 ）とし、円を中心座標（Ｘ0 、Ｙ0 ）を通る線でｎ
等分し、円周と交わる点Ｂn のＸ座標Ｘn を求める。こ
こで、ｎの値は任意に設定して良いが、大きすぎると処
理時間が長くなるし、逆に小さすぎると精度が悪くなる
ので、１２〜１６程度の値とすれば良い。以下、本明細
書においては、一例としてｎ＝１２とした場合について
述べることにする。
Ｙ0 ）とし、円を中心座標（Ｘ0 、Ｙ0 ）を通る線でｎ
等分し、円周と交わる点Ｂn のＸ座標Ｘn を求める。こ
こで、ｎの値は任意に設定して良いが、大きすぎると処
理時間が長くなるし、逆に小さすぎると精度が悪くなる
ので、１２〜１６程度の値とすれば良い。以下、本明細
書においては、一例としてｎ＝１２とした場合について
述べることにする。
【００２６】（ｃ）点Ｂn からＸ軸に垂線を下ろし、対
象物と交わった点Ｃn のＹ座標Ｙn を求める（ｎ＝１〜
１２）。
象物と交わった点Ｃn のＹ座標Ｙn を求める（ｎ＝１〜
１２）。
【００２７】（ｄ）対象物座標である点Ｃn （Ｘn 、Ｙ
n ）における対象物の接線が上記の点Ｂn からＸ軸に下
ろした垂線となす角度Ａn を順次求める（ｎ＝１〜１
２）。ここで点Ｃn の存在する象限に拘らず角度Ａn と
して、０〜９０度の値を採用する。
n ）における対象物の接線が上記の点Ｂn からＸ軸に下
ろした垂線となす角度Ａn を順次求める（ｎ＝１〜１
２）。ここで点Ｃn の存在する象限に拘らず角度Ａn と
して、０〜９０度の値を採用する。
【００２８】（ｅ）得られた１２点の角度Ａn （ｎ＝１
〜１２）から標準偏差σを求める。
〜１２）から標準偏差σを求める。
【００２９】上記のとで得られた形状係数Ｋと周
囲点外角標準偏差σが、情報処理装置３２を構成する比
較判定手段３２ｄによって、予め設定しておかれた非金
属介在物と非金属介在物誤認要因を分別する敷居値
ＫC0、σC0と比較されることにより、対象物は金属介在
物と非金属介在物誤認要因とに分別される。
囲点外角標準偏差σが、情報処理装置３２を構成する比
較判定手段３２ｄによって、予め設定しておかれた非金
属介在物と非金属介在物誤認要因を分別する敷居値
ＫC0、σC0と比較されることにより、対象物は金属介在
物と非金属介在物誤認要因とに分別される。
【００３０】すなわち、メモリ３２ｂに予め設定・記憶
された敷居値ＫC0、σC0が取り出された後、図２に示す
ように比較判定手段３２ｄにおいて形状係数Ｋが敷居値
ＫC0以上であるか否かが判定され、敷居値ＫC0以上でな
い、換言すれば敷居値ＫC0を下回ると判定されると、撮
像された対象物は非金属介在物誤認要因と見なされて検
査対象から除外される。一方、敷居値ＫC0以上であると
判定されると、次に周囲点外角標準偏差σが敷居値σC0
以上であるか否かが判定される。そして敷居値σC0以上
であると判定されると、撮像された対象物は介在物の特
徴が強いとして通常の検査が行われる。他方、敷居値σ
C0未満であると判定されると、撮像された対象物は非金
属介在物誤認要因と見なされて検査対象から除外され
る。
された敷居値ＫC0、σC0が取り出された後、図２に示す
ように比較判定手段３２ｄにおいて形状係数Ｋが敷居値
ＫC0以上であるか否かが判定され、敷居値ＫC0以上でな
い、換言すれば敷居値ＫC0を下回ると判定されると、撮
像された対象物は非金属介在物誤認要因と見なされて検
査対象から除外される。一方、敷居値ＫC0以上であると
判定されると、次に周囲点外角標準偏差σが敷居値σC0
以上であるか否かが判定される。そして敷居値σC0以上
であると判定されると、撮像された対象物は介在物の特
徴が強いとして通常の検査が行われる。他方、敷居値σ
C0未満であると判定されると、撮像された対象物は非金
属介在物誤認要因と見なされて検査対象から除外され
る。
【００３１】なお、表１に種々の対象物に関する形状係
数Ｋと周囲点外角標準偏差σの算出結果の一例を示す。
数Ｋと周囲点外角標準偏差σの算出結果の一例を示す。
【００３２】全対象物の内、非金属介在物に関するデ
ータだけが情報処理装置３２に入力され、非金属介在物
の定量解析が行われ、情報処理装置３２によって処理さ
れたその検査結果が出力装置４に出力される。
ータだけが情報処理装置３２に入力され、非金属介在物
の定量解析が行われ、情報処理装置３２によって処理さ
れたその検査結果が出力装置４に出力される。
【００３３】
【表１】
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る非金
属介在物の検査装置にあっては、撮像装置により撮像さ
れた画像データから対象物の形状度としての形状係数
Ｋ、周囲点外角標準偏差σを算出する算出手段、および
これら算出した形状係数Ｋ、周囲点外角標準偏差σを、
予め設定しておいた非金属介在物と非金属介在物誤認要
因とを分別する敷居値ＫC0、σC0と比較することにより
非金属介在物であるか非金属介在物誤認要因であるかを
判定する比較判定手段を含んで分別装置が構成されてお
り、前記非金属介在物と前記非金属介在物誤認要因との
形状度にはそれぞれ差異があるので、被検面上の非金属
介在物と非金属介在物誤認要因とを容易、且つ、自動的
に分別することができる。この結果、前記の非金属介在
物誤認要因を除外し、非金属介在物のみに関する測定お
よび分類が可能となり、定量解析を高速、且つ、正確に
実施することができる。
属介在物の検査装置にあっては、撮像装置により撮像さ
れた画像データから対象物の形状度としての形状係数
Ｋ、周囲点外角標準偏差σを算出する算出手段、および
これら算出した形状係数Ｋ、周囲点外角標準偏差σを、
予め設定しておいた非金属介在物と非金属介在物誤認要
因とを分別する敷居値ＫC0、σC0と比較することにより
非金属介在物であるか非金属介在物誤認要因であるかを
判定する比較判定手段を含んで分別装置が構成されてお
り、前記非金属介在物と前記非金属介在物誤認要因との
形状度にはそれぞれ差異があるので、被検面上の非金属
介在物と非金属介在物誤認要因とを容易、且つ、自動的
に分別することができる。この結果、前記の非金属介在
物誤認要因を除外し、非金属介在物のみに関する測定お
よび分類が可能となり、定量解析を高速、且つ、正確に
実施することができる。
【図１】本発明の検査装置の一例を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】本発明による検査手順を示すフロー図である。
【図３】形状係数Ｋの概念図である。
【図４】周囲点外角の概念図である。
１：非金属介在物の検査装置、 １０：被検査体、 ２：撮像装置、 ２１：Ｘ−Ｙステージ、２２：Ｘ−Ｙステージコントロ
ーラ、 ２３：光学顕微鏡、２４：照明光源、２５：ＩＴＶカメ
ラ、 ２６：オートフォーカスコントローラ、 ３：分別装置、 ３１：画像処理装置、 ３１ａ：Ａ／Ｄ変換器、 ３２：情報処理装置、 ３２ａ：コンピュータ、３２ｂ：メモリ、３２ｃ：算出
手段、 ３２ｄ：比較判定手段、 ４：出力装置、 ４１：画像モニタ、４２：ビデオプリンタ、４３：モニ
タディスプレイ、 ４４：プリンタ、
ーラ、 ２３：光学顕微鏡、２４：照明光源、２５：ＩＴＶカメ
ラ、 ２６：オートフォーカスコントローラ、 ３：分別装置、 ３１：画像処理装置、 ３１ａ：Ａ／Ｄ変換器、 ３２：情報処理装置、 ３２ａ：コンピュータ、３２ｂ：メモリ、３２ｃ：算出
手段、 ３２ｄ：比較判定手段、 ４：出力装置、 ４１：画像モニタ、４２：ビデオプリンタ、４３：モニ
タディスプレイ、 ４４：プリンタ、
Claims (1)
- 【請求項１】被検査体を撮像する撮像装置と、その撮像
装置の撮像結果に基づいて被検査体中の非金属介在物と
非金属介在物誤認要因とを分別する分別装置と、その分
別装置の分別結果を出力する出力装置とで構成される非
金属介在物の検査装置であって、上記分別装置が、前記
撮像装置により撮像された画像データから対象物の形状
度としての形状係数Ｋおよび周囲点外角標準偏差σを算
出する算出手段、ならびにこれら算出した形状係数Ｋお
よび周囲点外角標準偏差σを、予め設定しておいた非金
属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する敷居値Ｋ
C0、σC0と比較することにより非金属介在物であるか非
金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判定手段を
備えることを特徴とする非金属介在物の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7179282A JP2924718B2 (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | 非金属介在物の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7179282A JP2924718B2 (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | 非金属介在物の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0933516A JPH0933516A (ja) | 1997-02-07 |
| JP2924718B2 true JP2924718B2 (ja) | 1999-07-26 |
Family
ID=16063115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7179282A Expired - Fee Related JP2924718B2 (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | 非金属介在物の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2924718B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8530790B2 (en) | 2005-09-12 | 2013-09-10 | Lincoln Global, Inc. | Method for extracting non-metallic weld metal inclusions |
| CN114558881B (zh) * | 2022-03-10 | 2022-12-09 | 广东省车汇莱再生物资回收有限公司 | 一种基于智能化的新能源报废汽车资源化回收系统 |
-
1995
- 1995-07-17 JP JP7179282A patent/JP2924718B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0933516A (ja) | 1997-02-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2006090921A (ja) | 外観検査装置、閾値決定方法、外観検査方法、およびコンピュータを外観検査装置として機能させるためのプログラム | |
| JP2924718B2 (ja) | 非金属介在物の検査装置 | |
| JP2008135568A (ja) | 欠陥レビュー方法および装置 | |
| JPH03171375A (ja) | 組立ラインにおける対象物の検知方法及び装置 | |
| JPH09281055A (ja) | 欠け検査方法 | |
| JP3869905B2 (ja) | 金属材料中の非金属介在物検査方法および装置 | |
| JPH09189528A (ja) | パターン欠陥検出方法とその装置 | |
| JP2001314374A (ja) | 角膜内皮細胞測定装置 | |
| EP0599335A2 (en) | Cylindrical container inner surface tester | |
| JPS6347642A (ja) | 表面探傷における欠陥種類弁別方法 | |
| JP2009236593A (ja) | 外観検査支援装置 | |
| JPH04121647A (ja) | 金属缶端部の外観検査方法及び装置 | |
| JPH11101750A (ja) | 異物検出方法 | |
| JPH08145984A (ja) | 非金属介在物の検査装置 | |
| JP2638121B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP2003294639A (ja) | 非金属介在物の自動検査方法及び装置 | |
| JPH06294748A (ja) | Ｕｏ鋼管の溶接部表面疵検査方法 | |
| JPH1062357A (ja) | 非金属介在物の検査装置 | |
| JP3435224B2 (ja) | 非金属介在物の検査装置 | |
| JPH0627037A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| CN109175763B (zh) | 一种埋弧焊钢管焊缝焊偏量参数的检测仪 | |
| JPH0781962B2 (ja) | 異物検出方法 | |
| JPH05264240A (ja) | 外観検査装置 | |
| CN115876775A (zh) | 检查装置及检查方法 | |
| JPH0687045B2 (ja) | 透明物体のピット自動検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |