JP2923804B2 - 試料吸着保持装置 - Google Patents

試料吸着保持装置

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は加熱手段を有するステージ上に試料を真空吸
着で保持する試料吸着保持装置に関する。
〔従来の技術〕
例えば、ボンデイング装置においては、基板、リード
フレーム等の試料を加熱手段を備えたステージ上に載置
し、このステージを真空吸着で保持し、ワイヤボンデイ
ング又はチップボンデイングを行っている。
なお、この種の装置として、例えば実公昭57-49388号
公報があげられる。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、ステージで加熱された高温のエアを
真空ポンプで吸引するので、高温のエアが真空ポンプに
入り、故障するという問題点があった。またパイプは、
高価な耐熱パイプを使用しなければならなかった。
本発明の目的は、真空ポンプの損傷を防止することが
できる試料吸着保持装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、ステージと真空ポンプを
連結するパイプの途中にエア冷却装置を設けたものであ
る。
〔作用〕
ステージによって加熱されたエアは、エア冷却装置に
よって冷却されて真空ポンプに入るので、真空ポンプの
損傷は防止される。またエア冷却装置以降のパイプは、
常温使用のパイプを用いてもよい。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第４図により説
明する。第１図及び第２図に示すように、スタンド１上
には、試料２を保持するステージ３が固定されている。
ステージ３は、ヒータ（図示せず）を内蔵したヒートブ
ロック４と、試料２を載置するホットプレート５とから
なっており、該ステージ３には、パイプ６、７に連通
し、試料２を真空吸着するための吸着孔等（図示せず）
が形成されている。以上は、公知の構造であるので、こ
れ以上の説明は省略する。
前記パイプ６、７は、ジョイント10を介してパイプ11
に連結され、パイプ11は、ジョイント12を介してエア冷
却装置20の入口側パイプ13に連結されている。エア冷却
装置20の出口側パイプ14は、ジョイント15を介してパイ
プ16とつながり、パイプ16は、真空ポンプ17に連結され
ている。
前記エア冷却装置20は、第３図及び第４図に示すよう
な構造となっている。フアン21が固定されたフアン取付
体22上には、円筒状の外側筒体23が固定されており、外
側筒体23上には、排気筒体24が固定されている。外側筒
体23内には、円筒状よりなる内側熱遮蔽板25及び外側熱
遮蔽板26とが配設されている。内側熱遮蔽板25と外側熱
遮蔽板26とは、上端部が連結板27に固定されており、連
結板27は前記排気筒体24に固定されている。
前記内側熱遮蔽板25及び外側熱遮蔽板26の外側には、
それぞれ螺旋状に巻かれたパイプ30及び31が配設され、
パイプ30と31の上端部は、パイプ32に連結されている。
前記パイプ30の下端部は、前記入口側パイプ13にジョイ
ント33を介して固定され、前記パイプ31の下端部は、前
記出口側パイプ14にジョイント34を介して連結されてい
る。
従って、真空ポンプ17が作動すると、ステージ３によ
って加熱されたエアは、パイプ６、７、11を通ってエア
冷却装置20の入口側パイプ13内に入る。この入口側パイ
プ13に入ると、内側熱遮蔽板25の下方より上部まで螺旋
状に進み、更にパイプ32を通って外側熱遮蔽板26の上部
より下部に螺旋状に下りてパイプ16に入る。
前記のように、加熱エアがパイプ30、31を通る間に、
加熱エアはフアン21によって下方から上方にブローさ
れ、その熱は排気筒体24より外部に放出される。これに
より、出口側パイプ14の真空エアは、常温とほぼ同温度
まで下がってパイプ16に入り、このパイプ16を通った冷
却エアが真空ポンプ17に入る。
このように、ステージ３により加熱された真空エア
は、エア冷却装置20によって冷却されて真空ポンプ17に
入るので、真空ポンプ17の損傷が防止される。またエア
冷却装置20後の出口側パイプ14、パイプ16は、常温仕様
のポリウレタンチューブ等を使用することができる。
また本実施例に示すように、パイプ30、31を螺旋状と
し、往路のパイプ30と復路のパイプ31の２重構造とし、
これらのパイプ30、31をフアン21で強制空冷すると、小
さな容積で空冷効果をより効果的に行うことができる。
更に、本実施例に示すように、パイプ30、31が密着す
るように内側熱遮蔽板25、外側熱遮蔽板26を配設する
と、パイプ30、31の熱は内側熱遮蔽板25、外側熱遮蔽板
26に伝達されてより冷却効果が高められ、更に外側熱遮
蔽板26は内側のパイプ30の熱を外側のパイプ31に伝えな
い効果がある。
第５図はエア冷却装置20の他の実施例を示す。前記実
施例に示す入口側パイプ13、出口側パイプ14は、冷却ボ
ックス40の上部及び下部に取り付けられている。冷却ボ
ックス40内は、エアの流れを蛇行させるように複数の仕
切板41が固定されている。また冷却ボックス40の外側に
は、冷却エアボックス42が配設され、この冷却エアボッ
クス42の上部には排気口42aが形成され、更に冷却エア
ボックス42の下部には冷却ボックス40の外周を冷却する
フアン21が取り付けられている。
このように、エア冷却装置20を構成しても、前記実施
例とほぼ同様の効果が得られる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、ステージにより加熱された真空エア
は、エア冷却装置によって冷却されて真空ポンプに入る
ので、真空ポンプの損傷が防止される。またエア冷却装
置後のパイプは、常温仕様のポリウレタンチューブ等を
使用することもできる。
またエア冷却装置に設けたパイプを螺旋状とし、往路
のパイプと復路のパイプの２重構造とし、これらのパイ
プをフアンで強制空冷すると、小さな容積で空冷効果を
より効果的に行うことができる。
更に、前記パイプが密着するように熱遮蔽板を配設す
ると、パイプの熱は熱遮蔽板に伝達されてより冷却効果
が高められる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図の平面図、第３図はエア冷却装置の断面図、第４図は
第３図のA-A線矢視図、第５図はエア冷却装置の他の実
施例を示す概略構成断面図である。 2:試料、3:ステージ、６、７、11、13、14、16:パイ
プ、17:真空ポンプ、20:エア冷却装置、21:フアン、25:
内側熱遮蔽板、26:外側熱遮蔽板、30、31:パイプ、40:
冷却ボックス、41:仕切板。

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】試料を、加熱手段を備えたステージ上に真
    空ポンプによる真空吸着によって保持する試料吸着保持
    装置において、前記ステージと前記真空ポンプを連結す
    るパイプの途中にエア冷却装置を設けたことを特徴とす
    る試料吸着保持装置。
  2. 【請求項２】前記エア冷却装置は、真空エアが通る螺旋
    状に巻かれたパイプと、このパイプを強制冷却するため
    のフアンとからなることを特徴とする請求項１記載の試
    料吸着保持装置。
  3. 【請求項３】前記螺旋状のパイプは、往路と復路の２重
    構造よりなることを特徴とする請求項２記載の試料吸着
    保持装置。
  4. 【請求項４】前記螺旋状のパイプは、熱遮蔽板の外側に
    配設されていることを特徴とする請求項２又は３記載の
    試料吸着保持装置。
  5. 【請求項５】前記エア冷却装置は、真空エアの流れを蛇
    行させるように仕切板で仕切られた冷却ボックスと、こ
    の冷却ボックスを強制冷却するためのフアンとからなる
    ことを特徴とする請求項１記載の試料吸着保持装置。
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