JP2920135B2 - 賦活時間を短縮した蒸発型ゲッタ装置 - Google Patents
賦活時間を短縮した蒸発型ゲッタ装置Info
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- JP2920135B2 JP2920135B2 JP2788098A JP2788098A JP2920135B2 JP 2920135 B2 JP2920135 B2 JP 2920135B2 JP 2788098 A JP2788098 A JP 2788098A JP 2788098 A JP2788098 A JP 2788098A JP 2920135 B2 JP2920135 B2 JP 2920135B2
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- nickel
- barium
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- baal
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
- H01J7/183—Composition or manufacture of getters
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Fats And Perfumes (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Thermal Insulation (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、賦活時間を短縮
した蒸発型ゲッタ装置に関する。
した蒸発型ゲッタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、ゲッタ材料は長時間にわ
たって真空を維持することが必要とされるすべての用途
において用いられている。特に、慣用の陰極線管（ブラ
ウン管）タイプ又はフラットスクリーンタイプの受像管
（キネスコープ）は、排気後に受像管中に残留したりそ
の構成材料のガス抜きから生じたりすることがある痕跡
ガスを固定することを目的とするゲッタ材料を含有す
る。
たって真空を維持することが必要とされるすべての用途
において用いられている。特に、慣用の陰極線管（ブラ
ウン管）タイプ又はフラットスクリーンタイプの受像管
（キネスコープ）は、排気後に受像管中に残留したりそ
の構成材料のガス抜きから生じたりすることがある痕跡
ガスを固定することを目的とするゲッタ材料を含有す
る。
【０００３】受像管において最も一般的に用いられてい
るゲッタ材料は金属バリウムであり、これは、受像管の
内壁上に薄フィルムの形で付着される。バリウムフィル
ムは、受像管がすでに排気され且つ密封シールされてい
る場合にのみ製造することができる。従って、当技術分
野において蒸発型ゲッタとして知られていて、バリウム
とアルミニウムとの化合物ＢａＡｌ4 の粉末及びニッケ
ルＮｉの粉末を約１：１の重量比で存在させた開放型金
属容器によって形成された装置が用いられる。このタイ
プの装置は当技術分野においてよく知られている。この
関係においては、例えば本出願人に係る米国特許第５１
１８９８８号明細書を参照されたい。受像管が排気され
てシールされたら、この装置は、バリウムの蒸発が行な
われる賦活プロセスにおいて、同じ受像管の外側に配置
されたコイルによって誘導加熱される。この加熱は特に
金属容器上で行なわれ、これがその中に含有された粉末
パケットに熱を移動させる。粉末の温度が約８００℃の
値に到達した時に、この反応が起こる： ＢａＡｌ4 ＋４Ｎｉ→Ｂａ＋４ＮｉＡｌ （Ｉ）
るゲッタ材料は金属バリウムであり、これは、受像管の
内壁上に薄フィルムの形で付着される。バリウムフィル
ムは、受像管がすでに排気され且つ密封シールされてい
る場合にのみ製造することができる。従って、当技術分
野において蒸発型ゲッタとして知られていて、バリウム
とアルミニウムとの化合物ＢａＡｌ4 の粉末及びニッケ
ルＮｉの粉末を約１：１の重量比で存在させた開放型金
属容器によって形成された装置が用いられる。このタイ
プの装置は当技術分野においてよく知られている。この
関係においては、例えば本出願人に係る米国特許第５１
１８９８８号明細書を参照されたい。受像管が排気され
てシールされたら、この装置は、バリウムの蒸発が行な
われる賦活プロセスにおいて、同じ受像管の外側に配置
されたコイルによって誘導加熱される。この加熱は特に
金属容器上で行なわれ、これがその中に含有された粉末
パケットに熱を移動させる。粉末の温度が約８００℃の
値に到達した時に、この反応が起こる： ＢａＡｌ4 ＋４Ｎｉ→Ｂａ＋４ＮｉＡｌ （Ｉ）
【０００４】この反応は強発熱性であり、粉末の温度を
約１２００℃に到達させ、その温度においてバリウムの
蒸発が引き起こされ、バリウムが受像管壁上で昇華し、
それによって金属フィルムを形成する。粉末パケットに
おいて良好な反応性を得るためには、ＢａＡｌ4 化合物
を約２５０μｍよりも小さい粒子寸法を持つ粉末の形で
用いる。ニッケルは通常３０μｍよりも小さい粒子寸法
を有するが、もっと大きい約５０μｍまでの粒子寸法を
持つ粉末が少量混入していてもよい。ニッケル粉末の形
態はゲッタ装置の様々な製造業者の間で異なっており、
時には同じ製造業者が異なるゲッタ装置のために異なる
タイプのニッケルを用いることもあるが、しかし現在市
場に出ているどのゲッタ装置も常に一つの形のニッケル
のみを含有する。最も多く用いられている形態は、本質
的に球状であり、その粒子が平たい表面を持つ丸められ
た形及び模樹石状の形態を有し、比表面積（単位重量当
たりの表面積）が大きいことを特徴とするものである。
約１２００℃に到達させ、その温度においてバリウムの
蒸発が引き起こされ、バリウムが受像管壁上で昇華し、
それによって金属フィルムを形成する。粉末パケットに
おいて良好な反応性を得るためには、ＢａＡｌ4 化合物
を約２５０μｍよりも小さい粒子寸法を持つ粉末の形で
用いる。ニッケルは通常３０μｍよりも小さい粒子寸法
を有するが、もっと大きい約５０μｍまでの粒子寸法を
持つ粉末が少量混入していてもよい。ニッケル粉末の形
態はゲッタ装置の様々な製造業者の間で異なっており、
時には同じ製造業者が異なるゲッタ装置のために異なる
タイプのニッケルを用いることもあるが、しかし現在市
場に出ているどのゲッタ装置も常に一つの形のニッケル
のみを含有する。最も多く用いられている形態は、本質
的に球状であり、その粒子が平たい表面を持つ丸められ
た形及び模樹石状の形態を有し、比表面積（単位重量当
たりの表面積）が大きいことを特徴とするものである。
【０００５】コイルによる装置へのエネルギーの供給が
開始された時点から計って予め決定された量のバリウム
を装置から蒸発させるのに必要な賦活時間が、通常当技
術分野において「合計時間」と定義され、以下の説明及
び特許請求の範囲において用いられ、また、「ＴＴ」と
いう短縮した形でも用いる。
開始された時点から計って予め決定された量のバリウム
を装置から蒸発させるのに必要な賦活時間が、通常当技
術分野において「合計時間」と定義され、以下の説明及
び特許請求の範囲において用いられ、また、「ＴＴ」と
いう短縮した形でも用いる。
【０００６】近代的なカラーの受像管は、その作働のた
めにフィルムの形の約３００ｍｇまでのバリウムを必要
とすることがある。現在の技術状況においては、このよ
うな量のバリウムを蒸発させるためのＴＴは約４０秒で
ある。この時間はプロセスを遅らせてしまい、受像管の
ための現代的な生産方法においては「あい路（ネッ
ク）」に相当し、従って、同じ量のバリウムを蒸発させ
るために必要とするＴＴが現行の装置と比較して短縮さ
れたゲッタ装置を得ることが市場の要望となっている。
めにフィルムの形の約３００ｍｇまでのバリウムを必要
とすることがある。現在の技術状況においては、このよ
うな量のバリウムを蒸発させるためのＴＴは約４０秒で
ある。この時間はプロセスを遅らせてしまい、受像管の
ための現代的な生産方法においては「あい路（ネッ
ク）」に相当し、従って、同じ量のバリウムを蒸発させ
るために必要とするＴＴが現行の装置と比較して短縮さ
れたゲッタ装置を得ることが市場の要望となっている。
【０００７】原理上は、コイルによって供給される電力
を大きくしたり、粉末の粒子寸法を小さくすることによ
って粉末の反応性を高めたりすれば、この結果を達成す
ることができそうに思える。
を大きくしたり、粉末の粒子寸法を小さくすることによ
って粉末の反応性を高めたりすれば、この結果を達成す
ることができそうに思える。
【０００８】しかしながら、現行のゲッタ装置では、コ
イルの電力を大きくすることができない。実際、これを
行なうと、粉末の容器が加熱されるのが早すぎてしま
い、その熱が粉末パケットに伝えられるための時間がな
く、容器に直接的に接する粉末の温度がパケットの残り
の部分における温度よりも高くなってしまう。容器に接
した粉末においてＢａＡｌ４とＮｉとの間の反応が始ま
り、粉末パケットのこの領域において生産されるバリウ
ム蒸気の圧力が粉末パケットの上昇（膨潤）を引き起こ
す。このことは、フラグメントを追い出してしまう（こ
れはむしろ受像管の作働を損なわせることがないように
絶対に防止しなければならないことである）可能性及び
いずれにしてもバリウム蒸発の減少を伴う。
イルの電力を大きくすることができない。実際、これを
行なうと、粉末の容器が加熱されるのが早すぎてしま
い、その熱が粉末パケットに伝えられるための時間がな
く、容器に直接的に接する粉末の温度がパケットの残り
の部分における温度よりも高くなってしまう。容器に接
した粉末においてＢａＡｌ４とＮｉとの間の反応が始ま
り、粉末パケットのこの領域において生産されるバリウ
ム蒸気の圧力が粉末パケットの上昇（膨潤）を引き起こ
す。このことは、フラグメントを追い出してしまう（こ
れはむしろ受像管の作働を損なわせることがないように
絶対に防止しなければならないことである）可能性及び
いずれにしてもバリウム蒸発の減少を伴う。
【０００９】また、粉末の粒子寸法を小さくするという
手段も、ＢａＡｌ４とＮｉとの間の反応速度の過度の且
つ局所的な増大をも引き起こさせ、その結果、パケット
の上昇をもたらす。
手段も、ＢａＡｌ４とＮｉとの間の反応速度の過度の且
つ局所的な増大をも引き起こさせ、その結果、パケット
の上昇をもたらす。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、既知
の技術の欠点を示さずに賦活時間が短縮された蒸発型ゲ
ッタ装置を提供することにある。
の技術の欠点を示さずに賦活時間が短縮された蒸発型ゲ
ッタ装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】かかる目的は、本発明に
従って達成される。本発明は、ＢａＡｌ4 粉末及びニッ
ケル粉末を存在させた金属容器を含み、ニッケル粉末が
２つの異なる形態の粒子の混合物によって構成され、第
一の形態が本質的に球状であり、第二の形態が模樹石状
であり、２つの形状のニッケルの間の重量比が約４：１
〜１：２．５の範囲であることができることを特徴とす
る蒸発型ゲッタ装置に関する。
従って達成される。本発明は、ＢａＡｌ4 粉末及びニッ
ケル粉末を存在させた金属容器を含み、ニッケル粉末が
２つの異なる形態の粒子の混合物によって構成され、第
一の形態が本質的に球状であり、第二の形態が模樹石状
であり、２つの形状のニッケルの間の重量比が約４：１
〜１：２．５の範囲であることができることを特徴とす
る蒸発型ゲッタ装置に関する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。図１は、本質的に球状形態のニッケル粉
末のサンプルの顕微鏡写真である。図２は、模樹石状形
態のニッケル粉末のサンプルの、図１の写真と同じ拡大
率の顕微鏡写真である。
細に説明する。図１は、本質的に球状形態のニッケル粉
末のサンプルの顕微鏡写真である。図２は、模樹石状形
態のニッケル粉末のサンプルの、図１の写真と同じ拡大
率の顕微鏡写真である。
【００１３】前記の２つの形態のニッケル粉末の混合物
を用いることによって、過度に強い反応という前記の問
題点を引き起こすことなく同じ量のバリウムを蒸発させ
るためＴＴを約２５〜３０％短縮することができるとい
うことがわかった。
を用いることによって、過度に強い反応という前記の問
題点を引き起こすことなく同じ量のバリウムを蒸発させ
るためＴＴを約２５〜３０％短縮することができるとい
うことがわかった。
【００１４】本質的に球状形態のニッケル粒子と模樹石
状形態のニッケル粒子との間の重量比は、約４：１〜
１：２．５の範囲とすることができる。ＢａＡｌ4 化合
物をさらに含む粉末パケットは機械整合性が劣るので
４：１よりも大きい比はゲッタ装置生産における問題点
を引き起こす。他方、前記の比が１：２．５よりも小さ
いと、ＴＴは少ししか短縮することができない。従っ
て、２つの形状のニッケルの間の重量比が約１：１であ
る混合物を用いるのが好ましい。
状形態のニッケル粒子との間の重量比は、約４：１〜
１：２．５の範囲とすることができる。ＢａＡｌ4 化合
物をさらに含む粉末パケットは機械整合性が劣るので
４：１よりも大きい比はゲッタ装置生産における問題点
を引き起こす。他方、前記の比が１：２．５よりも小さ
いと、ＴＴは少ししか短縮することができない。従っ
て、２つの形状のニッケルの間の重量比が約１：１であ
る混合物を用いるのが好ましい。
【００１５】ニッケルは、約５０μｍよりも小さい、好
ましくは約２０μｍよりも小さい粒子寸法を有する。さ
らに、本質的に球状形態のニッケルが約１０〜１８μｍ
の範囲の粒子寸法を有する場合に最良の結果が得られる
ということがわかった。
ましくは約２０μｍよりも小さい粒子寸法を有する。さ
らに、本質的に球状形態のニッケルが約１０〜１８μｍ
の範囲の粒子寸法を有する場合に最良の結果が得られる
ということがわかった。
【００１６】模樹石状形態のニッケルは、市場で入手可
能である。例えば、カナダ国オンタリオ州シェリダンパ
ークのＩＮＣＯ社（company)はカタログ番号Ｔ−１２３
及びＴ−１２８で２つの異なる粒子寸法の模樹石状ニッ
ケルを商品化している。
能である。例えば、カナダ国オンタリオ州シェリダンパ
ークのＩＮＣＯ社（company)はカタログ番号Ｔ−１２３
及びＴ−１２８で２つの異なる粒子寸法の模樹石状ニッ
ケルを商品化している。
【００１７】本質的に球状形態のニッケルは、市場で、
例えば前記のＩＮＣＯ社から見出すことができる。ま
た、このニッケルは、任意の形態及び所望の粒子寸法よ
りも僅かに大きい粒子寸法を有するニッケルから「ジェ
ットミル」と称される技術によって得ることもできる。
この技術は、粉砕室中に粉末をキャリヤーガス中の流で
高速で導入することから成る。粉末粒子は、別の粒子と
の衝突によって又はそれらの軌道中に挿入された障害物
によって、寸法が小さくなり、且つその表面が丸くな
る。
例えば前記のＩＮＣＯ社から見出すことができる。ま
た、このニッケルは、任意の形態及び所望の粒子寸法よ
りも僅かに大きい粒子寸法を有するニッケルから「ジェ
ットミル」と称される技術によって得ることもできる。
この技術は、粉砕室中に粉末をキャリヤーガス中の流で
高速で導入することから成る。粉末粒子は、別の粒子と
の衝突によって又はそれらの軌道中に挿入された障害物
によって、寸法が小さくなり、且つその表面が丸くな
る。
【００１８】本発明の実施のために有用なＢａＡｌ4 化
合物は、２５０μｍよりも小さい粒子寸法を有する。
合物は、２５０μｍよりも小さい粒子寸法を有する。
【００１９】ニッケルとＢａＡｌ4 化合物との間の重量
比は一般的に約２：１〜約１：２の範囲にすることがで
きるが、一般的には約１：１の比が用いられる。
比は一般的に約２：１〜約１：２の範囲にすることがで
きるが、一般的には約１：１の比が用いられる。
【００２０】金属容器は、ＮｉＣｒ又はＮｉＣｒＦｅ合
金のような様々な金属から得ることができる。良好な耐
酸化性及び熱処理強度を常温機械作業性と組み合わせて
有するＡＩＳＩ３０４を用いるのが好ましい。金属容器
の形状はどのようなものでもよく、例えば米国特許第４
１２７３６１号、同第４３２３８１８号、同第４４８６
６８６号、同第４５０４７６５号、同第４６４２５１６
号、同第４９６１０４０号及び同第５１１８９８８号の
各明細書に記載された装置の形状のような、当技術分野
において周知であり且つ用いられている任意の形状であ
ってよい。
金のような様々な金属から得ることができる。良好な耐
酸化性及び熱処理強度を常温機械作業性と組み合わせて
有するＡＩＳＩ３０４を用いるのが好ましい。金属容器
の形状はどのようなものでもよく、例えば米国特許第４
１２７３６１号、同第４３２３８１８号、同第４４８６
６８６号、同第４５０４７６５号、同第４６４２５１６
号、同第４９６１０４０号及び同第５１１８９８８号の
各明細書に記載された装置の形状のような、当技術分野
において周知であり且つ用いられている任意の形状であ
ってよい。
【００２１】
【実施例】以下、本発明を実施例によってさらに例示す
る。これらの非限定的な実施例は、本発明をどのように
操作するかということを当業者に教示し且つ本発明を実
施するために最良と考えられる態様を示すことが意図さ
れるいくつかの具体例を例示するものである。
る。これらの非限定的な実施例は、本発明をどのように
操作するかということを当業者に教示し且つ本発明を実
施するために最良と考えられる態様を示すことが意図さ
れるいくつかの具体例を例示するものである。
【００２２】例１ 一連の同一のゲッタ装置のサンプルを、それぞれについ
て米国特許第４６４２５１６号明細書に開示されたよう
に２０ｍｍの直径及び４ｍｍの高さを有し且つ底が高さ
１ｍｍのレリーフの形にされたＡＩＳＩ３０４スチール
容器を用いて、調製する。各サンプルは、 ・２５０μｍよりも小さい粒子寸法を有するＢａＡｌ4
粉末６６０ｍｇ、 ・ＩＮＣＯ社からのカタログ番号Ｔ１２３の模樹石状形
態のニッケル粉末５２０ｍｇ 及び ・ＩＮＣＯ社のＴ−１２３ニッケルを「ジェットミル」
技術によって粉砕し、得られた粉末を篩にかけて所望の
粒子寸法の画分を採集することによって得られる平均粒
子寸法１８μｍを有する本質的に球状形態のニッケル粉
末２２０ｍｇ から形成される均質混合物を容器中に注ぐことによって
調製される。ニッケルの合計重量は７４０ｍｇとする。
この粉末混合物を容器中で好適なパンチによって圧縮す
る。これらのサンプルを、ポンプシステムに連結された
ガラス測定室にそれらをそれぞれ入れて、この室を排気
し、ＡＳＴＭ規格Ｆ−１１１−７２に記載された方法に
従って蒸発試験を実施することによって、試験する。各
サンプルを、加熱を開始した１０秒後に蒸発が始まるよ
うな電力の高周波によって加熱する。各試験の間で加熱
時間を２０〜４５秒の範囲で変化させて、試験を行な
う。各試験が終わったら、蒸発したバリウムの量を測定
し、この一連のデータから、加熱時間の関数としてのバ
リウムの収率の曲線を描く。表１に、本質的に球状のニ
ッケル（表中にＮｉS と示す）と模樹石状ニッケル（Ｎ
ｉD と示す）との間の重量比並びに装置から３００ｍｇ
の量のバリウムを蒸発させるのに必要なＴＴ値を報告す
る。
て米国特許第４６４２５１６号明細書に開示されたよう
に２０ｍｍの直径及び４ｍｍの高さを有し且つ底が高さ
１ｍｍのレリーフの形にされたＡＩＳＩ３０４スチール
容器を用いて、調製する。各サンプルは、 ・２５０μｍよりも小さい粒子寸法を有するＢａＡｌ4
粉末６６０ｍｇ、 ・ＩＮＣＯ社からのカタログ番号Ｔ１２３の模樹石状形
態のニッケル粉末５２０ｍｇ 及び ・ＩＮＣＯ社のＴ−１２３ニッケルを「ジェットミル」
技術によって粉砕し、得られた粉末を篩にかけて所望の
粒子寸法の画分を採集することによって得られる平均粒
子寸法１８μｍを有する本質的に球状形態のニッケル粉
末２２０ｍｇ から形成される均質混合物を容器中に注ぐことによって
調製される。ニッケルの合計重量は７４０ｍｇとする。
この粉末混合物を容器中で好適なパンチによって圧縮す
る。これらのサンプルを、ポンプシステムに連結された
ガラス測定室にそれらをそれぞれ入れて、この室を排気
し、ＡＳＴＭ規格Ｆ−１１１−７２に記載された方法に
従って蒸発試験を実施することによって、試験する。各
サンプルを、加熱を開始した１０秒後に蒸発が始まるよ
うな電力の高周波によって加熱する。各試験の間で加熱
時間を２０〜４５秒の範囲で変化させて、試験を行な
う。各試験が終わったら、蒸発したバリウムの量を測定
し、この一連のデータから、加熱時間の関数としてのバ
リウムの収率の曲線を描く。表１に、本質的に球状のニ
ッケル（表中にＮｉS と示す）と模樹石状ニッケル（Ｎ
ｉD と示す）との間の重量比並びに装置から３００ｍｇ
の量のバリウムを蒸発させるのに必要なＴＴ値を報告す
る。
【００２３】例２ 例１の試験を、一連の同一のゲッタ装置のサンプルを用
い、２５０μｍよりも小さい粒子寸法を有するＢａＡｌ
4 粉末６６０ｍｇ、例１に記載したような「ジェットミ
ル」によって得られた本質的に球状形態のニッケル粉末
３７０ｍｇ及びＩＮＣＯ社のＴ−１２３ニッケル３７０
ｍｇから形成される均質混合物（合計ニッケル重量７４
０ｍｇ）を含有させて、繰り返した。表１に、２つの形
状のニッケルの間の重量比及びバリウム３００ｍｇを蒸
発させるのに必要な時間を報告する。
い、２５０μｍよりも小さい粒子寸法を有するＢａＡｌ
4 粉末６６０ｍｇ、例１に記載したような「ジェットミ
ル」によって得られた本質的に球状形態のニッケル粉末
３７０ｍｇ及びＩＮＣＯ社のＴ−１２３ニッケル３７０
ｍｇから形成される均質混合物（合計ニッケル重量７４
０ｍｇ）を含有させて、繰り返した。表１に、２つの形
状のニッケルの間の重量比及びバリウム３００ｍｇを蒸
発させるのに必要な時間を報告する。
【００２４】例３ 例１の試験を、一連の同一のゲッタ装置を用い、２５０
μｍよりも小さい粒子寸法を有するＢａＡｌ4 粉末６６
０ｍｇ、例１に記載したような「ジェットミル」によっ
て得られた本質的に球状形態のニッケル粉末５９０ｍｇ
及びＩＮＣＯ社のＴ−１２３ニッケル１５０ｍｇから形
成される均質混合物（合計ニッケル重量７４０ｍｇ）を
含有させて、繰り返した。表１に、２つの形状のニッケ
ルの間の重量比及びバリウム３００ｍｇを蒸発させるの
に必要な時間を報告する。
μｍよりも小さい粒子寸法を有するＢａＡｌ4 粉末６６
０ｍｇ、例１に記載したような「ジェットミル」によっ
て得られた本質的に球状形態のニッケル粉末５９０ｍｇ
及びＩＮＣＯ社のＴ−１２３ニッケル１５０ｍｇから形
成される均質混合物（合計ニッケル重量７４０ｍｇ）を
含有させて、繰り返した。表１に、２つの形状のニッケ
ルの間の重量比及びバリウム３００ｍｇを蒸発させるの
に必要な時間を報告する。
【００２５】例４（比較例） 例１の試験を、一連の同一のゲッタ装置を用い、２５０
μｍよりも小さい粒子寸法を有するＢａＡｌ4 粉末６６
０ｍｇ及びＴ−１２３ニッケル粉末７４０ｍｇから形成
される均質混合物を含有させて、繰り返した。表１に、
バリウム３００ｍｇを蒸発させるのに必要な時間を報告
する。
μｍよりも小さい粒子寸法を有するＢａＡｌ4 粉末６６
０ｍｇ及びＴ−１２３ニッケル粉末７４０ｍｇから形成
される均質混合物を含有させて、繰り返した。表１に、
バリウム３００ｍｇを蒸発させるのに必要な時間を報告
する。
【００２６】
【表１】
【００２７】表１に報告した結果から、その他の条件が
同じであれば、本質的に球状形態のニッケル粉末と模樹
石状形態のニッケル粉末との混合物を用いることによっ
て、単一の形態のニッケルを用いた場合と比較して、バ
リウムを蒸発させるのに必要な合計時間の短縮が得られ
るということが確認される。さらに、これらの粉末混合
物は、粉末パケットの良好な機械的性質を得ることを可
能にし、ゲッタ装置の容易な生産を可能にする。
同じであれば、本質的に球状形態のニッケル粉末と模樹
石状形態のニッケル粉末との混合物を用いることによっ
て、単一の形態のニッケルを用いた場合と比較して、バ
リウムを蒸発させるのに必要な合計時間の短縮が得られ
るということが確認される。さらに、これらの粉末混合
物は、粉末パケットの良好な機械的性質を得ることを可
能にし、ゲッタ装置の容易な生産を可能にする。
【図１】球状形態のニッケル粉末の粒子構造を示す顕微
鏡写真である。
鏡写真である。
【図２】模樹石状形態のニッケル粉末の粒子構造を示す
顕微鏡写真である。
顕微鏡写真である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ラファエルロ・ラトゥアダ イタリア国ミラノ、チェロ・マッジオ レ、ビア・クアルト・ノベムブレ、94 (72)発明者 ジウゼッペ・ウルソ イタリア国ミラノ、セレニョ、ビア・ア ダメロ、４ (56)参考文献 特開 平３−78928（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−103932（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 29/94 H01J 7/18
Claims (1)
- 【請求項１】 ＢａＡｌ4粉末及びニッケル粉末を存在
させた金属容器を含み、ニッケル粉末が２つの異なる形
態の粒子の混合物によって構成され、第一の形態が本質
的に球状であり、第二の形態が模樹石状であり、２つの
形態のニッケルの間の重量比が４：１〜１：２．５の範
囲であることを特徴とする蒸発型ゲッタ装置。
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