JP2918062B2 - 流速計 - Google Patents

流速計

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JP2918062B2
JP2918062B2 JP2503927A JP50392790A JP2918062B2 JP 2918062 B2 JP2918062 B2 JP 2918062B2 JP 2503927 A JP2503927 A JP 2503927A JP 50392790 A JP50392790 A JP 50392790A JP 2918062 B2 JP2918062 B2 JP 2918062B2
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    • G01F1/698Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
    • G01F1/6986Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters with pulsed heating, e.g. dynamic methods

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は流速計に関する。
閉じられたパイプ内の液体の流速を測定するのに用い
られる、そして液体の熱特性を利用した、多くの技術は
よく知られている。それら技術のいくつかは、以下に説
明される通りであって、市場で入手できる装置に用いら
れている。これら入手できる装置は、確立された技術の
うちの1つだけを用いて構成され最適化されている。
流れを横断して設けられた円筒形トランスジューサー
からの熱流の基本的等式は一般的な形で表わすと M=A・(Q/Dt)1.66であって、ここで Tt=トランスジューサーの温度 Tf=液体の温度 Dt=Tt−Tf Q=温度差Dtを維持するためヒーターに加えられる電力 A=校正定数 =質量流速である。
実際上、上記の式においては熱伝導のような別の流体
特性の依存性を含むその他の項は無視されている。これ
らの項は以下に示すように、ある条件下では有意性のあ
るものとなる。
液体の流速を測定するための最初の公知技術において
は、加熱用素子と温度センサーとを含むトランスジュー
サーが液体の流れと、直接(液体運送用パイプの内側
に)または間接(パイプ壁を通して)に接触するように
される。加熱用素子には電力が加えられ、そして生起す
るトランスジューサー温度がセンサーで測定される。電
力入力は、トランスジューサーの温度が固定された値に
維持されるように外部的に制御される。移動する液体流
はトランスジューサーを通過するとき加熱用素子からの
熱を運んで、一定温度を維持するために加熱用素子に供
給される電力は液体流に比例することになる。この技術
は以下のような制約および/または不都合を有してい
る。
1.誤差を少なくするために、この技術は液体の温度特性
において温度または成分の十分に評価可能な変化をさせ
ることができない、という制約がある。
2.液体温度Tfが測定されないので、周囲温度が変化した
ならば誤差を生じる結果となる。
3.周囲温度の変化の影響を減ずるために、トランスジュ
ーサーは液体よりもかなり高い温度にまで加熱される。
しかし温度差が大きくなるにつれてセンサーの感度は低
くなるため、感度はそれほど高くない。これはまた、速
い流速に対しては高電力を必要とすることになり、その
結果その適用が制限される。
この技術は、ある周囲状況が十分に正確で、そして安
価にトランスジューサー条件が実際的に単純化されるよ
うな適用分野を見出すことができなかった。
第1のものと同じトランスジューサー型式を用いる第
2の公知の技術では、センサーと液体との間に一定の温
度差が維持される。これは最も一般的に使用されている
技術ではあるが、液体温度をモニターするために第2の
温度測定用センサーが必要となる。外部的な制御回路
は、一定の温度差を維持するよう加熱用素子に供給され
る電力を制御するために設けられる。供給される電力は
こうして、液体の流速の関数となる。この第2の技術は
次のような制約および/または不都合を有している。
1.温度と共に、処理される液体の温度特性が変化するこ
とにより発生する誤差を最小にするためには、時に大き
な電力消費が要求される。高い精度を望むならば、これ
は装置の校正に先立って液体の型式と動作条件に関する
完全な知識を要求する。
2.高い精度が要求されるなら、校正は高価となる。
3.液体の成分変化、例えば固有の加熱および/または熱
伝導性変化、によって精度が影響される。
4.必要な温度差を維持するための制御回路に使用される
アルゴリズムは、精密で、しかも安定していなくてはな
らないが、これはかなり複雑なものとなる。
5.速い流速に関しては、十分な温度差を維持するために
必要となる電力レベルは極端なものである。特定の最大
トランスジューサー電力セッティングに対して、必要と
される温度差における測定可能流速のダイナミックレン
ジが変化するので、大きな温度差に対してはダイナミッ
クレンジが厳密に制限される。
そにれもかかわらず、構成要素を比較的簡単に構成で
きることや、液体特性と動作条件が分かっている時には
この装置は極めて正確に校正できることから、この第2
の技術は広く利用されている。加えて、電力消費は比較
的小さく、小温度差においてはこの装置は小流速変化お
よび/または低流速に対して極めて高感度であり、大き
な温度差においては、同じ装置が広い流速変化を扱う
(感度を犠牲にして)ことが可能であり、そして液体温
度が連続的にモニターされているために必要な感度も維
持することができる。
第3の公知の技術は、組み合わせられた加熱用素子/
温度センサーのトランスジューサーが再び用いられる。
この技術は一定の電力消失を利用するものである。普通
には、単独のトランスジューサーおよび、加熱用素子に
一定の電力レベルを提供する簡単な制御回路が用いられ
る。結果的に、加熱用素子の温度は流速に反比例する。
この技術は次のような制約および/または不都合を有し
ている。
1.低流速においては高感度である。
2.低流速または無流速においてトランスジューサーがオ
ーバーヒートまたは焼け切れてしまう。
3.温度測定の精度が固定しているので、流速の増加と共
に測定精度は減少する。
4.流れ測定の高ダイナミックレンジのためには、高い電
力レベルが必要である。
この第3の公知の技術はいくつかの状況、特に大流速
において、その単独トランスジューサー構成が安価であ
って、しかも必要となる制御回路が簡単であるために、
用いられている。
前に述べた第2の技術の拡大を基本とした、第4の公
知技術においては、液体の特性変化を補正する助けとし
て基準測定が導入されている。これは2つの加熱素子/
温度センサーのトランスジューサーを必要とする。両方
のトランスジューサーは温度差モードで動作するが、し
かし第2トランスジューサーは、液体に浸されてはいる
が直接的に液体流にさらされているのではない位置に設
けられている。第2トランスジューサーの温度差を維持
するために必要となる電力は液体の特性のみの関数であ
る。これはトランスジューサーに供給される電力レベル
の値を、液体特性への依存性を除去するために数学的に
扱うことを可能にする。第1次補正として、1つのトラ
ンスジューサーの液体温度からの温度差が同じであれ
ば、電力レベル値は熱伝導効果を除くために簡単に分け
られる。液体の温度値は、液体中に設けられた第3の温
度センサーによって、あるいは液体温度測定値を得るた
めにセット時間においてトランスジューサーの加熱用素
子の1つを単に1時的にスイッチオフすることによって
得られる。
この第4の技術は次のような制約および/または不都
合を有している。
1.単に2つのトランスジューサーだけが用いられている
ならは、温度にステップ変化がある時にはセット時間の
遅れが発生する。
2.構成は比較的高価となる。
3.2つのトランスジューサーはさらに多くの電力を消費
するが、これは特に大きな流速においては重大な問題で
ある。
しかし、この第4の公知の技術は、液体媒体における
熱特性変化のための正確な補償が備えられること、およ
び比較的校正が簡単なこと、の特長を有している。この
ため、これはいくつかの適用範囲を見出している。
こうして、公知技術は多くの液体測定の問題を解決で
きる、適用可能な範囲を提供している。不幸なことに、
これらの技術は特定の用途に適しているのであって、広
い適用範囲に用いることのできる単独の装置を見出すこ
とは難かしい。
前に概説した問題を取り除くか、または和らげる流速
計を提供することが本発明の目的である。
本発明によれば、その流速が測定されるべき液体と熱
的に接触するよう設けられたボディと、ボディに熱的に
接触しているヒーターと、ボディの温度を測定するため
の第1温度センサーと、液体の温度を測定するための第
2温度センサーと、液体とボディとの間の温度差を計算
するための装置と、ヒーターに電力を供給するための装
置と、ヒーターに供給される電力の割合い(レート)を
測定するための装置と、所定の目標温度差、所定の最大
及び最小温度差を設定する装置と、計算された温度差を
所定の目標最大及び最小温度差と比較する装置と、計算
された温度差が目標温度差と最小温度差との間にある場
合、供給の割合(レート)を所定割合(レート)に増大
し、計算された温度差が最小温度差よりも小さい場合、
比較的高い所定割合(レート)に増大するように、ヒー
ターに供給される電力の割合い(レート)を制御し、且
つ、計算された温度差が最大温度差よりも大きい場合、
供給の割合(レート)を電力の所定最小割合(レート)
に減少するように、ヒーターに供給される電力の割合
(レート)を制御するための装置と、電力供給の測定さ
れた割合(レート)と、ボディの温度と液体の温度との
間の差とから流速を計算するための装置とを有すること
を特徴とする流速計を提供することができる。また、そ
の流速が測定されるべき液体と熱的に接触するように設
けられたボディと、ボディに熱的に接触しているヒータ
ーと、ボディの温度を測定するための第1温度センサー
と、液体の温度を測定するための第2温度センサーと、
液体とボディとの間の温度差を計算するための装置と、
ヒーターに電力を供給するための装置と、目標温度差、
最大温度差及び最小温度差を設定する装置と、 計算された温度差を目標、最大及び最小温度差と比較す
る装置と、計算された温度差が目標温度差と最小温度差
との間にある場合、電力供給の割合(レート)を、第1
の割合いでの所定最大電力供給レベルに迄増大し、計算
された温度差が最小温度差よりも小さい場合、第1の割
合いよりも大きい第2の割合いでの最大電力供給レベル
に迄増大するように、ヒーターに供給される電力の割合
い(レート)を制御し、且つ、計算された温度差が最大
温度差よりも大きい場合、ヒーターに供給される電力の
割合(レート)を第1の割合いでの所定最小レベルに減
少するための制御装置と、電力供給の測定された割合
(レート)と、ボディの温度と液体の温度との間の差と
から流速を計算するための装置とを有することを特徴と
する流速計が提供される。
電力供給装置は、ボディと液体との間の温度差が前も
って決められた最小温度差よりも小さいならば前もって
決められた最大の割合いにまで電力供給の割合いを増加
させるよう動作することが望ましい。
電力供給装置は、ボディと液体との間の温度差が前も
って決められた最大温度差よりも大きいならば、前もっ
て決められた最小の割合い(レート)にまで電力供給の
割合い(レート)を減少させるように動作することもで
きる。
電力供給制御装置は、温度差を前記前もって決められ
た選択された温度差と周期的に比較するための、そして
温度差が前記前もって決められた選択された温度差より
も、小さいかまたは大きいかの、それぞれの場合に、前
もって決められた大きさのステップにより、電力供給の
割合いを増加または減少させるための装置を有してい
る。
こうして、本発明による流速計は、広いダイナミック
レンジにわたって総ての流速において良好な精度と感度
とをそれ自体が維持するよう適応された装置を提供す
る。このことは、液体の流速の変化によって2つの動作
のモードの間を効果的に自動的にスイッチングすること
によって達成される。流速の小さな変化に関しては高度
に正確な一定温度差法が用いられるが、これは高流速の
ための高いトランスジューサー電力セッティングを利用
するものである。流速における突然の大きな変動に関し
ては、一定電力法が用いられる。大きなステップでトラ
ンスジューサー電力を増加または減少させることによっ
て、計器は一時的に高精度モードを放棄し、そしてより
広い測定レンジに適合される。現在の流速値を得た後
は、条件が合致した時に計器は一定温度差モードに戻
り、トランスジューサー温度が再び一定となってさらに
正確な流速値が計算できるまで、トランスジューサー電
力をゆっくりと増加または減少させる。
1つの、または複数のヒーターの各々には、電気的な
駆動回路、例えば固定された、あるいは可変の周波数に
おいて発生されるパルス列を供給するプログラマプルパ
ルス幅変調電力供給源、が設けられることが望ましい。
各温度測定用センサーには増幅器が設けられる。制御回
路は、1つまたは複数のヒーター各々への電力供給を制
御することのできる能力を持っており、また種々の温度
センサー出力をモニターするためにも設けられる。多重
化されたアナログからディジタルへの変換器としてマイ
クロプロセッサーが用いられれば理想的である。
2つのトランスジューサーが設けられることが望まし
く、そのトランスジューサーの1方は液体特性測定装置
として働く。どのようなステップの温度変化をも検出す
る装置が設けられることが望ましく、そして新しい液体
特性を計算し、そして適切な補償を加えるためにマイク
ロプロセッサーが設けられることが望ましい。この手法
は、マイクロプロセッサーが動作の間に周期的に更新さ
れる、それ自身の経験上の補償特性を発生することを可
能とするものである。
本発明の実施例は添付図面を参照しながら、例として
説明される。
第1図は一般的な流速計トランスジューサーの概略図
であり、 第2図は第1図に示された構成要素の概略電気回路を
描いた図であり、 第3図は2つの温度センサーが組み込まれたトランス
ジューサーアレーの概略電気回路図であり、 第4図は一般的な流速計のダブルトランスジューサー
アレーを描いた図であり、 第5図は本発明の実施例の構成要素を描いた図であ
り、 第6図は第5図の実施例のセンサーに適用される制御
アルゴリズムを表わす流れ図であり、 第7図は第5図の実施例の電力供給制御器で適用され
る制御アルゴリズムを表わす流れ図であり、 第8図は第5図の実施例のヒータードライバーの回路
図であり、そして 第9図は第5図の実施例の液体温度センサーの回路図
である。
第1図を参照すると、この図は流速計に用いられる一
般的なトランスジューサーの構造を描いている。パイプ
1は、矢印3の方向に流れている処理液体2を収めてい
る。描かれている例においては、流速計トランスジュー
サーは処理液体中に突き出してパイプ壁を貫通している
ボディを有しているが、しかしこのことはトランスジュ
ーサーが処理液体と良好な熱的接触が保たれるならば必
須ではない。
このトランスジューサーは、抵抗性加熱素子6および
抵抗性温度センサー7を支持している絶縁性ボディ5を
その中に持っている絶縁外装4を有している。
第2図は第1図に示されているトランスジューサーの
基本的動作を概略的に表わした図である。加熱素子には
エネルギーが供給され、その温度は上昇して、加熱素子
から温度センサー7にエネルギーの移動が生じるように
なる。このエネルギー移動は矢印8で表わされている。
しかし、パイプ内の処理液体への別のエネルギー移動も
存在し、このエネルギー移動は矢印9で表わされてい
る。流速が速いと、エネルギー移動9はより大きくな
り、そしてエネルギー移動8は小さくなる。センサー7
で感知される温度はエネルギー移動8の大きさの関数で
あり、そしてこのため流速の関数である。
第1図および第2図に関して説明されたトランスジュ
ーサーが用いられる1つの装置においては、センサー7
で感知される温度が、ヒーター6への電力入力を制御す
ることにより一定に保たれる。ヒーターに供給される電
力は、こうして流速の関数であり、そして適切な流速測
定出力を提供するのに用いられる。不都合なことに、処
理液体の温度特性の変化またはその温度が、供給される
電力と流速との間の相互関係に影響を及ぼし、そのため
に処理液体の特性および温度における変化が予期される
環境において正確な流速測定が望まれるならば、この簡
単な方法は使用することができない。
トランスジューサー温度以外に液体温度に感応する別
の温度センサーを組み込むことによって処理液体温度変
化を補償して、この問題を克服する方法が知られてい
る。
第3図はそのような装置を描いているものであり、こ
のトランスジューサーは別の温度センサー10と組み合わ
せられて使用されるヒーター6と温度センサー7とを有
している。センサー10は矢印11の方向に流れている処理
液体の温度をモニターし、そしてこの温度測定は、ヒー
ター6によって供給される電力によりセンサー7がある
温度を維持するよう調節するのに用いられ、こうしてセ
ンサー10と7とによって感知された温度の間に一定の温
度差が存在するようにされる。このことは、処理液体の
温度の変化に対しては補償可能であるが、しかし処理液
体の熱特性の変化による誤差を避けるための助けとはな
らない。処理液体の特性変化の補償は、処理液体の熱特
性を表わす基準測定が実行されるように前述の温度差技
術が拡大されるならば、可能となる。そのような基準測
定を実行するための装置が第4図に描かれている。同等
の構成要素に関しては第1図および第4図内で同じ参照
番号が用いられている。しかし、第4図の装置において
は、ヒーター12と温度センサー13を含む補助的なトラン
スジューサーが設けられている。補助的な、もしくは基
準用のトランスジューサーは処理液体で満たされた、し
かし処理液体が直接その中を流れることのない室14内に
設けられている。こうして室14内の液体は静止している
か、または極めてゆっくりと動いているかのいずれかで
あって、このためヒーター12とセンサー13が結び付いて
いるトランスジューサーは、ヒーター6とセンサー7と
が結び付いているトランスジューサーがさらされてい
る、流れ条件によっては影響されない。
両方のトランスジューサーは、センサー7および13に
よって感知された温度とパイプ1内の処理液体の温度と
の間の温度差を一定に維持するように動作する。処理液
体温度は、(示されていない)別の温度センサーによっ
て、あるいは前もって決められた周期でトランスジュー
サーヒーターの1方を一時的にスイッチオフして結び付
いている温度センサーが液体温度センサーとされること
によって、モニターされる。2つのトランスジューサー
に供給される電力のレベルは、測定された出力の熱伝導
性への依存度を除去するよう数学的に取扱うことができ
る。2つのトランスジューサー液体温度からの温度差が
等しければ、第1次補正として、電力レベル値は単純に
1方を他に分けることができる。
第4図を参照して説明された技術は、熱特性変化や処
理液体温度に関する正確な補償を実施することはできる
が、しかし総ての環境において用いられるものではな
い。例えば、高流速においては、これは流れにさらされ
ている側のトランスジューサーにおいて必要とされる温
度差を維持することが不可能である。こうして、流速測
定用装置が、それが用いられる特定の用途に、十分に適
合するかどうかに関しては、多大の注意深さが必要とさ
れるのである。
第5図を参照すると、ここには第4図に描かれている
型のトランスジューサーアレーと結合して用いられる、
本発明による装置が概略的に描かれている。ヒーター6
および12は、それぞれのプログラマブルなパルス幅のパ
ルス発生器15および16によってエネルギーが与えられ、
そして温度センサー7および13は、それぞれの温度測定
用増幅器17および18への出力を有している。マルチプレ
クサ19とアナログ−ディジタルコンバーター20はマイク
ロプロセッサー21への入力を備え、そしてマイクロプロ
セッサーはマルチプレクサー19を通してパルス発生器15
および16への制御出力を備えている。
このマイクロプロセッサーは、次のように動作モード
の範囲の間をスイッチするようプログラムされている。
1.定電力入力モード このモードにおいては、ヒーター6に供給される電力
は一定のレベルに保たれる。センサー7によって感知さ
れる温度は流速に反比例している。このモードは、流速
に大きな変化がある時、または著しく速いか、著しく遅
い流速に出会った時に用いられる。装置は、定温度差モ
ードにおいてセッティングされている前もって決められ
ている電力限界の外側にその動作が持っていかれるよう
な、著しい流速または急激な流速変化の場合、および計
器が、そのセッティングの基となる何の経験も持ってい
ない初期状態でのスイッチオンの場合には、この動作モ
ードに切換る。
2.定温度差モード このモードにおいては、基準トランスジューサーは処
理液体温度をモニターするのに用いられており、すなわ
ちヒーター12はエネルギーが与えられていない状態にあ
る。このことは、この装置を流速変化を迅速に検出する
ことを可能にする。多くの適用の機会において、この装
置はこのモードで動作することが最も多いと考えられ
る。
3.定温度差モード 前述第2のモードに似ているが、しかし基準トランス
ジューサーは第4図を参照して説明された方法で流体特
性測定装置として動作する。処理液体温度における、い
かなるステップ変化があった場合でも、そしてプリセッ
トされた時間間隔が発生した都度、マイクロプロセッサ
ーは処理液体の熱特性を計算することができ、そして補
償の目的のために測定結果を利用することができる。
次に、このマイクロプロセッサーは、動作の間に周期
的に更新された、それ自身の経験的な補償曲線を発生す
るために得られた情報を蓄積する。センサーがモード1
または2で動作している時に、この補償曲線は校正誤差
を最少とするために用いることもできる。
本発明の本質的要点は、装置がそれ自体の動作モード
とパラメーターを変化させて、有効な処理条件に適合さ
せようとするものである。この応答を起こさせるために
は種々の処理が可能であるが、しかし1つの例だけが以
下に説明される。
第6図に描かれている通り、(電圧源に連続的に接続
されていると仮定して)最大のヒーター電力は、電力が
供給されている時のヒーター電流Itと電圧Vtから計算さ
れる。ヒーター抵抗RtはItとVtとから計算され、そして
ヒーター温度Txは前もって求められている抵抗/温度値
の表を参照して得ることができる。液体温度Tfが測定さ
れる。もしTtが液体温度Tfよりも30℃以上高いのであれ
ば、ヒーターにはこれ以上の電力を供給する必要がない
と考えることができる。もしTtがTfより高いのが30℃未
満であれば、パルス幅Twは Tw=Q・Tp/Wとして計算され、ここでTpは各パルスの
周期、そしてTwは目標電力Qを与えるのに必要なパルス
の幅である。各パルス幅Twは相応する期間だけヒーター
に電力を供給する。
計器の動作の間のどのような時にも、値Q、Ttおよび
Tfから、処理液体に関する知識と共に、前に1つだけ提
起したような等式を用いて、液体の質量流速の計算をす
ることが可能である。しかし、ヒーター電力Qまたはト
ランスジューサー温度差Dt(Dt=Tt−Tf)の固定した値
を持つよりは、計器がDtおよびQの最適化された値を維
持するよう処理条件に関するそれ自身の経験から“調
節”する方がよい。
第6図および第7図は、どのように制御用アルゴリズ
ムがマイクロプロセッサーを基にした設計の中で実行さ
れるかの簡単な実施例が示されている。この制御用アル
ゴリズムは2つの部分からなり、第6図はセンサーに関
する相互作用を、そして第7図はトランスジューサーヒ
ーターに関する相互作用を示している。
第6図を見ると、センサーアルゴリズムは単に、定電
力制御ループである。主計測器アルゴリズムから受け取
られる電力供給値Qはトランスジューサーヒーター制御
ループの目標電力セッティングを決定する。測定された
Q、トランスジューサー温度Ttおよび液体温度の実際の
値が計測器アルゴリズムに戻し伝送される。
調節は、どのような特定の流速においても最大の精度
が得られるように計器が自動的にトランスジューサー電
力を適合させるよう動作することによって行なわれる。
これは、流速のゆっくりした変化に追従する「感知ウィ
ンドウ」を提供する規定された温度差を得るよう電力セ
ッティングをゆっくりと低め、または高めることによっ
て行なわれ、こうして実際の流速の両側に同じサイズの
ウィンドウが(そしてこれによって正確さが)維持され
る。急激なステップの変化は、トランスジューサー電力
を大きなステップで増加または減少させて追従できるだ
けである。こうして、調節条件の限界の外側に動作を持
っていくような大きな急激な流速の変化があった時、お
よび/または初期的に計器がスイッチオンされた時に、
計器は省略された定電力セッティングに切換える。初期
値のQは計器のダイナミックレンジを大きくすることが
できるように選ばれ、こうして小さな流速変化には比較
的低い応答速度しか持たないとはいえ、流速の初期的
“把握”が可能とされる。
第7図を見ると、計器の調節が示されている。入力Tt
およびTfはDtを計算でき、そしてDtおよびQから次のよ
うにして質量流速が計算できる。
M=A・(Q/Dt)1.66 この等式は計器の動作モードに関係なく質量流を計算
するのに利用できる。ユーザーはDtmax、DtminおよびDt
setを入力する。DtmaxとDtminは、それぞれ許容される
べき最大および最小の温度差である。Dtsetは、予想さ
れる流れの条件に最も適切であるとユーザーが考えた温
度差である。
開始時においては、Dt=0であり、DtがDtminよりも
小さいのでヒーターは直ちに最大電力Qmaxに切換えられ
る。次にDtは周期的にサンプルとして採られ、そして最
後のN個のサンプルの平均が平均温度差Dtavとして記憶
される。電力が最大の割合いで供給されているので、Dt
は急激に増加する。DtavがDtsetよりも大きくなると、
電力は“Q−1"として表わされるような、1つの小さな
ステップだけ減少させられたものとなる。装置は周期的
にDtsetに対するDtavを試験し、そして電源供給は一連
の小さなステップに切換えられて、DtがDtsetに接近し
て安定化するまで繰り返される。流れの条件に大きな変
化がないとすれば、Qはこの条件を維持するように調節
される。
例えば流れにおける急な減衰によってDtが急に増加す
るというような、流れの条件の突然の変化があるなら
ば、DtavはDtsetよりも大きくなり、このためQは段階
的に降下するが、比較的遅い割合い(レート)によって
である。もし、さらに何も行なわれなければ、DtがDtse
tにおいて安定化するには、かなりの周期が必要であ
り、極端な場合にはその条件はけっして達成されない、
ということも起こり得る。これを克服するために、もし
DtがDtmaxを越えたなら、電力は直ちにQminまで節減さ
れる。
こうして、可能である限り計器は定温度差モードで動
作し、そして1時的に定電力モードに切換わることによ
り動作のそのモードに急速に安定化する。もし条件が、
定温度差モードが達成できないようであるならば、計器
は自動的に定電力モードになる。これは種々の条件下で
良好な感度と経済性を達成するための効果的な方法であ
る。
ユーザーは前もって決められたDtmax,DtminおよびDts
etを持っている。DtmaxとDtminは一般的には臨界的では
ないので、比較的容易に、例えば装置供給者によって、
前もって決めることができる。Dtsetは、予期される流
れの条件、すなわち適用毎に、そして1つの適用におい
ても時間毎に異なる、に理想的に整合していなければな
らないので、一般的にはより臨界的である。この整合を
とるために、Dtsetは動作上の経験を参考にして決めら
れるべきである。例えば、もしDtsetが高すぎると、装
置は定常的にQmin定電力モードに切換わり、Qmax定電力
モードにはまれにしか入らない。こうしてDtsetは、電
力供給の割合いがQminレベルか、またその反対であるか
の動作時間に比例した関数として減少されるべきであ
る。別の可能性として、定温度差モードで動作している
時のQにおけるステップ変化の大きさは、装置が極めて
頻繁に定電力モードに切換るならば、増加させられるべ
きである。
これまでに述べた種々の能力を提供することによっ
て、1個の装置を、極めて多様な流速の存在する環境に
おいて用いることが可能である。加えて、種々の従来技
術による動作の交互モードの最大の特長が、理想的な精
度を達成するために選択され得るということになる。
第8図を見ると、第5図の実施例において使用するの
に適当なヒータードライバーが示されている。同じ型の
PT100素子22が、トランスジューサーヒーターおよび温
度感知用素子の両方に用いられている。簡単化のため
に、この明細書は2つの装置としてのヒーターと温度検
出器を扱うこととする。
電力は、固定された2.2mS周期にわたってデューティ
サイクルを変化させるマイクロプロセッサーからのPWM
信号によって制御される。このPWM信号は、トランジス
ター24およびトランジスター25を通して増幅器23の非反
転入力に加えられて正確な電圧基準をゲートするのに用
いられ、増幅器はこのスイッチされた基準信号を増幅し
てヒーターRTDおよび感知抵抗器両端に0Vまたは10Vのい
ずれかを印加する。感知抵抗26の両端電圧は増幅器27に
よって増幅され、回路28とコンデンサー29で形成される
サンプルホールド回路に達し、そこでヒータードライバ
ーがスイッチオンである時のみの電流がサンプルされ
る。このサンプリング制御は、増幅器のためのセットリ
ング時間を許すために抵抗30とコンデンサー31でわずか
に遅れさせられたPWM信号(PWM1)によって行なわれ
る。次にこのサンプルされた信号は増幅器32によってバ
ッファーされて、必要とされる時に回路33を通してA/D
入力にゲートされる。デューティサイクルを知り、そし
て“ON"電流の大きさを測定することによって、マイク
ロプロセッサーは各2.2mS周期にわたる平均電圧と電流
を計算することができる。これらの値から、次にマイク
ロプロセッサーは平均トランスジューサー電力と抵抗を
計算できる。明確に規定されたPT100温度/抵抗特性を
知ることによって、ヒーターの温度が次に得られる。
第8図に示した回路要素に関していえば、要素23,27
および32は標準のICL7650回路である。要素28および33
は標準のMAX334素子である。
第9図には液体温度感知回路が示されている。液体温
度RTDの抵抗は、RTDに定電流を通過させることによっ
て、そして次にその両端に表われた電圧を測定すること
によって測られる。次に、この電圧は増幅器34で増幅さ
れるが、予想される最高処理温度がA/D回路の測定限度
に相当するように設定されている。同じ基準が定電流ド
ライブのために、そしてA/Dのためにも用いられて、入
力が電圧基準においていかなる変化からも免がれている
比例的入力となるようにされている。
電圧基準(VREF)の1部は回路35によってバッファさ
れ、次にA/Dコンバーターへの多重化信号の1つとして
用いられる。これは他のあらゆる入力と同じ方法によっ
て読み出されるが、しかし校正の目的で用いられるのみ
である。
マイクロコンピューターは、どの入力が4つの半導体
スイッチのうちの1つである36を通してA/D回路に進む
かを制御する。各入力はサイクリックな順序で選択され
る。最後の入力電圧は、総てのスイッチがオフとなって
いる時にはコンデンサー37にて蓄積されている。この
「保持されている」電圧は、入力値が測定されている間
は、高入力インピーダンス増幅器38によってバッファさ
れている。このことは、A/Dの測定周期の間にそれが変
化することによって不正確な値を防止することになる。
ここでも標準的素子が用いられており、例えばそれらは
ICL7650増幅器、MAX430増幅器およびMAX334スイッチで
ある。
第8図および第9図において説明された回路は、256K
バイトのプログラムメモリー、8KバイトのRAM、プログ
ラマブルカウンター、不揮発メモリー、そしてカスタマ
イズされたゲートアレーを持つマイクロプロセッサーと
結合されている。プログラマブルカウンターは12ビット
精度(0.025%)をもって制御できる2つのPWM信号を発
生するのに用いられる。これはまた、必要ならば内部ク
ロックのセッティングを変化させることによって単純に
PWM信号の周期を変えることも可能とさせる。これらのP
WM信号は加熱されたRTDをドライブするために用いられ
る。
不揮発メモリーは、校正ルーチンが調整を必要とする
ポテンショメーターを用いずに自動的に行なわれるため
に、センサーの校正に関するいくつかの定数を蓄積して
おくのに用いられる。このデーターはシリアルな方法で
蓄積され、そして総てのデーターは全体的なチェックサ
ムと同様、パラメーターとしてのチェックサムと共にセ
ーブされる。
ゲートアレーは、通常の状態ではストローブされてお
り、そうでない場合にはマイクロプロセッサーをリセッ
トする“ウオッチドッグ回路”、および差し迫った電力
低下を警告するか、または低すぎる電力供給で機能する
ことからディジタル回路を守る電力アップ/ダウン検出
回路、のための回路を有している。これはまた、センサ
ーと、例えば制御室内計数器との間のディジタルデータ
ー伝送のためのハードウェアインターフェースをも含ん
でいる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−120621(JP,A) 特開 昭63−85364(JP,A) 特開 昭59−174719(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01P 5/12 G01F 1/68

Claims (15)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】その流速が測定されるべき液体と熱的に接
    触するよう設けられたボディと、 ボディに熱的に接触しているヒーターと、 ボディの温度を測定するための第1温度センサーと、 液体の温度を測定するための第2温度センサーと、 液体とボディとの間の温度差を計算するための装置と、 ヒーターに電力を供給するための装置と、 ヒーターに供給される電力の割合い(レート)を測定す
    るための装置と、 所定の目標温度差、所定の最大及び最小温度差を設定す
    る装置と、 計算された温度差を所定の目標最大及び最小温度差と比
    較する装置と、 計算された温度差が目標温度差と最小温度差との間にあ
    る場合、供給の割合(レート)を所定割合(レート)に
    増大し、計算された温度差が最小温度差よりも小さい場
    合、比較的高い所定割合(レート)に増大するように、
    ヒーターに供給される電力の割合い(レート)を制御
    し、且つ、計算された温度差が最大温度差よりも大きい
    場合、供給の割合(レート)を電力の所定最小割合(レ
    ート)に減少するように、ヒーターに供給される電力の
    割合(レート)を制御するための装置と、 電力供給の測定された割合(レート)と、ボディの温度
    と液体の温度との間の差とから流速を計算するための装
    置と を有することを特徴とする流速計。
  2. 【請求項2】計算された温度差が目標温度差よりも小さ
    いならば、電力供給装置は、所定の最大の割合いにまで
    電力供給の割合いを単一ステップで増加させる、請求の
    範囲第1項に記載の流速計。
  3. 【請求項3】計算された温度差が目標温度差よりも大き
    いならば、電力供給装置は、所定の最小の割合いにまで
    電力供給の割合いを単一ステップで減少させる、請求の
    範囲第1項記載の流速計。
  4. 【請求項4】計算装置は、規則的な間隔で行われる液体
    及びボディ温度の複数測定間の差を平均することによっ
    て温度差を計算する、請求の範囲第1項記載の流速計。
  5. 【請求項5】制御装置は、前記各間隔でヒーターに供給
    される電力の割合いを調節する、請求の範囲第4項記載
    の流速計。
  6. 【請求項6】電力供給の割合いが、前記所定の最大割合
    いであるのか、又は、前記所定の目標温度差であるのか
    について、電力供給の割合いが前記所定の最小割合いで
    ある作動時間の割合いの関数として、作動時間の割合を
    モニターするための装置と、前記所定目標温度差を、電
    力供給の割合いが所定の最大割合いである作動時間の割
    合いの関数として増大するための装置とを有している、
    請求の範囲第1項記載の流速計。
  7. 【請求項7】電力供給の割合いが、電力供給の前記所定
    の最大割合いであるのかについて、周波数をモニターす
    るための装置と、電力供給の前記割合いが、モニターさ
    れた周波数の関数として増大されるように、前記所定の
    割合いを増大するための装置とを有している、請求の範
    囲第1項記載の流速計。
  8. 【請求項8】その流速が測定されるべき液体と熱的に接
    触するよう設けられたボディと、 ボディに熱的に接触しているヒーターと、 ボディの温度を測定するための第1温度センサーと、 液体の温度を測定するための第2温度センサーと、 液体とボディとの間の温度差を計算するための装置と、 ヒーターに電力を供給するための装置と、 目標温度差、最大温度差及び最小温度差を設定する装置
    と、 計算された温度差を目標、最大及び最小温度差と比較す
    る装置と、 計算された温度差が目標温度差と最小温度差との間にあ
    る場合、電力供給の割合(レート)を、第1の割合いで
    の所定最大電力供給レベルに迄増大し、計算された温度
    差が最小温度差よりも小さい場合、第1の割合いよりも
    大きい第2の割合いでの最大電力供給レベルに迄増大す
    るように、ヒーターに供給される電力の割合い(レー
    ト)を制御し、且つ、計算された温度差が最大温度差よ
    りも大きい場合、ヒーターに供給される電力の割合(レ
    ート)を第1の割合いでの所定最小レベルに減少するた
    めの制御装置と、 電力供給の測定された割合(レート)と、ボディの温度
    と液体の温度との間の差とから流速を計算するための装
    置と を有することを特徴とする流速計。
  9. 【請求項9】計算された温度差が所定最小温度差よりも
    小さいならば、電力供給装置は、ヒーターへの電力供給
    の割合いを所定の最大の割合いに迄単一ステップで増加
    させる、請求の範囲第8項に記載の流速計。
  10. 【請求項10】計算された温度差が所定最大温度差より
    も大きいならば、電力供給装置は、ヒーターへの電力供
    給の割合いを所定の最小の割合いに迄単一ステップで減
    少させる、請求の範囲第8項記載の流速計。
  11. 【請求項11】計算装置は、選択された間隔で行われる
    液体及びボディ温度の複数測定間の差を平均することに
    よって温度差を計算する、請求の範囲第8項記載の流速
    計。
  12. 【請求項12】制御装置は、前記各間隔でヒーターに供
    給される電力の割合いを調節する、請求の範囲第11項記
    載の流速計。
  13. 【請求項13】電力が、前記所定の最大割合いでヒータ
    ーに供給される間、作動時間の割合をモニターするため
    の装置と、電力が、所定の最大割合いでヒーターに供給
    される間、作動時間の割合で、目標温度差を増大するた
    めの装置とを有している、請求の範囲第8項記載の流速
    計。
  14. 【請求項14】電力が、前記所定の最小割合いでヒータ
    ーに供給される間、作動時間の割合をモニターするため
    の装置と、電力が、所定の最小割合いでヒーターに供給
    される間、作動時間の割合で、目標温度差を減少するた
    めの装置とを有している、請求の範囲第8項記載の流速
    計。
  15. 【請求項15】電力供給の割合いが、電力供給の前記所
    定の最大割合いであるのかについて、周波数をモニター
    するための装置と、電力供給の前記割合いが、モニター
    された周波数の関数として増大されるように、前記第1
    の割合いを増大するための装置とを有している、請求の
    範囲第8項記載の流速計。
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