JP2917831B2 - 超音波探触子接着装置 - Google Patents
超音波探触子接着装置Info
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- JP2917831B2 JP2917831B2 JP25188494A JP25188494A JP2917831B2 JP 2917831 B2 JP2917831 B2 JP 2917831B2 JP 25188494 A JP25188494 A JP 25188494A JP 25188494 A JP25188494 A JP 25188494A JP 2917831 B2 JP2917831 B2 JP 2917831B2
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- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波探触子接着装置に
係わり、特に超音波プローブとして用いられる圧電板と
整合板とを接着剤を介して接着するに好適な超音波探触
子接着装置に関する。
係わり、特に超音波プローブとして用いられる圧電板と
整合板とを接着剤を介して接着するに好適な超音波探触
子接着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】超音波探触子の超音波プローブとして
は、圧電板と制御板とを接着剤を介して接着したものが
用いられている。この従来の超音波プローブを構成する
に際しては、図２に示すように、ベース４上に圧電板１
を定置し、圧電板１上に接着剤５を塗布し、その上に整
合板２を定置する。その後、整合板２上に加圧ブロック
３を定置し、この加圧ブロック３により整合板２、接着
剤５、圧電板１全面を一定の圧力で加圧することが行わ
れている。
は、圧電板と制御板とを接着剤を介して接着したものが
用いられている。この従来の超音波プローブを構成する
に際しては、図２に示すように、ベース４上に圧電板１
を定置し、圧電板１上に接着剤５を塗布し、その上に整
合板２を定置する。その後、整合板２上に加圧ブロック
３を定置し、この加圧ブロック３により整合板２、接着
剤５、圧電板１全面を一定の圧力で加圧することが行わ
れている。
【０００３】このように、ベース４と加圧ブロック３を
備えた超音波探触子接着装置においては、ベース４上に
定置された超音波プローブを加圧ブロック３で加圧する
ことにより、接着剤５による接着層厚を一定にかつ均一
にすることができる。
備えた超音波探触子接着装置においては、ベース４上に
定置された超音波プローブを加圧ブロック３で加圧する
ことにより、接着剤５による接着層厚を一定にかつ均一
にすることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の超音波探触子接着装置では、加圧ブロック３の圧力
を作業者が制御しなければならず、加圧ブロック３の圧
力を一定にするこが困難である。このため、作業者の操
作によっては、圧電板１と整合板２とを接合する接着剤
５による接着層厚にばらつきが発生し、超音波探触子と
して必要な特性を得るための調整に多くの時間を要する
という問題点がある。
来の超音波探触子接着装置では、加圧ブロック３の圧力
を作業者が制御しなければならず、加圧ブロック３の圧
力を一定にするこが困難である。このため、作業者の操
作によっては、圧電板１と整合板２とを接合する接着剤
５による接着層厚にばらつきが発生し、超音波探触子と
して必要な特性を得るための調整に多くの時間を要する
という問題点がある。
【０００５】本発明はこのような従来の課題を解決する
ものであり、圧電板と整合板とを接着する接着層厚を自
動的に一定にすることができる超音波探触子接着装置を
提供することを目的とするものである。
ものであり、圧電板と整合板とを接着する接着層厚を自
動的に一定にすることができる超音波探触子接着装置を
提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、圧電板を定置するベースと、圧電板上に塗
布された接着剤による接着層上に載置された整合板をベ
ース側へ加圧する加圧手段と、圧電板と整合板との間の
接着層に光を照射する光源と、圧電板と整合板との間の
接着層を透過した透過光の光量を測定する光量測定手段
と、光量測定手段の測定値から接着層厚を算出する接着
層厚算出手段と、接着層厚算出手段の算出値と目標値と
の偏差に応じて加圧手段の加圧力を制御する圧力制御手
段とを備えている超音波探索子接着装置を構成したもの
である。
するために、圧電板を定置するベースと、圧電板上に塗
布された接着剤による接着層上に載置された整合板をベ
ース側へ加圧する加圧手段と、圧電板と整合板との間の
接着層に光を照射する光源と、圧電板と整合板との間の
接着層を透過した透過光の光量を測定する光量測定手段
と、光量測定手段の測定値から接着層厚を算出する接着
層厚算出手段と、接着層厚算出手段の算出値と目標値と
の偏差に応じて加圧手段の加圧力を制御する圧力制御手
段とを備えている超音波探索子接着装置を構成したもの
である。
【０００７】上記超音波探触子接着装置を構成するに際
しては、ベース上に整合板を定置し、接着層上に圧電板
を載置し、この圧電板を加圧手段によって加圧する構成
を採用することもできる。
しては、ベース上に整合板を定置し、接着層上に圧電板
を載置し、この圧電板を加圧手段によって加圧する構成
を採用することもできる。
【０００８】また、圧力制御手段としては、接着層厚算
出手段の算出値と目標値との偏差を零に抑制する制御量
で加圧手段の加圧力を制御することが望ましい。
出手段の算出値と目標値との偏差を零に抑制する制御量
で加圧手段の加圧力を制御することが望ましい。
【０００９】
【作用】従って、本発明によれば、ベース上に配置され
た圧電板と整合板との間の接着層に向けて光源からの光
を照射し、接着層を透過した透過光の光量を測定し、こ
の測定値から接着層厚を算出し、この算出値が目標値と
なるように加圧手段の加圧量を制御するようにしている
ため、接着層厚を自動的に一定の厚さにすることができ
る。このため、接着層厚が常に一定で特性のばらつきが
小さい超音波探触子を短時間で得ることができうる。
た圧電板と整合板との間の接着層に向けて光源からの光
を照射し、接着層を透過した透過光の光量を測定し、こ
の測定値から接着層厚を算出し、この算出値が目標値と
なるように加圧手段の加圧量を制御するようにしている
ため、接着層厚を自動的に一定の厚さにすることができ
る。このため、接着層厚が常に一定で特性のばらつきが
小さい超音波探触子を短時間で得ることができうる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の一実施例の構成を示すもので
ある。図１において、超音波探触子は圧電板１１、接着
剤１２、整合板１３から構成されており、超音波探触子
接着装置はベース１４、光源１５、光量測定器１６、接
着層厚計算回路１７、圧力制御回路１８、加圧装置１９
を備えて構成されている。圧電板１１はベース４上に定
置されており、圧電板１１には接着剤１２が塗布されて
接着層が形成されている。そしてこの接着剤１２上には
整合板１３が定置されており、整合板１３が加圧装置１
９によりベース１４側へ加圧されている。ベース１４の
側面側には光源１５が配置されており、光源１５からの
光が圧電板１１、接着剤１２、整合板１３の側面側に向
けて照射されている。この光源１５からの光は接着層の
みを透過し、透過光２０として光量測定器１６に入射さ
れている。光量測定器１６は透過光２０の光量を測定す
る光量測定手段として構成されており、光量の測定値を
接着層厚計算回路１７へ出力する。接着層厚計算回路１
７は、光量測定器１６で測定された測定値を基に接着剤
１２の厚さ、即ち接着層厚を算出する接着層厚算出手段
を構成するようになっている。そして接着層厚計算回路
１７で計算された接着層厚の値が圧力制御回路１８へ出
力されている。圧力制御回路１８は、算出された接着層
厚と目標値との偏差を求め、この偏差を零に抑制するた
めの制御量を生成し、この制御量に応じて加圧装置１９
の加圧力を制御する圧力制御手段を構成するようになっ
ている。
ある。図１において、超音波探触子は圧電板１１、接着
剤１２、整合板１３から構成されており、超音波探触子
接着装置はベース１４、光源１５、光量測定器１６、接
着層厚計算回路１７、圧力制御回路１８、加圧装置１９
を備えて構成されている。圧電板１１はベース４上に定
置されており、圧電板１１には接着剤１２が塗布されて
接着層が形成されている。そしてこの接着剤１２上には
整合板１３が定置されており、整合板１３が加圧装置１
９によりベース１４側へ加圧されている。ベース１４の
側面側には光源１５が配置されており、光源１５からの
光が圧電板１１、接着剤１２、整合板１３の側面側に向
けて照射されている。この光源１５からの光は接着層の
みを透過し、透過光２０として光量測定器１６に入射さ
れている。光量測定器１６は透過光２０の光量を測定す
る光量測定手段として構成されており、光量の測定値を
接着層厚計算回路１７へ出力する。接着層厚計算回路１
７は、光量測定器１６で測定された測定値を基に接着剤
１２の厚さ、即ち接着層厚を算出する接着層厚算出手段
を構成するようになっている。そして接着層厚計算回路
１７で計算された接着層厚の値が圧力制御回路１８へ出
力されている。圧力制御回路１８は、算出された接着層
厚と目標値との偏差を求め、この偏差を零に抑制するた
めの制御量を生成し、この制御量に応じて加圧装置１９
の加圧力を制御する圧力制御手段を構成するようになっ
ている。
【００１１】次に、上記実施例の作用について説明す
る。まず、ベース１４上に圧電板１１を定置し、この圧
電板１１上に接着剤１２を塗布し、この接着剤１２上に
整合板１３を定置した後、整合板１３を加圧装置１９に
よりベース１４側へ加圧する。この状態で光源１５から
の光を圧電板１１、接着剤１２、整合板１３の側面側に
照射し、接着層をした透過した透過光２０の光量を光量
測定器１６で測定する。透過光２０の光量は、接着層厚
が厚いほど多くなり、薄いほど少なくなるというように
接着層が厚みに比例して変化するようになっている。こ
のため、接着層厚計算回路１７では、光量測定器１６で
測定した光量を基に接着剤１２の厚さを計算することが
できる。そして接着剤１４の厚さ、即ち接着層厚が計算
されると、この計算値が圧力制御回路１８へ出力され、
圧力制御回路１８で計算された接着層厚と目標値との偏
差が求められ、この偏差を零に抑制するための制御量が
算出され、この制御量に従って加圧装置１９の加圧力が
制御される。例えば、接着層厚が目標値よりも厚いとき
には、加圧装置１９の圧力を上昇する制御が行われ、接
着層厚が目標値よりも薄い場合は、圧力を下げる制御が
行われる。このような圧力制御を繰り返すことにより接
着層厚を目標値に合わせ、常に一定の接着層厚を得るこ
とができる。この制御は人手によらず、自動的にできる
ため、接着層厚の厚さにばらつきが生じるのを抑制する
ことができる。なお、圧電板１１と整合板１３の位置を
逆にすることもできる。
る。まず、ベース１４上に圧電板１１を定置し、この圧
電板１１上に接着剤１２を塗布し、この接着剤１２上に
整合板１３を定置した後、整合板１３を加圧装置１９に
よりベース１４側へ加圧する。この状態で光源１５から
の光を圧電板１１、接着剤１２、整合板１３の側面側に
照射し、接着層をした透過した透過光２０の光量を光量
測定器１６で測定する。透過光２０の光量は、接着層厚
が厚いほど多くなり、薄いほど少なくなるというように
接着層が厚みに比例して変化するようになっている。こ
のため、接着層厚計算回路１７では、光量測定器１６で
測定した光量を基に接着剤１２の厚さを計算することが
できる。そして接着剤１４の厚さ、即ち接着層厚が計算
されると、この計算値が圧力制御回路１８へ出力され、
圧力制御回路１８で計算された接着層厚と目標値との偏
差が求められ、この偏差を零に抑制するための制御量が
算出され、この制御量に従って加圧装置１９の加圧力が
制御される。例えば、接着層厚が目標値よりも厚いとき
には、加圧装置１９の圧力を上昇する制御が行われ、接
着層厚が目標値よりも薄い場合は、圧力を下げる制御が
行われる。このような圧力制御を繰り返すことにより接
着層厚を目標値に合わせ、常に一定の接着層厚を得るこ
とができる。この制御は人手によらず、自動的にできる
ため、接着層厚の厚さにばらつきが生じるのを抑制する
ことができる。なお、圧電板１１と整合板１３の位置を
逆にすることもできる。
【００１２】
【発明の効果】上記実施例から明らかなように、本発明
によれば、接着層厚を透過した透過光の光量を測定し、
この測定値から接着層厚を算出し、この算出値が目標値
となるように加圧力を制御するようにしたため、接着層
厚を自動的に一定の厚さにすることができるとともに接
着層厚のばらつきを小さくすることができる。
によれば、接着層厚を透過した透過光の光量を測定し、
この測定値から接着層厚を算出し、この算出値が目標値
となるように加圧力を制御するようにしたため、接着層
厚を自動的に一定の厚さにすることができるとともに接
着層厚のばらつきを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における超音波探触子接着装
置の概略ブロック図
置の概略ブロック図
【図２】従来の超音波探触子接着装置の超音波探触子の
概略構成図
概略構成図
１１ 圧電板 １２ 接着剤 １３ 整合板 １４ ベース １５ 光源 １６ 光量測定器 １７ 接着層厚計算回路 １８ 圧力制御回路 １９ 加圧装置 ２０ 透過光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) A61B 8/00 - 8/15 H04R 31/00
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電板を定置するベースと、圧電板上に
塗布された接着剤による接着層上に載置された整合板を
ベース側へ加圧する加圧手段と、圧電板と整合板との間
の接着層に光を照射する光源と、圧電板と整合板との間
の接着層を透過した透過光の光量を測定する光量測定手
段と、光量測定手段の測定値から接着層厚を算出する接
着層厚算出手段と、接着層厚算出手段の算出値と目標値
との偏差に応じて加圧手段の加圧力を制御する圧力制御
手段とを備えている超音波探触子接着装置。 - 【請求項２】 整合板を定置するベースを、整合板上に
塗布された接着剤による接着層上に載置された圧電板を
ベース側へ加圧する加圧手段と、圧電板と整合板との間
の接着層に光を照射する光源と、圧電板と整合板との間
の接着層を透過した透過光の光量を測定する光量測定手
段と、光量測定手段の測定値から接着層厚を算出する接
着層厚算出手段と、接着層厚算出手段の算出値と目標値
との偏差に応じて加圧手段の加圧力を制御する圧力制御
手段とを備えている超音波探触子接着装置。 - 【請求項３】 圧力制御手段は、接着層厚算出手段の算
出値と目標値との偏差を零に抑制する制御量で加圧手段
の加圧力を制御してなる請求項１または請求項２の何れ
かに記載の超音波探触子接着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25188494A JP2917831B2 (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | 超音波探触子接着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25188494A JP2917831B2 (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | 超音波探触子接着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08112282A JPH08112282A (ja) | 1996-05-07 |
| JP2917831B2 true JP2917831B2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=17229383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25188494A Expired - Fee Related JP2917831B2 (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | 超音波探触子接着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2917831B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101096544B1 (ko) * | 2009-11-18 | 2011-12-20 | 주식회사 비에스이 | 멤스 마이크로폰 패키지 및 패키징 방법 |
-
1994
- 1994-10-18 JP JP25188494A patent/JP2917831B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08112282A (ja) | 1996-05-07 |
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