JPH0949702A - 加圧装置における平行度管理装置 - Google Patents
加圧装置における平行度管理装置Info
- Publication number
- JPH0949702A JPH0949702A JP20098995A JP20098995A JPH0949702A JP H0949702 A JPH0949702 A JP H0949702A JP 20098995 A JP20098995 A JP 20098995A JP 20098995 A JP20098995 A JP 20098995A JP H0949702 A JPH0949702 A JP H0949702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parallelism
- strain
- pressurizing
- bolt
- strain detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 バックアップツールに対向配置されたボンデ
ィングツールの平行度確認が客観的に行え、短時間の内
に平行度調整が可能な加圧装置における平行度管理装置
を提供する。 【解決手段】 バックアップツール（載置台）１０１に
載置されたテープキャリア部品，ガラス基板（被加圧
物）１０４，１０５にボンディングツール（加圧部材）
１０３と加圧用ボルト２ａ〜２ｄを介して加圧力が加え
られ、歪みゲージ（歪み検出手段）３ａ〜３ｄにより加
圧用ボルトが加圧された際における歪みが検出され、そ
の検出された歪みに応じて載置台と加圧部材との平行度
が管理されるようにしたので、載置台と加圧部材との平
行度確認が客観的に行え、短時間の内に平行度調整が可
能となる。
ィングツールの平行度確認が客観的に行え、短時間の内
に平行度調整が可能な加圧装置における平行度管理装置
を提供する。 【解決手段】 バックアップツール（載置台）１０１に
載置されたテープキャリア部品，ガラス基板（被加圧
物）１０４，１０５にボンディングツール（加圧部材）
１０３と加圧用ボルト２ａ〜２ｄを介して加圧力が加え
られ、歪みゲージ（歪み検出手段）３ａ〜３ｄにより加
圧用ボルトが加圧された際における歪みが検出され、そ
の検出された歪みに応じて載置台と加圧部材との平行度
が管理されるようにしたので、載置台と加圧部材との平
行度確認が客観的に行え、短時間の内に平行度調整が可
能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加圧装置における
平行度管理装置に関し、例えばテープキャリア部品のア
ウタリード部を基板上のリード部へ、接続部材を介して
ボンディングを行う加圧装置における平行度管理装置に
関する。
平行度管理装置に関し、例えばテープキャリア部品のア
ウタリード部を基板上のリード部へ、接続部材を介して
ボンディングを行う加圧装置における平行度管理装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図７は、従来のこの種のボンディング装
置（加圧装置）１００の正面図である。図７に示すよう
に、ボンディング装置１００は、バックアップツール１
０１と、ツール固定ブロック１０２に固定されたボンデ
ィングツール１０３とが対向配置され、該ボンディング
ツール１０３がバックアップツール１０１側に押圧され
て両ツール１０１，１０３間に配置されたテープキャリ
ア部品１０４とガラス基板１０５とに加熱および加圧を
行う。ここに、バックアップツール１０１とボンディン
グツール１０３のそれぞれの対向面は平坦に形成され、
又、テープキャリア部品１０４とガラス基板１０５とが
均一に加熱および加圧されるためには、加圧時にバック
アップツール１０１とボンディングツール１０３とが平
行になっていなければならない。
置（加圧装置）１００の正面図である。図７に示すよう
に、ボンディング装置１００は、バックアップツール１
０１と、ツール固定ブロック１０２に固定されたボンデ
ィングツール１０３とが対向配置され、該ボンディング
ツール１０３がバックアップツール１０１側に押圧され
て両ツール１０１，１０３間に配置されたテープキャリ
ア部品１０４とガラス基板１０５とに加熱および加圧を
行う。ここに、バックアップツール１０１とボンディン
グツール１０３のそれぞれの対向面は平坦に形成され、
又、テープキャリア部品１０４とガラス基板１０５とが
均一に加熱および加圧されるためには、加圧時にバック
アップツール１０１とボンディングツール１０３とが平
行になっていなければならない。
【０００３】かかるバックアップツール１０１とボンデ
ィングツール１０３との平行度の管理は、次のようにし
ていた。即ち、オペレータがボルト固定ブロック１０６
に複数本螺入されている平行度調整用の押しボルト１０
７と引きボルト１０８とを個々に調整して両ツール１０
１，１０３の平行度を出すと共に、又、平行度出しの終
了したボンディング装置１００の両ツール１０１，１０
３間に圧力検知用の感圧紙を挟んで押圧して感圧紙上の
圧力分布を目視し、平行度の確認を定性的評価により行
っていた。
ィングツール１０３との平行度の管理は、次のようにし
ていた。即ち、オペレータがボルト固定ブロック１０６
に複数本螺入されている平行度調整用の押しボルト１０
７と引きボルト１０８とを個々に調整して両ツール１０
１，１０３の平行度を出すと共に、又、平行度出しの終
了したボンディング装置１００の両ツール１０１，１０
３間に圧力検知用の感圧紙を挟んで押圧して感圧紙上の
圧力分布を目視し、平行度の確認を定性的評価により行
っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のボンディング装置の調整方法では、オペレータによ
るボンディングツール平行度の評価にバラツキが生じ、
このバラツキにより製品の品質低下を招くおそれがあ
り、又、複数本のボルトを個々に調整する必要があるの
で平行度調整に時間がかかりボンディング装置の稼働率
低下を招くおそれがあった。そこで、本発明の目的は、
バックアップツールに対向配置されたボンディングツー
ルの平行度確認が客観的に行え、短時間の内に平行度調
整が可能な加圧装置における平行度管理装置を提供する
ことである。
来のボンディング装置の調整方法では、オペレータによ
るボンディングツール平行度の評価にバラツキが生じ、
このバラツキにより製品の品質低下を招くおそれがあ
り、又、複数本のボルトを個々に調整する必要があるの
で平行度調整に時間がかかりボンディング装置の稼働率
低下を招くおそれがあった。そこで、本発明の目的は、
バックアップツールに対向配置されたボンディングツー
ルの平行度確認が客観的に行え、短時間の内に平行度調
整が可能な加圧装置における平行度管理装置を提供する
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の発明は、被加圧物を載置する載置台と
該載置台に載置された被加圧物を加圧する加圧部材とが
対向配置され、該加圧部材は位置基準部材に螺嵌された
加圧用ボルトを介して加圧力が加えられる加圧装置にお
いて、前記加圧用ボルトが加圧された際における歪みを
検出する歪み検出手段を備え、該歪み検出手段が検出し
た歪みに応じて前記載置台と加圧部材との平行度を管理
するようにしたことを特徴とする。請求項１記載の発明
によれば、歪み検出手段は加圧用ボルトは加圧された際
における歪みを検出し、該歪み検出手段が検出した歪み
に応じて前記載置台と加圧部材との平行度を管理する。
に請求項１記載の発明は、被加圧物を載置する載置台と
該載置台に載置された被加圧物を加圧する加圧部材とが
対向配置され、該加圧部材は位置基準部材に螺嵌された
加圧用ボルトを介して加圧力が加えられる加圧装置にお
いて、前記加圧用ボルトが加圧された際における歪みを
検出する歪み検出手段を備え、該歪み検出手段が検出し
た歪みに応じて前記載置台と加圧部材との平行度を管理
するようにしたことを特徴とする。請求項１記載の発明
によれば、歪み検出手段は加圧用ボルトは加圧された際
における歪みを検出し、該歪み検出手段が検出した歪み
に応じて前記載置台と加圧部材との平行度を管理する。
【０００６】また、請求項２記載の発明は、前記歪み検
出手段が検出した歪みに応じて前記加圧用ボルトを回転
駆動するボルト駆動手段を備えたことを特徴とする。請
求項２記載の発明によれば、ボルト駆動手段は歪み検出
手段が検出した歪みに応じて加圧用ボルトを回転駆動す
る。従って、例えば人手（オペレータ）を介することな
く載置台と加圧部材との平行度を管理できる。
出手段が検出した歪みに応じて前記加圧用ボルトを回転
駆動するボルト駆動手段を備えたことを特徴とする。請
求項２記載の発明によれば、ボルト駆動手段は歪み検出
手段が検出した歪みに応じて加圧用ボルトを回転駆動す
る。従って、例えば人手（オペレータ）を介することな
く載置台と加圧部材との平行度を管理できる。
【０００７】また、請求項３記載の発明は、前記歪み検
出手段は、前記加圧用ボルトに貼付された歪み検出素子
であることを特徴とする。請求項３記載の発明によれ
ば、加圧用ボルトに貼付された歪み検出素子（例えば、
ストレインゲージ）は、加圧時に発生する歪みを検出す
る。
出手段は、前記加圧用ボルトに貼付された歪み検出素子
であることを特徴とする。請求項３記載の発明によれ
ば、加圧用ボルトに貼付された歪み検出素子（例えば、
ストレインゲージ）は、加圧時に発生する歪みを検出す
る。
【０００８】また、請求項４記載の発明は、前記歪み検
出手段は、前記加圧用ボルトと加圧部材との間に介在さ
れた介在部材に貼付された歪み検出素子であることを特
徴とする。請求項４記載の発明によれば、介在部材が加
圧用ボルトと加圧部材との間に介在され、該介在部材に
貼付された歪み検出素子は加圧時に発生する歪みを検出
する。
出手段は、前記加圧用ボルトと加圧部材との間に介在さ
れた介在部材に貼付された歪み検出素子であることを特
徴とする。請求項４記載の発明によれば、介在部材が加
圧用ボルトと加圧部材との間に介在され、該介在部材に
貼付された歪み検出素子は加圧時に発生する歪みを検出
する。
【０００９】また、請求項５記載の発明は、前記歪み検
出手段は、前記載置台に貼付された歪み検出素子である
ことを特徴とする。請求項５記載の発明によれば、載置
台に貼付された歪み検出素子は、加圧時に発生する歪み
を検出する。
出手段は、前記載置台に貼付された歪み検出素子である
ことを特徴とする。請求項５記載の発明によれば、載置
台に貼付された歪み検出素子は、加圧時に発生する歪み
を検出する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の発明の実施
の形態の例に基づいて詳細に説明する。なお、既に説明
した部分には同一符号を付し、重複記載を省略する。
の形態の例に基づいて詳細に説明する。なお、既に説明
した部分には同一符号を付し、重複記載を省略する。
【００１１】（１）第１の実施の形態の例 図１（Ａ），（Ｂ）は、第１の実施の形態の例の要部外
観斜視図および要部平面図であり、図２は同形態の例の
制御系のブロック図である。
観斜視図および要部平面図であり、図２は同形態の例の
制御系のブロック図である。
【００１２】図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、長方形
の板状のボルト固定ブロック１の四隅には４本の押しボ
ルト２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが螺入され、各押しボルト
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの先端はツール固定ブロック１
０２の上面に当接されている。押しボルト２ａの先端部
側の側面には平坦部２ａ1 が切削形成され、該平坦部２
ａ1 には歪みゲージ（ストレインゲージ）３ａが貼付さ
れている。なお、押しボルト２ａ以外の他の押しボルト
２ｂ，２ｃ，２ｄにも同様に平坦部が形成され、該平坦
部のそれぞれに歪みゲージ３ｂ，３ｃ，３ｄが貼付され
ている。
の板状のボルト固定ブロック１の四隅には４本の押しボ
ルト２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが螺入され、各押しボルト
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの先端はツール固定ブロック１
０２の上面に当接されている。押しボルト２ａの先端部
側の側面には平坦部２ａ1 が切削形成され、該平坦部２
ａ1 には歪みゲージ（ストレインゲージ）３ａが貼付さ
れている。なお、押しボルト２ａ以外の他の押しボルト
２ｂ，２ｃ，２ｄにも同様に平坦部が形成され、該平坦
部のそれぞれに歪みゲージ３ｂ，３ｃ，３ｄが貼付され
ている。
【００１３】又、制御系は、図２に示すように、各押し
ボルト２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの側面に貼付された歪み
ゲージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄがホイートストーンブリ
ッジに接続され、端子Ａ，Ｂ間には直流電源１１が接続
されている。該ブリッジの端子Ｃ，Ｄ間には電流ＩG が
出力され、該電流ＩG はアンプ１２により増幅された
後、Ａ／Ｄ変換器１３でデジタル値に変換され、該デジ
タル値が表示部１４に表示される。なお、歪みゲージ３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄのそれぞれの抵抗値をＲ1，
Ｒ2 ，Ｒ3 ，Ｒ4 とする。
ボルト２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの側面に貼付された歪み
ゲージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄがホイートストーンブリ
ッジに接続され、端子Ａ，Ｂ間には直流電源１１が接続
されている。該ブリッジの端子Ｃ，Ｄ間には電流ＩG が
出力され、該電流ＩG はアンプ１２により増幅された
後、Ａ／Ｄ変換器１３でデジタル値に変換され、該デジ
タル値が表示部１４に表示される。なお、歪みゲージ３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄのそれぞれの抵抗値をＲ1，
Ｒ2 ，Ｒ3 ，Ｒ4 とする。
【００１４】次に動作を説明する。図示しない加圧手段
によりボンディングツール１０３がバックアップツール
１０１に当接されて加圧された場合を想定する。このと
き、バックアップツール１０１に対してボンディングツ
ール１０３が平行に当接された場合には、４本の押しボ
ルト２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに均等に圧力が加わる。従
って、各歪みゲージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの歪み度合
が均等なので（Ｒ1 ×Ｒ2 ＝Ｒ3 ×Ｒ4 ）、ブリッジの
出力電流ＩG は０Ａとなり、表示部１４には「０Ａ（平
行である旨の表示）」が表示される。
によりボンディングツール１０３がバックアップツール
１０１に当接されて加圧された場合を想定する。このと
き、バックアップツール１０１に対してボンディングツ
ール１０３が平行に当接された場合には、４本の押しボ
ルト２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに均等に圧力が加わる。従
って、各歪みゲージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの歪み度合
が均等なので（Ｒ1 ×Ｒ2 ＝Ｒ3 ×Ｒ4 ）、ブリッジの
出力電流ＩG は０Ａとなり、表示部１４には「０Ａ（平
行である旨の表示）」が表示される。
【００１５】又、加圧された結果、バックアップツール
１０１とボンディングツール１０３とが平行でなくなっ
た場合には、歪みゲージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの歪み
度合が均等ではなくなるので（Ｒ1 ×Ｒ2 ＜Ｒ3 ×
Ｒ4 、又は、Ｒ1 ×Ｒ2 ＞Ｒ3 ×Ｒ4 ）、ブリッジに出
力電流ＩG が流れ、表示部１４には電流値（不平行の度
合）と電流の方向が表示される。かかる電流値と電流方
向をオペレータが確認し、各押しボルト２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄを回転調整して表示部１４の表示が０Ａになる
ようにすればよい。このようにすれば、調整時間の短縮
を図ることができ、又、デジタル表示されるので平行度
評価のバラツキを防止することができる。
１０１とボンディングツール１０３とが平行でなくなっ
た場合には、歪みゲージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの歪み
度合が均等ではなくなるので（Ｒ1 ×Ｒ2 ＜Ｒ3 ×
Ｒ4 、又は、Ｒ1 ×Ｒ2 ＞Ｒ3 ×Ｒ4 ）、ブリッジに出
力電流ＩG が流れ、表示部１４には電流値（不平行の度
合）と電流の方向が表示される。かかる電流値と電流方
向をオペレータが確認し、各押しボルト２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄを回転調整して表示部１４の表示が０Ａになる
ようにすればよい。このようにすれば、調整時間の短縮
を図ることができ、又、デジタル表示されるので平行度
評価のバラツキを防止することができる。
【００１６】（２）第２の実施の形態の例 図３（Ａ），（Ｂ）は、第２の実施の形態の例の要部外
観斜視図および要部平面図である。図３（Ａ），（Ｂ）
に示すように、ツール固定ブロック１０２の四隅に負荷
により変形する直方体状のゲージ台２１ａ，２１ｂ，２
１ｃ，２１ｄが取り付けられ、該ゲージ台２１ａ，２１
ｂ，２１ｃ，２１ｄの各側面に歪みゲージ３ａ，３ｂ，
３ｃ，３ｄが貼付されている。そして、各歪みゲージ３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは前記図２に示す回路に接続され
ている。
観斜視図および要部平面図である。図３（Ａ），（Ｂ）
に示すように、ツール固定ブロック１０２の四隅に負荷
により変形する直方体状のゲージ台２１ａ，２１ｂ，２
１ｃ，２１ｄが取り付けられ、該ゲージ台２１ａ，２１
ｂ，２１ｃ，２１ｄの各側面に歪みゲージ３ａ，３ｂ，
３ｃ，３ｄが貼付されている。そして、各歪みゲージ３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは前記図２に示す回路に接続され
ている。
【００１７】このような構成でも、加圧時においてバッ
クアップツール１０１とボンディングツール１０３とが
平行であれば、各ゲージ台２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２
１ｄの歪みは等しいので、歪みゲージ３ａ，３ｂ，３
ｃ，３ｄの抵抗値は同一値となる。従って、Ｒ1 ×Ｒ2
＝Ｒ3 ×Ｒ4 が成立するので、表示部１４には平行であ
る旨が表示される。
クアップツール１０１とボンディングツール１０３とが
平行であれば、各ゲージ台２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２
１ｄの歪みは等しいので、歪みゲージ３ａ，３ｂ，３
ｃ，３ｄの抵抗値は同一値となる。従って、Ｒ1 ×Ｒ2
＝Ｒ3 ×Ｒ4 が成立するので、表示部１４には平行であ
る旨が表示される。
【００１８】又、バックアップツール１０１とボンディ
ングツール１０３とが不平行であれば、Ｒ1 ×Ｒ2 ＝Ｒ
3 ×Ｒ4 が成立せず、表示部１４には不平行である旨の
表示がされる。
ングツール１０３とが不平行であれば、Ｒ1 ×Ｒ2 ＝Ｒ
3 ×Ｒ4 が成立せず、表示部１４には不平行である旨の
表示がされる。
【００１９】（３）第３の実施の形態の例 図４（Ａ），（Ｂ）は第３の実施の形態の例の要部外観
斜視図および要部平面図である。図４（Ａ），（Ｂ）に
示すように、バックアップツール１０１Ａの中央に角柱
状に突設された押当部１０１Ａa の四隅の側面に歪みゲ
ージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが貼付されている。そし
て、各歪みゲージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは前記図２に
示す回路に接続されている。このように構成しても第１
の実施の形態の例と同様にバックアップツール１０１Ａ
とボンディングツール１０３の平行度を管理することが
できる。
斜視図および要部平面図である。図４（Ａ），（Ｂ）に
示すように、バックアップツール１０１Ａの中央に角柱
状に突設された押当部１０１Ａa の四隅の側面に歪みゲ
ージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが貼付されている。そし
て、各歪みゲージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは前記図２に
示す回路に接続されている。このように構成しても第１
の実施の形態の例と同様にバックアップツール１０１Ａ
とボンディングツール１０３の平行度を管理することが
できる。
【００２０】（４）第４の実施の形態の例 図５（Ａ），（Ｂ）は第４の実施の形態の例の要部外観
斜視図および要部平面図である。図５（Ａ），（Ｂ）に
示すように、バックアップツール１０１Ｂとボンディン
グツール１０３との間に平板状の面圧測定用のワーク２
２が介在され、該ワーク２２の四隅の側面に歪みゲージ
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが貼付されている。そして、各
歪みゲージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが前記図２に示す回
路に接続されている。この場合は、テープキャリア部品
１０４とガラス基板１０５とはワーク２２とバックアッ
プツール１０１Ｂの間に介在される。
斜視図および要部平面図である。図５（Ａ），（Ｂ）に
示すように、バックアップツール１０１Ｂとボンディン
グツール１０３との間に平板状の面圧測定用のワーク２
２が介在され、該ワーク２２の四隅の側面に歪みゲージ
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが貼付されている。そして、各
歪みゲージ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが前記図２に示す回
路に接続されている。この場合は、テープキャリア部品
１０４とガラス基板１０５とはワーク２２とバックアッ
プツール１０１Ｂの間に介在される。
【００２１】このように構成しても第１の実施の形態の
例と同様にバックアップツール１０１Ｂとボンディング
ツール１０３の平行度を管理することができる。
例と同様にバックアップツール１０１Ｂとボンディング
ツール１０３の平行度を管理することができる。
【００２２】（５）第５の実施の形態の例 図６（Ａ），（Ｂ）は第５の実施の形態の例の要部外観
斜視図および要部平面図である。本例と第１の実施の形
態の例とは略同一構成であり、相違点は平行度の検出
後、平行が出ていない場合は制御部２４において調整を
要する押しボルト２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄと調整量が決
定され、調整駆動部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ
（２３ｃ，２３ｄは図示せず）が駆動されて押しボルト
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが調整され、オペレータの介在
無しに自動的に平行度が出されるようにした点である。
斜視図および要部平面図である。本例と第１の実施の形
態の例とは略同一構成であり、相違点は平行度の検出
後、平行が出ていない場合は制御部２４において調整を
要する押しボルト２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄと調整量が決
定され、調整駆動部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ
（２３ｃ，２３ｄは図示せず）が駆動されて押しボルト
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが調整され、オペレータの介在
無しに自動的に平行度が出されるようにした点である。
【００２３】なお、本実施の形態の例では前記第１の実
施の形態の例の構成を変形した場合を示したが、前記第
２乃至第４の実施の形態の例を変形してもよい。
施の形態の例の構成を変形した場合を示したが、前記第
２乃至第４の実施の形態の例を変形してもよい。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように各請求項記載の発明
によれば、載置台に載置された被加圧物に加圧部材と加
圧用ボルトを介して加圧力が加えられ、歪み検出手段に
より前記加圧用ボルトが加圧された際における歪みが検
出され、その検出された歪みに応じて前記載置台と加圧
部材との平行度が管理されるようにしたので、載置台と
加圧部材との平行度確認が客観的に行え、短時間の内に
平行度調整が可能となる。
によれば、載置台に載置された被加圧物に加圧部材と加
圧用ボルトを介して加圧力が加えられ、歪み検出手段に
より前記加圧用ボルトが加圧された際における歪みが検
出され、その検出された歪みに応じて前記載置台と加圧
部材との平行度が管理されるようにしたので、載置台と
加圧部材との平行度確認が客観的に行え、短時間の内に
平行度調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の例を示す図であっ
て、（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は要部平面図である。
て、（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は要部平面図である。
【図２】同第１の実施の形態の例における制御系のブロ
ック図である。
ック図である。
【図３】同第２の実施の形態の例を示す図であって、
（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は要部平面図である。
（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は要部平面図である。
【図４】同第３の実施の形態の例を示す図であって、
（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は要部平面図である。
（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は要部平面図である。
【図５】同第４の実施の形態の例を示す図であって、
（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は要部平面図である。
（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は要部平面図である。
【図６】同第５の実施の形態の例を示す図であって、
（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は要部平面図である。
（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は要部平面図である。
【図７】従来の加圧装置の要部構成図である。
１ ボルト固定ブロック（位置基準部材） ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ 押しボルト（加圧用ボルト） ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ 歪みゲージ（歪み検出手段） １１ 直流電源 １４ 表示部 ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ ゲージ台 ２２ 面圧測定ワーク ２３ａ，２３ｂ 調整駆動部（ボルト駆動手段） １０１ バックアップツール（載置台） １０２ ツール固定ブロック １０３ ボンディングツール（加圧部材） １０４ テープキャリア部品（被加圧物） １０５ ガラス基板（被加圧物）
Claims (5)
- 【請求項１】 被加圧物を載置する載置台と該載置台に
載置された被加圧物を加圧する加圧部材とが対向配置さ
れ、該加圧部材は位置基準部材に螺嵌された加圧用ボル
トを介して加圧力が加えられる加圧装置において、 前記加圧用ボルトが加圧された際における歪みを検出す
る歪み検出手段を備え、 該歪み検出手段が検出した歪みに応じて前記載置台と加
圧部材との平行度を管理するようにしたことを特徴とす
る加圧装置における平行度管理装置。 - 【請求項２】 前記歪み検出手段が検出した歪みに応じ
て前記加圧用ボルトを回転駆動するボルト駆動手段を備
えたことを特徴とする請求項１記載の加圧装置における
平行度管理装置。 - 【請求項３】 前記歪み検出手段は、前記加圧用ボルト
に貼付された歪み検出素子であることを特徴とする請求
項１または請求項２記載の加圧装置における平行度管理
装置。 - 【請求項４】 前記歪み検出手段は、前記加圧用ボルト
と加圧部材との間に介在された介在部材に貼付された歪
み検出素子であることを特徴とする請求項１または請求
項２記載の加圧装置における平行度管理装置。 - 【請求項５】 前記歪み検出手段は、前記載置台に貼付
された歪み検出素子であることを特徴とする請求項１ま
たは請求項２記載の加圧装置における平行度管理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20098995A JPH0949702A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 加圧装置における平行度管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20098995A JPH0949702A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 加圧装置における平行度管理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0949702A true JPH0949702A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16433662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20098995A Pending JPH0949702A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 加圧装置における平行度管理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0949702A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1659385A3 (en) * | 2004-11-22 | 2006-06-21 | JTEKT Corporation | Sensor-mounted roller bearing apparatus |
| JP2022022722A (ja) * | 2020-07-02 | 2022-02-07 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置 |
-
1995
- 1995-08-07 JP JP20098995A patent/JPH0949702A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1659385A3 (en) * | 2004-11-22 | 2006-06-21 | JTEKT Corporation | Sensor-mounted roller bearing apparatus |
| US7497131B2 (en) | 2004-11-22 | 2009-03-03 | Jtekt Corporation | Sensor-mounted roller bearing apparatus |
| JP2022022722A (ja) * | 2020-07-02 | 2022-02-07 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2604090B2 (ja) | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置 | |
| GB2223041A (en) | Pressure roller assembly | |
| JP2006281502A (ja) | シール装置 | |
| GB2047900A (en) | Material testing device | |
| JPH0949702A (ja) | 加圧装置における平行度管理装置 | |
| JP2980073B2 (ja) | 熱圧着装置及びその制御方法 | |
| US5767414A (en) | Automatically aligning tool for uniformly applying a controlled force to an object | |
| KR19990034424A (ko) | 집적회로소자 접착용 가압장치 | |
| JP3100231B2 (ja) | 粘着性試験装置および方法 | |
| JP3165215B2 (ja) | 液晶パネルの部品実装装置 | |
| JPH10246618A (ja) | 平行度測定装置 | |
| JP2877056B2 (ja) | 熱圧着装置 | |
| JP2877055B2 (ja) | 熱圧着装置 | |
| JP2005191385A (ja) | 圧着装置 | |
| JP3112737B2 (ja) | 圧着装置 | |
| JPH10270898A (ja) | コネクタ圧入装置 | |
| JPH0494553A (ja) | ボンディング装置 | |
| JP2002260805A (ja) | 熱圧着装置 | |
| JP3213094B2 (ja) | 定寸装置付き平面研磨装置 | |
| JP2526000Y2 (ja) | 加熱圧着体の加熱温度測定用熱電対 | |
| CN101466530A (zh) | 用于提高胶合生物基面板产品上的内部粘合强度测试的一致性的设备 | |
| JPH04223829A (ja) | 工作機械 | |
| JPH06117805A (ja) | 平行度指示計 | |
| JPH0736265Y2 (ja) | パネル構成部材の圧力検知装置 | |
| JPH02284773A (ja) | 加圧溶接機 |