JP2912520B2 - Glass substrate storage cassette - Google Patents
Glass substrate storage cassetteInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基板を互いに接
触しないように分離して収容するためのガラス基板収容
用カセットに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass substrate accommodating method for accommodating glass substrates separately so as not to contact each other.
It relates to a cassette for use .
【0002】[0002]
【従来の技術】各種ガラス基板の取り扱いに際しては、
各基板を互いに接触しないようにカセットに出入、収容
することが必要となる。2. Description of the Related Art In handling various glass substrates,
It is necessary to move the substrates into and out of the cassette so as not to contact each other.
【0003】この目的のカセットとして普及しているも
のは、箱形の枠体の1対の相対向する側面をオール樹脂
製の溝付き側板で形成し、両側板の対応する溝間に基板
を出入、収容しうるようにしたものである。溝付き側板
の形状やデザインには種々のものがあるが、いずれも基
本的には、側板背肉部から所定のピッチで平行に多数の
リブ状の棚片が張り出した形状を有している。隣接する
リブ状の棚片間の空隙が溝となり、そこに基板が出入、
収容される。[0003] A cassette widely used for this purpose is formed by forming a pair of opposing side surfaces of a box-shaped frame with grooved side plates made of all-resin, and mounting a substrate between corresponding grooves of both side plates. It is designed to be able to enter and exit and accommodate. There are various shapes and designs of the grooved side plates, but each basically has a shape in which a number of rib-shaped shelf pieces protrude in parallel from the back plate of the side plate at a predetermined pitch. . The gap between the adjacent rib-shaped shelf pieces becomes a groove, and the substrate enters and exits there,
Will be accommodated.
【0004】このタイプのものには、本出願人の出願に
かかる特開平2−295150号公報、特開平3−13
3152号公報、特開平3−133153号公報、特開
平3−268343号公報、特開平3−268344号
公報、特開平4−245453号公報などがある。[0004] This type is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2-295150 and 3-13 filed by the present applicant.
No. 3,152, JP-A-3-133153, JP-A-3-268343, JP-A-3-268344, JP-A-4-245453, and the like.
【0005】また、特開昭62−247328号公報に
は、液晶表示用ガラス基板の製造における保持容器とし
てポリエーテルエーテルケトン樹脂より成形されたもの
を用いることが示されており、特開昭62−24732
9号公報には、表面表示体駆動用薄膜半導体基板を保持
する保持容器としてポリエーテルエーテルケトン樹脂よ
りなるものを用いることが示されている。Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-247328 discloses that a holding container formed of a polyetheretherketone resin is used as a holding container in the production of a glass substrate for a liquid crystal display. -24732
No. 9 discloses that a holding container for holding a thin film semiconductor substrate for driving a surface display body is made of a polyetheretherketone resin.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】従来の基板用カセット
は、溝付き側板を含めオール樹脂製であるため、基板の
重量を支える強度を確保するためには溝付き側板の巾を
広目(たとえば100mm)に設定しなければならない
上、1側面当りの枚数も3〜4枚は必要であり、その結
果樹脂製であるにもかかわらず重量が大となることを免
かれなかった。Since the conventional substrate cassette is made of all resin including the grooved side plate, the width of the grooved side plate must be wide (for example, in order to secure the strength to support the weight of the substrate). 100 mm), and the number of sheets per side is also required to be 3-4. As a result, the weight is inevitably increased despite being made of resin.
【0007】また溝付き側板が樹脂製であることから、
基板の出入時や運搬時に帯電し、殊に基板がTFT液晶
用ガラス基板であるような場合にはトランジスタが静電
気破壊を起こすことがあった。Since the grooved side plate is made of resin,
The transistor is charged when the substrate is moved in and out or transported, and particularly when the substrate is a glass substrate for a TFT liquid crystal, the transistor may be damaged by static electricity.
【0008】後者の帯電の問題に関しては、樹脂成分に
金属繊維、金属粒子、カーボン繊維、カーボン粒子など
の導電性フィラーを配合したものを用いてカセットの溝
付き側板を成形することも考えられるが、導電性フィラ
ーを配合して成形して得られた溝付き側板は、基板収容
時に基板との摩擦により摩耗粉などの塵埃を生じやすく
なり、その結果帯電防止性の目的は達成できても基板用
カセットとしての適性に欠けるようになる。Regarding the latter problem of charging, it is conceivable to form the grooved side plate of the cassette using a resin component in which conductive fillers such as metal fibers, metal particles, carbon fibers, and carbon particles are blended. In addition, the grooved side plate obtained by molding with a conductive filler is liable to generate dust such as abrasion powder due to friction with the substrate when the substrate is accommodated. It lacks suitability as a cassette.
【0009】基板用カセットを構成する部材のうち溝付
き側板をオール金属製とすることも考えられるが、その
場合は金属でできた溝付き側板のリブ状の棚片に直接基
板が接触することになるため、基板との摩擦により摩耗
粉などの塵埃を生ずるようになる。しかも溝付き側板を
オール金属製としたときは、帯電物と接触したときに一
気に電流が流れるため、トランジスタ破壊などの回路障
害を起こす危険がある。It is conceivable that all the grooved side plates of the members constituting the substrate cassette are made of metal, but in this case, the substrate directly contacts the rib-shaped shelf of the grooved side plate made of metal. Therefore, dust such as abrasion powder is generated due to friction with the substrate. In addition, when the grooved side plate is made of metal, current flows at once when it comes into contact with a charged object, and there is a risk of causing a circuit failure such as transistor breakdown.
【0010】本発明は、このような背景下において、ガ
ラス基板を支承する溝付き側板の巾を狭くしかつカセッ
ト1側面当りのその設置枚数を必要最小限にしても必要
な強度を有し、しかもガラス基板取り扱い時の帯電を有
効に防止すると共に、たとえ帯電しても減衰が適度の範
囲でゆっくりと行われるため回路障害を起こすことがな
く、さらにはガラス基板との摩擦によっても摩耗粉など
の塵埃を生じがたいガラス基板収容用カセットを提供す
ることを目的とするものである。[0010] The present invention is, in such a background under, moth
Narrowing the width of the grooved side plate for supporting the glass substrate and have the requisite strength even when the minimum necessary the installation number per cassette 1 side, yet with effectively prevent charging during glass substrate handling, even charged without causing circuit failure to be done slowly in a range of moderate attenuation even further provides a hard glass substrate accommodating cassette which produce dust, such as abrasion powder by the friction between the glass substrate The purpose is to do so.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板収容
用カセットは、フレーム(1)および溝付き側板
(2),(2)で箱形に構成され、その箱形の1対の相
対向する側面に配設した溝付き側板(2),(2)の対
応する溝間にガラス基板(O)を収容するようにしたカ
セットにおいて、前記溝付き側板(2)として、カセッ
トの内面側および外面側が樹脂体(R)で形成されると
共にそれらの間に骨格材としての金属体(M)が側面な
いし背面から露出するように配置され、かつ内面側と外
面側の樹脂体(R)は金属体(M)の長さ方向に所定の
間隔で設けてある貫通孔を通して連絡した構造の細巾の
平板の背肉部(21)から、樹脂体(R)でできたリブ
状の棚片(22)が所定のピッチでカセット内部側に向
けて平行に張り出した構造を有する金属−樹脂複合板を
用いたこと、およびその金属−樹脂複合板は、金属体
(M)をアウトサートまたはインサートとして樹脂を射
出成形することにより金属体(M)と一体化した樹脂体
(R)からなることを特徴とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The glass substrate housing of the present invention is provided.
The cassette for use is formed in a box shape by a frame (1) and grooved side plates (2), (2), and grooved side plates (2), (2) disposed on a pair of opposing side surfaces of the box shape. in the corresponding cassette so as to accommodate a glass substrate (O) between the grooves of), as the grooved side plate (2), the cassette
When the inner surface side and outer surface side of the
Both sides have a metal body (M) as a skeletal material between them
The chair is arranged to be exposed from the back, and the inside and outside
The resin body (R) on the surface side has a predetermined length in the length direction of the metal body (M).
The narrow width of the structure connected through the through holes provided at intervals
A metal-resin composite plate having a structure in which rib-shaped shelf pieces (22) made of a resin body (R) project parallel to the inside of the cassette at a predetermined pitch from a back portion (21) of a flat plate. The metal-resin composite plate is made of a resin body (R) integrated with the metal body (M) by injection-molding a resin using the metal body (M) as an outsert or insert. It is assumed that.
【0012】以下本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.
【0013】本発明のガラス基板収容用カセットは、フ
レーム(1)および溝付き側板(2),(2)で箱形に
形成され、箱形の1対の相対向する側面に溝付き側板
(2),(2)が配設された基本構成を有する。The cassette for accommodating a glass substrate according to the present invention is formed in a box shape by a frame (1) and grooved side plates (2), (2), and a grooved side plate (1) is formed on a pair of opposing side surfaces of the box shape. 2) and (2) have a basic configuration.
【0014】フレーム(1)は、底フレーム(11)、
天井フレーム(12)、および薄板状のガラス基板
(O)を受けとめるためのストッパーとしての受けフレ
ーム(13)で構成される。受けフレーム(13)に代
えて、カセット最奥側のフレームまたはカセット最奥部
の溝付き側板(2)に適宜のストッパー手段を設けるこ
ともできる。フレーム(1)の材質は、樹脂であっても
金属であってもよい。The frame (1) comprises a bottom frame (11),
Ceiling frame (12), and sheet-likeGlass substrate
(O) Receiving frame as stopper to catch
(13). Replacement for receiving frame (13)
The frame at the innermost part of the cassette or the innermost part of the cassette.
Provide appropriate stopper means on the grooved side plate (2).
Can also be. Even if the material of the frame (1) is resin
It may be metal.
【0015】溝付き側板(2),(2)の設置個数は、
箱形の一側面(つまり片面)当り最少で2個、通常は3
個とし、カセットが大きい場合には4個以上とすること
もできる。The number of grooved side plates (2), (2) is
A minimum of two per side (ie one side) of the box, usually 3
If the cassette is large, the number may be four or more.
【0016】そして本発明においては、上記溝付き側板
(2)として、カセットの内面側および外面側が樹脂体
(R)で形成されると共にそれらの間に骨格材としての
金属体(M)が側面ないし背面から露出するように配置
され、かつ内面側と外面側の 樹脂体(R)は金属体
(M)の長さ方向に所定の間隔で設けてある貫通孔を通
して連絡した構造の細巾の平板の背肉部(21)から、
樹脂体(R)でできたリブ状の棚片(22)が所定のピ
ッチでカセット内部側に向けて平行に張り出した構造を
有する金属−樹脂複合板を用いる。In the present invention, the inner side and the outer side of the cassette are formed of a resin body as the grooved side plate (2).
(R) and between them as a skeletal material
Arranged so that metal body (M) is exposed from the side or back
And the inner and outer resin bodies (R) are metal bodies
(M) through the through holes provided at predetermined intervals in the length direction.
From the back of the narrow flat plate (21)
A metal-resin composite plate having a structure in which rib-shaped shelf pieces (22) made of a resin body (R) project in parallel at a predetermined pitch toward the inside of the cassette is used.
【0017】ここで金属体(M)としては、ステンレス
スチール、アルミニウムなどがあげられる。Here, examples of the metal body (M) include stainless steel and aluminum.
【0018】樹脂体(R)用の樹脂としては、ポリエー
テルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリイミ
ド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、
ポリアリレート、ポリスルホン、ポリアリルスルホン、
ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンエーテルスルホ
ン、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリエーテルアミ
ド、パーフルオロアルコキシ置換ポリテトラフルオロエ
チレン、ポリプロピレン、ポリブチレンテレフタレー
ト、ポリカーボネート、アクリロニトリル系ポリマーな
どがあげられる。Examples of the resin for the resin body (R) include polyetheretherketone, polyetherimide, polyimide, polyamideimide, polyphenylenesulfide,
Polyarylate, polysulfone, polyallylsulfone,
Examples include polyether sulfone, polyphenylene ether sulfone, modified polyphenylene oxide, polyether amide, perfluoroalkoxy-substituted polytetrafluoroethylene, polypropylene, polybutylene terephthalate, polycarbonate, and acrylonitrile-based polymer.
【0019】高度の帯電防止性が特に要求されるとき
は、樹脂体(R)としてエチレン−ビニルアルコール共
重合体やポリアミドなどの吸水性を有するエンジニアリ
ングプラスチックスを用いることが望ましい。この場
合、成形後に自然吸水させるかあるいは積極的に水と接
触させて、含水率をたとえば0.5〜20%程度、殊に
1〜10%程度まで高めることが望ましい。When a high degree of antistatic property is particularly required, it is desirable to use a water-absorbing engineering plastic such as ethylene-vinyl alcohol copolymer or polyamide as the resin body (R). In this case, it is desirable that the water content be increased to, for example, about 0.5 to 20%, particularly about 1 to 10%, by allowing the water to be naturally absorbed or actively brought into contact with the water after molding.
【0020】上記溝付き側板(2)を構成する金属−樹
脂複合板は、金属体(M)をアウトサートまたはインサ
ートとして樹脂を射出成形することにより、金属体
(M)と一体化した樹脂体(R)となすことにより製造
される。 Metal-tree constituting the grooved side plate (2)
The resin composite plate is manufactured by forming a resin body (R) integrated with the metal body (M) by injection molding a resin using the metal body (M) as an outsert or an insert.
【0021】溝付き側板(2)のリブ状の棚片(22)
の巾は、軽量化のためにできるだけ細巾(たとえば50
mm以下)に設定される。The rib-shaped shelf (22) of the grooved side plate (2)
Width is as narrow as possible (for example, 50
is set to mm or less).
【0022】このようにして作られたリブ状の棚片(2
2)は、その遊端側にいくほど上方になるように傾斜さ
せることが好ましい。傾斜角度は、たとえば2゜〜30
゜程度、殊に3゜〜15゜程度とする。加えて、棚片
(22)の棚面をその両端側よりも中央部が若干高くな
るような山形構造に形成することが望ましい。これらの
工夫を講ずると、ガラス基板(O)を収容するときの摩
擦が著減する。The rib-shaped shelf (2)
It is preferable that 2) is inclined such that it becomes higher toward the free end side. The inclination angle is, for example, 2 ° to 30 °.
About ゜, especially about 3 ゜ to 15 ゜. In addition, it is desirable that the shelf surface of the shelf piece (22) is formed in a chevron structure such that the central portion is slightly higher than both end sides thereof. If these measures are taken, the friction when housing the glass substrate (O) is significantly reduced.
【0023】上記のような傾斜構造または山形構造に代
えて、リブ状の棚片(22)の遊端側に上に凸の膨み
(h)が形成されるようにすることも望ましい。In place of the inclined structure or the chevron structure as described above, it is preferable that a convex bulge (h) is formed on the free end side of the rib-shaped shelf piece (22).
【0024】溝付き側板(2)の背肉部(21)表面に
ついても、若干の傾斜を設けることが望ましい。またそ
のような傾斜に代えて、背肉部(21)をその両端側よ
り中央部がカセット内部側に0.5〜5mm程度突き出
た構造に設計することも望ましい。これらの工夫を行う
と、ガラス基板(O)のエッジとの接触面積が低減し、
摩耗屑の発生がより完全に防止される。It is desirable that the surface of the back wall (21) of the grooved side plate (2) is also slightly inclined. Instead of such an inclination, it is also desirable to design the back portion (21) to have a structure in which the center portion protrudes about 0.5 to 5 mm toward the inside of the cassette from both ends. When these measures are taken, the contact area with the edge of the glass substrate (O) is reduced,
The generation of wear debris is more completely prevented.
【0025】上記構造のカセットには、各種のガラス基
板(O)が収容される。 The cassette having the above structure includes various glass bases.
A plate (O) is accommodated.
【0026】[0026]
【作用】本発明のガラス基板収容用カセットにあって
は、溝付き側板(2)として、カセットの内面側および
外面側が樹脂体(R)で形成されると共にそれらの間に
骨格材としての金属体(M)が側面ないし背面から露出
するように配置され、かつ内面側と外面側の樹脂体
(R)は金属体(M)の長さ方向に所定の間隔で設けて
ある貫通孔を通して連絡した構造の細巾の平板の背肉部
(21)から、樹脂体(R)でできたリブ状の棚片(2
2)が所定のピッチでカセット内部側に向けて平行に張
り出した構造を有する金属−樹脂複合板を用いている。In the cassette for accommodating a glass substrate according to the present invention, the grooved side plate (2) serves as the inner surface of the cassette and
The outer surface side is formed of a resin body (R) and between them.
Metal body (M) as skeletal material is exposed from the side or back
And the resin body on the inner side and the outer side
(R) are provided at predetermined intervals in the length direction of the metal body (M).
A rib-shaped shelf (2) made of a resin body (R) starts from the back wall (21) of a narrow flat plate having a structure connected through a certain through hole.
2) uses a metal-resin composite plate having a structure that extends in parallel toward the inside of the cassette at a predetermined pitch.
【0027】そのため、基板を支承する溝付き側板
(2)の巾を狭くしかつカセット1側面当りの設置枚数
を必要最小限にしても、必要な強度を得ることができ
る。樹脂体(R)と金属体(M)とが分離することもな
い。 Therefore, the required strength can be obtained even if the width of the grooved side plate (2) for supporting the substrate is made narrow and the number of sheets installed on one side of the cassette is minimized. The resin body (R) and the metal body (M) do not separate.
No.
【0028】また、金属体(M)の存在および樹脂体
(R)の選択により、ガラス基板(O)の取り扱い時の
帯電が有効に防止されると共に、たとえ帯電しても減衰
時間が0.5秒とか1秒というように一定時間保たれる
ために減衰が適度の範囲でゆっくりと行われ、回路障害
を起こすおそれがない。金属体(M)の露出部分からア
ースをとることも容易である。ちなみに溝付き側板
(2)をオール金属製としたときは、帯電物と接触した
ときに一気に電流が流れる、Further, by the presence of the metal body (M) and the selection of the resin body (R), the charging during the handling of the glass substrate (O) is effectively prevented, and even if the charging is performed, the decay time is set to 0.1. Since the time is maintained for a predetermined time such as 5 seconds or 1 second, the attenuation is performed slowly within an appropriate range, and there is no possibility of causing a circuit failure. From the exposed part of the metal body (M)
It is easy to take a source. By the way, when the grooved side plate (2) is made of all-metal, a current flows at once when it comes into contact with a charged object.
【0029】そしてカセットの内面側が樹脂体(R)で
構成され、リブ状の棚片(22)も樹脂体(R)ででき
ているため、ガラス基板(O)との摩擦によっても摩耗
粉などの塵埃を生じがたくなる。 The inner surface of the cassette is a resin body (R).
The rib-shaped shelf (22) is also made of a resin body (R).
Therefore, dust such as abrasion powder hardly occurs even by friction with the glass substrate (O) .
【0030】[0030]
【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。The present invention will be further described with reference to the following examples.
【0031】実施例1 図1は本発明の溝付き側板(2)の一例を示した部分側
面図であり、一部を切り欠き表示してある。図2は図1
の溝付き側板(2)の横断面図、図3は図1の溝付き側
板(2)の正面図である。図4は本発明のカセットの一
例を示した正面図、図5はその平面図、図6はその側面
図である。Embodiment 1 FIG. 1 is a partial side view showing an example of a grooved side plate (2) of the present invention, and a part of the side plate is cut out. FIG. 2 shows FIG.
3 is a cross-sectional view of the grooved side plate (2), and FIG. 3 is a front view of the grooved side plate (2) of FIG. 4 is a front view showing an example of the cassette of the present invention, FIG. 5 is a plan view thereof, and FIG. 6 is a side view thereof.
【0032】図4〜6において、(1)はフレームであ
り、底フレーム(11)、天井フレーム(12)および
受けフレーム(13)からなる。底フレーム(11)と
天井フレーム(12)の材質は、後述の樹脂体(R)と
同じものを用いている。受けフレーム(13)は、軸方
向に穿孔したポリテトラフルオロエチレン押出成形棒に
SUS304製の金属棒をきつく挿入したものからな
る。4 to 6, (1) is a frame, which comprises a bottom frame (11), a ceiling frame (12) and a receiving frame (13). The material of the bottom frame (11) and the ceiling frame (12) is the same as that of the resin body (R) described later. The receiving frame (13) is formed by tightly inserting a metal rod made of SUS304 into a polytetrafluoroethylene extruded rod formed in the axial direction.
【0033】(2)は溝付き側板であり、底フレーム
(11)−天井フレーム(12)間に1面につき3枚宛
ビスどめしてある。Reference numeral (2) denotes a grooved side plate, and three screws per side are fixed between the bottom frame (11) and the ceiling frame (12).
【0034】(3)はSUS304製の取手である。一
点鎖線で示した(O)はガラス基板である。(4)は、
カセットの開口部からガラス基板(O)が滑落するのを
防止するための滑落防止手段である。(3) is a handle made of SUS304. Indicated by one-dot chain line (O) is a glass substrate. (4)
This is means for preventing the glass substrate (O) from sliding down from the opening of the cassette.
【0035】図1〜3に示した溝付き側板(2)は、金
属体(M)の一例としてのSUS304をアウトサート
として用い、樹脂体(R)の一例としてのエチレン−ビ
ニルアルコール共重合体を射出成形することにより得た
金属−樹脂複合板からなり、成形後に水中に浸漬して樹
脂体(R)の含水率を高めるようにしてある。The grooved side plate (2) shown in FIGS. 1 to 3 uses SUS304 as an example of a metal body (M) as an outsert and an ethylene-vinyl alcohol copolymer as an example of a resin body (R). Of a metal-resin composite plate obtained by subjecting the resin body to injection molding, and immersed in water after molding to increase the water content of the resin body (R).
【0036】この溝付き側板(2)にあっては、カセッ
トの内面側および外面側が樹脂体(R)で形成されると
共に、それらの間に金属体(M)が骨格材として配置し
た構造を有している。内面側と外面側の樹脂体(R)
は、金属体(M)の長さ方向に所定の間隔で設けてある
貫通孔を通して連絡している。The grooved side plate (2) has a structure in which the inner surface and the outer surface of the cassette are formed of a resin body (R), and a metal body (M) is arranged between them as a frame material. Have. Inner and outer resin bodies (R)
Are connected through through holes provided at predetermined intervals in the length direction of the metal body (M).
【0037】そして溝付き側板(2)は、形状的には、
背肉部(21)からリブ状の棚片(22)が所定のピッ
チでカセット内部側に向けて平行に張り出した構造を有
している。背肉部(21)の巾は40mm、棚片(2
2)の巾は24mmにそれぞれ設定してある。The grooved side plate (2) is
It has a structure in which rib-shaped shelf pieces (22) project in parallel from the back part (21) toward the inside of the cassette at a predetermined pitch. The width of the back part (21) is 40 mm, and the shelves (2
The width of 2) is set to 24 mm.
【0038】溝付き側板(2)のリブ状の棚片(22)
は、その遊端側が基端側よりも高くなるように傾斜させ
てあり、その傾斜角は5゜に設定してある。棚片(2
2)の先端は丸みを持たせてある。棚片(22)の棚面
は、その両端側よりも中央部が高くなるような山形構造
に形成してあり、その山形の傾斜角も5゜に設定してあ
る。The rib-shaped shelf (22) of the grooved side plate (2)
Is tilted so that its free end is higher than the base end, and the tilt angle is set to 5 °. Shelf pieces (2
The tip of 2) is rounded. The shelf surface of the shelf piece (22) is formed in a chevron structure such that the central portion is higher than both end sides, and the inclination angle of the chevron is set to 5 °.
【0039】溝付き側板(2)の背肉部(21)は、隣
接するリブ状の棚片(22),(22)の溝間におい
て、図1のように傾斜構造となるようにしてある。The back wall (21) of the grooved side plate (2) has an inclined structure as shown in FIG. 1 between the grooves of the adjacent rib-shaped shelf pieces (22), (22). .
【0040】このカセットは比較的軽い上、このカセッ
トにTFT液晶用ガラス基板(O)を収容したときは、
帯電防止が確実に図られるためトランジスタの破壊が確
実に防止できる。また、ガラス基板(O)との接触によ
る摩擦に起因する摩耗粉の発生が皆無に近くなるまで著
減する。[0040] The cassette is on relatively light, when accommodating the T FT LCD glass substrate (O) in the cassette,
Since charge prevention is reliably achieved, transistor breakdown can be reliably prevented. Further, the generation of wear powder due to friction caused by contact with the glass substrate (O) is significantly reduced until almost no generation occurs.
【0041】なお、上記においては樹脂体(R)として
エチレン−ビニルアルコール共重合体を用いた場合を示
したが、樹脂体(R)としてはポリエーテルエーテルケ
トン、ポリエーテルイミド、ポリアミド、アクリロニト
リル系ポリマーをはじめ、耐熱性や吸水性を有する種々
のエンジニアリングプラスチックスを用いることができ
る。Although the case where an ethylene-vinyl alcohol copolymer is used as the resin body (R) has been described above, the resin body (R) may be made of polyetheretherketone, polyetherimide, polyamide, or acrylonitrile. Various engineering plastics having heat resistance and water absorbency, including polymers, can be used.
【0042】実施例2 図7は本発明の溝付き側板(2)の他の一例を示した部
分側面図であり、一部を切り欠き表示してある。図8は
図7の溝付き側板(2)の横断面図、図9は図7の溝付
き側板(2)の正面図である。Embodiment 2 FIG. 7 is a partial side view showing another example of the grooved side plate (2) of the present invention, a part of which is cut away. FIG. 8 is a cross-sectional view of the grooved side plate (2) of FIG. 7, and FIG. 9 is a front view of the grooved side plate (2) of FIG.
【0043】図7〜9に示した溝付き側板(2)は、金
属体(M)の一例としてのアルミニウム合金をアウトサ
ートとして用い、樹脂体(R)の一例としてのエチレン
−ビニルアルコール共重合体を射出成形することにより
得た金属−樹脂複合板からなり、成形後に水中に浸漬し
て樹脂体(R)の含水率を高めるようにしてある。The grooved side plate (2) shown in FIGS. 7 to 9 uses an aluminum alloy as an example of a metal body (M) as an outsert and an ethylene-vinyl alcohol copolymer as an example of a resin body (R). It is made of a metal-resin composite plate obtained by injection-molding the united body, and is immersed in water after molding to increase the water content of the resin body (R).
【0044】他の構造は基本的には実施例1の場合と同
様であるが、溝付き側板(2)の背肉部(21)の巾は
30mm、棚片(22)の巾は18mmにそれぞれ設定
してあり、また金属体(M)としてアルミニウム合金を
用いているため、SUS304を用いている実施例1に
比しアウトサートの厚みを厚くしてある。The other structure is basically the same as that of the first embodiment, except that the width of the back wall (21) of the grooved side plate (2) is 30 mm and the width of the shelf piece (22) is 18 mm. Since each is set and an aluminum alloy is used as the metal body (M), the thickness of the outsert is increased compared to the first embodiment using SUS304.
【0045】実施例3 図10は本発明の溝付き側板(2)のさらに他の一例を
示した部分側面図であり、一部を切り欠き表示してあ
る。Third Embodiment FIG. 10 is a partial side view showing still another example of the grooved side plate (2) of the present invention, and a part of the side plate is cut out.
【0046】この実施例においては、溝付き側板(2)
のリブ状の棚片(22)はほぼ水平方向に張り出すよう
にしてあり、また棚片(22)の棚面の遊端側に横長の
膨み(h)を形成してある。In this embodiment, the grooved side plate (2)
The rib-shaped shelf piece (22) is formed so as to extend substantially in the horizontal direction, and a horizontally long bulge (h) is formed on the free end side of the shelf surface of the shelf piece (22).
【0047】[0047]
【発明の効果】本発明のガラス基板収容用カセットにあ
っては、ガラス基板(O)を支承する溝付き側板(2)
の巾を狭くしかつカセット1側面当りの溝付き側板
(2)の設置枚数を必要最小限にしても必要な強度が得
られる。According to the glass substrate accommodating cassette of the present invention, the grooved side plate (2) for supporting the glass substrate (O) is provided.
The required strength can be obtained even if the width of the groove is narrowed and the number of grooved side plates (2) per side of the cassette is set to a minimum.
【0048】また、金属体(M)の存在および樹脂体
(R)の選択により、ガラス基板(O)の取り扱い時の
帯電が有効に防止されると共に、たとえ帯電しても減衰
時間が所要時間保たれるために減衰が適度の範囲でゆっ
くりと行われ、回路障害を起こすおそれがない。さらに
は、カセットの内面側が樹脂体(R)で構成され、リブ
状の棚片(22)も樹脂体(R)でできているため、ガ
ラス基板(O)との摩擦によっても摩耗粉などの塵埃を
生じがたくなる。Further, the presence of the metal body (M) and the selection of the resin body (R) effectively prevent the charging during the handling of the glass substrate (O) , and even if the charging is performed, the decay time is the required time. Since it is maintained, the attenuation is performed slowly within an appropriate range, and there is no possibility of causing a circuit failure. Further, the inner surface side of the cassette is formed of a resin body (R),
Since the shelf-like shelf piece (22) is also made of the resin body (R),
Dust such as abrasion powder is hardly generated even by friction with the glass substrate (O) .
【図1】本発明の溝付き側板(2)の一例を示した部分
側面図であり、一部を切り欠き表示してある。FIG. 1 is a partial side view showing an example of a grooved side plate (2) of the present invention, with a part thereof being cut away.
【図2】図1の溝付き側板(2)の横断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the grooved side plate (2) of FIG.
【図3】図1の溝付き側板(2)の正面図である。FIG. 3 is a front view of the grooved side plate (2) of FIG. 1;
【図4】本発明のカセットの一例を示した正面図であ
る。FIG. 4 is a front view showing an example of the cassette of the present invention.
【図5】図4の平面図である。FIG. 5 is a plan view of FIG. 4;
【図6】図4の側面図である。FIG. 6 is a side view of FIG. 4;
【図7】本発明の溝付き側板(2)の他の一例を示した
部分側面図であり、一部を切り欠き表示してある。FIG. 7 is a partial side view showing another example of the grooved side plate (2) of the present invention, a part of which is cut away.
【図8】図7の溝付き側板(2)の横断面図である。8 is a cross-sectional view of the grooved side plate (2) of FIG.
【図9】図7の溝付き側板(2)の正面図である。FIG. 9 is a front view of the grooved side plate (2) of FIG. 7;
【図10】本発明の溝付き側板(2)のさらに他の一例
を示した部分側面図であり、一部を切り欠き表示してあ
る。FIG. 10 is a partial side view showing still another example of the grooved side plate (2) of the present invention, a part of which is cut away.
(1)…フレーム、 (11)…底フレーム、(12)…天井フレーム、(1
3)…受けフレーム、 (2)…溝付き側板、 (21)…背肉部、(22)…リブ状の棚片、 (3)…取手、 (4)…滑落防止手段、 (M)…金属体、 (R)…樹脂体、 (O)…ガラス基板、 (h)…膨み(1) ... frame, (11) ... bottom frame, (12) ... ceiling frame, (1
3) ... receiving frame, (2) ... grooved side plate, (21) ... back part, (22) ... rib-shaped shelf piece, (3) ... handle, (4) ... slip-off prevention means, (M) ... Metal body, (R) resin body, (O) glass substrate, (h) bulge
Claims (4)
(2)で箱形に構成され、その箱形の1対の相対向する
側面に配設した溝付き側板(2),(2)の対応する溝
間にガラス基板(O)を収容するようにしたカセットに
おいて、前記溝付き側板(2)として、カセットの内面
側および外面側が樹脂体(R)で形成されると共にそれ
らの間に骨格材としての金属体(M)が側面ないし背面
から露出するように配置され、かつ内面側と外面側の樹
脂体(R)は金属体(M)の長さ方向に所定の間隔で設
けてある貫通孔を通して連絡した構造の細巾の平板の背
肉部(21)から、樹脂体(R)でできたリブ状の棚片
(22)が所定のピッチでカセット内部側に向けて平行
に張り出した構造を有する金属−樹脂複合板を用いたこ
と、およびその金属−樹脂複合板は、金属体(M)をア
ウトサートまたはインサートとして樹脂を射出成形する
ことにより金属体(M)と一体化した樹脂体(R)から
なることを特徴とするガラス基板収容用カセット。1. A frame (1) and a grooved side plate (2),
The glass substrate (O) is arranged between the corresponding grooves of the grooved side plates (2), (2) arranged on the pair of opposing side surfaces of the box shape in (2). In the cassette, the inner surface of the cassette is used as the grooved side plate (2).
The side and the outer surface are formed of a resin body (R) and
Metal body (M) as skeletal material between the sides or back
From the inner side and the outer side
The oil bodies (R) are provided at predetermined intervals in the length direction of the metal bodies (M).
A rib-shaped shelf piece (22) made of a resin body (R) is directed toward the inside of the cassette at a predetermined pitch from a back wall portion (21) of a narrow flat plate having a structure connected through a through hole formed in the cassette. The use of a metal-resin composite plate having a structure protruding in parallel, and the metal-resin composite plate is formed with the metal body (M) by injection molding a resin using the metal body (M) as an outsert or an insert. A glass substrate storage cassette comprising an integrated resin body (R).
くほど上方になるように傾斜させてある請求項1記載の
カセット。2. The cassette according to claim 1, wherein the rib-shaped shelf piece (22) is inclined so as to become higher toward the free end side.
の膨み(h)が形成されている請求項1記載のカセッ
ト。3. The cassette according to claim 1, wherein an upwardly convex bulge (h) is formed on the free end side of the rib-shaped shelf piece (22).
請求項1記載のカセット。4. The cassette according to claim 1, wherein the resin body (R) is a molded article of a water-absorbing resin.
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1993
- 1993-03-13 JP JP5078842A patent/JP2912520B2/en not_active Expired - Fee Related
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