JP2909670B2

JP2909670B2 - 洗浄度測定装置

Info

Publication number: JP2909670B2
Application number: JP3291299A
Authority: JP
Inventors: 澤和泉芹; 貫稔綿
Original assignee: OOKU SEISAKUSHO KK
Current assignee: OOKU SEISAKUSHO KK
Priority date: 1991-11-07
Filing date: 1991-11-07
Publication date: 1999-06-23
Anticipated expiration: 2014-06-23
Also published as: JPH05129262A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液晶画面に使用する
ガラスや、シリコンウエハー等の被処理物を紫外線洗浄
した後、その洗浄度を測定するために使用される洗浄度
測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶画面に使用するガラスや、
ＬＳＩに使用されるシリコンウエハー等は、微細な電極
を形成する工程で、その表面に付着した人間の皮膚脂
や、有機性のラッピング剤等、表面の汚染物を除去する
ことが重要であり、この除去作業に紫外線洗浄装置が広
く使用されている。

【０００３】そして、紫外線洗浄した被処理物は、その
表面に置いた水滴の角度を測定して洗浄度を検査する接
触角法によりその洗浄度が測定されている。また、Ｘ線
により被処理物からの放射角をパラメーターとし脱出深
さを変えてＸ線励起光電子を測定し、洗浄度を測定する
装置が知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した測定
装置では、以下のような問題点を有していた。接触角法は、水滴を滴下してその水滴の角度を測定
することで、洗浄度を測定するので、表面積が小さい被
処理物の洗浄度を測定する場合に優れているが、被処理
物の全面に渡るような広い面積を測定するには不向きで
あった。また、洗浄した表面を水滴により汚してしまう
ことになる。Ｘ線を用いる方法は、装置が大型で複雑になり、製
造費も高価になる。

【０００５】なお、エンビシート等のシート状物体
の静電特性を検査する方法として、被処理物表面の電位
を測定する方法が行なわれているが、この方法では、表
面の帯電を測定するため、表面の汚れによる微小な電位
の変化を測定することは不可能であった。この発明は、
上記の問題点に鑑み創案されたもので、複雑な構成とす
ることなく装置が構成でき、表面電位測定方法を利用し
て被処理物の全面に渡って洗浄度を測定できると共に、
被処理物の区画した位置での洗浄度合いを表示すること
ができ、また、被処理物の厚みにかかわらず洗浄度の測
定を可能とする洗浄度側装置を提供することを課題とす
る。

【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
ため、この発明は、駆動機構によりガイドバーに沿って
上下動自在に移動する昇降テーブルと、この昇降テーブ
ルの上部に昇降自在に設けた被処理物を載置する載置部
と、この載置部の上方で対向する位置に設けた振動電極
部と、前記載置部および振動電極部の所定位置に設けら
れ、前記被処理物の厚さに対応して、その載置部の移動
距離を位置決めするためのセンサーとを備える洗浄度測
定装置として構成した。また、前記振動電極部には、電
磁石が碁盤の目状に配置されると共に、前記電磁石によ
り振動する振動電極を有し、前記被処理物の表面電位
が、碁盤の目状に配置された前記電磁石に対応して表示
する分割画面を有する構成とした。

【０００６】

【作用】前記手段により、以下のような作用を有する。
洗浄度測定装置は、昇降テーブルの載置部に被処理
物を載置して測定を開始すると、駆動機構により所定位
置まで、ガイドバーに沿って昇降テーブルが上昇して移
動する。つぎに、載置部がセンサーを介して昇降テーブ
ルから上昇し、その載置部の被処理物と振動電極部との
間隔を適切な測定位置に設定する。洗浄度測定装置
は、被処理物の洗浄度を、振動電極部の区画された電磁
石に対応するように設けた電子画面に表示される。

【０００７】

【実施例】以下、図面に基づいてこの発明の実施例を説
明する。図１は、洗浄度測定装置の全体を示す斜視図、
図２は、洗浄度測定装置の側面図、図３は、洗浄度測定
装置の電気回路の構成を示すブロックダイアグラム図で
ある。洗浄度測定装置１は、被処理物２を載置する昇降
テーブル３と、この昇降テーブル３をガイドバー５に沿
って駆動する駆動機構４と、この駆動機構４で一定位置
まで昇降した後に前記昇降テーブル３の載置部３ａを所
定位置に設定するシリンダ装置３ｂ₁と、昇降テーブル
３に対面するように昇降テーブル３の上方に配置した平
板状の振動電極部６と、昇降テーブル３に載置されてい
る被処理物２の上面から振動電極部６の下面までの距離
を所定の寸法に設定する位置決めセンサー７、８等によ
って構成されている。

【０００８】図１に示すように前記昇降テーブル３は、
電極３ａ₁を有する載置部３ａと、図２に示すように、
この載置部３ａを上下動させるシリンダー装置３ｂ₁と
載置部３ａの作動をガイドする案内バー３ｂ₂，３ｂ₂
とを有している。また、載置部３ａは、シリンダー装置
３ｂ₁および案内バー３ｂ₂，３ｂ₂に着脱自在に係合
しており、被処理物の大きさに応じて載置部３ａを所望
の寸法のものに取り替えることができるようになってい
る。

【０００９】載置部３ａには、その周縁側に突出する磁
気センサーなどのセンサー７が少なくとも一個以上（図
面では２個）設けられている。また、前記センサー７に
対応する位置で、後述する振動電極部６の側部には、位
置決め用のセンサー８（磁気センサーなど）が設けられ
ている。そのため、センサー７、８により載置部３ａの
移動距離が適切な位置に到達すると信号を発生し、前記
シリンダ装置３ｂ₁を停止させることで、被処理物２の
上面から振動電極部６までの距離を常に一定にするよう
に構成している。

【００１０】駆動機構４は、ガイドバー５に設けられた
ラック５ａにピニオンが係合すると共に、係合突部４
ａ、４ａがガイドバー５の両側部に設けられた溝ガイド
５ｂ、５ｂに係合して駆動モータの駆動を介してガイド
バー５に沿って昇降するように構成されている。また、
この駆動機構４の側部上端側には、前記昇降テーブル３
の支持アーム３ｄを着脱自在に保持する保持アーム４ｂ
が一体に固設されている。

【００１１】振動電極部６の下面には、前記載置部３ａ
に設けた電極３ａ₁に対面するように電磁石６ａ（図３
参照）が碁盤の目状に配設され、この電磁石６ａの振動
により振動する振動電極６ａ₁を有している。また、こ
の振動電極部６は、その側端に支持アーム９を有してお
り、前記ガイドバー５に固定した保持部１０の側端から
延びる保持アーム１１にこの支持アーム９を着脱自在に
保持させている。

【００１２】洗浄度測定法に使用される公知の電気回路
の概要は、図３で示すように、発信器２０によって作動
する電磁石６ａと、この電磁石６ａの振動により振動電
極６ａ₁が振動し電極３ａ₁との間に生じる信号電圧を
増幅するプリアンプ２１およびメインアンプ２２と、こ
のメインアンプ２２で増幅された信号電圧中の交流成分
を除去する同期検波回路２３と、この同期検波回路２３
が取り出した信号電圧の直流成分を増幅する直流アンプ
２５と、増幅された直流の信号電圧を測定値として表示
する指示計１３，１４（ディスプレイ，電子画面）と、
測定値をプリンター等に記録表示するための出力端子２
６等からなる。なお、図中２７は一定電圧供給用電源回
路、２４はゼロ点調整回路であり、この発明では各電磁
石６ａごとに前記の回路構成を複数個設けている。

【００１３】また、図１における１２は洗浄度の限界許
容値を入力する操作ボード、１３は測定値が限界値を越
えたときに警告を発するディスプレイ、１４は被処理物
２上の各部の表面電位の測定値、すなわち、各指示計の
目盛りを測定場所ごとに表示する電子画面であり、この
電子画面には、振動電極部６に設けられている電磁石電
極６ａ₁の数に対応した分割画面数が表示されており、
被処理物２のどの位置がどの程度汚れているか数値で判
断できるように構成されている。

【００１４】次に、洗浄度測定装置をその使用手順に沿
って説明する。はじめに、洗浄度測定装置１を使用する
際は、ゼロ調整回路２４によりゼロアジャストを行い、
ディスプレイ１３，１４の指示計の目盛りを零に合わせ
る。洗浄度測定装置１の昇降テーブル３に被処理物２を
載置したのち、駆動機構４等を駆動して昇降テーブル３
を上昇させる。そして、一方のセンサー７、８の検出に
より駆動機構４を振動電極部６の近傍で停止させ、他方
のセンサー７、８の検出によりシリンダー装置３ｂ₁が
駆動して所定位置に被処理物２を設定することになる。

【００１５】そして、被処理物２の上面と振動電極部６
の下面との距離が0.5mm になるとシリンダー装置３ｂ₁
が停止する。電極３ａ₁に載置された被処理物２の表面
と振動電極６ａ₁の間には、被処理物２の表面の電位と
距離に応じた電気容量が発生する。ここで電源スイッチ
を入れると発信器２０が２２０Ｈ_Zの交流を各電磁石６
ａに供給し、各振動電極６ａ₁が振動する。この振動に
より振動電極６ａ₁に対向する被処理物２の部分との電
気容量が変化する。

【００１６】そして、この電気容量の変化に対応する変
動電位が、プリアンプ２１に送られ、さらに、増幅、検
波されたのちディスプレー１４の指示計に表示される。

【００１７】被処理物２のある部分の上面が汚れている
場合は、他の部分に比べて表面電位が高くなる。そし
て、この表面電位の上昇はディスプレー１４の指示計に
表示される。したがって、この指示計の目盛りを比較す
ることによって、被処理物２のどの部分が汚れているか
判断でき、再洗浄をおこなうときの目安となる。

【００１８】なお、この発明は、上記の実施例に限定さ
れるものではなく、例えば、駆動機構等に替えて送りネ
ジを使用して昇降テーブルを駆動し、被処理物の設定位
置を決める構成とすること等、その他この発明の要旨を
逸脱しない範囲において種々の変更ができることは勿論
である。

【００１９】

【発明の効果】この発明は上記のように構成したので、
以下に記載する効果を奏する。洗浄度測定装置は、
昇降テーブルの上昇により振動電極部の近傍まで移動さ
せた後、センサーを介して載置部が昇降テーブルから上
昇して振動電極部と被処理物との測定間隔を適切な位置
に設定するため、精密な位置決めができることと共に、
測定する被処理物ごとに厚みが変わっても、対応して洗
浄度を適切に測定することが可能となる。洗浄度測
定装置は、昇降テーブルの載置部は、その全面に電極が
設けられているため、広い面積での洗浄度の測定が可能
になり、また、振動電極部の電磁石が碁盤の目状に区画
されているため、被処理物のどの部分がどれだけの表面
電位があるかを、前記電磁石に対応して碁盤の目状に区
画された電子画面で一目で判断することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】洗浄度測定装置の全体を示す斜視図である。

【図２】洗浄度測定装置の側面図である。

【図３】洗浄度測定装置の原理を示すブロックダイアグ
ラム図である。

【符号の説明】

１洗浄度測定装置２被処理物３昇降テーブル４駆動機構５ガイドバー６振動電極部７位置決めセンサー８位置決めセンサー

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動機構によりガイドバーに沿って上下
動自在に移動する昇降テーブルと、この昇降テーブルの
上部に昇降自在に設けた被処理物を載置する載置部と、
この載置部の上方で対向する位置に設けた振動電極部
と、前記載置部および振動電極部の所定位置に設けら
れ、前記被処理物の厚さに対応して、その載置部の移動
距離を位置決めするためのセンサーとからなることを特
徴とする洗浄度測定装置。
【請求項２】前記振動電極部には、電磁石が碁盤の目
状に配置されると共に、前記電磁石により振動する振動
電極を有し、前記被処理物の表面電位を、前記電磁石に
対応して碁盤の目状に形成した電子画面に表示すること
を特徴とする請求項１に記載の洗浄度測定装置。