JP2906953B2 - 絶縁性放熱シート及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、耐薬品性、絶縁性及び
耐プラズマガス性に優れたポリオレフィン系合成ゴムを
用いた絶縁性放熱シート及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】絶縁性
放熱シートとしては、従来よりシリコーンゴム系のもの
が使用されているが、その主たる用途は、パワートラン
ジスターやサイリスタ等の発熱性電子部品の放熱であっ
た。

【０００３】しかし、従来より使用されていたシリコー
ンゴム系放熱シートは、シリコーンゴムの透湿係数が１
００ｇｍｍ／ｍ²・２４ｈｒと高いため、高温高湿雰囲
気中では、体積固有抵抗率の低下を招き、絶縁性に不安
があった。また、シリコーンゴム系放熱シートは、耐塩
酸、耐アルカリ等の耐薬品性に不安があり、適用範囲が
せばめられていた。更に、シリコーンゴム系放熱シート
は、プラズマガスに対しては比較的耐久性が優れていた
が、長時間プラズマガスにさらされると劣化してしまう
という欠点があった。

【０００４】一方、ポリオレフィン系ゴムによる絶縁性
放熱シートについては、特公昭５７−４２９２１号公報
で提案されている。このものは合成ゴムに窒化ホウ素を
高充填する方法としてロールを使用するが、この方法で
は窒化ホウ素にずれ応力がかからないようにすれば窒化
ホウ素が崩壊又は配向しにくくなるとされているが、実
質的にこのような条件でのロール配合は量産性に欠け、
コスト高となるのみでなく、製造した放熱シートの熱抵
抗が高くなつてしまうという不利があった。

【０００５】また、ポリオレフィン系合成ゴムは、過酸
化物加硫により架橋させてゴムを製造する方法が従来よ
り使用されていたが、この方法は熱風加硫では発泡して
しまい、量産性に優れたトンネル式熱風乾燥炉が使用で
きなかった。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、耐薬品性、絶縁性、耐プラズマガス性に優れたポリ
オレフィン系合成ゴム系絶縁性放熱シートを量産性よく
製造することができる絶縁性放熱シート及びその製造方
法を提供する。

【０００７】

【課題を解決するための手段及び作用】本発明者は、上
記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、中間部に
ガラス繊維クロス層を設けた、電気絶縁性と熱伝導性に
優れた無機充填材を６０〜９０％（重量％、以下同じ）
充填したシロキサン含有エチレンプロピレンジエンゴム
シートによる絶縁性放熱シートが有効であること、そし
てかかるシートを製造する際に、無機充填材を６０〜９
０％配合した付加反応硬化型シロキサン含有エチレンプ
ロピレンジエンゴム組成物にてガラス繊維クロスの目止
め処理を行い、硬化後、無機充填材を６０〜９０％配合
した過酸化物硬化型及び／又は付加反応硬化型シロキサ
ン含有エチレンプロピレンジエンゴム組成物を該ガラス
繊維クロスに塗工し硬化することが有効で、ガラス繊維
クロスが予め付加反応硬化型シロキサン含有エチレンプ
ロピレンジエン組成物で目止め、硬化されることによ
り、その後の塗工工程において、塗工液の裏貫けによる
ピンホール、塗工むらによるシート膜厚のバラツキが解
消され、絶縁性（耐電圧）の向上、熱抵抗の低減が達成
されることを知見し、本発明をなすに至ったものであ
る。

【０００８】従って、本発明は、ガラス繊維クロス層が
無機充填材を６０〜９０％含有する付加反応硬化型シロ
キサン含有エチレンプロピレンジエンゴム組成物の硬化
物にて目止め処理されていると共に、この目止め処理さ
れたガラス繊維クロス層の少なくとも片面に無機充填材
を６０〜９０％含有するシロキサン含有エチレンプロピ
レンジエンゴムシートが積層されてなる絶縁性放熱シー
ト、及び、ガラス繊維クロスに無機充填材を６０〜９０
％配合した付加反応硬化型シロキサン含有エチレンプロ
ピレンジエンゴム組成物にて、予めガラス繊維クロスの
目止め処理を行い、該組成物を加熱硬化した後に、この
目止め処理済ガラス繊維クロスの少なくとも片面に無機
充填材を６０〜９０％含有する付加反応硬化型及び／又
は過酸化物硬化型シロキサン含有エチレンプロピレンジ
エンゴム組成物を塗工し、硬化させてなる絶縁性放熱シ
ートの製造方法を提供する。

【０００９】以下、本発明につき更に詳細に説明する
と、本発明の絶縁性放熱シートは、ガラス繊維クロス層
が無機充填材を６０〜９０％含有する付加反応硬化型シ
ロキサン含有エチレンプロピレンジエンゴム組成物の硬
化物にて目止め処理されていると共に、この目止め処理
されたガラス繊維クロス層の少なくとも片面に無機充填
材を６０〜９０％含有するシロキサン含有エチレンプロ
ピレンジエンゴムシートが積層されてなる絶縁性放熱シ
ートである。

【００１０】ここで、本発明に用いるガラス繊維クロス
は、市販のものを使用すればよいが、その厚みは０．０
３〜０．１５ｍｍ、格子間隔５０〜５，０００μｍのも
のが熱伝導性及び強度の点から好ましい。

【００１１】また、ガラス繊維クロスは、市販のシラン
カップリング剤で処理すればゴム材料との密着性が向上
するが、シランカップリング剤としては、ビニルメトキ
シシラン、ビニルエトキシシラン、γ−グリシドキシプ
ロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。

【００１２】上記ガラス繊維クロスを目止め処理するた
めに使用される付加反応硬化型シロキサン含有エチレン
プロピレンジエンゴム組成物としては、特に制限される
ものではないが、（１）エチレン−プロピレン−ジエン
共重合体６０％以上と、ケイ素原子結合水素原子を含ま
ないオルガノポリシロキサン４０％以下とからなる混合
物、（２）１分子中にケイ素原子に結合した水素原子を
少なくとも２個有するオルガノハイドロジェンポリシロ
キサン、（３）白金又は白金化合物、（４）無機充填材
を含有するものが好適に用いられる。

【００１３】ここで、第１必須成分のエチレン−プロピ
レン−ジエン共重合体としては、プロピレン含有率が４
０〜７０％、特に４０〜６０％のものが好ましく、ま
た、そのジエンモノマーは例えばエチリデンノルボルネ
ン、ジシクロペンタジエン、１，４−ヘキサジエンなど
が一般的である。更に、この共重合体はヨウ素価が１〜
４０、特に５〜３０であることが好ましい。

【００１４】このような共重合体としては、市販のポリ
オレフィン系合成ゴム成分を使用することができ、具体
的にＥＰ２２（日本合成ゴム（株）製）、エスプレン５
６７（住友化学工業（株）製）、ＥＰＴ３０４５（三井
石油化学工業（株）製）、ＥＰ３３（日本合成ゴム
（株）製）などが例示される。

【００１５】本発明では、上記エチレン−プロピレン−
ジエン共重合体にケイ素原子に結合した水素原子を有し
ないオルガノポリシロキサンを混合して用いることが好
ましい。

【００１６】オルガノポリシロキサンとしては、下記一
般式（１） Ｒ¹ _aＳｉＯ_(4-a)/2 …（１） （但し、式中Ｒ¹は、同一又は異種の非置換又は置換一
価炭化水素基、特に炭素数１〜１０の一価炭化水素基
で、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基
等のアルキル基、ビニル基、アリル基、ブテニル基等の
アルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、
ベンジル基、β−フェニルエチル基等のアラルキル基な
どや、これらの基の水素原子の一部又は全部をハロゲン
原子、シアノ基等で置換したクロロメチル基、２−シア
ノエチル基、３，３，３−トリフルオロプロピル基等で
あり、ａは１．９９〜２．０２の正数である。）で示さ
れ、１分子中に少なくとも２個以上のビニル基、アリル
基、ブテニル基等のアルケニル基を有するものが好適に
使用される。この場合、アルケニル基以外の基としては
メチル基が５０モル％以上であるものが好ましい。メチ
ル基が５０モル％より少ないと、製造しにくく経済的で
ない。

【００１７】また、上記式（１）のオルガノポリシロキ
サンは、その平均重合度が５００〜１０，０００、特に
３，０００〜１０，０００であることが望ましい。

【００１８】このようなオルガノポリシロキサンとして
具体的には、メチルビニルポリシロキサン、メチルビニ
ルフェニルポリシロキサン、メチル（３，３，３−トリ
フルオロプロピル）ポリシロキサン等が例示される。

【００１９】なお、エチレン−プロピレン−ジエン共重
合体とオルガノポリシロキサンとの混合割合は、前記共
重合体を１００〜６０％、好ましくは１００〜７０％、
かつ、オルガノポリシロキサンを０〜４０％、好ましく
は０〜３０％とする。混合割合が上記範囲外では硬化し
たゴムの強度が低下する。

【００２０】次に、上記組成物の第２成分は、１分子中
にケイ素原子に結合した水素原子を少なくとも２個有す
るオルガノハイドロジェンポリシロキサンである。

【００２１】この場合、上記オルガノハイドロジェンポ
リシロキサンは架橋剤として作用するもので、例えば下
記一般式（２） Ｈ_bＲ¹ _cＳｉＯ_(4-b-c)/2 …（１） （但し、式中Ｒ²は、同一又は異種の脂肪族不飽和基を
除く非置換又は置換一価炭化水素基、特に炭素数１〜１
０のもので、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、
ブチル基等のアルキル基、フェニル基、トリル基等のア
リール基、ベンジル基、β−フェニルエチル基等のアラ
ルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基など
であり、ｂは０．００２〜１．０の正数、ｃは１．９９
〜２．０２の正数、ｂ＋ｃは１．９９２〜３．０であ
る。）で示される。

【００２２】このようなオルガノハイドロジェンポリシ
ロキサンとしては、具体的に下記構造式の化合物を例示
することができる。

【００２３】

【化１】 （ｋは２〜１０の整数、ｍ，ｎはそれぞれ０〜１０の整
数である）。

【００２４】また、第２成分の配合量は、第１成分中の
ジエン及びアルケニル基１個当り、上記シロキサンのケ
イ素原子に結合した水素原子を０．７〜５個、特に１〜
３個与える量とすることが好ましい。水素原子を０．７
個未満与えるような量では十分な架橋効果が得られない
場合があり、５個を越えて与えるような量を配合しても
特性の改善がみられない場合がある。

【００２５】更に、第３成分の白金又は白金化合物は、
上述した第１成分と第２成分との付加反応を進行させる
ための触媒であり、例えば白金、白金ブラック、塩化白
金酸、塩化白金酸とオレフィン又はアルデヒドとの錯
塩、塩化白金酸のアルコール変性物などが挙げられる。
なお、この白金又は白金化合物の使用量は、触媒量とす
ることができるが、組成物に応じて第１成分と第２成分
との反応による硬化速度が望ましいものとなるように適
宜増減することが好ましく、通常は第１成分の使用量に
対して白金量で１ｐｐｍ〜１％である。

【００２６】更に、第４成分の無機充填材としては、窒
化ホウ素、アルミナ、窒化アルミニウム、石英粉などが
挙げられ、これらの１種を単独で又は２種以上を併用し
て用いることができるが、特に窒化ホウ素が絶縁性等の
点から好ましい。窒化ホウ素としては、特に限定される
ものではないが、黒鉛と同様の層状構造をもつ低圧型の
ヘキサゴナルボロンナイトライド（ｈ−ＢＮ）が使用さ
れる。このような、窒化ホウ素としては、ＫＢＮ（ｈ）
−１０、ＫＢＮ（ｈ）−ＳＱ、ＫＢＮ（ｈ）−ＳＰ、Ｋ
ＢＮ（ｈ）−Ｓ（信越化学工業（株）製），商品名）や
ＶＨＰ−ＥＸ（昭和電工社製，商品名）などが挙げられ
る。

【００２７】なお、上記充填材の配合量は、組成物全体
の６０〜９０％、特に６０〜８０％である。６０％未満
では放熱シートの熱抵抗が高くなって放熱性が悪く、９
０％を越えると放熱シートの強度が低下し、コスト的に
も高くなってしまう。

【００２８】本発明の組成物には、上述した必須成分に
加え、必要に応じて硬化物の物性を調節するための任意
成分、例えばヒュームドシリカ、沈殿シリカ、アルミニ
ウムシリケート、溶融石英粉末、けいそう土、炭酸カル
シウム、二酸化チタン、カーボンブラック等の充填剤、
老化防止剤、紫外線吸収剤、着色剤などを添加すること
ができる。

【００２９】また、本発明では、上記成分の組成物をス
ラリー状で使用することが好ましく、その溶媒としては
種々の有機溶剤が使用されるが、例えばトルエン、キシ
レン、ベンゼン、ソルベントナフサ、工業用ガソリン、
シクロヘキサノン、ｎ−ヘキサンなどが挙げられる。ス
ラリー粘度は、１００〜１００，０００ｃｐのものが使
用できるが、好ましくは５００〜５０，０００ｃｐがよ
い。

【００３０】本発明において、上記付加反応硬化型シロ
キサン含有エチレンプロピレンジエンゴム組成物を用い
てガラス繊維クロスの目止め処理を行う方法としては、
該組成物のスラリーを使用し、図１，２に示すような公
知の含浸機により行うことができる。

【００３１】ここで、図１は垂直型の含浸機で、かき取
り具を使用するものであり、１はガラス繊維クロス、２
は上記組成物のスラリー３を収容するタンク、４は浸漬
ロール、５はかき取り具、６は縁取り具である。また、
図２は水平型の含浸機で、絞りロール７を使用するもの
である。なお、８はオーバーフロー機構である。

【００３２】本発明は、ガラス繊維クロスに上記のよう
に付加反応硬化型シロキサン含有エチレンプロピレンジ
エンゴム組成物を含浸させた後、これを加熱硬化する
が、加熱硬化は熱風により行うことができ、この場合ト
ンネル式熱風乾燥炉を使用することができる。なお、上
記組成物として過酸化物硬化型の組成物では熱風加熱を
行うと発泡が生じ、熱風乾燥炉の使用は困難であるが、
付加反応硬化型の組成物の場合は発泡を生じずに熱風加
熱硬化を行うことができる。

【００３３】この加熱硬化の条件は適宜選定されるが、
１００〜２５０℃、３０秒〜６０分の条件を採用するこ
とができる。

【００３４】次に、本発明においては、目止め処理され
たガラス繊維クロスの片面、好ましくは両面に無機充填
材を６０〜９０％含有するシロキサン含有エチレンプロ
ピレンジエンシートを積層するが、この場合該ゴムシー
トの形成に用いるシロキサン含有エチレンプロピレンジ
エンゴム組成物としては、付加反応硬化型のものでも過
酸化物硬化型のものでもよい。

【００３５】この場合、付加反応硬化型の組成物として
は、上述した付加反応硬化型の組成物と同様のものを使
用することができ、一方、過酸化物硬化型の組成物とし
ては、上記した付加反応硬化型の組成物において、
（２）成分の１分子中にケイ素原子に結合した水素原子
を少なくとも２個有するオルガノハイドロジェンポリシ
ロキサン、（３）成分の白金又は白金化合物の代わり
に、ｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ベンゾイルパー
オキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチ
ル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、ジ
−ｔ−ブチルパーオキサイド等の有機過酸化物を用いた
ものを使用すればよい。

【００３６】上記ゴムシートをガラス繊維クロスに形成
する方法としては、目止め処理されたガラス繊維クロス
に、付加反応硬化型及び／又は過酸化物硬化型シロキサ
ン含有エチレンプロピレンジエン組成物のスラリーを塗
工し、膜厚調整を行うが、塗工方法としては公知のナイ
フコーター、ブレードコーター、スプレーコーター、傾
斜板カーテンコーターなどが使用できる。次に、溶剤の
除去のため、自然乾燥すればよいが、量産性を考慮して
熱風乾燥炉を使用してもよい。その後、塗工した組成物
を硬化すれば絶縁性放熱シートが得られるが、この場合
熱プレスや加圧熱ロールなどの公知の方法で加硫すれば
よい。なお、量産性等の点から目止め処理済ガラス繊維
クロスの片面に付加反応硬化型及び／又は過酸化物硬化
型シロキサン含有エチレンプロピレンジエン組成物のス
ラリーを塗工し、熱風乾燥した後にもう一方の面に該組
成物のスラリーを塗工し、熱風乾燥し、プレフォームを
製造し、このプレフォームをカッターにて所定の形状、
寸法にカットした後に熱プレスにより加硫することが推
奨される。

【００３７】加硫条件は、１００〜２５℃、特に１５０
〜２００℃、３０秒〜６０分、特に５〜３０分とするこ
とができる。また、上記ゴムシートの厚さは１００〜
３，０００μｍ、特に２００〜８００μｍとすることが
好ましい。

【００３８】

【発明の効果】本発明は下記の効果を有する。 １．スラリー状の原料をガラス繊維クロスに含浸、塗工
する際に、量産性に優れた連続処理装置が使用できるの
で、コスト的に有利である。 ２．合成ゴムへの窒化ホウ素の分散が、ロール等の高い
ずれ応力がかかるものを使用せず、スラリー分散用のミ
キサーで行えるので、殆んどずれ応力がかからないの
で、窒化ホウ素が崩壊することがなく、熱抵抗が高くな
らず、性能上有利な放熱シートが製造できる。 ３．スラリー状の付加反応硬化型シロキサン含有エチレ
ンプロピレンジエンゴム組成物でガラス繊維クロスに予
め目止め処理をする際に、熱風加熱硬化炉が使用でき、
クロスの目止めが完全に行えるので、ピンホールや次工
程での塗工むらが発生せず、絶縁性が高く、膜厚バラツ
キによる熱抵抗バラツキがなく、品質的に優れた放熱シ
ートが製造できる。 ４．合成ゴム中に窒化ホウ素が高充填でき、しかもガラ
ス繊維クロス層が中間に設けられるので、引裂強度に優
れた放熱シートが製造できる。 ５．合成ゴムとして、シロキサン含有エチレンプロピレ
ンジエンゴム組成物の硬化物を使用するので、耐塩酸、
耐アルカリ、耐プラズマガス性に優れ、更に高温高湿雰
囲気中でも体積固有抵抗の低下がなく、電気絶縁性に優
れる。

【００３９】

【実施例】以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具
体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限される
ものではない。

【００４０】〔実施例１〜３、比較例１〜２〕ポリオレ
フィン系合成ゴムＥＰ２２（日本合成ゴム（株）製，ヨ
ウ素価２２）、（ＣＨ₂＝ＣＨ）（ＣＨ₃）ＳｉＯ単位
０．５モル％と（ＣＨ₃）₂ＳｉＯ単位９９．５モル％と
からなる両末端が水酸基で封鎖された平均重合度８，０
００のメチルビニルポリシロキサン、比表面積が２００
ｍ²／ｇのシリカアエロジル２００（日本アエロジル
（株）製）を表１に示す割合で２本ロールを用いて配合
した後、トルエンに溶かして２０％ゴムトルエン溶液と
した。

【００４１】次に、得られた２０％ゴムトルエン溶液に
下記式（Ａ）で示されるオルガノハイドロジェンポリシ
ロキサン２部、塩化白金酸の５％イソプロピルアルコー
ル溶液０．１部、ヘキサゴナルボロンナイトライドＫＢ
Ｎ（ｈ）−１０（信越化学工業（株）製），商品名）２
００部、エチニルシクロヘキサノールの５０％トルエン
溶液０．１部を添加後、混合し、ガラス繊維クロスの目
止め用組成物を調製した。次に、含浸機と熱風乾燥炉が
連結された図３に示す製造装置を使用して、厚み０．０
６ｍｍ、格子間隔５０μｍ、質量４８８ｇ／ｍ²で、ビ
ニルトリメトキシシラン処理されたガラス繊維クロスに
目止め用組成物による含浸目止め処理を行った。なお、
ウエブ速度は１ｍ／ｍｉｎ、熱風乾燥炉の温度は１５０
℃であった。また比較のため、オルガノハイドロジェン
ポリシロキサン塩化白金酸の５％イソプロピルアルコー
ル溶液、エチニルシクロヘキサノールの５０％トルエン
溶液の代わりに、ジクミルパーオキサイド２部を添加し
たもので同様の目止め処理を行った。

【００４２】

【化２】

【００４３】ここで図３において、９は熱風乾燥炉、１
０は巻き取りロールであり、他の参照符号は図１と同様
である。

【００４４】得られた実施例１〜３の目止め処理済のガ
ラス繊維クロスは、格子間隔に均一にゴムが充填されて
おり、目あき等の不具合はなかった。しかし、比較例１
の過酸化物により硬化したものは発泡してしまった。

【００４５】

【表１】

【００４６】次に、表１に示す実施例１〜３の組成物を
図４に示すナイフコーターと熱風乾燥炉の連結された製
造装置にて目止め処理済ガラス繊維クロスの片面に塗
工、乾燥した（ウェブ速度１ｍ／ｍｉｎ、熱風乾燥炉８
０℃）。更に、もう一方の面に同様に材料を塗工、乾燥
した。得られたプレフォームを縦×横＝３００×３００
ｍｍにカットし、熱プレスを使用して、１２０℃，５０
ｋｇ／ｃｍ²の 条件で１０分間プレスし、絶縁性放熱シ
ートを得た。得られた放熱シート及び比較例２としてガ
ラス繊維クロスにＢＮを配合したシリコーンゴム層を設
けた絶縁放熱シートＴＣ−４５ＢＧ（信越化学工業
（株）社製，商品名）の物性及び耐薬品性の結果を表２
に示す。

【００４７】なお、図４において、１１は目止め処理済
ガラス繊維クロス、１２は塗工液、１３はナイフ、１４
は熱風乾燥炉、１５は巻き取りロールである。

【００４８】

【表２】

【００４９】なお、熱抵抗は下記方法により測定した。熱抵抗 トランジスタＴＯ−３型の打ち抜きサンプルをトランジ
スタ・２ＳＤ１１３（東芝社製，商品名）とフィン・Ｆ
ＢＡ−１５０−ＰＳ（（株）オーエス社製，商品名）の
間に挟んでトルクインバーターに取り付け、トランジス
タ過度熱抵抗測定器・ＴＨ−１５６（桑野電機社製，商
品名）によってＤＣ１０Ｖ．３Ａの電力を印加し、１分
後のΔＶ_EB（ｍＶ）から次式によって算出した。

【００５０】

【数１】 ΔＶ_EBS…サンプルを挟んだものΔＶ_EB ΔＶ_EBO…放熱グリース・Ｇ７４６（信越化学工業
（株）社製，商品名）をトランジスタに塗布した時のΔ
Ｖ_EB Ｃ…トランジスタのΔＶ_EBの温度係数（ΔＶ_EB／ΔＴ≒
２．２ｍＶ／℃） α…ベース電流による補正項（α＝０．９Ｗ）

【００５１】〔実施例４〜６、比較例２〕ポリオレフィ
ン系合成ゴムエスプレン５６７（住友化学工業（株）
製，プロピレン含有量４６重量％，ヨウ素価５）、（Ｃ
Ｈ₂＝ＣＨ）（ＣＨ₃）ＳｉＯ単位０．５モル％と（Ｃ₆
Ｈ₅） ＳｉＯ単位１０モル％と（ＣＨ₃）₂ＳｉＯ単位８
９．５モル％とからなる平均重合度８，０００のメチル
ビニルフェニルポリシロキサン、ＨＡＦカーボンを表３
に示す割合で２本ロールを用いて配合後、トルエンに溶
かし、３０％ゴムトルエン溶液とした。得られた３０％
ゴムトルエン溶液にジクミルパーオキサイド３部を添加
し、塗工液を調製した。

【００５２】次に、図４に示す製造装置を使用して、実
施例３で得られた目止め処理済ガラス繊維クロスに上記
塗工液を塗工した（ウェブ速度１ｍ／ｍｉｎ、熱風乾燥
炉９０℃）。得られたプレフォームを縦×横＝３００×
３００ｍｍにカットし、熱プレスを使用して、１７０
℃，３０ｋｇ／ｃｍ²の 条件で１０分間プレスし、絶縁
性放熱シートを得た。得られた放熱シートの物性及び耐
薬品性の結果を表４に示す。

【００５３】

【表３】

【００５４】

【表４】

【００５５】上記の結果より、実施例１〜６で得られた
絶縁性放熱シートは、従来のシリコーンゴム系放熱シー
トに比較して耐塩素性及び耐アルカリ性に優れ、しかも
塩素系やフッ素系のプラズマガスに対しても優れた耐久
性があることが認められる。また、４０℃，９０％ＲＨ
の雰囲気中で５時間放置した直後に体積固有抵抗率を測
定した結果を表５に示す。

【００５６】

【表５】

【００５７】上記の結果より、実施例１〜６のシート
は、絶縁破壊強度に優れると同時に高温高湿の雰囲気中
でも体積固有抵抗率の低下がなく、電気絶縁性に優れて
いることが認められる。

【図面の簡単な説明】

【図１】含浸機の一例を示す概略断面図である。

【図２】含浸機の他の例を示す概略断面図である。

【図３】目止め処理装置の一例を示す概略断面図であ
る。

【図４】ゴムシート形成装置の一例を示す概略断面図で
ある。

【符号の説明】 １ ガラス繊維クロス ３ スラリー ９ 熱風乾燥炉 １１ 目止め処理済ガラス繊維クロス １４ 熱風乾燥炉

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 米山 勉 群馬県碓氷郡松井田町大字人見１番地10 信越化学工業株式会社 シリコーン電 子材料技術研究所内 (56)参考文献 特開 昭57−63246（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−161140（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−21446（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B32B 1/00 - 35/00

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス繊維クロス層が無機充填材を６０
   〜９０重量％含有する付加反応硬化型シロキサン含有エ
   チレンプロピレンジエンゴム組成物の硬化物にて目止め
   処理されていると共に、この目止め処理されたガラス繊
   維クロス層の少なくとも片面に無機充填材を６０〜９０
   重量％含有するシロキサン含有エチレンプロピレンジエ
   ンゴムシートが積層されてなる絶縁性放熱シート。
2. 【請求項２】 付加反応硬化型シロキサン含有エチレン
   プロピレンジエンゴム組成物が、（１）エチレン−プロ
   ピレン−ジエン共重合体６０重量％以上と、ケイ素原子
   結合水素原子を含まないオルガノポリシロキサン４０重
   量％以下とからなる混合物、（２）１分子中にケイ素原
   子に結合した水素原子を少なくとも２個有するオルガノ
   ハイドロジェンポリシロキサン、（３）白金又は白金化
   合物、（４）無機充填材として窒化ホウ素を含有してな
   る請求項１記載の絶縁性放熱シート。
3. 【請求項３】 ガラス繊維クロスに無機充填材を６０〜
   ９０重量％配合した付加反応硬化型シロキサン含有エチ
   レンプロピレンジエンゴム組成物にて、予めガラス繊維
   クロスの目止め処理を行い、該組成物を加熱硬化した後
   に、この目止め処理済ガラス繊維クロスの少なくとも片
   面に無機充填材を６０〜９０重量％含有する付加反応硬
   化型及び／又は過酸化物硬化型シロキサン含有エチレン
   プロピレンジエンゴム組成物を塗工し、硬化させること
   からなる絶縁性放熱シートの製造方法。
4. 【請求項４】 付加反応硬化型シロキサン含有エチレン
   プロピレンジエンゴム組成物によるガラス繊維クロスの
   目止め処理を該組成物のスラリーを含浸した後に熱風加
   熱硬化することにより行う請求項３記載の製造方法。
5. 【請求項５】 目止め処理済ガラス繊維クロスの片面に
   付加反応硬化型及び／又は過酸化物硬化型シロキサン含
   有エチレンプロピレンジエン組成物のスラリーを塗工
   し、熱風乾燥した後にもう一方の面に該組成物のスラリ
   ーを塗工し、熱風乾燥し、プレフォームを製造し、この
   プレフォームをカッターにてカットした後に熱プレスに
   より加硫する請求項４記載の製造方法。