JP2903880B2 - 冷陰極電子銃 - Google Patents
冷陰極電子銃Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は冷陰極電子銃に関し、特
に真空マイクロエレクトロニクス技術を適用した冷陰極
を用いた冷陰極電子銃に関する。
に真空マイクロエレクトロニクス技術を適用した冷陰極
を用いた冷陰極電子銃に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の熱陰極を用いたＣＲＴ（陰
極線管）用の電子銃の一例の断面図である。
極線管）用の電子銃の一例の断面図である。
【０００３】図３は示すように、熱陰極３１は、図には
示されていないヒータによって加熱される。第１の電極
（以下、Ｇ１電極と記す）２は熱陰極３１に対し負の電
圧が印加されている。第２の電極（以下、Ｇ２電極と記
す）３は熱陰極３１に対し数１００Ｖの正の電圧が印加
されている。第３の電極（以下、Ｇ３電極と記す）４は
熱陰極３１に対し数ｋＶの正の電圧が印加されている。
熱陰極３１の表面には電子放出材料３５が塗布されてお
り、熱陰極３１が高温に加熱されると電子放出材料３５
から電子が放出され、Ｇ１電極２，Ｇ２電極３，Ｇ３電
極４で作られた電界分布に従って電子ビーム６が形成さ
れる。
示されていないヒータによって加熱される。第１の電極
（以下、Ｇ１電極と記す）２は熱陰極３１に対し負の電
圧が印加されている。第２の電極（以下、Ｇ２電極と記
す）３は熱陰極３１に対し数１００Ｖの正の電圧が印加
されている。第３の電極（以下、Ｇ３電極と記す）４は
熱陰極３１に対し数ｋＶの正の電圧が印加されている。
熱陰極３１の表面には電子放出材料３５が塗布されてお
り、熱陰極３１が高温に加熱されると電子放出材料３５
から電子が放出され、Ｇ１電極２，Ｇ２電極３，Ｇ３電
極４で作られた電界分布に従って電子ビーム６が形成さ
れる。
【０００４】図４は従来の冷陰極を用いたＣＲＴ用電子
銃の一例の断面図である。
銃の一例の断面図である。
【０００５】図４に示すように、冷陰極１は図３に示す
電子銃の熱陰極３１の位置に置かれ、その他の電極すな
わちＧ１電極２，Ｇ２電極３，Ｇ３電極４は図３と同じ
位置に置かれ、ほぼ同じ電圧が印加されている。冷陰極
１の表面には、図３の電子放出材料３５の代わりに冷陰
極チップ５が取り付けらている。
電子銃の熱陰極３１の位置に置かれ、その他の電極すな
わちＧ１電極２，Ｇ２電極３，Ｇ３電極４は図３と同じ
位置に置かれ、ほぼ同じ電圧が印加されている。冷陰極
１の表面には、図３の電子放出材料３５の代わりに冷陰
極チップ５が取り付けらている。
【０００６】図５は図４の冷陰極チップの部分拡大断面
図である。
図である。
【０００７】図５に示すように、従来の冷陰極チップ５
は、基板７，絶縁膜８，ゲート電極９，エミッタ１０で
構成されている。エミッタ１０の先端は極めて鋭利に作
られており、このすぐ近くにはこれを取り囲むようにゲ
ート電極９が配置されている。このため、エミッタ１０
に対しゲート電極９に数１０Ｖ以上の電圧を印加する
と、エミッタ１０の先端には極めて高い電界が加わり、
冷陰極チップ５の全面から電子が放出される。放出され
た電子の一部すなわち冷陰極チップ５の中央部から放出
された電子はＧ１電極２，Ｇ２電極３，Ｇ３電極４で作
られた電界分布に従って電子ビーム６が形成される。他
方、冷陰極チップ５の周辺部から放出された電子は負の
電圧が印加されたＧ１電極２によって反射されゲート電
極９に達する。
は、基板７，絶縁膜８，ゲート電極９，エミッタ１０で
構成されている。エミッタ１０の先端は極めて鋭利に作
られており、このすぐ近くにはこれを取り囲むようにゲ
ート電極９が配置されている。このため、エミッタ１０
に対しゲート電極９に数１０Ｖ以上の電圧を印加する
と、エミッタ１０の先端には極めて高い電界が加わり、
冷陰極チップ５の全面から電子が放出される。放出され
た電子の一部すなわち冷陰極チップ５の中央部から放出
された電子はＧ１電極２，Ｇ２電極３，Ｇ３電極４で作
られた電界分布に従って電子ビーム６が形成される。他
方、冷陰極チップ５の周辺部から放出された電子は負の
電圧が印加されたＧ１電極２によって反射されゲート電
極９に達する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】図３に示す従来の熱陰
極の電子銃においては、熱陰極３１を７００〜１０００
℃に保つため、１〜４Ｗのヒータ電源と電力が必要であ
る。さらに、熱陰極３１周辺の電極等の構造物も熱陰極
３１によって加熱され温度が上昇する。この結果、熱陰
極３１の加熱時と非加熱時とでは各構造物の寸法が変化
するので、寸法の温度変化の小さい材料を使用したり、
温度変化に伴なう寸法変化を考慮した設計が必要にな
る。さらに、温度によって陰極材料の一部が蒸発し、陰
極放出電流が経時的に減少してゆく現象があり、この現
象によって陰極寿命が決定されるという問題点がある。
極の電子銃においては、熱陰極３１を７００〜１０００
℃に保つため、１〜４Ｗのヒータ電源と電力が必要であ
る。さらに、熱陰極３１周辺の電極等の構造物も熱陰極
３１によって加熱され温度が上昇する。この結果、熱陰
極３１の加熱時と非加熱時とでは各構造物の寸法が変化
するので、寸法の温度変化の小さい材料を使用したり、
温度変化に伴なう寸法変化を考慮した設計が必要にな
る。さらに、温度によって陰極材料の一部が蒸発し、陰
極放出電流が経時的に減少してゆく現象があり、この現
象によって陰極寿命が決定されるという問題点がある。
【０００９】図４及び図５に示す従来の冷陰極の電子銃
においては、電子は冷陰極１の全面にわたって冷陰極チ
ップ５のゲート９に印加した正の電圧によって引き出さ
れるので、周辺部のエミッタ１０より放出された電子は
負の電圧が印加されたＧ１電極２によって反射され、ゲ
ート電極９に達する。この結果、ゲート電極９は加熱さ
れ、ゲート電極９の変形やガス放出による放電等が発生
し、冷陰極１の劣化や破壊が発生するという問題点があ
る。
においては、電子は冷陰極１の全面にわたって冷陰極チ
ップ５のゲート９に印加した正の電圧によって引き出さ
れるので、周辺部のエミッタ１０より放出された電子は
負の電圧が印加されたＧ１電極２によって反射され、ゲ
ート電極９に達する。この結果、ゲート電極９は加熱さ
れ、ゲート電極９の変形やガス放出による放電等が発生
し、冷陰極１の劣化や破壊が発生するという問題点があ
る。
【００１０】本発明の目的は、劣化や破壊がなく、長寿
命の冷陰極電子銃を提供することにある。
命の冷陰極電子銃を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、導電性と半導
電性とのうちのいずれか一方の基板と、前記基板上に積
層した絶縁層と、該絶縁層の上に積層した金属層と、該
金属層と前記絶縁層の一部分に設けられた穴の中に形成
され先端が尖鋭化した導電性と半導電性とのうちのいず
れか一方の電子放出電極とで形成された微小冷陰極を多
数並べた冷陰極チップと、該冷陰極チップと近接した位
置に配置された中央部に穴の開いた第１の電極と、該第
１の電極と近接した位置に配置された中央部に穴の開い
た第２の電極とを有する冷陰極電子銃において、前記電
子放出電極の先端を前記金属層の表面よりも突き出させ
る。
電性とのうちのいずれか一方の基板と、前記基板上に積
層した絶縁層と、該絶縁層の上に積層した金属層と、該
金属層と前記絶縁層の一部分に設けられた穴の中に形成
され先端が尖鋭化した導電性と半導電性とのうちのいず
れか一方の電子放出電極とで形成された微小冷陰極を多
数並べた冷陰極チップと、該冷陰極チップと近接した位
置に配置された中央部に穴の開いた第１の電極と、該第
１の電極と近接した位置に配置された中央部に穴の開い
た第２の電極とを有する冷陰極電子銃において、前記電
子放出電極の先端を前記金属層の表面よりも突き出させ
る。
【００１２】
【作用】冷陰極表面付近にエミッタに対して正でしかも
ある程度以上の電位の等電位面が形成された部分のエミ
ッタ先端からのみ電子が放出され、この放出された電子
は、全て電子ビームの成分になるため、冷陰極、特にゲ
ート電極に戻ることはない。このため、ゲート電極の加
熱に伴うゲート電極の変形やガス放出による放電等のた
めの冷陰極の劣化や破壊の発生が防止できる。
ある程度以上の電位の等電位面が形成された部分のエミ
ッタ先端からのみ電子が放出され、この放出された電子
は、全て電子ビームの成分になるため、冷陰極、特にゲ
ート電極に戻ることはない。このため、ゲート電極の加
熱に伴うゲート電極の変形やガス放出による放電等のた
めの冷陰極の劣化や破壊の発生が防止できる。
【００１３】これに加えて、冷陰極は加熱する必要がな
いため、加熱用の電源と電力が不要で、陰極を高温に保
持する必要がないため、熱設計が容易で、特別な材料を
使用する必要がなく、さらに、材料の蒸発がないため、
放出電流の経時劣化の可能性の少ない電子銃を実現でき
る。
いため、加熱用の電源と電力が不要で、陰極を高温に保
持する必要がないため、熱設計が容易で、特別な材料を
使用する必要がなく、さらに、材料の蒸発がないため、
放出電流の経時劣化の可能性の少ない電子銃を実現でき
る。
【００１４】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１５】図１（ａ），（ｂ）は本発明の第１の実施
例の断面図及びその冷陰極チップの部分拡大断面図であ
る。図において、１は冷陰極，２はＧ１電極，３はＧ２
電極，４はＧ３電極，５は冷陰極チップ，６は電子ビー
ム，７は基板，８は絶縁層，９はゲート電極，１０はエ
ミッタである。
例の断面図及びその冷陰極チップの部分拡大断面図であ
る。図において、１は冷陰極，２はＧ１電極，３はＧ２
電極，４はＧ３電極，５は冷陰極チップ，６は電子ビー
ム，７は基板，８は絶縁層，９はゲート電極，１０はエ
ミッタである。
【００１６】第１の実施例は、図１（ａ），（ｂ）に示
すように、冷陰極チップ５の特徴は、エミッタ１０の先
端がゲート電極９よりも突き出していることである。エ
ミッタ１０の先端がゲート電極９とほぼ同じ面上にある
従来の構造では、エミッタ１０から放出される電流量は
ゲート電極９とエミッタ１０の間の電圧によって決まる
のに対し、エミッタ１０からの放出電流量はゲート電極
９，Ｇ１電極２，Ｇ２電極３の電位によって決定される
〔インターナショナル・エレクトロンデバイス・ミーテ
ィング（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｃｎａｌ Ｅｌｅｃｔｒｏ
ｎ Ｄｅｖｉｃｅ Ｍｅｅｔｉｎｇ）１９９１テクニカ
ルダイジェスト、２１３〜２１５頁〕。
すように、冷陰極チップ５の特徴は、エミッタ１０の先
端がゲート電極９よりも突き出していることである。エ
ミッタ１０の先端がゲート電極９とほぼ同じ面上にある
従来の構造では、エミッタ１０から放出される電流量は
ゲート電極９とエミッタ１０の間の電圧によって決まる
のに対し、エミッタ１０からの放出電流量はゲート電極
９，Ｇ１電極２，Ｇ２電極３の電位によって決定される
〔インターナショナル・エレクトロンデバイス・ミーテ
ィング（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｃｎａｌ Ｅｌｅｃｔｒｏ
ｎ Ｄｅｖｉｃｅ Ｍｅｅｔｉｎｇ）１９９１テクニカ
ルダイジェスト、２１３〜２１５頁〕。
【００１７】この電子銃を動作させるには、例えば、冷
陰極１，基板７およびエミッタ１０を同電位としてこれ
らを基準としてＧ１電極２に直流の−４０Ｖ，Ｇ２電極
３に直流の５００Ｖ，Ｇ３電極に直流の７ｋＶを印加
し、ゲート電極９には直流の正あるいは負の電圧を印加
する。電子ビーム６の電流量を制御するためには制御電
圧をＧ１電極２おるいはゲート電極９に重畳する。
陰極１，基板７およびエミッタ１０を同電位としてこれ
らを基準としてＧ１電極２に直流の−４０Ｖ，Ｇ２電極
３に直流の５００Ｖ，Ｇ３電極に直流の７ｋＶを印加
し、ゲート電極９には直流の正あるいは負の電圧を印加
する。電子ビーム６の電流量を制御するためには制御電
圧をＧ１電極２おるいはゲート電極９に重畳する。
【００１８】次に、制御電圧をＧ１電極２に加える時の
動作を説明する。冷陰極１とＧ１電極２の間及びＧ１電
極２とＧ２電極３の間は極めて狭く作られているので、
Ｇ２電極３に印加した電圧はＧ１電極２の穴を通して冷
陰極チップ５の表面付近に正の電界を作る。Ｇ１電極２
が−４０Ｖの時、エミッタ１０の先端の電界は１×１０
7 Ｖ／ｃｍ程度であるとする。この時エミッタ１０の先
端の電界は電流を放出する閾値のすぐ下にある。Ｇ１電
極２の電位を−３０Ｖにすると、冷陰極チップ５の中心
部のエミッタ１０の先端がおよそ４×１０7 Ｖ／ｃｍを
超えて、この部分から電流が放出される。周辺部ではエ
ミッタ１０の先端の電界はこの閾値以下であるので、電
流は放出されない。Ｇ１電極２の電位がさらに高くなる
と、エミッタ１０の先端の電界が閾値を超える部分はさ
らに広くなり、同時に中心部のエミッタ１０の先端の電
界もさらに強くなり、より多くの電流が放出される。し
かし、Ｇ１電極２と直接対面する冷陰極チップ５の周辺
部では負の電圧を印加されたＧ１電極２の電位の影響が
強く、Ｇ２電極３の電位の影響を受けないため、電子の
放出はない。
動作を説明する。冷陰極１とＧ１電極２の間及びＧ１電
極２とＧ２電極３の間は極めて狭く作られているので、
Ｇ２電極３に印加した電圧はＧ１電極２の穴を通して冷
陰極チップ５の表面付近に正の電界を作る。Ｇ１電極２
が−４０Ｖの時、エミッタ１０の先端の電界は１×１０
7 Ｖ／ｃｍ程度であるとする。この時エミッタ１０の先
端の電界は電流を放出する閾値のすぐ下にある。Ｇ１電
極２の電位を−３０Ｖにすると、冷陰極チップ５の中心
部のエミッタ１０の先端がおよそ４×１０7 Ｖ／ｃｍを
超えて、この部分から電流が放出される。周辺部ではエ
ミッタ１０の先端の電界はこの閾値以下であるので、電
流は放出されない。Ｇ１電極２の電位がさらに高くなる
と、エミッタ１０の先端の電界が閾値を超える部分はさ
らに広くなり、同時に中心部のエミッタ１０の先端の電
界もさらに強くなり、より多くの電流が放出される。し
かし、Ｇ１電極２と直接対面する冷陰極チップ５の周辺
部では負の電圧を印加されたＧ１電極２の電位の影響が
強く、Ｇ２電極３の電位の影響を受けないため、電子の
放出はない。
【００１９】このように、本実施例においては、Ｇ１電
極２およびＧ２電極３に開けられた穴に対応する部分か
らのみ電子が放出され、周辺部からは電子が放出されな
い。従って、本実施例においては、電子放出がゲート電
極９とコレクタ電極（本実施例のＧ１電極２とＧ２電極
３の複合に相当）の電位に影響されるという前述の参考
文献に示される効果ばかりでなく、Ｇ１電極２とＧ２電
極３の穴の中央部のみから電子が放出され、周辺部から
の電子の放出を抑えることができ、冷陰極１より放出さ
れた電子がＧ１電極２やゲート電極９に到達する可能性
がないという効果が得られる。
極２およびＧ２電極３に開けられた穴に対応する部分か
らのみ電子が放出され、周辺部からは電子が放出されな
い。従って、本実施例においては、電子放出がゲート電
極９とコレクタ電極（本実施例のＧ１電極２とＧ２電極
３の複合に相当）の電位に影響されるという前述の参考
文献に示される効果ばかりでなく、Ｇ１電極２とＧ２電
極３の穴の中央部のみから電子が放出され、周辺部から
の電子の放出を抑えることができ、冷陰極１より放出さ
れた電子がＧ１電極２やゲート電極９に到達する可能性
がないという効果が得られる。
【００２０】なお、Ｇ１電極２の電位が正であっても、
ゲート電極９の電位を適切に設定することによって、Ｇ
１電極２と直接対面する冷陰極チップ５の周辺部ではエ
ミッタ１０の先端の電界を閾値以下に保ち、電子が放出
されないようにすることが可能である。
ゲート電極９の電位を適切に設定することによって、Ｇ
１電極２と直接対面する冷陰極チップ５の周辺部ではエ
ミッタ１０の先端の電界を閾値以下に保ち、電子が放出
されないようにすることが可能である。
【００２１】図２は本発明の第２の実施例の冷陰極付近
の部分拡大断面図である。
の部分拡大断面図である。
【００２２】第２の実施例は、図２に示すように、電子
を放出するエミッタ１０はＧ１電極２およびＧ２電極３
に開けられた穴とほぼ同じ位置に、ほぼ同じ大きさの部
分にのみ存在し、この周辺部にはエミッタ１０ならびに
ゲート電極９は存在しない構造とすることによって、Ｇ
１電極２の電圧により放出電流量および電流を放出する
冷陰極１の領域が決定され、周辺部のエミッタ１０から
放出される電子が電子ビームにはならずにゲート電極９
に戻る電子がないのは第１の実施例と同じである。 さ
らに、本実施例においてはＧ２電極に直接対面する部分
には電子を放出するエミッタ１０がないため、異常な電
圧が各電極に印加されてもＧ１電極２ならびにゲート電
極９に過大な電流が流れる恐れはない。
を放出するエミッタ１０はＧ１電極２およびＧ２電極３
に開けられた穴とほぼ同じ位置に、ほぼ同じ大きさの部
分にのみ存在し、この周辺部にはエミッタ１０ならびに
ゲート電極９は存在しない構造とすることによって、Ｇ
１電極２の電圧により放出電流量および電流を放出する
冷陰極１の領域が決定され、周辺部のエミッタ１０から
放出される電子が電子ビームにはならずにゲート電極９
に戻る電子がないのは第１の実施例と同じである。 さ
らに、本実施例においてはＧ２電極に直接対面する部分
には電子を放出するエミッタ１０がないため、異常な電
圧が各電極に印加されてもＧ１電極２ならびにゲート電
極９に過大な電流が流れる恐れはない。
【００２３】さらに、ゲート電極９とエミッタ１０の間
の静電容量は必要最小限となるため、ゲート電極９とエ
ミッタ１０の間に制御信号を印加する場合でも、駆動回
路の負荷を軽くできる。
の静電容量は必要最小限となるため、ゲート電極９とエ
ミッタ１０の間に制御信号を印加する場合でも、駆動回
路の負荷を軽くできる。
【００２４】なお、第１，第２の実施例においては、制
御信号をＧ１電極２に印加する動作方式を示したが、制
御信号をエミッタ１０あるいはゲート電極９に印加する
場合にも同様の効果が期待できる。
御信号をＧ１電極２に印加する動作方式を示したが、制
御信号をエミッタ１０あるいはゲート電極９に印加する
場合にも同様の効果が期待できる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、陰極を加
熱する必要がなく、加熱用の電源と電力が不要で陰極を
高温に保持する必要がないため、熱設計が容易で特別な
材料を使用する必要がなく、電子ビームの電流密度が高
く、さらに、材料の蒸発がないため、放出電流の経時劣
化の可能性の少ない電子銃を実現できる効果がある。
熱する必要がなく、加熱用の電源と電力が不要で陰極を
高温に保持する必要がないため、熱設計が容易で特別な
材料を使用する必要がなく、電子ビームの電流密度が高
く、さらに、材料の蒸発がないため、放出電流の経時劣
化の可能性の少ない電子銃を実現できる効果がある。
【００２６】また、ゲート電極に電流が流れ込まないた
め、ゲート電極の変形やガス放出による放電等のための
陰極の劣化や破壊の発生が防止できる効果がある。
め、ゲート電極の変形やガス放出による放電等のための
陰極の劣化や破壊の発生が防止できる効果がある。
【００２７】さらに、Ｇ２電極を制御して電子ビーム電
流量を変えると、多くの電流が必要な時には冷陰極チッ
プ５の電流放出面積が増加するのでひとつのエミッタ当
りの電流の増加は抑圧され、より安定な動作が期待でき
る効果がある。
流量を変えると、多くの電流が必要な時には冷陰極チッ
プ５の電流放出面積が増加するのでひとつのエミッタ当
りの電流の増加は抑圧され、より安定な動作が期待でき
る効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例の断面図及びその冷陰極
チップの部分拡大断面図である。
チップの部分拡大断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例の冷陰極付近の部分拡大
断面図である。
断面図である。
【図３】従来の熱陰極を用いたＣＲＴ用電子銃の一例の
断面図である。
断面図である。
【図４】従来の冷陰極を用いたＣＲＴ用電子銃の一例の
断面図である。
断面図である。
【図５】図４の冷陰極チップの部分拡大断面図である。
１ 冷陰極 ２ Ｇ１電極 ３ Ｇ２電極 ４ Ｇ３電極 ５ 冷陰極チップ ６ 電子ビーム ７ 基板 ８ 絶縁層 ９ ゲート電極 １０ エミッタ ３１ 熱陰極 ３５ 電子放出材料
Claims (2)
- 【請求項１】 導電性と半導電性とのうちのいずれか一
方の基板と、前記基板上に積層した絶縁層と、該絶縁層
の上に積層した金属層と、該金属層と前記絶縁層の一部
分に設けられた穴の中に形成され先端が尖鋭化した導電
性と半導電性とのうちのいずれか一方の電子放出電極と
で形成された微小冷陰極を多数並べた冷陰極チップと、
該冷陰極チップと近接した位置に配置された中央部に穴
の開いた第１の電極と、該第１の電極と近接した位置に
配置された中央部に穴の開いた第２の電極とを有する冷
陰極電子銃において、前記電子放出電極の先端を前記金
属層の表面よりも突き出させたことを特徴とする冷陰極
電子銃。 - 【請求項２】 請求項１記載の冷陰極電子銃において、
電子放出電極の分布を第１の電極の中央部の穴の位置な
らびに大きさにぼぼ一致させたことを特徴とする冷陰極
電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18484392A JP2903880B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 冷陰極電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18484392A JP2903880B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 冷陰極電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0636681A JPH0636681A (ja) | 1994-02-10 |
| JP2903880B2 true JP2903880B2 (ja) | 1999-06-14 |
Family
ID=16160290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18484392A Expired - Fee Related JP2903880B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 冷陰極電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2903880B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3147227B2 (ja) | 1998-09-01 | 2001-03-19 | 日本電気株式会社 | 冷陰極電子銃 |
-
1992
- 1992-07-13 JP JP18484392A patent/JP2903880B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0636681A (ja) | 1994-02-10 |
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