JP2900944B2 - 半導体メモリ - Google Patents

半導体メモリ

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JP2900944B2 JP1171288A JP17128889A JP2900944B2 JP 2900944 B2 JP2900944 B2 JP 2900944B2 JP 1171288 A JP1171288 A JP 1171288A JP 17128889 A JP17128889 A JP 17128889A JP 2900944 B2 JP2900944 B2 JP 2900944B2
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【発明の詳細な説明】 〔概要〕 半導体メモリの回路に関し、 大容量化に伴うメモリセルの間隔が微細化してもNOR
回路を使用出来かつ配線面積を少くすることを目的とし メモリセルアレイ、アドレスバッファー回路、入力さ
れるアドレス情報により該メモリセルアレイのビットラ
イン群とワードライン群の少くとも一方の群から所定の
アドレスに相当するラインを選択するデコーダ回路、該
メモリセルアレイのビットライン群とワードライン群の
少くとも一方の群に接続されたデータ入/出力回路とを
少くとも含む半導体メモリにおいて、少くとも一方の該
入/出力回路が複数の組に分割されており、又該メモリ
セルアレイにおける少くとも一つのライン群において互
に隣接している複数本のライン同志がそれぞれ一組とさ
れて同一のアドレスに割りつけられており、かつ同一ア
ドレスに割りつけられた当該組内の複数本の各ラインの
それぞれは複数に分割されている異なるデータ入/出力
回路に分配されるように構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体メモリ回路に関するものであり更に詳
しくはICメモリのセル選択用アドレスデコーダ回路及び
セルとデータ入/出力回路とをつなぐデータバスの構成
に関するものである。
〔従来の技術〕
近年半導体メモリ回路におけるICメモリは大容量化が
進められており、従ってそれに使用されるメモリセルの
大きさは増々微細化されて来ている。一方セルを選択す
るアドレスデコーダの幅,例えばNOR回路の幅は今後の
技術発展が考えられるとしても,その小型化に限界があ
るためデコーダがセルのピッチ以内に収さまらない場合
が生じてくることが想定されている。即ち現在一般的に
使用されているメモリ回路の例としては第3図に示され
るような構造のものであって同図において、ワードライ
ン群WLと二本のビット線BL,▲▼に接続された多数
のセルとで構成されたメモリセルアレイと図示されては
いないが,第1図にしめされる様なアドレスバッファー
回路2、入力されるアドレス情報により該メモリセルア
レイ内のビット線対群(BL0,▲▼0),(BL1,▲
1)……(BL2n-1,▲▼2n-1,)からアドレ
スに相当するラインを選択するアドレスデコーダ回路5,
データ入/出力回路8とを少くとも含む半導体メモリが
示されており、かかるメモリにおけるアドレスデコーダ
回路5において1カラムごとにカラムデコーダとしてNO
Rゲート回路10を使用している。これは第5図に示すよ
うにかかる構造のメモリにおいては例えばセンスアンプ
S/A及びライトアンプW/Aからなる各データ入/出力回路
(I/O)ごとにセルが配置され、各々アドレス順に配列
せしめられているため1カラムセルピッチXごとに1つ
のNORゲート回路10が必要とされていた。
尚上記した構成はカラムラインデコーダ5についての
説明であるが、これと同一の構成はビットラインデコー
ダについても適用されうることは云うまでもない。
処で上記したように、1カラムのセルピッチXがNOR
ゲート10の幅Sより大きいか等しい場合は問題がない
が、セルの微細化が進んだ結果、かかるメモリ構造を採
用することが困難となりつつある。かかる問題点を改良
するため第4図に示すような方法を採用したメモリが使
用されている。即ち、第4図におけるメモリの主たる構
成は第3図のものと同一であるが、デコーダ回路5にお
いて、i本のデコード済みの信号を直接1〜nビットの
それぞれのメモリセルアレイブロック(1,2,……n)に
おける,それぞれに対応するアドレスに配線するように
してある。つまりアドレス信号線が16本あるとすれば各
ビット毎にその1つ1つをコラムゲート20のそれぞれに
配線するものであって上記のようなNORゲートを使用し
なくて済む。従ってセルピッチの微細化にはほとんど影
響がなく上記の問題に対処しえる反面、信号配線の本数
が増大し,その占める面積が増大するためチップ面積が
増大するという別の欠点を生じていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明は上記した従来技術の欠点を改良し、メモリセ
ルが微細化されてもANDゲート或はNORゲート回路等のゲ
ート回路の幅がセルのピッチ以上となっても該デコード
回路を有効に使用出来しかも配線部分の専有面積も増大
することがない半導体メモリ回路を提供しようとするも
のである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は上記目的を達成するため基本的には次の構成
を有するものである。即ち、第1図においてメモリセル
アレイ1、アドレスバッファー回路2、入力されるアド
レス情報により該メモリセルアレイのワードライン群3
とビットライン群4の少くとも一方の群から所定のアド
レスに相当するラインを選択するデコーダ回路5′,5、
該メモリセルアレイのワードライン群とビットライン群
の少くとも一方の群に接続されたデータ入/出力回路8
とを少くとも含む半導体メモリにおいて、少くとも一方
の該入/出力回路が複数の組I/O1,I/O2に分割されてお
り、又該メモリセルアレイにおける少くとも一つのライ
ン群において,互に隣接している複数本のライン同志
(4−1,4−2、或は4−3,4−4等)がそれぞれ一組と
されて同一のアドレスに割りつけられており、かつ同一
アドレスに割りつけられた当該組X1,X2…X3内の複数本
の各ラインのそれぞれは複数に分割されている異なるデ
ータ入/出力回路I/O1,I/O2に分配されている半導体メ
モリである。
つまり本発明におけるメモリ回路においては、センス
アンプS/A及び/又はライトアンプW/Aを含む該入出力回
路(I/O)8を複数組に分割するとともに隣接する複数
本のラインに同一アドレスを割りつけ更にこの同一アド
レスに割りつけられた各ラインのそれぞれを分割された
入出力回路8のそれぞれ(I/O1,I/O2…)に分配したも
のである。つまり複数のビットに対してデコーダ回路を
共用するように配線する処に特徴がある。
より具体的には、ビットラインの分配を例にとって説
明すれば、従来の技術においては第3図に示すようにI/
O1が1組となり又,I/O2が別の1組となり実際上のパタ
ーンを示し、かたまっているI/O1についてはそのライン
を左の方からアドレスを0…nと割りつけ、又I/O2につ
いても同じように割りつけており、アドレス0に対応す
るビットラインがI/O1、及びI/O2にそれぞれ存在してい
るので,アドレス0を指定するとI/O1とI/O2の0と割り
付けられたビットラインが選ばれる。但しそれぞれの場
所は配置的には飛び飛びとなっているので、それぞれの
場所でNOR回路10を作ってそこの選択信号をとり出すこ
とになりNOR回路数も多くなり回路的に複雑となる。
これに対し本発明では第6図に示すようにI/Oを1,2,
1,2という順に割りつけアドレスは同時に隣り同志のビ
ットラインを組として同じアドレスに割りつけるもので
ある。即ちアドレスを並べてI/Oを変えるものである。
そのため本発明では同一アドレスに割りつけられた2本
のビットラインに対し1つのNOR回路10を共用しうるた
めNOR回路の数を減少させることが出来る。上述したよ
うに上記説明はビットラインについて行ったが本発明の
技術思想はワードライン側についても同様に通用しうる
ことは云うまでもない。
本発明におけるデータ入/出力回路8の分割個数は少
くとも2個である複数個が可態であるが、配線の設計の
容易さや配線面積、製造の容易さ等を勘案すると4個以
下好ましくは2個である。
又本発明における同一アドレスに割りつけられる複数
本からなる互いに隣接するラインの本数は2本以上であ
ればよく、特に上限は特定されない。
本発明におけるデコーダ回路は、第1図においてアド
レスバッファーから入力されるアドレス信号を各アドレ
スライン12に割りつけるプレデコーダ11,11′、デコー
ダ10を含むアドレスデコーダ5とから構成されるもので
あって、該デコーダ10は上記1つの組にまとめられる隣
接ラインの数によって異るが2入力、3入力又はそれ以
上のNOR回路或はAND回路を使用することが出来る。
本発明において使用されるメモリセルアレイの特にビ
ットラインは2本のビットライン(BLn,▲▼n)で
構成されているものであることが一般的であるが他の構
造を有するセルアレイを使用することも当然ありうる。
次に本発明においては、通常かかる構成のメモリ回路
を製造した場合、回路内に不良個所が発生することが避
けられず、特にメモリセルアレイでの欠陥は製品の致命
傷となるため、必ず検査を行い不良品を除去することが
一般的に行われている。しかし中には欠点不良個所の程
度が軽微で多少手を入れれば普通に使用出来るものもあ
り、それまで不良品として廃棄してしまうことは経済的
に不利なことであった。本発明はこのような状況に十分
対処しうるような半導体メモリ回路を提供するものであ
り、具体的には後述するように、前記した回路内に第2
図の冗長用カラムライン30を設け、不良個所が見付った
時には冗長カラムに配線を切り換えて使用出来るように
構成したものである。
〔作用〕
本発明は上記した通りの構成を有する半導体メモリで
あることから、メモリセルのピッチが微細化してNORゲ
ート回路或はANDゲート回路等のゲート回路の幅より狭
くなったとしても依然として該ゲート回路を有効に使用
することが出来、又配線に要する面積も小さくしうるメ
モリをうることが出来る。又ゲート回路の数を少くしえ
るので回路全体の面積も小さくなる他配置がすっきり
し、設計が容易に出来る。
〔実施例〕
以下本発明に係る半導体メモリの具体例をビットライ
ンの制御に適用した場合について詳述するが、本発明が
これに限定されるものでないことは前記した通りであ
る。
第1図は本発明に係る半導体メモリ回路の一具体例を
示すダイアグラムである。即ちデータ入/出力回路8は
I/O1とI/O2の二つに分割されメモリセルアレイの左右に
配置されている。又ビットライン(BLn,▲▼n)と
複数個のセルCとから構成されているビット線対群{4
−1(BL0,▲▼0),4−2(BL1,▲▼1),4−
3(BL2,▲▼2),4−4(BL3,▲▼3),……
4−(2n−1)(BL2n-2,▲▼2n-2),4−(2n)
(BL2n-1,▲▼2n-1)}のうち互に隣接する2本の
ビット線対(4−1と4−2),(4−3と4−4)…
をそれぞれ1組とするビットラインの組X1,X2…Xnを設
け各組X1,X2…Xnの各ラインに同一のアドレスを割りつ
ける。つまり組X1に含まれるビットライン4−1と4−
2には同一のアドレス0を、又組X2に含まれるビットラ
イン4−3と4−4にはそれぞれ同一のアドレス1を割
りつけておく。一方デコーダ回路5の中に形成されてい
る2入力NOR回路からなるデコーダ10の出力を上記同一
の組X1,X2等を構成する各ビットライン4−1,4−2の
それぞれ下端部でそれぞれのビットラインの該2本のビ
ット線(BL0,▲▼0),(BL1,▲▼1)等を制
御するカラムゲート20の共通ゲート部に接続せしめてお
り、かつ同一組の中の同一アドレスを割りつけられた2
本ビットラインの一方を一方のデータ入/出力回路8の
I/O1に、又他方を別のデータ入/出力回路8のI/O2にそ
れぞれ接続したものである。
つまりX1の組のビットライン対4−1をデータ入/出力
回路I/O1のバスに、又同じ組のビットライン対4−2を
データ入/出力回路I/O2のバスに、又X2の組のビットラ
イン4−3をデータ入/出力回路I/O1へ又同じ組のビッ
トライン4−4をデータ入/出力回路I/O2へそれぞれ分
けて接続したものである。
かかる配線の割りつけを行うことによって、コラムデ
コードされた信号はI/O1とI/O2のコラムゲートに接続さ
れ、各々のI/Oのローカルデータバスと選択されたコラ
ムアドレスのビット線につながれる結果、メモリセルに
対する読み書きを行うことが出来る。
次に本発明における他の具体例を第2図にもとづいて
説明する。
本具体例では前記したように、上記した本発明のメモ
リ回路に不良個所が見付った場合に使用するための冗長
用カラム30を配設するものである。
該冗長用カラム30は、本発明に使用されているメモリ
セルアレイの一列即ち1カラムライン相当分のセルアレ
イと同一の構造を持たせてある。
かかる冗長用カラム30は上記セルアレイに並列的に適
宜の場所に挿入しておくことが出来る。この場合冗長用
カラム30は、2本以上を一組として適宜の場所に設ける
ことが出来る。即ち本発明においてデータ入/出力回路
の分割数が2個で、同一アドレスを割りつけられるグル
ープ化される1組のビットラインの数が2本であれば2
個の冗長用カラム30−1,30−2を1組として挿入するこ
とが好ましく、該入/出力回路の分割数や1組のビット
ラインの数によって冗長用カラムの数も変化しうる。又
該冗長用カラム30の組は、分割された入/出力回路8の
それぞれのチャネルI/O1,I/O2…I/Onに対して一組づつ
設けてもよく、又複数の該入/出力回路をグループ化し
た組例えばI/O1とI/O2、又はI/O3,I/O4のそれぞれの組
に一組づつ設けて共用するようにしてもよく、更には上
述した入出力回路の組を複数組グループ化した群に対し
て一組又は複数組の冗長用カラムを設けたものであって
も良い。具体的には該入/出力回路I/O1,I/O2を一組と
し又I/O3とI/O4を一組としたものをまとめて一つのグル
ープとした場合に例えば各組との境界部に該冗長用カラ
ムを1組又は複数組(30−1,30−2と30−3,30−4)配
設するものであってもよい。
かかる回路の具体例を第2図に示してあり、メモリセ
ルアレイ1の中のビットライン4−1,4−2…4(2n−
1),4(2n)の間に2個の冗長用カラム30−1,30−2を
配列したものであり、一方の冗長用カラム30−1はデー
タ入/出力回路I/O1のデータバスに、又他方の冗長用カ
ラム30−2はデータ入/出力回路I/O2のデータバスにそ
れぞれ接続されている。一方デコーダ回路には冗長カラ
ム選択信号入力回路60と3入力NOR回路からなるデコー
ダ50とが設けられ、冗長カラム選択信号入力回路を上記
3入力NOR回路へ、プリデコーダ回路11からの2つの入
力と共に入力しかつ該入/出力回路バスに設けたトラン
ジスタから構成される冗長用カラム選択制御部40へと接
続されている。
尚第2図においてはデータ入/出力回路I/O1とI/O2を
一方の組とし、同I/O3とI/O4とを他方の組としている一
つの群に対して2個の共用しうる冗長用カラムを設けた
ものである。
かかる回路を用いた場合、例えば後に一番左側のカラ
ムラインの組(4−1と4−2)のいずれかの一部に欠
点が検出された場合、そこを予め適宜の回路で記憶させ
ておき、そこヘアクセスする必要が生じた時には、冗長
用カラム選択信号入力回路からそこのビットライン(4
−1,4−2)を制御するNOR回路のゲートを閉じるような
コントロール信号を出力させそのビットラインをOFFさ
せるとともに冗長用カラム制御回路のトランジスターを ONさせることにより冗長用カラムにアクセス可能とな
る。
通常3入力NOR回路は2コラムセルピッチで始めて使
用できる幅をもっているので本発明における回路を採用
することによって始めて使用可能となった。更に上記具
体例では冗長用カラム30−1,30−2はI/O1,I/O2の組の
方に不良個所があればその組のために使用され又I/O3と
I/O4の組の方に不良個所があればその組のために切り換
えて使用出来るつまり共用しうるものであるため従来に
あってはI/O1とI/O2に対して2本、I/O3とI/O4に対して
2本と計4本の冗長用カラムを必要としていたが本発明
では2本ですむという効果がある。
上記具体例においてデコーダとして3入力NOR回路を
使用する例を示したが、これに替えてフューズ回路を有
するNAND回路又はNOR回路を使用することも出来る。
かかる回路としては通常のNOR回路又はNAND回路の電
源用端子例えばVcc又はVss端子と本体のNOR又はNAND回
路との間にフェーズを設けたものである。かかる回路の
一例は第7図に示されており、本例では直列接続された
PチャネルMOSFETに並列接続されたNチャネルMOSFEFを
直列に接続し一方のPチャネルMOSFETのゲートを一方の
NチャネルMOSFETのゲートに又他方のPチャネルMOSFET
のゲートを他方のNチャネルMOSFETのゲートにそれぞれ
接続してプレデコーダー信号入力端子に接続した。又P
チャネルMOSFETとNチャネルMOSFETとの接続ノード部に
コラムゲートヘ信号を出力する出力端子を形成したNOR
回路でありかかるNOR回路70と電源端子,(この例ではV
cc)との間にフェーズ80を設け更に好ましくはフェーズ
80とPチャネルMOSFETとの接続ノード部に負荷(例えば
抵抗10K Ω)をとりつけた構造となっている。
かかる構成の回路をデコーダとして上記第2図の3入
力NORデコーダの代りに使用することにより、仮に不良
個所が発見されたカラムに対応する該デコーダのフュー
ズを適宜の手段、例えば電流、レーザー或いはFocused
Ion Beam等で切断することによりノーマルデコーダーと
して選択されなくなり従って当該ビットラインは永久に
選択されることがない。但しそのビットラインを選択す
べきアドレス信号によって冗長用カラムを括性化するこ
とは上記した通りである。かかるデコーダを用いること
により、通常は2入力NOR回路として使用が可能となる
ので回路の大きさを減少せしめる他、セルの微細化にも
十分対処することが出来る。
〔効果〕
本発明によりメモリセルのピッチが微細化してNORゲ
ート回路或いはNANDゲート回路等のゲート回路の幅より
狭くなったとしても依然として該ゲート回路を有効に使
用することが出来、又配線に要する面積も小さくしうる
メモリをうることが出来る。又ゲート回路の数を少くし
うるので回路全体の面積も小さくなる他配置がすっきり
し、設計が容易に出来る。更にメモリ回路の一部に欠陥
が存在していても冗長用カラムを使用することにより正
常に使用することが出来るためメモリ品質向上信頼性の
向上の他生産コストの低減という効果も期待出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るメモリ回路の構成を示す回路図で
ある 第2図は本発明における冗長用カラムを使用した場合の
回路例の要部を示す図である 第3図は従来におけるメモリ回路を説明する図である 第4図は従来における改良されたメモリ回路の例を示す
図である 第5図は従来のメモリ回路におけるビットラインの入/
出力回路とアドレスヘの割りつけ方法を示す図である 第6図は本発明におけるビットラインの割りつけ方法を
説明する図である 第7図は冗長用カラムを用いたメモリに使用されるデコ
ーダの一例を示す図である。1……メモリセルアレイ、
2……アドレスバッファ回路、3……ワードライン、4
……ビットライン、5,5′……デコーダ回路、8……デ
ータ入/出力回路I/O)、10……デコーダ、11,11′……
プレデコーダ、30……冗長用カラム、40……冗長用カラ
ム選択制御部、50……3入力デコーダ、60……冗長用カ
ラム選択信号入力回路、70……NOR回路、80……フェー
ズ、BL0,▲▼0……BL2n-1,▲▼2n1-1……ビ
ットライン C……セル。 WL……ワードライン

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】メモリセルアレイ、アドレスバッファー回
    路、入力されるアドレス情報により該メモリセルアレイ
    のビットライン群とワードライン群の少くとも一方の群
    から所定のアドレスに相当するラインを選択するデコー
    ダ回路、該メモリセルアレイのビットライン群とワード
    ライン群の少くとも一方の群に接続されたデータ入/出
    力回路とを少くとも含む半導体メモリにおいて、 少くとも一方の該入/出力回路が複数の組に分割されて
    おり、該メモリセルアレイにおける少くとも一つのライ
    ン群において互に隣接している複数本のライン同志がそ
    れぞれ一組とされて同一のアドレスに割りつけられてお
    り、かつ同一アドレスに割りつけられた当該組内の複数
    本の各ラインのそれぞれは複数に分割されている異なる
    データ入/出力回路に分配されていることを特徴とする
    半導体メモリ。
  2. 【請求項2】該複数個に分割されたデータ入/出力回路
    のそれぞれに冗長用カラムセルを設けるかもしくは、該
    複数個に分割されたデータ入/出力回路の複数個を含む
    1組或いは当該組の複数組から構成された群に少くとも
    1つの共用可能な冗長用カラムセルを設け、かつデコー
    ダ回路に冗長用カラムセル選択機能が設けられているこ
    とを特徴とする請求項1記載の半導体メモリ。
  3. 【請求項3】デコーダ回路に使用されるデコーダとして
    電源端子に接続する配線部にフューズを設けた論理素子
    回路を使用することを特徴とする請求項1又は2記載の
    半導体メモリ。
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