JP2897689B2 - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

Info

Publication number
JP2897689B2
JP2897689B2 JP7133684A JP13368495A JP2897689B2 JP 2897689 B2 JP2897689 B2 JP 2897689B2 JP 7133684 A JP7133684 A JP 7133684A JP 13368495 A JP13368495 A JP 13368495A JP 2897689 B2 JP2897689 B2 JP 2897689B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diffusion layer
type diffusion
conductivity type
impurity concentration
conductive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP7133684A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH08330561A (ja
Inventor
倫弘 森本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Co Ltd filed Critical Nippon Electric Co Ltd
Priority to JP7133684A priority Critical patent/JP2897689B2/ja
Publication of JPH08330561A publication Critical patent/JPH08330561A/ja
Priority to US08/806,475 priority patent/US5907356A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2897689B2 publication Critical patent/JP2897689B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/148Charge coupled imagers
    • H01L27/14806Structural or functional details thereof
    • H01L27/14812Special geometry or disposition of pixel-elements, address lines or gate-electrodes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、2次元固体撮像装置に
関し、特にCCD型固体撮像装置の素子分離に関する。
【0002】
【従来の技術】図2は、一般的なインタラインCCD型
固体撮像装置の構成図である。インタラインCCD型固
体撮像装置は、複数のフォトダイオード101を列状に
配置したフォトダイオード列及びフォトダイオード10
1からの電荷を受け取って転送する垂直CCDレジスタ
102でなる画素列を複数並列に配置した撮像部100
と、各垂直CCDレジスタからの電荷を垂直−水平間転
送ゲート200を介して受け取って転送する水平CCD
レジスタ300と、水平CCDレジスタ300により転
送されてきた電荷を検出する電荷検出部400と、出力
増幅器500とにより構成される。破線で囲まれた部分
は単位画素103である。
【0003】従来例として、特開昭63−150960
号公報に第2の実施例として開示された固体撮像装置に
ついて説明する。図3はこの従来例の単位画素を示す図
であり、図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)
におけるA−A線断面図、図3(c)は図(a)におけ
るB−B線断面図、図3(d)は図3(a)におけるC
−C線断面図である。まず、画素の構成を説明する。N
型シリコン基板1の一主面部にP型ウェル2が形成され
ている。P型ウェル2の表面部にフォトダイオード10
1を構成するN型拡散層3が形成され、N型拡散層3の
表面部に暗電流の発生を抑制するための高濃度のP型拡
散層4が形成されている。また、垂直CCD102を構
成するN型拡散層5、およびその下部にP型拡散層6が
形成されている。N型拡散層3と5と間のうち読み出し
ゲート7のない側には素子分離層として高濃度のP型拡
散層8−1が存在し、それ以外の部分には低不純物濃度
の素子分離層としてP型拡散層8−2が存在する。な
お、本図では省略されているが、読み出しゲート7の基
板表面近傍にはしきい値電圧調整のためのチャネルドー
プ層が形成される場合もある。シリコン基板のP型ウェ
ル2の表面には、二酸化シリコン膜や窒化シリコン膜な
どからなるゲート絶縁膜9が形成されており、その上に
ポリシリコン膜などからなる転送電極10および11が
形成されている。転送電極10と転送電極11との間に
も二酸化シリコン膜などからなるゲート絶縁膜12が存
在する。さらにその上には二酸化シリコン膜などからな
る絶縁膜(図示しない)を介して、タングステン膜やア
ルミニウム膜などからなる遮光膜(図示しない)が形成
されている。さらにその上には、二酸化シリコン膜など
からなるカバー膜(図示しない)が形成されている。
【0004】次に、フォトダイオードから垂直CCDへ
の電荷の読み出し、および読み出された電荷の垂直CC
Dによる転送について説明する。図4は、一般的に用い
られている垂直駆動パルスの波形図である。ここでは、
4相駆動の例を示している。垂直方向に連続する4つの
転送電極11,10,11,10を周期としてφV1〜
φV4が印加される。読み出しゲートを兼ねる転送電極
11には、φV1、あるいはφV3が印加されるものと
する。垂直ブランキング期間内に行なわれるフォトダイ
オードから垂直CCDレジスタへの電荷の読み出しは、
ハイレベルVHのパルスにより行なわれる。垂直CCD
に読み出された電荷の垂直CCDレジスタでの転送は、
ロウおよびミドルレベル(VL およびVM )のパルスで
行なわれる。一方、図3(d)に示すように、フォトダ
イオード間の素子分離領域の上部には、転送電極10お
よび11(厳密には各画素列の対応する転送電極を行方
向に接続する連結線)が絶縁膜を介して重なって形成さ
れており、一般的に、転送電極10は転送電極11より
も半導体基板1に近い側に位置する。したがって、読み
出し時には、フォトダイオード間の素子分離領域の転送
電極10にはハイレベルのパルスが印加されることはな
く、素子分離がなされる。
【0005】この従来例は、垂直CCDレジスタの転送
チャネル(N型拡散層5)とフォトダイオード列との間
の素子分離領域が均一であるという優れた特徴を有して
いる。通常は読み出しゲート7部には素子分離領域とし
てのP型拡散層は設けられていない(読み出しゲートの
しきい電圧を制御するためのチャネルドープ層はともか
くとして)のは周知の通りであり、転送チャネルでの電
位分布に転送方向に沿って意図しない凹凸が生じて転送
効率が劣化するという問題が、転送チャネル幅が2μm
以下に小さくなって短チャネル効果が顕著になってくる
とクローズアップされているのである。この従来例では
素子分離領域が送チャネルに沿って均一であるのでこ
のような転送効率の劣化はない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】現在、固体撮像装置の
多画素化、高密度化に伴い、単位画素103の平面寸法
は5μm平方程度に縮小されている。これに伴い、素子
分離領域の幅も画素列間又はN型拡散層4と5との間で
0.5μm程度に縮小されている。そこで、N型拡散層
5の接合深さが0.4〜0.5μm程度の場合には、基
板表面から0.4〜0.5μm程度の深さ部分において
フォトダイオードのN型拡散層3は接合深さは1μm程
度とすると垂直CCDレジスタのN型拡散層5との間で
パンチスルーが生じ易くなる。
【0007】以下に、パンチスルーが生じた場合の問題
点を図5〜図7を参照して説明する。図5は、基板電圧
SUB と出力電圧VOUT の関係を概略的に示すグラフで
ある。本図において、VSUBO以下の電圧では出力電圧が
一定となっているが、この領域は基板電圧によりフォト
ダイオードブルーミングの制御ができない領域であり、
通常用いられない電圧領域である。なお、フォトダイオ
ードブルーミングと呼ばれる現象は、強い光が照射され
フォトダイオードで過剰な電子が発生した場合に、本来
の読み出し期間ではない時に、例えば読み出しゲート領
域を介して垂直CCDに漏れ込み、撮像された画像上で
は縦方向に白い帯状の偽信号が発生するものである。フ
ォトダイオードブルーミングを抑制する周知の技術とし
て、縦型オーバフロードレイン(VOD)構造があり、
これは、フォトダイオードで発生した過剰な電子が垂直
CCDに漏れ込む前に基板側に掃き出されるように、基
板電圧の調整によるフォトダイオードのN型拡散層3下
部に形成されているP型ウェル2の電位を調節するもの
である。すなわち、図5においては、VSUBO以上の電圧
領域がフォトダイオードブルーミングの制御が可能な領
域であり、基板電圧を高くするほど基板側に掃き出され
る電荷量が増加するため出力値が小さくなっている。
【0008】図6は、フォトダイオードブルーミング抑
制特性を概略的に示すグラフである。横軸は垂直駆動パ
ルスのミドルレベルVM 、縦軸は基板電圧VSUB であ
る。一般的に、垂直駆動パルスは3値パルスであり、フ
ォトダイオードから垂直CCDへ電荷を読み出す時には
例えば15V(ハイレベル:VH )のパルスを転送電極
11に印加し、読み出された電荷を垂直CCDで転送す
る時には、例えば−7V(ロウレベル:VL )と0V
(VM )の間で変化するパルスを転送電極10および転
送電極11に所定のタイミングで印加する。曲線1はフ
ォトダイオードと垂直CCD間のパンチスルーが生じて
いない場合を示し、曲線2および曲線3はパンチスルー
が生じている場合を示している。曲線1では、フォトダ
イオードと垂直CCD間がカットオフしているため、V
MO以下の領域では、VSUBOで一定である。各曲線上の点
は、フォトダイオードで発生した電子から見た、基板側
および読み出し領域のある垂直CCD側の電位障壁の高
さが等しいことを意味する。つまり、各曲線より上側の
領域であればフォトダイオードブルーミングが抑制され
る。VM をVM1に設定した場合、フォトダイオードブル
ーミングを抑制するために必要な基板電圧は、例えば、
フォトダイオードと垂直CCD間がパンチスルーしてい
ない場合にはVSUB2、パンチスルーしている場合にはV
SUB2となる。ここで、VSUB1およびVSUB2は、VM1の時
のそれぞれ曲線1およい曲線2上の点よりも1V高い基
板電圧とした。図5から明らかなように、パンチスルー
している場合には出力電圧がVOUT2であり、パンチスル
ーしていない場合の出力電圧VOUT1に比べて大幅に減少
するという問題がある。低不純物濃度の素子分離層(P
型拡散層8−2)の濃度を多少高くして、図6におい
て、VM1の時に曲線1と同じ基板電圧VSUB0を通るよう
な曲線3を実現することも可能であるが、この場合には
新たな問題が生じる。それについて以下に説明する。
【0009】図7は、フォトダイオードから垂直CCD
レジスタへの電荷読み出し特性を概略的に示すグラフで
ある。横軸は垂直駆動パルスのハイレベルVH 、軸は
出力電圧VOUT を示し、曲線4がフォトダイオードと垂
直CCDレジスタ間がパンチスルーしていない場合、曲
線5がパンチスルーしている場所を示す。ここで、各曲
線のニーポイントがそれぞれの場合における読み出し完
了電圧を意味する。本図から明らかなように、パンチス
ルーしている場合の読み出し完了電圧VH2は、パンチス
ルーしていない場合の読み出し完了電圧VH1に比べて高
くなる。これは、パンチスルーしている場合には、電子
の読み出しが主として基板の深い部分、例えば表面から
0.3〜0.5μmの深さあたりに形成されたチャネル
を介して行なわれるため、表面チャネルの場合に比べて
ゲート電圧の変調を受けにくいことによる。すなわち、
図6に示した曲線3のように、低不純物濃度の素子分離
層(8−2)の濃度を高くすることは、読み出し電圧の
上昇を招くという問題があり、したがって、低不純物濃
度の素子分離層のみの不純物濃度の制御によりパンチス
ルーを防ぐことは困難である。すなわち、画素列内にお
けるフォトダイオードと垂直CCDレジスタとの間の素
子分離作用は不十分である。
【0010】従って本発明の目的は、素子分離を確実に
行えかつ読み出し電圧の低い転送効率の良好な固体撮像
装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置
は、半導体基板の表面部の第1導電型領域の表面部に選
択的に形成された第1の第2導電型拡散層が複数個列状
に配置されたフォトダイオード列、前記各第1の第2導
電型拡散層から電荷を受け取って転送する垂直CCDレ
ジスタ、及び前記各第1の第2導電型拡散層と前記垂直
CCDレジスタとの間にそれぞれ設けられた読み出しゲ
ートを有する画素列が複数列、前記第1導電型領域の表
面部にこれより高い濃度の第1の不純物濃度を有して設
けられた第1の第1導電型拡散層で分離されて並列に配
置された撮像部を有する固体撮像装置において、前記各
画素列内で、任意の前記第1の第2導電型拡散層とこれ
に隣接するもう一つの第1の第2導電型拡散層との間及
任意の前記第1の第2導電型拡散層と前記垂直CCD
レジスタの転送チャネルである第2の第2導電型拡散層
との間の前記第1導電型領域の表面から前記第2の第2
導電型拡散層の底面より浅い第1の深さにかけて、前記
第1導電型領域より高濃度で前記第1の不純物濃度より
低濃度の第2の不純物濃度を有して設けられた第2の第
1導電型拡散層及び前記第2の第1導電型拡散層の底面
から前記第2の第2導電型拡散層の底面より深い第2の
深さにかけて前記第2の不純物濃度より高濃度の第3の
不純物濃度を有して設けられた第3の第1導電型拡散層
を備え、前記読み出しゲートは、前記第2の第1導電型
拡散層をゲート絶縁膜を介して横断する読み出しゲート
電極を有してなるというものである。
【0012】ここで、第1の第2導電型拡散層の表面部
に第4の第1導電型拡散層を設けることによってフォト
ダイオードの電流を抑制することもできる。
【0013】
【作用】フォトダイオードの第1の第2導電型拡散層と
垂直CCDレジスタの転送チャネルである第2の第2導
電型拡散層の底面近傍との間には高濃度の第3の第1導
電型拡散層があり、パンチスルーを抑制している。
【0014】
【実施例】図1(a)は本発明の一実施例における単位
画素を示す平面図、図1(b),(c)及び(d)はそ
れぞれ図1(a)のA−A線断面図、B−B線断面図及
びC−C線断面図である。
【0015】この実施例は半導体基板(N型シリコン基
板1)の表面部の第1導電型領域(P型ウェル2)の表
面部に選択的に形成された第1のN型拡散層3(接合深
さ1μm)が複数個列状に配置されたフォトダイオード
列、各N型拡散層3から電荷を受け取って転送する垂直
CCDレジスタ(図2の102に相当し、転送チャネル
であるN型拡散層5、N型拡散層5の底面に接するP型
拡散層、転送電極10,11を有している)及び各N型
拡散層3と垂直CCDレジスタ(N型拡散層5)の間に
それぞれ設けられた読み出しゲート7Aを有する画素列
(図2の104)が複数列、P型ウェル2の表面部にこ
れより高濃度の第1の不純物濃度有して設けられた第
1のP型拡散層8−1で分離されて並列に配置された撮
像部(図2の100)を有する固体撮像装置において、
各画素列104内で、任意の前記第1のN型拡散層3と
これに隣接するもう一つの第1のN型拡散層3及び垂直
CCDレジスタ102の転送チャネルである第2のN型
拡散層5との間のP型ウェル2の表面から第2のN型拡
散層5の底面より浅い第1の深さ(0.3μm程度)に
かけてP型ウェル2より高濃度で第1の不純物濃度10
17〜1019cm-3程度より低濃度の第2の不純物濃度
有して設けられた第2のP型拡散層8−2a及び第2の
P型拡散層8−2aの底面から第2のN型拡散層5の底
面より深い第2の深さ(0.3〜0.6μm程度)にか
けて第2の不純物濃度1×1015〜5×1016cm-3
度より高濃度の第3の不純物濃度1×1017cm-3程度
を有して設けられた第3のP型拡散層8−2bを備え、
読み出しゲート7は第2のP型拡散層8−2aをゲート
絶縁膜9を介して横断する読み出しゲート電極(転送電
極11を兼ねる)を有してなるというものである。
【0016】なお、転送電極10は第1層目のポリシリ
コン膜、転送電極11は第2層目のポリシリコン膜など
でなり、それぞれ半導体基板の表面とはゲート絶縁膜9
(二酸化シリコン膜や窒化シリコン膜)を介して接して
いる。また、転送電極10と転送電極11との間には二
酸化シリコン膜などの絶縁膜12があり、さらにその上
には二酸化シリコン膜などからなる絶縁膜(図示しな
い)を介して、タングステン膜やアルミニウム膜などか
らなる遮光膜(図示しない)が形成されている。さらに
その上には、二酸化シリコン膜などからなるカバー膜
(図示しない)が形成されている。又、図2に示した垂
直−水平間転送ゲート200,水平CCDレジスタ30
0等を備えていることはいうまでもない。
【0017】第2のP型拡散層8−2aの下部に、それ
よりも濃度の濃い第3のP型拡散層8−2bが形成され
ているために、転送電極にミドルレベルVM のパルスが
印加された場合に、フォトダイオード101と垂直CC
Dレジスタ102間のパンチスルーを防止できる。これ
により、素子分離領域の幅が0.5μm程度に縮小され
た場合でも、有効に素子分離がなされる。なお、この様
な不純物濃度の設定においても、ハイレベルVH のパル
スが転送電極11に印加されたときには、フォトダイオ
ード101内の電荷は基板の表面部分に形成されるチャ
ネルを介して垂直CCDレジスタ102へ従来例より低
い読み出し電圧で転送可能である。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように本発明の固体撮像装
置は、フォトダイオード列と垂直CCDレジスタとの間
に転送チャネルに沿って均一に第2の第1導電型拡散層
とこれより高濃度の第3の第1導電型拡散層の2層構造
が素子分離領域として設けられているので、転送チャネ
ルの実効幅を一定にできるので転送効率が良好でありか
つフォトダイオードと垂直CCDレジスタとの間のパン
チスルーを防止でき、フォトダイオードと垂直CCDレ
ジスタとの間の素子分離を確実に行え、フォトダイオー
ドから垂直CCDレジスタへの電荷の読み出しをより低
い電圧で実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における単位画素を示す平面
図(図1(a)),図1(a)のA−A線断面図(図1
(b)),図1(a)のB−B線断面図(図1(c))
及び図1(a)のC−C線断面図(図1(d))であ
る。
【図2】一般的なインタラインCCD型固体撮像装置の
構成図である。
【図3】従来例における単位画素を示す平面図(図3
(a)),図3(a)のA−A線断面図(図3
(b)),図3(a)のB−B線断面図(図3(c))
及び図3(a)のC−C線断面図(図3(d))であ
る。
【図4】一般的に使用される垂直CCDパルスの波形図
である。
【図5】基板電圧VSUB と出力電圧VOUT の関係を示す
グラフである。
【図6】フォトダイオードブルーミング抑制の特性を示
すグラフである。
【図7】電荷読み出し特性を示すグラフである。
【符号の説明】
1 N型シリコン基板 2 P型ウェル 3 (第1の)N型拡散層 4 (第4の)P型拡散層 5 (第2の)N型拡散層 6 P型拡散層 7,7A 読み出しゲート 8−1 低濃度のP型拡散層 8−2 低濃度のP型拡散層 8−2a 第2のP型拡散層 8−2b 第3のP型拡散層 9 ゲート絶縁膜 10 転送電極 11 転送電極 12 ゲート絶縁膜 100 撮像部 101 フォトダイオード 102 垂直CCDレジスタ 103 単位画素 104 画素列 200 垂直−水平間転送ゲート 300 水平CCDレジスタ 400 電荷検出部 500 出力増幅器

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体基板の表面部の第1導電型領域の
    表面部に選択的に形成された第1の第2導電型拡散層が
    複数個列状に配置されたフォトダイオード列、前記各第
    1の第2導電型拡散層から電荷を受け取って転送する垂
    直CCDレジスタ、及び前記各第1の第2導電型拡散層
    と前記垂直CCDレジスタとの間にそれぞれ設けられた
    読み出しゲートを有する画素列が複数列、前記第1導電
    型領域の表面部にこれより高濃度の第1の不純物濃度を
    有して設けられた第1の第1導電型拡散層で分離されて
    並列に配置された撮像部を有する固体撮像装置におい
    て、前記各画素列内で、任意の前記第1の第2導電型拡
    散層とこれに隣接するもう一つの第1の第2導電型拡散
    層との間及び任意の前記第1の第2導電型拡散層と前記
    垂直CCDレジスタの転送チャネルである第2の第2導
    電型拡散層との間の前記第1導電型領域の表面から前記
    第2の第2導電型拡散層の底面より浅い第1の深さにか
    けて前記第1導電型領域より高濃度で前記第1の不純物
    濃度より低濃度の第2の不純物濃度を有して設けられた
    第2の第1導電型拡散層及び前記第2の第1導電型拡散
    層の底面から前記第2の第2導電型拡散層の底面より深
    い第2の深さにかけて前記第2の不純物濃度より高濃度
    の第3の不純物濃度を有して設けられた第3の第1導電
    型拡散層を備え、前記読み出しゲートは前記第2の第1
    導電型拡散層をゲート絶縁膜を介して横断する読み出し
    ゲート電極を有してなることを特徴とする固体撮像装
    置。
  2. 【請求項2】 第1の第2導電型拡散層の表面部に第4
    の第1導電型拡散層が設けられている請求項1記載の固
    体撮像装置。
JP7133684A 1995-05-31 1995-05-31 固体撮像装置 Expired - Fee Related JP2897689B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7133684A JP2897689B2 (ja) 1995-05-31 1995-05-31 固体撮像装置
US08/806,475 US5907356A (en) 1995-05-31 1997-02-26 Solid-state image pickup device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7133684A JP2897689B2 (ja) 1995-05-31 1995-05-31 固体撮像装置
US08/806,475 US5907356A (en) 1995-05-31 1997-02-26 Solid-state image pickup device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08330561A JPH08330561A (ja) 1996-12-13
JP2897689B2 true JP2897689B2 (ja) 1999-05-31

Family

ID=26467973

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7133684A Expired - Fee Related JP2897689B2 (ja) 1995-05-31 1995-05-31 固体撮像装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5907356A (ja)
JP (1) JP2897689B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100436802B1 (ko) 1999-10-08 2004-06-23 후지 샤신 필름 가부시기가이샤 고체촬상소자
US6965408B2 (en) * 2000-02-28 2005-11-15 Canon Kabushiki Kaisha Solid-state image pickup device having a photoelectric conversion unit and a punch-through current suppression circuit
JP5508356B2 (ja) * 2011-07-26 2014-05-28 シャープ株式会社 固体撮像装置およびその駆動方法、固体撮像装置の製造方法、並びに電子情報機器

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63150960A (ja) * 1986-12-15 1988-06-23 Nec Corp 固体撮像素子
JP3097121B2 (ja) * 1990-09-27 2000-10-10 ソニー株式会社 電荷/電圧変換効率の測定方法
JP2644937B2 (ja) * 1991-09-20 1997-08-25 松下電子工業株式会社 固体撮像装置およびその製造方法
KR970007711B1 (ko) * 1993-05-18 1997-05-15 삼성전자 주식회사 오버-플로우 드레인(ofd)구조를 가지는 전하결합소자형 고체촬상장치

Also Published As

Publication number Publication date
US5907356A (en) 1999-05-25
JPH08330561A (ja) 1996-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100192954B1 (ko) 수직형 전달게이트를 가지는 전하결합형 고체촬상소자 및 그 제조방법
KR0168902B1 (ko) 고체 촬상장치
KR920010830B1 (ko) 인터라인형 전하 전송 촬상 소자 및 촬상장치
US6023293A (en) Active type solid-state imaging device
US4527182A (en) Semiconductor photoelectric converter making excessive charges flow vertically
US5114865A (en) Method of manufacturing a solid-state image sensing device having an overflow drain structure
JP5243984B2 (ja) 電子増倍機能内蔵型の固体撮像素子
JP2007299840A (ja) Ccd型固体撮像素子及びその製造方法
JPH0518465B2 (ja)
US7052929B2 (en) Solid state image pickup device capable of suppressing smear
US6760073B1 (en) Solid-state image sensor
US8525242B2 (en) Solid-state image pickup device and driving method of solid-state image pickup device
JP3394308B2 (ja) 固体撮像装置
JP3695748B2 (ja) 固体撮像装置並びにその製造方法および駆動方法
JP2897689B2 (ja) 固体撮像装置
JP3052560B2 (ja) 電荷転送撮像装置およびその製造方法
EP0487989B1 (en) Solid-state imaging device
JP2001057421A (ja) 固体撮像装置
JPH0425714B2 (ja)
JP3105781B2 (ja) 固体撮像装置
JP3180742B2 (ja) Ccd型固体撮像装置及びその製造方法
JP3047965B2 (ja) 固体撮像装置
JP2666684B2 (ja) 電荷転送撮像装置およびその製造方法
JPH0697416A (ja) 固体撮像装置及びその製造方法
JP2853779B2 (ja) 固体撮像装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19990209

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees