JP2896549B2 - 油水分離装置 - Google Patents
油水分離装置Info
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- JP2896549B2 JP2896549B2 JP32331793A JP32331793A JP2896549B2 JP 2896549 B2 JP2896549 B2 JP 2896549B2 JP 32331793 A JP32331793 A JP 32331793A JP 32331793 A JP32331793 A JP 32331793A JP 2896549 B2 JP2896549 B2 JP 2896549B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水溶液中に混入する油
分を油水分離フィルタによって分離する油水分離装置に
関する。
分を油水分離フィルタによって分離する油水分離装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より油の混合した水溶液の中から油
水分離フィルタ使用して油だけを吸い取る油水分離装置
として、例えば、半導体基板の洗浄に使用される超音波
洗浄装置の洗浄液の油水分離に使われるものが知られて
いる。この超音波洗浄装置に使用される油水分離装置
は、ポンプを使用することで洗浄液を流動し、洗浄漕と
油水分離器との間で洗浄液を循環させて洗浄液を再利用
するようにしている。
水分離フィルタ使用して油だけを吸い取る油水分離装置
として、例えば、半導体基板の洗浄に使用される超音波
洗浄装置の洗浄液の油水分離に使われるものが知られて
いる。この超音波洗浄装置に使用される油水分離装置
は、ポンプを使用することで洗浄液を流動し、洗浄漕と
油水分離器との間で洗浄液を循環させて洗浄液を再利用
するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな洗浄液を流動し油水分離フィルタを通過させて油水
分離を行うものは、油水フィルタの通過時の負荷を考慮
しある程度の出力を有す るポンプを使用しなければなら
ず、そのため消費電力が大きくなっていた。また、油水
分離フィルタが汚れて目詰まりしてくるとポンプにかか
る負荷が大きくなり効率が悪くなるので、油水分離フィ
ルタの交換を容易に行えるようにすることも考慮しなけ
ればならなかった。本発明の目的とするところは、出力
の低いポンプによる水溶液（洗浄液）の流れであっても
十分に油水分離が行え、かつ、油水分離フィルタの交換
が容易に行える油水分離装置を提供することにある。
うな洗浄液を流動し油水分離フィルタを通過させて油水
分離を行うものは、油水フィルタの通過時の負荷を考慮
しある程度の出力を有す るポンプを使用しなければなら
ず、そのため消費電力が大きくなっていた。また、油水
分離フィルタが汚れて目詰まりしてくるとポンプにかか
る負荷が大きくなり効率が悪くなるので、油水分離フィ
ルタの交換を容易に行えるようにすることも考慮しなけ
ればならなかった。本発明の目的とするところは、出力
の低いポンプによる水溶液（洗浄液）の流れであっても
十分に油水分離が行え、かつ、油水分離フィルタの交換
が容易に行える油水分離装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決する手段】上記目的を達成するため本発明
の油水分離装置は、水槽を複数の仕切壁により複数の連
通する室に区分し、上流室に油の混入した水溶液の流入
口を設け、下流室の下方部に水溶液の排出口を設け、下
流室の上方部に前の室からの水溶液の流入部を設け、こ
の流入部に着脱自在に油水分離フィルタを備えた油水分
離器と、この油水分離器の下流室の排出口より若干高い
位置に位置する下流室の水位下位限界を検知する第１の
水位センサと、油水分離器の下流室の油水分離フィルタ
より若干低い位置に位置する下流室の水位上位限界を検
知する第２の水位センサと、前記下流室の排出口から洗
浄液を吸い出すポンプとを備え、第１のセンサが作動し
ているときはポンプを停止し、第２のセンサが作動して
いるときはポンプを連続運転し、それ以外はポンプを断
続運転することを特徴としている。
の油水分離装置は、水槽を複数の仕切壁により複数の連
通する室に区分し、上流室に油の混入した水溶液の流入
口を設け、下流室の下方部に水溶液の排出口を設け、下
流室の上方部に前の室からの水溶液の流入部を設け、こ
の流入部に着脱自在に油水分離フィルタを備えた油水分
離器と、この油水分離器の下流室の排出口より若干高い
位置に位置する下流室の水位下位限界を検知する第１の
水位センサと、油水分離器の下流室の油水分離フィルタ
より若干低い位置に位置する下流室の水位上位限界を検
知する第２の水位センサと、前記下流室の排出口から洗
浄液を吸い出すポンプとを備え、第１のセンサが作動し
ているときはポンプを停止し、第２のセンサが作動して
いるときはポンプを連続運転し、それ以外はポンプを断
続運転することを特徴としている。
【０００５】
【実施例】本発明の実施例を図より説明する。図１は油
水分離装置の正面断面図であり図２は本実施例の油水分
離装置を用いた超音波洗浄装置の正面断面図である。
水分離装置の正面断面図であり図２は本実施例の油水分
離装置を用いた超音波洗浄装置の正面断面図である。
【０００６】超音波洗浄装置１は、洗浄漕２と、第一す
すぎ漕３および第二すすぎ漕４から構成されている。こ
の洗浄漕２にはアルカリ性の洗浄液５が満たされてお
り、この洗浄漕２中の超音波振動子６よって超音波振動
が与えらており、この振動によるキャビテーション効果
を利用して洗浄漕２に入れられる被洗浄物の脱脂が行わ
れる。
すぎ漕３および第二すすぎ漕４から構成されている。こ
の洗浄漕２にはアルカリ性の洗浄液５が満たされてお
り、この洗浄漕２中の超音波振動子６よって超音波振動
が与えらており、この振動によるキャビテーション効果
を利用して洗浄漕２に入れられる被洗浄物の脱脂が行わ
れる。
【０００７】第一すすぎ漕３および第二すすぎ漕４は、
被洗浄物に付いた洗浄液をすすぎ落とすためのものでそ
れぞれ精製水７が満たされ、精製水７は流入口８から第
二すすぎ漕４、第一すすぎ漕３の順で流れ、排出管９を
とおり外部に排出される。またこの第一、第二すすぎ漕
３、４および前記洗浄漕２には図示しないヒータが備え
られており、それぞれ所定の温度に設定可能となってい
る。
被洗浄物に付いた洗浄液をすすぎ落とすためのものでそ
れぞれ精製水７が満たされ、精製水７は流入口８から第
二すすぎ漕４、第一すすぎ漕３の順で流れ、排出管９を
とおり外部に排出される。またこの第一、第二すすぎ漕
３、４および前記洗浄漕２には図示しないヒータが備え
られており、それぞれ所定の温度に設定可能となってい
る。
【０００８】油水分離器１０は洗浄漕２の下方に配置さ
れ、下方のみ開口した仕切壁１５および上方のみを開口
した仕切壁１６によって上流室１７、中間室１８と下流
室１９に分割され、内部に洗浄液５を満たした水槽１４
であり、下流室１９の上側の洗浄液の流入部１９１には
油水分離フィルタ２０を配置している。また、この油水
分離器１０の上流室１７と洗浄漕２との間には配水管１
１が渡され、洗浄槽２から溢れた洗浄液５が流入するよ
うにしてあり、下流室１９の下方に通された配水管１２
の先に、ポンプ１３を設けて洗浄液５を再び洗浄漕２に
戻るようにしてある。
れ、下方のみ開口した仕切壁１５および上方のみを開口
した仕切壁１６によって上流室１７、中間室１８と下流
室１９に分割され、内部に洗浄液５を満たした水槽１４
であり、下流室１９の上側の洗浄液の流入部１９１には
油水分離フィルタ２０を配置している。また、この油水
分離器１０の上流室１７と洗浄漕２との間には配水管１
１が渡され、洗浄槽２から溢れた洗浄液５が流入するよ
うにしてあり、下流室１９の下方に通された配水管１２
の先に、ポンプ１３を設けて洗浄液５を再び洗浄漕２に
戻るようにしてある。
【０００９】前述するように油水分離フィルタ２０は、
下流室１９の上側の洗浄液の流入部１９１に配置されて
いるので、洗浄漕２から流入してきた洗浄液５が仕切壁
１６の上部に達し、これを乗り越え油水分離フィルタ２
０の上面にあふれ出ると、洗浄液５は重力の作用によっ
て油水分離フィルタ２０を通過し、洗浄液５に含まれる
油分の分離が行われるようになっている。なお、この油
水分離フィルタ２０は、下流室の上部に仕切壁１６と水
槽の側壁１４１に渡して載せてあるだけで、油水分離フ
ィルタ２０が汚れてきたら、簡単に交換できるようにし
てある。
下流室１９の上側の洗浄液の流入部１９１に配置されて
いるので、洗浄漕２から流入してきた洗浄液５が仕切壁
１６の上部に達し、これを乗り越え油水分離フィルタ２
０の上面にあふれ出ると、洗浄液５は重力の作用によっ
て油水分離フィルタ２０を通過し、洗浄液５に含まれる
油分の分離が行われるようになっている。なお、この油
水分離フィルタ２０は、下流室の上部に仕切壁１６と水
槽の側壁１４１に渡して載せてあるだけで、油水分離フ
ィルタ２０が汚れてきたら、簡単に交換できるようにし
てある。
【００１０】下流室１９には、下流室の水位を検知する
センサであるフロートセンサ２１が備えられている。こ
のフロートセンサ２１はフロート２２が水位の多少によ
って上下動するとリードスイッチ２３またはリードスイ
ッチ２４を作動させてを検知するもので、リードスイッ
チ２３は油水フィルタ２０の下方近傍に位置し、リード
スイッチ２４は配水管１２への開口部１２１の上方近傍
に位置し、リードスイッチ２３が作動したら水位上位限
界と判断され、リードスイッチ２４が作動したら水位下
位限界と判断されようにしてある。
センサであるフロートセンサ２１が備えられている。こ
のフロートセンサ２１はフロート２２が水位の多少によ
って上下動するとリードスイッチ２３またはリードスイ
ッチ２４を作動させてを検知するもので、リードスイッ
チ２３は油水フィルタ２０の下方近傍に位置し、リード
スイッチ２４は配水管１２への開口部１２１の上方近傍
に位置し、リードスイッチ２３が作動したら水位上位限
界と判断され、リードスイッチ２４が作動したら水位下
位限界と判断されようにしてある。
【００１１】図３は、本発明の油水分離装置を使用した
超音波洗浄装置の電気的構成を表すブロック図である。
データ入力手段２６は、洗浄漕２および第一、第二すす
ぎ漕３、４の夫々の温度や、超音波振動子６の振動数の
入力を行うもので、入力されたデータは制御部２５を介
してメモリ２７に記憶される。この記憶されたデータを
基にし、ヒータ制御回路２８を介して洗浄漕２および第
一、第二すすぎ漕３、４の水温制御を行い、超音波制御
回路２９を介して洗浄漕２の超音波の振動数を制御して
いる。
超音波洗浄装置の電気的構成を表すブロック図である。
データ入力手段２６は、洗浄漕２および第一、第二すす
ぎ漕３、４の夫々の温度や、超音波振動子６の振動数の
入力を行うもので、入力されたデータは制御部２５を介
してメモリ２７に記憶される。この記憶されたデータを
基にし、ヒータ制御回路２８を介して洗浄漕２および第
一、第二すすぎ漕３、４の水温制御を行い、超音波制御
回路２９を介して洗浄漕２の超音波の振動数を制御して
いる。
【００１２】またリードスイッチ２３またはリードスイ
ッチ２４が作動すると、これを基に制御部２５はポンプ
制御回路３０を介してポンブ１３の駆動を制御し、下流
室１９の水位を制御するようにしてある。
ッチ２４が作動すると、これを基に制御部２５はポンプ
制御回路３０を介してポンブ１３の駆動を制御し、下流
室１９の水位を制御するようにしてある。
【００１３】次に、図４のフローチャートより、本実施
例の作動を説明する。超音波洗浄装置１の電源が入力さ
れると、すべての回路や装置が正常に作動するか確認さ
れ、入力されたデータに従って、洗浄漕２、第１すすぎ
漕３および第２すすぎ槽４を所定の温度にし、洗浄漕２
の洗浄液５に所定の振動数で超音波振動が与えられる
（１０１）。
例の作動を説明する。超音波洗浄装置１の電源が入力さ
れると、すべての回路や装置が正常に作動するか確認さ
れ、入力されたデータに従って、洗浄漕２、第１すすぎ
漕３および第２すすぎ槽４を所定の温度にし、洗浄漕２
の洗浄液５に所定の振動数で超音波振動が与えられる
（１０１）。
【００１４】続いて、リードスイッチ２３とリードスイ
ッチ２４が作動しているか確認される（１０２、１０
３）。ここで、油水分離器１０の下流室１９の水位が適
量であれば、両方のリードスイッチ２３、２４は共に作
動しないので、ポンプ１３が断続的に運転し（１０
４）、洗浄漕２と油水分離器１０との間で洗浄液５が循
環する。
ッチ２４が作動しているか確認される（１０２、１０
３）。ここで、油水分離器１０の下流室１９の水位が適
量であれば、両方のリードスイッチ２３、２４は共に作
動しないので、ポンプ１３が断続的に運転し（１０
４）、洗浄漕２と油水分離器１０との間で洗浄液５が循
環する。
【００１５】ここで、洗浄漕２の被洗浄物を取り出す
と、一時的に油水分離器に流入する洗浄液５の量が減少
または０になり、ポンプ１３が断続運転するごとに下流
室１９の洗浄液５が減少するときがある。この場合、フ
ロートセンサ２１のフロート２２が下降してリードスイ
ッチ２４が作動し（１０２）、続いてモータ１３が停止
することになる（１０５）。
と、一時的に油水分離器に流入する洗浄液５の量が減少
または０になり、ポンプ１３が断続運転するごとに下流
室１９の洗浄液５が減少するときがある。この場合、フ
ロートセンサ２１のフロート２２が下降してリードスイ
ッチ２４が作動し（１０２）、続いてモータ１３が停止
することになる（１０５）。
【００１６】このポンプ１３の停止によって下流室１９
の洗浄液５の排出が止られ、下流室１９の水位が増えリ
ードスイッチ２４が非作動状態になるまでポンプ１３の
停止状態は続くようにしてある（ステップ１０２と１０
５の繰り返し）。
の洗浄液５の排出が止られ、下流室１９の水位が増えリ
ードスイッチ２４が非作動状態になるまでポンプ１３の
停止状態は続くようにしてある（ステップ１０２と１０
５の繰り返し）。
【００１７】また、洗浄漕２に被洗浄物を入れた瞬間
や、洗浄液５を急激に追加したときには、常態時で循環
する洗浄液５の量より油水分離器１０に流入する量が一
時的に多くなり下流漕１９の洗浄液が増量するときがあ
る。この場合、フロートセンサ２１のフロート２２が上
昇しリードスイッチ２３が作動し（１０３）、ポンプ１
３を連続運転させることになる（１０６）。
や、洗浄液５を急激に追加したときには、常態時で循環
する洗浄液５の量より油水分離器１０に流入する量が一
時的に多くなり下流漕１９の洗浄液が増量するときがあ
る。この場合、フロートセンサ２１のフロート２２が上
昇しリードスイッチ２３が作動し（１０３）、ポンプ１
３を連続運転させることになる（１０６）。
【００１８】このポンプ１３の連続運転によって下流室
１９の洗浄液５が早く排出するようになり、下流室１９
の水位が減りリードスイッチ２３が非作動状態になるま
でポンプ１３の連続運転は続くようにしてある（ステッ
プ１０３と１０６の繰り返し）。
１９の洗浄液５が早く排出するようになり、下流室１９
の水位が減りリードスイッチ２３が非作動状態になるま
でポンプ１３の連続運転は続くようにしてある（ステッ
プ１０３と１０６の繰り返し）。
【００１９】また洗浄液５が蒸発してしまったり、油水
分離フィルタ２０が汚れて目詰まりし、洗浄液５が循環
しなくなると、下流室１９の水位が減りリードスイッチ
２４が常に作動し、ポンプ１３が停止したままとなる。
この場合、図示しないタイマーによって停止している時
間を計り、所定時間が過ぎてもポンプ１３が停止してい
るようなら、ブザーや表示手段などにより操作者に警告
を与えるようにすればよい。もし油水分離フィルタ２０
の汚れによるものなら、前述するように本実施例の油水
分離フィルタ２０は簡単に取り外し交換することができ
る。
分離フィルタ２０が汚れて目詰まりし、洗浄液５が循環
しなくなると、下流室１９の水位が減りリードスイッチ
２４が常に作動し、ポンプ１３が停止したままとなる。
この場合、図示しないタイマーによって停止している時
間を計り、所定時間が過ぎてもポンプ１３が停止してい
るようなら、ブザーや表示手段などにより操作者に警告
を与えるようにすればよい。もし油水分離フィルタ２０
の汚れによるものなら、前述するように本実施例の油水
分離フィルタ２０は簡単に取り外し交換することができ
る。
【００２０】図５および図６は本発明の他の実施例での
油水分離器に於ける油水分離フィルタの配置例を示して
おり、このように下流室１９の上部の流入部１９１に油
水分離フィルタ３１、３２を着脱自在に配置すること
で、仕切壁を越えてきた洗浄液５は、重力の作用による
自然体流によって油水分離フィルタ３１、３２を通過す
るようになっている。
油水分離器に於ける油水分離フィルタの配置例を示して
おり、このように下流室１９の上部の流入部１９１に油
水分離フィルタ３１、３２を着脱自在に配置すること
で、仕切壁を越えてきた洗浄液５は、重力の作用による
自然体流によって油水分離フィルタ３１、３２を通過す
るようになっている。
【００２１】
【発明の効果】以上、本発明の油水分離装置によれば重
力による自然体流を利用して油水分離フィルタに油分の
混入した水溶液を通過させて油水分離を行い、油分分離
後の水溶液を下流室に一旦貯えるようにし、その水量を
水位センサによって検知しながらポンプの駆動を制御す
るので、低出力のポンプであっても十分に油分を分離し
た水溶液を次の行程に流出することができ、また、使用
する油水分離フィルタは油水分離器の下流室の上側の流
入部に着脱自在に備えてあるので、引上げるだけで簡単
に交換ができ実用的である。
力による自然体流を利用して油水分離フィルタに油分の
混入した水溶液を通過させて油水分離を行い、油分分離
後の水溶液を下流室に一旦貯えるようにし、その水量を
水位センサによって検知しながらポンプの駆動を制御す
るので、低出力のポンプであっても十分に油分を分離し
た水溶液を次の行程に流出することができ、また、使用
する油水分離フィルタは油水分離器の下流室の上側の流
入部に着脱自在に備えてあるので、引上げるだけで簡単
に交換ができ実用的である。
【図１】本発明の油水分離装置の側断面図
【図２】本発明の油水分離装置を用いた超音波洗浄装置
の側断面図
の側断面図
【図３】本発明の油水分離装置を用いた超音波洗浄装置
の電気的構成を表すブロック図
の電気的構成を表すブロック図
【図４】フローチャート
【図５】他の実施例における油水分離器の側断面図
【図６】他の実施例における油水分離器の側断面図
１ 超音波洗浄装置 ２ 洗浄漕 １０ 油水分離器 １３ ポンプ １６ 仕切壁 １７ 上流室 １９ 下流室 ２０ 油水分離フィルタ ２１ フロートセンサ ２３ リードスイッチ ２４ リードスイッチ
Claims (1)
- 【請求項１】 水槽を複数の仕切壁により複数の連通す
る室に区分し、上流室に油の混入した水溶液の流入口を
設け、下流室の下方部に水溶液の排出口を設け、下流室
の上方部に前の室からの水溶液の流入部を設け、この流
入部に着脱自在に油水分離フィルタを備えた油水分離器
と、この油水分離器の下流室の排出口より若干高い位置
に位置する下流室の水位下位限界を検知する第１の水位
センサと、油水分離器の下流室の油水分離フィルタより
若干低い位置に位置する下流室の水位上位限界を検知す
る第２の水位センサと、前記下流室の排出口から洗浄液
を吸い出すポンプとを備え、第１のセンサが作動してい
るときはポンプを停止し、第２のセンサが作動している
ときはポンプを連続運転し、それ以外はポンプを断続運
転することを特徴とする油水分離装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32331793A JP2896549B2 (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 油水分離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32331793A JP2896549B2 (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 油水分離装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07155503A JPH07155503A (ja) | 1995-06-20 |
| JP2896549B2 true JP2896549B2 (ja) | 1999-05-31 |
Family
ID=18153445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32331793A Expired - Fee Related JP2896549B2 (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 油水分離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2896549B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102581425B1 (ko) * | 2022-11-01 | 2023-09-27 | (주)홍익바이오텍 | 하향식 계단형 안료 수비 장치 |
-
1993
- 1993-11-30 JP JP32331793A patent/JP2896549B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07155503A (ja) | 1995-06-20 |
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Legal Events
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