JP2893811B2 - 荷電粒子線鏡筒 - Google Patents
荷電粒子線鏡筒Info
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- JP2893811B2 JP2893811B2 JP2063841A JP6384190A JP2893811B2 JP 2893811 B2 JP2893811 B2 JP 2893811B2 JP 2063841 A JP2063841 A JP 2063841A JP 6384190 A JP6384190 A JP 6384190A JP 2893811 B2 JP2893811 B2 JP 2893811B2
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は荷電粒子線鏡筒の静電偏向器の駆動手段に関
するものである。
するものである。
従来のこの種の装置は、例えば、電子線描画装置に使
用されるブランキング偏向電極にマイクロストリップラ
インを用いたものが知られている。
用されるブランキング偏向電極にマイクロストリップラ
インを用いたものが知られている。
しかしながら、多電極を必要とする偏向器の場合は偏
向電極が平行平板ではないので、従来技術をそのまま使
用することが出来ない。そのためにハーメチックシール
と偏向電極を結ぶケーブルは真空外で使用している同軸
ケーブルを、真空内でも使用して対応していた。
向電極が平行平板ではないので、従来技術をそのまま使
用することが出来ない。そのためにハーメチックシール
と偏向電極を結ぶケーブルは真空外で使用している同軸
ケーブルを、真空内でも使用して対応していた。
上記の如き従来の技術に於いては、装置真空内で同軸
ケーブルを使用するように構成されているが、同軸ケー
ブルは、それに使用されている絶縁物としてテフロン等
の有機物が用いられているために、炭化水素を含むガス
放出があり、特に多電極偏向器においては、使用本数が
多いので、真空保持の点で問題があった。また、同軸ケ
ーブルは単位長さ当りの静電容量が大きいので、電源の
出力インピーダンスの合致等に十分配慮しなければなら
ない問題があった。
ケーブルを使用するように構成されているが、同軸ケー
ブルは、それに使用されている絶縁物としてテフロン等
の有機物が用いられているために、炭化水素を含むガス
放出があり、特に多電極偏向器においては、使用本数が
多いので、真空保持の点で問題があった。また、同軸ケ
ーブルは単位長さ当りの静電容量が大きいので、電源の
出力インピーダンスの合致等に十分配慮しなければなら
ない問題があった。
更には、使用される偏向器が２段式の場合、一段目の
偏向器と同軸ケーブルとの間、及び２段目の偏向器と同
軸ケーブルとの間でそれぞれに信号波の反射が起こる問
題もあった。
偏向器と同軸ケーブルとの間、及び２段目の偏向器と同
軸ケーブルとの間でそれぞれに信号波の反射が起こる問
題もあった。
本発明の目的は、放出ガスが少なく、単位長さ当りの
静電容量が小さく、且つ、信号波の反射を極小とした、
真空内電送回路を有する荷電粒子線鏡筒を提供すること
にある。
静電容量が小さく、且つ、信号波の反射を極小とした、
真空内電送回路を有する荷電粒子線鏡筒を提供すること
にある。
上記目的の為に本発明では、 荷電粒子線通路の近傍に配置された静電偏向電極を有
する偏向器と、真空の鏡筒内に外部から給電するための
ハーメチックシールと、前記静電偏向電極間と該静電偏
向電極と前記ハーメチックシール間の少なくともいずれ
か一方を結ぶ板状のリード線とを有すると共に、前記リ
ード線を前記鏡筒内の所定の区間では、接地された金属
部材に所定の間隔で対向させて成る電送線路としたこと
を課題解決の手段とするものである。
する偏向器と、真空の鏡筒内に外部から給電するための
ハーメチックシールと、前記静電偏向電極間と該静電偏
向電極と前記ハーメチックシール間の少なくともいずれ
か一方を結ぶ板状のリード線とを有すると共に、前記リ
ード線を前記鏡筒内の所定の区間では、接地された金属
部材に所定の間隔で対向させて成る電送線路としたこと
を課題解決の手段とするものである。
さらに、上記手段において、上記電送線路はその特性
インピーダンスが偏向電源の出力インピーダンスにほぼ
等しいマイクロストリップラインとした。また、荷電粒
子線通路の方向に少なくとも２段に配置された静電偏向
器において、それらの上段偏向器から下段偏向器への荷
電粒子線の走行時間と両偏向器への信号の伝達時間差と
がほぼ一致するように構成される様にした。
インピーダンスが偏向電源の出力インピーダンスにほぼ
等しいマイクロストリップラインとした。また、荷電粒
子線通路の方向に少なくとも２段に配置された静電偏向
器において、それらの上段偏向器から下段偏向器への荷
電粒子線の走行時間と両偏向器への信号の伝達時間差と
がほぼ一致するように構成される様にした。
本発明においては、鏡筒内にて大気側の同軸ケーブル
の特性インピーダンスと合致させるために、鏡筒内に配
置するリード線の幅（ｗ）と金属部材との間隔（ｄ）を
所望の値に設定したマイクロストリップラインを設けた
ので、ケーブル間での信号波の反射が発生する如き不都
合はない。
の特性インピーダンスと合致させるために、鏡筒内に配
置するリード線の幅（ｗ）と金属部材との間隔（ｄ）を
所望の値に設定したマイクロストリップラインを設けた
ので、ケーブル間での信号波の反射が発生する如き不都
合はない。
また前記のマイクロストリップラインと電極間では信
号波の反射が構造上の理由で発生するが、反射波はマイ
クロストリップライン、同軸ケーブルを介して電源の持
つ出力インピーダンスで終端されるので信号波形が大き
くリンキングする従来の不都合は解消する。
号波の反射が構造上の理由で発生するが、反射波はマイ
クロストリップライン、同軸ケーブルを介して電源の持
つ出力インピーダンスで終端されるので信号波形が大き
くリンキングする従来の不都合は解消する。
尚、真空の鏡筒内でのマイクロストリップラインは基
より、信号線の配線においても、ハーメチックシールと
静電偏向電極への信号線の固着は金属のネジ締めで行な
うようにしたので、放出ガスが極小におさえることが出
来ると共に、誘電体を使用しないので、帯電の心配も解
消する。
より、信号線の配線においても、ハーメチックシールと
静電偏向電極への信号線の固着は金属のネジ締めで行な
うようにしたので、放出ガスが極小におさえることが出
来ると共に、誘電体を使用しないので、帯電の心配も解
消する。
第１図は本発明の実施例を示す荷電粒子線鏡筒の一部
省略した縦断面図であり、第２図はその電極部分を中心
とした配線状態を説明する図である。
省略した縦断面図であり、第２図はその電極部分を中心
とした配線状態を説明する図である。
第１図、第２図において１、２、３、４は多極の偏向
器の上側電極であり、これらにはそれぞれに対応するね
じ16が螺着している。前記ねじ16はその他端部にて締付
ナット17によって信号線14に固着される。また偏向器
１、２、３、４は絶縁スペーサ10を介して円筒状導体11
に支持されている。
器の上側電極であり、これらにはそれぞれに対応するね
じ16が螺着している。前記ねじ16はその他端部にて締付
ナット17によって信号線14に固着される。また偏向器
１、２、３、４は絶縁スペーサ10を介して円筒状導体11
に支持されている。
信号線14は接地された導体18及び電極を支持している
円筒状導体11と所定の間隔を有して保持され、ストリッ
プラインを構成している。前記の信号線14の幅ｗと所定
の間隔ｄとの間には特性インピーダンスを本実施例では
50Ωにするために、その関係をw/d≒５に設定した。ま
た信号線14はハーメチックシール15のピンにねじ19で固
定されることにより、絶縁材料の使用を拒否している。
円筒状導体11と所定の間隔を有して保持され、ストリッ
プラインを構成している。前記の信号線14の幅ｗと所定
の間隔ｄとの間には特性インピーダンスを本実施例では
50Ωにするために、その関係をw/d≒５に設定した。ま
た信号線14はハーメチックシール15のピンにねじ19で固
定されることにより、絶縁材料の使用を拒否している。
５、６、７及び不図示であるが電極６の対向位置に配
置される（８）は２段偏向器の下側電極であり、前記上
側電極１、２、３、４とそれぞれ、１と７、３と５、２
と８、４と６、がそれぞれ信号線12によって結線され
る。結果としてこの信号線12は円筒状導体11の外周を半
周して下側電極に配線される。したがって各信号線12の
長さは同一となっておりケーブル長の不揃を解消してい
る。また、この配線は円筒状導体11と信号線12との間隔
を所定値となして、マイクロストリップラインを構成し
ている。
置される（８）は２段偏向器の下側電極であり、前記上
側電極１、２、３、４とそれぞれ、１と７、３と５、２
と８、４と６、がそれぞれ信号線12によって結線され
る。結果としてこの信号線12は円筒状導体11の外周を半
周して下側電極に配線される。したがって各信号線12の
長さは同一となっておりケーブル長の不揃を解消してい
る。また、この配線は円筒状導体11と信号線12との間隔
を所定値となして、マイクロストリップラインを構成し
ている。
更に荷電粒子線上側電極１、２、３、４に入射した後
に下側電極５、６、７（８）に入射する迄の走行時間と
上側電極１、２、３、４から下側電極５、６、７、
（８）迄のマイクロストリップラインの信号の伝搬時間
が等しくなるように、上側電極１、２、３、４に螺着す
るねじ16のＺ方向の位置を設計段階で予め設定してい
る。
に下側電極５、６、７（８）に入射する迄の走行時間と
上側電極１、２、３、４から下側電極５、６、７、
（８）迄のマイクロストリップラインの信号の伝搬時間
が等しくなるように、上側電極１、２、３、４に螺着す
るねじ16のＺ方向の位置を設計段階で予め設定してい
る。
以上の様に本発明によれば、真空外の同軸ケーブルと
マイクロストリップライン間で信号の反射が無いので、
信号波形はリンギングが極小となり、偏向器を高速駆動
させることが出来る効果がある。
マイクロストリップライン間で信号の反射が無いので、
信号波形はリンギングが極小となり、偏向器を高速駆動
させることが出来る効果がある。
また、マイクロストリップラインに絶縁材料を使用し
ない構成としたので放出するガスが少なく済むと共に、
絶縁物表面の帯電が荷電粒子に悪影響を及ぼすことがな
くなる効果もある。
ない構成としたので放出するガスが少なく済むと共に、
絶縁物表面の帯電が荷電粒子に悪影響を及ぼすことがな
くなる効果もある。
更にはマイクロストリップラインの接地側線路には特
別な部材を用いることなく、鏡筒内の接地された金属部
材を流用するように成したので使用する部材は信号線の
みでストリップラインを構成出来るので、非常に簡単な
構造となる利点がある。
別な部材を用いることなく、鏡筒内の接地された金属部
材を流用するように成したので使用する部材は信号線の
みでストリップラインを構成出来るので、非常に簡単な
構造となる利点がある。
尚２段偏向器の場合・上側電極と下側電極との間の荷
電粒子線の走行時間とその間のマイクロストリップライ
ンの長さを設定する際に、それを通過する信号の伝搬時
間とを等しくしたので、いわゆる、走行時間効果を大幅
に小さく出来る効果がある。
電粒子線の走行時間とその間のマイクロストリップライ
ンの長さを設定する際に、それを通過する信号の伝搬時
間とを等しくしたので、いわゆる、走行時間効果を大幅
に小さく出来る効果がある。
第１図は本発明による荷電粒子線鏡筒の一部省略の縦断
面図、 第２図は本発明による荷電粒子線鏡筒の電極部分を中心
とした配線状態を説明する図である。 〔主要部分の符号の説明〕 １、２、３、４、５、６、７、８、……電極 ９……荷電粒子線通路、10……絶縁スペーサ、11……円
筒状導体、12、14……信号線、15……ハーメチックシー
ル、16……ねじ、17……締付ナット、18……導体。
面図、 第２図は本発明による荷電粒子線鏡筒の電極部分を中心
とした配線状態を説明する図である。 〔主要部分の符号の説明〕 １、２、３、４、５、６、７、８、……電極 ９……荷電粒子線通路、10……絶縁スペーサ、11……円
筒状導体、12、14……信号線、15……ハーメチックシー
ル、16……ねじ、17……締付ナット、18……導体。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−65044（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−32129（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−167923（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−81913（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−13455（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−128160（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−81913（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/027
Claims (3)
- 【請求項１】荷電粒子線通路の近傍に配置された静電偏
向電極を有する偏向器と、真空の鏡筒内に外部から給電
するためのハーメチックシールと、前記静電偏向電極間
と該静電偏向電極と前記ハーメチックシール間の少なく
ともいずれか一方を結ぶ板状のリード線とを有すると共
に、前記リード線を前記鏡筒内の所定の区間では、接地
された金属部材に所定の間隔で対向させて成る電送線路
としたことを特徴とする荷電粒子線鏡筒。 - 【請求項２】特許請求の範囲１において、上記電送線路
はその特性インピーダンスが偏向電源の出力インピーダ
ンスにほぼ等しいマイクロストリップラインとしたこと
を特徴とする荷電粒子線鏡筒。 - 【請求項３】荷電粒子線通路の方向に少なくとも２段に
配置された静電偏向器において、それらの上段偏向器か
ら下段偏向器への荷電粒子線の走行時間と両偏向器への
信号の伝搬時間差とがほぼ一致するように構成される様
にしたことを特徴とする荷電粒子線鏡筒。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2063841A JP2893811B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 荷電粒子線鏡筒 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2063841A JP2893811B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 荷電粒子線鏡筒 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03265119A JPH03265119A (ja) | 1991-11-26 |
| JP2893811B2 true JP2893811B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=13240965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2063841A Expired - Lifetime JP2893811B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 荷電粒子線鏡筒 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2893811B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009238780A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-15 | Toshiba Corp | 荷電ビーム描画装置 |
-
1990
- 1990-03-14 JP JP2063841A patent/JP2893811B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03265119A (ja) | 1991-11-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305 Year of fee payment: 12 |