JPS632239A

JPS632239A - 静電偏向器

Info

Publication number: JPS632239A
Application number: JP14294486A
Authority: JP
Inventors: Akio Ito; 昭夫伊藤; Kazuyuki Ozaki; 一幸尾崎; Kazuo Okubo; 大窪　和生; Toshihiro Ishizuka; 俊弘石塚; Takayuki Aoki; 尊之青木
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1986-06-20
Filing date: 1986-06-20
Publication date: 1988-01-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔）既　　　　　　要〕本発明は、−方に接地電位、他方に偏向電圧の印加され
る対向する２枚の平板電極により電子ビームなどを高速
に偏向する静電偏向器において、偏向電圧側の平板電極
の背面に補助平板電極を設け、その間隔を可変できる手
段を有することにより、静電偏向器のインピーダンス調
整を可能とし、立上りの急峻な偏向電圧の印加を可能と
する静電偏向器である。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、電子ビーノ、などを高速に偏向する静電偏向
器のインピーダンス調整技術に関する。

〔従　来　の　技　術〕

電子ビームを用いたストロボ電子ビーム装置などにおい
ては、継続時間の短い電子ビームパルスを発生する必要
があり、このために高速偏向器が用いられる。

従来の偏向器としては、第３図（ｂｌの斜視図に示すよ
うな２枚の平行平板電極を用いた静電偏向器がある。こ
れは平板電照１３に同軸ケーブル１４を介して接地電位
を印加し、平板電極１２には同軸ケーブル１４′を介し
て終端抵抗１６を接続すると共に、偏向器ドライバ１５
から第３図（Ｃ）に示すような偏向電圧を印加すること
より、静電界を発生させ電子ビーム１７を偏向するもの
である。

そして、第３図ｆｎｌの側面図に示すように偏向器下方
に絞り１８を配置し、電子ビーム１７を上記偏向器によ
り矢印２０の方向に高速に振らせることによって電子ビ
ームパルス１９を発生させている。

このような静電偏向器は構造が単純でコンタミ（炭素よ
ごれ）の洗滌などのメンテナンスも比較的容易であると
いう利点を有する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、平行平板を用いた静電偏向器は、構造が単純な
だけ偏向電圧給電系とのインピーダンスマツチングをと
ることが困難であり、偏向電圧信号の反射などが生ずる
ため、立上りの鋭い偏向電圧を給電しても電圧波形が（
ずれてしまい、高速偏向の弊害となるという問題点を有
していた。

本発明は上記問題点を除くために、平行平板静電偏向器
の偏向電圧供給側の平板電極の背面に補助電極を設けて
その間隔を調整することにより、偏向器のインピーダン
スを偏向電圧の伝送路とマツチングさせ、それにより立
上りの急峻な偏向電圧の供給を可能とし、かつメンテナ
ンスの容易な静電偏向器を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記問題点を解決するために、所定の偏向電圧
が印加される第１の平板電極（１）と、それに対向して
平行に配置され接地電位が印加される第２の平板電極（
２）と、前記第１の平板電極（１）に対向して前記第２
の平板電極（２）側と反対側に平行して配置され接地電
位が印加される、インピーダンス調整用の補助平板電極
（３）とを有し、さらに、前記補助平板電極（３）と前
記第１の平板電極（１）との間隔を可変させる補助平板
電極微動手段（４）を有することを特徴とする。

〔作　　　用〕

上記手段において、第１及び第２の平板電極（ｌ及び２
）の間隔を設定することにより、偏向感度を決定できる
。その後、第１の平板電極（１）と補助平板電極（３）
の間隔を補助平板電極微動手段（４）で調整することに
より、偏向器のインピーダンスを偏向感度と独立に可変
させることができ、それにより、偏向器ドライバ及び伝
送系とのインピーダンスマツチングをとることができる
。

これにより、立上りの急峻な偏向電圧波形が歪むのを防
ぐことができる。また、構造も比較的簡単なため、洗滌
などのメンテナンスも容易である。

〔実　　施　　例〕

以下、本発明の実施例つき詳細に説明を行う。

（本発明による静電偏向器の構成（第１図））第１図は
、本発明による静電偏向器の構成を示した図である。台
座８には接地電極Ｆｊ、２及び偏向電圧印加電極板１が
、保持用テフロン７を介して平行に取り付けられ、さら
に補助電極板１が平行に取り付けられる。電子ビーム９
は偏向電圧印加電極板１と接地電極板２との間を通過し
、偏向を受ける。偏向電圧印加電極板１は、偏向感度を
上げるために電子ビーム９の通過部分の面積を広くしで
ある。さらに、補助電極板３と偏向電圧印加電極板１と
の間隔は、補助電極板３に取り付けられた微動ネジ４に
よって調整でき、後述するようにインピーダンスの調整
を行うことができる。偏向電圧印加電極板１には、高周
波同軸ケーブル５を介して外部の偏向器ドライバ１０か
ら偏向電圧が印加され、また高周波同軸ケーブル６を介
して・終端抵抗１１に接続される。−方、接地電極板２
及び補助電極板３には、同軸ケーブル５を介して接地電
位が印加される。

（静電偏向器の動作説明（第１図、第２図））次に、上
記静電偏向器の動作について説明を行う。第２図は、第
１図の静電偏向器を原理的に簡酪化した図である。偏向
電圧印加電極板１．接地電極板２．及び補助電極３は、
静電偏向器を構成し電子ビーム９を偏向するが、今、偏
向電圧印加電極板１と接地電極板２との間隔をｄｌ、補
助電極板３と偏向電圧印加電極板１との間隔をｄ２、各
電極板の電子ビーム軌跡方向の長さをＷとし、光速をｃ
ｏ、真空誘電率をε０とすれば、この静電偏向器の真空
中での単位長さ当りの容量Ｃは、で表わすことができ、
この特性インピーダンスは、２パ１で　　　　　　　−
°−（２１で表わすことができる。

従って、電子ビーム９に対する偏向感度は、ｄｌとＷを
最適に設定することにより決定でき、次に前記ｆｌ１式
、及び（２）式に従って、ｄ２を第１図の微動ネジ４に
よって調整することにより静電偏向器の特性インピーダ
ンスが偏向器ドライバ１０のインピーダンスとマツチン
グするように設定することができる。

このようにして、静電偏向器の電子ビーム９に対する偏
向感度と特性インピーダンスを独立に設定することが可
能となり、偏向器ドライバ１０から立上りの急峻な偏向
電圧を印加しても波形がくずれず、高速偏向を行うこと
が可能となる。

また、静電偏向器は３枚の電極板により溝底されるだけ
なので、電極板に付着したコンタミ　（炭素よごれ）な
どの洗滌を行うためのメンテナンスも比較的容易に行う
ことができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、静電偏向器の偏向感度とインピーダン
スを独立に設定することが可能となり、高速偏向を実現
できる。また、構成が簡単なため洗滌などのメンテナン
スも容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、　（ｂｌは、本発明による静電偏向器の
構成図、第２図（ａｌ、　（ｂｌは、本発明による静電偏向器の
原理説明図、第３図（ａ）、　（ｂｌ、　（Ｃ）は、従来の静電偏向
器の説明図である。１・・・偏向電圧印加電極板、２・・・接地電極板、３・・・補助電極板、４・・・微動用ネジ。

Claims

【特許請求の範囲】１）所定の偏向電圧が印加される第１の平板電極（１）
と、それに対向して平行に配置され接地電位が印加され
る第２の平板電極（２）と、前記第１の平板電極（１）
に対向して前記第２の平板電極（２）側と反対側に平行
に配置され接地電位が印加される、インピーダンス調整
用の補助平板電極（３）とを有することを特徴とする静
電偏向器。２）前記静電偏向器は、前記第１の平板電極（１）と前
記補助平板電極（３）との間隔を可変させることにより
インピーダンス調整を行わせる補助平板電極微動手段（
４）を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の静電偏向器。