JP2893081B2 - オゾンガス貯蔵容器 - Google Patents
オゾンガス貯蔵容器Info
- Publication number
- JP2893081B2 JP2893081B2 JP22433794A JP22433794A JP2893081B2 JP 2893081 B2 JP2893081 B2 JP 2893081B2 JP 22433794 A JP22433794 A JP 22433794A JP 22433794 A JP22433794 A JP 22433794A JP 2893081 B2 JP2893081 B2 JP 2893081B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone gas
- storage container
- passivation film
- oxygen
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
に関する。
器に充填されるが、酸素への自己分解性が強く、従来は
オゾンガスを長期間保存することはできないとされてい
た。本発明は、オゾンガスを長期間保存できる貯蔵容器
を提供することを目的とする。
めに、電解研磨して鏡面仕上げしたステンレス鋼製貯蔵
容器の内面を不動態膜で覆ったことを特徴としている。
ンレス鋼製貯蔵容器の内面を不動態膜で覆っているの
で、貯蔵容器の内周面の活性が抑制され、自己分解性が
抑制される。これにより、オゾンを貯蔵することができ
る。
態に鏡面仕上げしたSUS316Lステンレス鋼製の気
密容器を真空引きしたのち、気密容器内に対酸素比がほ
ぼ100%の高濃度オゾンガスをゲージ圧0.63kg/c
m2程度の圧力で充填し、48時間程度放置して、気密容
器の内面に不動態膜を形成した。なお、この不動態膜の
形成処理は常温(室温)の状態で行う。
気密容器と、内面に不動態膜を形成していない気密容器
とを使用して、対酸素比5%のオゾンガスを751.5T
orrで貯蔵した場合の時間経過によるオゾン比率の変化
を調べた。その結果は図1に示す通りであり、内面に不
動態膜を形成していない気密容器の場合、7時間半程度
ですべて酸素に分解されるのに対し、内面に不動態膜を
形成した容器では、10時間経過してもほとんど対酸素
比に変化がなく、自己分解は起こっていないことが分か
った。
と、内面に不動態膜を形成していない気密容器とを使用
して、対酸素比50%のオゾンガスを0.63Kg/cm
2(ゲージ圧)で貯蔵した場合の時間経過によるオゾン比
率の変化を調べた。その結果は図2に示す通りであり、
内面に不動態膜を形成していない気密容器の場合、80
時間程度ですべて酸素に分解されるのに対し、内面に不
動態膜を形成した容器では、90時間を経過しても対酸
素比は5%程度の低下しか見られず、自己分解が抑制さ
れていることが分かった。
導入するオゾンガスの対酸素比が50%を切ると、常温
操作では不動態膜の生成が十分ではなく、自己分解の抑
制を行うことができなかった。したがって、不動態膜生
成時に導入するオゾンガスは対酸素比50%以上でよい
が、75%以上の高濃度オゾンガスが望ましい。
濃度オゾンガスを用いて不動態膜を形成したものについ
て説明したが、不動態膜は母材を400℃〜500℃に
加熱した状態で酸素ガスと接触させる処理や、母材を硝
酸溶液等の酸化力のある溶液に浸漬させる処理で形成し
たものであってもよい。
たステンレス鋼製貯蔵容器の内面を不動態膜で覆ったの
で、容器内面での活性が抑制され、貯蔵したオゾンガス
の自己分解を抑制して、長期間にわたってオゾンガスを
貯蔵することができる。
ゾン比率変化を示すグラフである。
オゾン比率変化を示すグラフである。
Claims (2)
- 【請求項1】 電解研磨して鏡面仕上げしたステンレス
鋼製貯蔵容器の内面を不動態膜で覆ってなるオゾンガス
貯蔵容器。 - 【請求項2】 対酸素比50%以上の高濃度オゾンガス
を使用して不動態膜を形成した請求項1に記載のオゾン
ガス貯蔵容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22433794A JP2893081B2 (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | オゾンガス貯蔵容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22433794A JP2893081B2 (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | オゾンガス貯蔵容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0885548A JPH0885548A (ja) | 1996-04-02 |
JP2893081B2 true JP2893081B2 (ja) | 1999-05-17 |
Family
ID=16812178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22433794A Expired - Lifetime JP2893081B2 (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | オゾンガス貯蔵容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2893081B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040188272A1 (en) * | 2003-03-25 | 2004-09-30 | Blanks Jeremy Daniel | Method for reducing degradation of reactive compounds during transport |
JP4977376B2 (ja) * | 2006-02-21 | 2012-07-18 | 岩谷産業株式会社 | 高濃度オゾン水製造装置 |
DE102007050573A1 (de) * | 2007-10-23 | 2009-04-30 | Evonik Degussa Gmbh | Großgebinde zur Handhabung und für den Transport von hochreinen und ultra hochreinen Chemikalien |
JP6729628B2 (ja) * | 2018-04-25 | 2020-07-22 | 東横化学株式会社 | 貯蔵容器 |
-
1994
- 1994-09-20 JP JP22433794A patent/JP2893081B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0885548A (ja) | 1996-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Christensen et al. | Reaction of hydroxyl radicals with hydrogen at elevated temperatures. Determination of the activation energy | |
KR960702675A (ko) | Hf와 카르복실산 혼합물을 사용한 반도체 처리방법(method for semiconductor processing using mixtures of the and carboxylic acid) | |
JP2893081B2 (ja) | オゾンガス貯蔵容器 | |
GB1563270A (en) | Methods of forming oxide layers on semiconductor substrates | |
US2269601A (en) | Process for the manufacture of articles resistant to gaseous corrosion | |
GB1353549A (en) | Method of treating electrodes | |
GB902023A (en) | Anodes for use in the electrolytic evolution of chlorine | |
JPH0466657A (ja) | アルミニウム合金材およびその製造方法 | |
Meisenheimer et al. | Interaction of oxygen and of ethylene dichloride with silver surfaces | |
TW403792B (en) | Process for passivating treatment of piping system for high-purity gas | |
KR102223547B1 (ko) | 반도체 에칭용 고순도 불화수소 저장 용기의 표면처리방법 | |
US5009817A (en) | Uranium dioxide production | |
Thomas et al. | The diffusion of carbon in alpha iron | |
GB1351062A (en) | Process for heat treating titanium articles and articles obtained thereby | |
JP3216013B2 (ja) | プラズマチャンバー | |
JPH04183846A (ja) | 高純度ガス用ステンレス鋼材及びその製造方法 | |
EP0267717A3 (en) | Thermocouples of enhanced stability | |
Williams et al. | The reaction of titanium with hydrogen gas at ambient temperatures | |
GB1013959A (en) | Method of preoxidation of stainless steel | |
US3547709A (en) | Corrosion-resistant uranium | |
US3501340A (en) | Method of cleaning glass and quartz surfaces | |
JPH04114431A (ja) | 酸化法 | |
DE279073C (ja) | ||
GB979413A (en) | Process for activating noble metal catalyst | |
Skinner | The evolution of hydrogen from the cathode and its absorption by the anode in gases |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090305 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090305 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140305 Year of fee payment: 15 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |