JP2883221B2 - Manufacturing method of optical fiber fixing substrate - Google Patents

Manufacturing method of optical fiber fixing substrate

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JP2883221B2 JP8584591A JP8584591A JP2883221B2 JP 2883221 B2 JP2883221 B2 JP 2883221B2 JP 8584591 A JP8584591 A JP 8584591A JP 8584591 A JP8584591 A JP 8584591A JP 2883221 B2 JP2883221 B2 JP 2883221B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は複数の光ファイバを一本
づつV溝に固定する形式の光ファイバ固定用基板の製造
法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber fixing substrate in which a plurality of optical fibers are fixed one by one in a V-groove.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、125μm 程度の直径を有する
光ファイバ固定用基板は、従来から種々のものが知られ
ている。いずれのタイプの基板においても、固定した光
ファイバが軸ずれを起こすと光伝送損失が大きくなるた
め、光ファイバ固定用基板における光ファイバ固定部
は、従来から例えば0.5μm 以下の高い加工精度を要
求されている。図2に、光ファイバ固定部としてV溝1
を固定すべき光ファイバ2の数だけ設けてなる光ファイ
バ固定用基板3の斜視図を示すように、光ファイバ2を
固定するV溝1は例えば深さ百数十μm の微細なもので
ある。
2. Description of the Related Art For example, various substrates for fixing an optical fiber having a diameter of about 125 μm have been known. Regardless of the type of substrate, if the fixed optical fiber is misaligned, the optical transmission loss increases, so the optical fiber fixing portion of the optical fiber fixing substrate has conventionally required high processing accuracy of, for example, 0.5 μm or less. Has been requested. FIG. 2 shows a V-groove 1 as an optical fiber fixing portion.
As shown in the perspective view of the optical fiber fixing substrate 3 provided with the number of optical fibers 2 to be fixed, the V-groove 1 for fixing the optical fiber 2 is a minute one having a depth of, for example, one hundred and several tens μm. .

【0003】このため、上述した形状の光ファイバ固定
用基板3の製造方法としては、高精度を達成することの
できる、アルミナ、ジルコニア、メノー等のセラミック
ス材料を研削加工して光ファイバ固定部をなすV溝を加
工する方法、シリコン材料をエッチングしてV溝を加工
する方法、樹脂材料をインジェクション成形して丸穴を
形成する方法が従来から一般的に用いられている。
[0003] For this reason, as a method of manufacturing the optical fiber fixing substrate 3 having the above-described shape, a ceramic material such as alumina, zirconia, or menor, which can achieve high precision, is ground to form an optical fiber fixing portion. Conventionally, a method of processing a V groove to be formed, a method of processing a V groove by etching a silicon material, and a method of forming a round hole by injection molding a resin material have been conventionally used.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、シリコ
ン材料を用いる方法や樹脂材料を用いる方法ではより高
精度で微細のV溝を形成することができないため、セラ
ミックス材料を研削加工する方法が用いられるようにな
ってきたが、この場合は、セラミックス材料を加工する
プロセスが、素材を焼成して焼結体を得た後、この焼結
体を平面研削して、さらにダイヤモンド砥石によりV溝
を加工する必要があり、加工時間が例えば8心の光ファ
イバを同時に固定するための固定基板で5〜10時間程度
かかり問題があるとともに、研削の対象がセラミックス
であるため砥石の摩耗が激しい問題があった。さらに、
加工が難しいのに起因して、一つの光ファイバ固定用基
板で固定できるファイバの数が制限され、超多心の光フ
ァイバを同時に固定できる基板を得ることができない問
題があった。
However, since a method using a silicon material or a method using a resin material cannot form a fine V-groove with higher accuracy, a method of grinding a ceramic material is used. In this case, in this case, the process of processing the ceramic material is to bake the material to obtain a sintered body, then perform surface grinding of the sintered body, and further process a V-groove with a diamond grindstone. There is a problem that it is necessary and requires a processing time of about 5 to 10 hours with a fixed substrate for simultaneously fixing, for example, eight optical fibers, and there is a problem that abrasion of a grindstone is severe because the object to be ground is ceramics. . further,
Due to the difficulty in processing, the number of fibers that can be fixed by one optical fiber fixing substrate is limited, and there has been a problem that it is not possible to obtain a substrate that can simultaneously fix ultra-multiple optical fibers.

【0005】本発明の目的は上述した課題を解消して、
加工時間が短くてすみ、砥石の長寿命化が達成できると
ともに、超多心加工が可能で超多心の光ファイバを同時
に固定することのできる光ファイバ固定用基板の製造法
を提供しようとするものである。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems,
To provide an optical fiber fixing substrate manufacturing method that requires a short processing time, can achieve a long life of the grindstone, can perform super multi-core processing, and can simultaneously fix super multi-core optical fibers. Things.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の光ファイバ固定
用基板は、複数の光ファイバを固定するためのV溝を有
する光ファイバ固定用基板の製造法において、結晶化ガ
ラスを溶解し、ガラスの軟化点以上の温度において金型
プレスをしてV溝を有する基板を形成し、冷却後、結晶
化のための熱処理を行い、その後、V溝を砥石で仕上げ
加工することを特徴とするものである。
An optical fiber fixing substrate according to the present invention is a method for manufacturing an optical fiber fixing substrate having V-grooves for fixing a plurality of optical fibers. Forming a substrate having a V-groove by pressing the mold at a temperature equal to or higher than the softening point, cooling, performing a heat treatment for crystallization, and then finishing the V-groove with a grindstone. It is.

【0007】[0007]

【作用】上述した構成において、材料として結晶化ガラ
スを使用し、柔らかい状態で複数のV溝に対応したサブ
ミクロン精度の金型により一度プレス加工した後、さら
にダイヤモンド砥石等によるV溝の仕上げ加工を行うこ
とにより、光ファイバ固定用の基板を作製しているた
め、砥石を使用した時間のかかる研削加工を少なくで
き、加工時間の短縮化、砥石の長寿命化、および超多心
加工が可能な光ファイバ固定基板の製造法を得ることが
できる。
In the above-mentioned structure, crystallized glass is used as a material, and once pressed by a submicron precision mold corresponding to a plurality of V-grooves in a soft state, followed by finishing of the V-groove with a diamond grindstone or the like. By doing this, the substrate for fixing the optical fiber is manufactured, so time-consuming grinding using a grindstone can be reduced, shortening the processing time, extending the life of the grindstone, and enabling super multi-core processing. Thus, a method for manufacturing an optical fiber fixed substrate can be obtained.

【0008】ここで、アルミナ等のセラミックスを使用
せず結晶化ガラス例えばLi2 OーAl2 3 ーSiO
2 系の結晶化ガラスを使用するのは、軟化点以上の温度
であればプレス加工によりV溝の加工が可能であるとと
もに、その後の結晶化のための熱処理を必要とするもの
のこの熱処理における収縮率は1%程度で、プレス成形
した形状がほばそのまま結晶化のための熱処理後も残る
ためである。また、金型を使用したプレス成形を用いる
のは、近年サブミクロンオーダのV溝を有する金型を作
製することができるようになったとともに、一度金型を
作ってしまえば繰り返し使用できるためである。
Here, crystallized glass such as Li 2 O—Al 2 O 3 —SiO is used without using ceramics such as alumina.
In the case of using the crystallized glass of the 2 series, if the temperature is equal to or higher than the softening point, the V-groove can be formed by press working, and the subsequent heat treatment for crystallization is required. The rate is about 1%, because the press-formed shape remains almost after heat treatment for crystallization. Press molding using a mold is used because a mold having a sub-micron-order V-groove can be manufactured in recent years, and once a mold is made, it can be used repeatedly. is there.

【0009】[0009]

【実施例】図1は本発明の光ファイバ固定用基板の製造
法の流れを説明するためのフローチャートである。図1
に従って本発明の製造法を説明すると、まず例えばLi
2 OーAl2 3 ーSiO2 系の結晶化ガラスを140
0〜1500℃の温度に加熱して溶解する。次に、溶解
した結晶化ガラスを少量取り出し、軟化点以上の温度で
ある1000〜1200℃の温度で金型によりプレス成
形をしてV溝を加工するとともに全体の形状を加工して
形成する。その後、一旦冷却する。次に、結晶核を生成
させ結晶化させるための熱処理を行う。その一例の熱処
理スケジュールは、室温から50〜200℃/Hrの昇
温速度で一次結晶化温度(結晶核形成)まで昇温し、一
定時間保持後、さらに50〜200℃/Hrの昇温速度
で二次結晶化温度(結晶成長)まで昇温し、一定時間保
持後降温するスケジュールである。最後に、結晶化して
硬化した結晶化ガラスのプレスにより成形したV溝を、
ダイヤモンド砥石で研削して、最終製品としての光ファ
イバ固定用基板を得ている。
FIG. 1 is a flow chart for explaining the flow of a method for manufacturing an optical fiber fixing substrate according to the present invention. FIG.
The production method of the present invention will be described according to
2 O-Al 2 O 3 -SiO 2 crystallized glass
Heat to a temperature of 0-1500 ° C. to dissolve. Next, a small amount of the melted crystallized glass is taken out, pressed at a temperature of 1000 to 1200 ° C., which is a temperature equal to or higher than the softening point, using a mold to process the V-groove and the entire shape. Thereafter, it is once cooled. Next, heat treatment for generating and crystallizing a crystal nucleus is performed. One example of the heat treatment schedule is as follows: a temperature is raised from room temperature to a primary crystallization temperature (crystal nucleation) at a heating rate of 50 to 200 ° C./Hr; Is a schedule in which the temperature is raised to the secondary crystallization temperature (crystal growth), held for a certain time, and then lowered. Finally, a V-groove formed by pressing a crystallized and hardened crystallized glass,
By grinding with a diamond grindstone, an optical fiber fixing substrate as a final product is obtained.

【0010】図2は本発明の製造法により得られる光フ
ァイバ固定用基板の一例の構造を示す図である。図2に
示す例では、光ファイバ固定用基板は3は、光ファイバ
2を固定するためのV溝1を光ファイバ2の数だけ等間
隔に有するV溝基板3ー1と、V溝1に固定された光フ
ァイバ2を押圧して固定するための光ファイバ押え基板
3ー2とを、接着剤で固定して構成している。V溝1の
形状は固定すべき光ファイバ2の直径に応じて変わる
が、その一例として直径125μmの光ファイバ2を固
定する場合は、V溝1に光ファイバ2を装着した際光フ
ァイバ2の一部がV溝基板3ー1の表面よりも若干突出
した状態となるようにV溝加工することが好ましい。上
述した構成は従来の構成と同様であるが、本発明で重要
なのは、V溝基板3ー1および光ファイバ押え基板3ー
2を構成する材料として、結晶化ガラスを使用する点で
ある。
FIG. 2 is a view showing an example of the structure of an optical fiber fixing substrate obtained by the manufacturing method of the present invention. In the example shown in FIG. 2, the optical fiber fixing substrate 3 includes a V-groove substrate 3-1 having V-grooves 1 for fixing the optical fibers 2 at equal intervals by the number of the optical fibers 2, and a V-groove 1. An optical fiber pressing substrate 3-2 for pressing and fixing the fixed optical fiber 2 is fixed with an adhesive. The shape of the V-groove 1 changes according to the diameter of the optical fiber 2 to be fixed. As an example, when the optical fiber 2 having a diameter of 125 μm is fixed, when the optical fiber 2 is attached to the V-groove 1, It is preferable to process the V-groove so that a part thereof slightly protrudes from the surface of the V-groove substrate 3-1. The configuration described above is the same as the conventional configuration, but what is important in the present invention is that crystallized glass is used as a material for forming the V-groove substrate 3-1 and the optical fiber pressing substrate 2-2.

【0011】そのため、本発明の製造法によれば、例え
ば8心の光ファイバを同時に固定するための固定用基板
の加工時間を大幅に短縮することができ、その結果砥石
の長寿命化が達成できるとともに、加工に時間がかから
ない分だけ例えば100心程度の超多心の光ファイバ固
定用基板を得ることができる。
Therefore, according to the manufacturing method of the present invention, the processing time of the fixing substrate for simultaneously fixing, for example, eight optical fibers can be greatly reduced, and as a result, the life of the grinding wheel can be extended. It is possible to obtain a super-multi-core optical fiber fixing substrate having, for example, about 100 cores because the processing does not take much time.

【0012】本発明は上述した実施例にのみ限定される
ものではなく、幾多の変形、変更が可能である。例え
ば、上述した実施例では、結晶化ガラスの軟化点以上の
温度でのプレス成形の後一旦室温まで冷却したが、連続
して結晶化のための熱処理を行うこともできる。また、
結晶化ガラスとしてLi2 OーAl2 3 ーSiO2
の結晶化ガラスの例しか開示しなかったが、その他従来
から公知の結晶化ガラスであればどの様なものでも使用
できることはいうまでもない。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be variously modified and changed. For example, in the above-described embodiment, after the glass is pressed at a temperature equal to or higher than the softening point of the crystallized glass, the glass is once cooled to room temperature, but a heat treatment for crystallization may be continuously performed. Also,
Although only examples of Li 2 O—Al 2 O 3 —SiO 2 crystallized glass have been disclosed as crystallized glass, it goes without saying that any other conventionally known crystallized glass can be used. Nor.

【0013】[0013]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、材料として結晶化ガラスを使用し、柔らかい
状態で複数のV溝に対応したサブミクロン精度の金型に
より一度プレス加工した後、さらにダイヤモンド砥石等
によるV溝の仕上げ加工を行うことにより、光ファイバ
固定用の基板を作製しているため、砥石を使用した時間
のかかる研削加工を少なくでき、加工時間の短縮化、砥
石の長寿命化、および超多心加工が可能となる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, crystallized glass is used as a material and pressed once by a submicron precision mold corresponding to a plurality of V grooves in a soft state. After that, the substrate for fixing the optical fiber is manufactured by further finishing the V-groove with a diamond whetstone or the like, so that the time-consuming grinding processing using the whetstone can be reduced, the processing time can be reduced, and the whetstone can be reduced. Life and super multi-core machining are possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光ファイバ固定用基板の製造法の流れ
を説明するためのフローチャートである。
FIG. 1 is a flowchart for explaining a flow of a method for manufacturing an optical fiber fixing substrate of the present invention.

【図2】本発明の製造法により得られる光ファイバ固定
用基板の一例の構造を示す図である。
FIG. 2 is a view showing the structure of an example of an optical fiber fixing substrate obtained by the manufacturing method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 V溝 2 光ファイバ 3ー1 V溝基板 3ー2 光ファイバ押え基板 1 V-groove 2 Optical fiber 3-1 V-groove substrate 3-2 Optical fiber holding substrate

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 複数の光ファイバを固定するためのV溝
を有する光ファイバ固定用基板の製造法において、結晶
化ガラスを溶解し、ガラスの軟化点以上の温度において
金型プレスをしてV溝を有する基板を形成し、冷却後、
結晶化のための熱処理を行い、その後、V溝を砥石で仕
上げ加工することを特徴とする光ファイバ固定用基板の
製造法。
In a method for manufacturing an optical fiber fixing substrate having V-grooves for fixing a plurality of optical fibers, crystallized glass is melted, and a metal mold is pressed at a temperature equal to or higher than the softening point of the glass. After forming a substrate with grooves and cooling,
A method for producing an optical fiber fixing substrate, comprising performing a heat treatment for crystallization, and then finishing the V-groove with a grindstone.
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