JP2882927B2 - Magnetic head and method of manufacturing magnetic head - Google Patents
Magnetic head and method of manufacturing magnetic headInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気コアとギャップと
の間に金属磁性層を設けた構造のメタルインギャップ型
の磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法に関する。The present invention relates to a metal-in-gap type magnetic head having a structure in which a metal magnetic layer is provided between a magnetic core and a gap, and a method of manufacturing the magnetic head .
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気記録の分野においては、記録密度を
高めるために磁気テープ等の記録媒体の高保磁力化が推
進されているが、それに対応する磁気ヘッドの磁気コア
の材料として、飽和磁束密度（Ｂｓ）の高いものが要求
されている。2. Description of the Related Art In the field of magnetic recording, a high coercive force of a recording medium such as a magnetic tape has been promoted in order to increase the recording density. (Bs) is required.
【０００３】しかし、従来のフェライトの磁気ヘッドは
飽和磁束密度が、約５０００Ｇ（ガウス）程度と低いた
め、高密度化の要求に対しては不十分である。However, the conventional ferrite magnetic head has a saturation magnetic flux density as low as about 5000 G (Gauss), which is insufficient for the demand for higher density.
【０００４】このため、磁気ヘッドとして、図５に示す
ような構造のいわゆるメタルインギャップ型の磁気ヘッ
ドが知られている。これは、フェライトからなる一対の
磁気コア１ａ、１ｂの各々の対向端面に、例えばＦｅ−
Ａｌ−Ｓｉ系合金（センダスト）、パーマロイ、アモル
ファス金属等の磁性合金からなる金属磁性層６ａ、６ｂ
を設けるとともに、この金属磁性層６ａ、６ｂを設けた
磁気コア１ａ、１ｂの対向端面の間に、ＳｉＯ2等の非
磁性体からなるギャップ層４を設けることにより磁気ギ
ャップを形成し、磁気コア１ａ、１ｂをガラス層５、５
により接合したものである。このようなメタルインギャ
ップ型の磁気ヘッドは、磁気コア１ａ、１ｂの対向端面
に金属磁性層を設けていない一般的な磁気ヘッドに比較
して、強くしかも鋭い記録磁界を得られるという利点が
あり、今後の活用が期待されている。Therefore, a so-called metal-in-gap type magnetic head having a structure as shown in FIG. 5 is known as a magnetic head. This is because, for example, Fe-
Metal magnetic layers 6a and 6b made of a magnetic alloy such as an Al-Si alloy (Sendust), permalloy, and amorphous metal
A magnetic gap is formed by providing a gap layer 4 made of a nonmagnetic material such as SiO 2 between opposed end faces of the magnetic cores 1a and 1b provided with the metal magnetic layers 6a and 6b. 1a and 1b are glass layers 5, 5
Are joined together. Such a metal-in-gap type magnetic head has an advantage that a strong and sharp recording magnetic field can be obtained as compared with a general magnetic head in which a metal magnetic layer is not provided on the facing end faces of the magnetic cores 1a and 1b. It is expected to be used in the future.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の磁
気ヘッドでは、前記金属磁性層６ａ、６ｂとＳｉＯ2か
らなる磁気ギャップ層４との層間の密着強度及び前記金
属磁性層６ａ、６ｂと磁気コア１ａ、１ｂとの層間の密
着強度が十分ではなく、成膜段階で膜はがれを起こし易
いという問題を有していた。[SUMMARY OF THE INVENTION However, in the conventional magnetic head, the metallic magnetic layer 6a, 6b and the adhesion strength between the layers of the magnetic gap layer 4 made of SiO 2 and the metal magnetic layer 6a, 6b and the magnetic There was a problem that the adhesion strength between the layers with the cores 1a and 1b was not sufficient, and the film was easily peeled off at the film formation stage.
【０００６】特に、近年においては、磁気ヘッドに組み
込んだ装置は小型化、軽量化する傾向にあり、移動に伴
う振動にさらされたり、悪環境のもとで使用されたりす
ることが多くなっている。そこで、磁気ヘッドには、磁
気特性が優秀であって磁気テープに対する耐摩耗性が優
れていることは勿論、温度や腐食性の雰囲気中での耐用
性、すなわち耐環境性や、耐振動性が高いこと等が要求
されている。In particular, in recent years, devices incorporated in a magnetic head tend to be smaller and lighter, and are often exposed to vibrations due to movement and used under adverse environments. I have. Therefore, the magnetic head has not only excellent magnetic properties and excellent abrasion resistance to magnetic tape, but also durability in temperature and corrosive atmospheres, that is, environmental resistance and vibration resistance. It is required to be high.
【０００７】よって、本発明は上記課題に鑑みてなされ
たものであり、メタルインギャップ型の磁気ヘッドにお
いて、上記金属磁性層の特定元素の濃度を調停すること
で、前記金属磁性層とギャップ層及び前記金属磁性層と
フェライトにおける各層間の密着強度を向上させ、層間
付着力を確保することによって、前記金属磁性層と各層
間における膜はがれを回避し、さらに前記金属磁性層の
抗折強度を向上させることができる磁気ヘッドの提供を
目的としている。Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and in a metal-in-gap type magnetic head, the metal magnetic layer and the gap layer are adjusted by adjusting the concentration of a specific element in the metal magnetic layer. And, by improving the adhesion strength between the layers in the metal magnetic layer and the ferrite, and securing the interlayer adhesion, to avoid peeling of the film between the metal magnetic layer and each layer, furthermore, the bending strength of the metal magnetic layer It is intended to provide a magnetic head that can be improved.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、一対の磁気コアと、それらの間に設けられ
た磁気ギャップ層とがガラス溶着され、前記磁気コアと
ギャップ層の間に設けられた金属磁性層を具備してなる
メタルインギャップ型の磁気ヘッドにおいて、前記金属
磁性層がＦｅ−Ａｌ−Ｔａ−Ｃ系の金属磁性膜から形成
されるとともに、該金属磁性膜の組成はガラス溶着によ
り微結晶を析出可能な組成であり、前記金属磁性層中の
Ａｌ成分の濃度が、前記磁気ギャップの近傍側で低く、
前記磁気コア近傍側では高いことを特徴とする磁気ヘッ
ドである。前記金属磁性層を構成するＦｅ−Ａｌ−Ｔａ
−Ｃ系の金属磁性膜中のＡｌ成分の濃度勾配は、磁気コ
ア側の方が磁気ギャップ側よりも高いものであってもよ
い。 また、本発明は上記課題を解決するために、一対の
磁気コアと、それらの間に設けられた磁気ギャップ層と
がガラス溶着され、前記磁気コアとギャップ層の間に設
けられた金属磁性層を具備してなるメタルインギャップ
型の磁気ヘッドの製造方法であって、Ａｌ成分の濃度が
前記磁気ギャップの近傍側の金属磁性膜で低く、前記磁
気コア近傍側の金属磁性膜で高い少なくとも２層以上の
Ｆｅ−Ａｌ−Ｔａ−Ｃ系の金属磁性膜を成膜して金属磁
性層を形成し、その後前記一対の磁気コアとそれらの間
に設けられた磁気ギャップ層とをガラス溶着して前記Ｆ
ｅ−Ａｌ−Ｔａ−Ｃ系の金属磁性膜中に微結晶を析出さ
せることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法である。 According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, a pair of magnetic cores and a magnetic gap layer provided therebetween are glass-welded, and a gap between the magnetic core and the gap layer is provided. In the metal-in-gap type magnetic head including the metal magnetic layer provided in the above, the metal magnetic layer is formed of a Fe-Al-Ta-C-based metal magnetic film, and the composition of the metal magnetic film is Is by glass welding
A composition capable of precipitating microcrystals, wherein the concentration of the Al component in the metal magnetic layer is low near the magnetic gap,
Magnetic heads, characterized in that high in the magnetic core near side
Is . Fe-Al-Ta constituting the metal magnetic layer
The concentration gradient of the Al component in the -C-based metal magnetic film
A side may be higher than the magnetic gap side.
No. In addition, the present invention, in order to solve the above problems, a pair of
A magnetic core and a magnetic gap layer provided between them
Is welded to the glass, and is provided between the magnetic core and the gap layer.
Metal in gap comprising a metal magnetic layer
Manufacturing method of a magnetic head of the type, wherein the concentration of the Al component is
Low in the metal magnetic film near the magnetic gap,
At least two layers higher in the metal magnetic film near the air core
Forming a Fe—Al—Ta—C metal magnetic film to form a metal magnetic film;
Forming a conductive layer, and then between the pair of magnetic cores and
And the magnetic gap layer provided in
Microcrystals deposited in e-Al-Ta-C based metal magnetic film
A method for manufacturing a magnetic head.
【０００９】[0009]
【作用】従って、本発明の磁気ヘッドでは、Ａｌを含む
鉄系の金属磁性膜から形成した金属磁性層中の一成分Ａ
ｌとフェライト中のＯ元素との結合力が大きいという性
質を利用し、層中のＡｌ成分の濃度分布が、ＳｉＯ2か
らなる磁気ギャップ層近傍では低く、磁気コアの近傍で
は高い濃度勾配を有することにより、前記金属磁性層と
磁気ギャップ層との層間結合安定性を保持し、層間付着
力を向上させ、磁気記録特性を向上させるとともに、前
記金属層の抗折強度の改善を図ることができる。Accordingly, in the magnetic head of the present invention, one component A in the metal magnetic layer formed from the iron-based metal magnetic film containing Al is used.
Utilizing the property that the bonding force between 1 and the O element in ferrite is large, the concentration distribution of the Al component in the layer is low near the magnetic gap layer made of SiO 2 and has a high concentration gradient near the magnetic core. Thereby, the interlayer coupling stability between the metal magnetic layer and the magnetic gap layer is maintained, the interlayer adhesion is improved, the magnetic recording characteristics are improved, and the bending strength of the metal layer can be improved. .
【００１０】[0010]
【実施例】以下、本発明の実施例について図１を参照し
て説明する。なお、以下の実施例の説明において、前記
従来例と同一の構成要素については同一の符号を付し、
その説明を省略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. In the following description of the embodiments, the same components as those of the conventional example are denoted by the same reference numerals,
The description is omitted.
【００１１】本発明の磁気ヘッドと前記従来の磁気ヘッ
ドとの相違点は、その金属磁性層２ａ、２ｂの組成と構
造にある。即ち、本実施例における磁気ヘッドでは、金
属磁性層２ａ、２ｂは、Ｆｅ−Ａｌ−Ｔａ−Ｃ系の磁性
膜で構成されるとともに、磁気コア１ａ、１ｂに面する
側の金属磁性層２ａ、２ｂはＡｌ成分の濃度が高く、一
方磁気ギャップ側に面する側の金属磁性層２ａ、２ｂ
は、前記Ａｌ成分濃度が低い状態で構成されている。そ
こで、各金属磁性層２ａ、２ｂ中の成分濃度分布の一例
を図２に示す。The difference between the magnetic head of the present invention and the conventional magnetic head lies in the composition and structure of the metal magnetic layers 2a and 2b. That is, in the magnetic head according to the present embodiment, the metal magnetic layers 2a and 2b are formed of Fe—Al—Ta—C-based magnetic films, and the metal magnetic layers 2a and 2b on the side facing the magnetic cores 1a and 1b. 2b has a high concentration of the Al component, while the metal magnetic layers 2a and 2b on the side facing the magnetic gap side.
Are configured in a state where the Al component concentration is low. FIG. 2 shows an example of the component concentration distribution in each of the metal magnetic layers 2a and 2b.
【００１２】上記のようなＡｌ成分濃度に勾配を持った
金属磁性層２ａ、２ｂの作製方法について、以下に述べ
る。まず、フェライトからなる一対の磁気コア１ａ、１
ｂの各々の対向端面に、蒸着またはスパッタ等による薄
膜形成装置によってＦｅ−１０％Ａｌ−Ｔａ−Ｃ膜を厚
さ１μm程度成膜する。続いて、前記と同様な方法によ
って、Ｆｅ−５％Ａｌ−Ｔａ−Ｃ膜を厚さ５μm程度成
膜する。しかし、このように製作したままの金属薄膜
は、アモルファス相をかなりの割合で含んだもので不安
定であるため５５０℃程度の高温で加熱する熱処理を施
すことにより微結晶を析出させ、成分拡散をさせる。A method of forming the metal magnetic layers 2a and 2b having the above-mentioned gradient in the Al component concentration will be described below. First, a pair of magnetic cores 1a, 1
A Fe-10% Al-Ta-C film having a thickness of about 1 [mu] m is formed on each of the opposing end faces b by a thin film forming apparatus such as evaporation or sputtering. Subsequently, an Fe-5% Al-Ta-C film is formed to a thickness of about 5 μm by the same method as described above. However, the as-fabricated metal thin film contains a considerable amount of an amorphous phase and is unstable. Therefore, heat treatment is performed at a high temperature of about 550 ° C. to precipitate microcrystals, thereby causing component diffusion. Let
【００１３】図３に熱処理前と熱処理後における膜中の
Ａｌ成分濃度分布を示した。熱処理を行なう前の積層さ
れた金属層中のＡｌ濃度分布には明らかに層間に、Ａ
ｌ濃度分布に偏りが認められるが、熱処理後の積層金属
層中のＡｌ濃度分布には、層間のＡｌ濃度の偏りは見
られず、層間においても滑らかな濃度勾配を有する層が
形成されていることがわかる。よって、前記熱処理は磁
気ヘッドの製造工程におけるガラス溶着工程と兼ねて行
なうことができる。FIG. 3 shows the Al component concentration distribution in the film before and after the heat treatment. The Al concentration distribution in the stacked metal layers before the heat treatment clearly shows A
Although a bias is observed in the l-concentration distribution, the Al concentration distribution in the laminated metal layer after the heat treatment shows no bias in the Al concentration between the layers, and a layer having a smooth concentration gradient is formed between the layers. You can see that. Therefore, the heat treatment can be performed simultaneously with the glass welding step in the manufacturing process of the magnetic head.
【００１４】なお、前述した金属磁性層１ａ、１ｂの作
製方法においては、金属磁性層１ａ、１ｂを２層のＡｌ
成分濃度の違うＦｅ−Ａｌ−Ｔａ−Ｃ系の磁性膜より形
成したが、さらに多数の金属磁性膜を積層することによ
って形成してもよい。前記金属磁性膜をＡｌ成分濃度が
微妙に異なる金属磁性薄膜に数多く別けて積層して、前
記金属磁性層２ａ、２ｂを形成した場合は、Ａｌ成分濃
度がより緩やかな勾配を有する金属磁性層２ａ、２ｂを
形成することができる。In the above-described method of manufacturing the metal magnetic layers 1a and 1b, the metal magnetic layers 1a and 1b are
Although formed from Fe-Al-Ta-C based magnetic films having different component concentrations, they may be formed by laminating a larger number of metal magnetic films. In the case where the metal magnetic films are laminated on a large number of metal magnetic thin films having slightly different Al component concentrations and the metal magnetic layers 2a and 2b are formed, the metal magnetic layer 2a having a gentler gradient of the Al component concentration is formed. , 2b can be formed.
【００１５】よって、上記のような磁気ヘッドによれ
ば、従来、磁気コアの飽和磁束密度の低さに起因して起
こっていた記録磁界、磁界勾配の飽和という現象を避
け、複数の薄膜層の存在によりこれら薄膜層（特に磁気
ギャップ近傍の薄膜層）の有する飽和磁束密度の高さを
有効に利用して、記録磁界、磁界勾配の改善を図ること
ができる。また、金属磁性層の厚さを増加させずに十分
特性を確保することが可能であり、金属磁性層の厚さの
増加による渦電流損失の増大を回避し、またガラスボン
ディングの際の熱変形に起因して生じる膜応力の増大等
を防止することが可能である。Therefore, according to the magnetic head as described above, the phenomenon of the saturation of the recording magnetic field and the magnetic field gradient, which has conventionally occurred due to the low saturation magnetic flux density of the magnetic core, can be avoided, and a plurality of thin film layers can be formed. By virtue of its presence, the recording magnetic field and the magnetic field gradient can be improved by effectively utilizing the high saturation magnetic flux density of these thin film layers (especially the thin film layer near the magnetic gap). In addition, it is possible to secure sufficient characteristics without increasing the thickness of the metal magnetic layer, to avoid an increase in eddy current loss due to an increase in the thickness of the metal magnetic layer, and to prevent thermal deformation during glass bonding. It is possible to prevent an increase in film stress and the like caused by the above.
【００１６】しかし、金属磁性層２ａ、２ｂ中のＡｌ成
分濃度に勾配を付ける際、金属磁性層２ａ、２ｂ中のＡ
ｌ含有量を増加させると、金属磁性層２ａ、２ｂの飽和
磁束密度が小さくなり、磁気特性の低減につながるた
め、前記金属磁性層２ａ、２ｂ中にＡｌ成分の濃度勾配
を形成する際には、前記金属磁性層２ａ、２ｂ中のＡｌ
最大濃度を２５ａｔ％とすることが必要である。However, when giving a gradient to the Al component concentration in the metal magnetic layers 2a and 2b, the A
Increasing the l content decreases the saturation magnetic flux density of the metal magnetic layers 2a and 2b, leading to a reduction in magnetic characteristics. Therefore, when forming a concentration gradient of the Al component in the metal magnetic layers 2a and 2b, , Al in the metal magnetic layers 2a, 2b
It is necessary to set the maximum concentration to 25 at%.
【００１７】（実験例）ここで、上記構成からなる本発
明の磁気ヘッドと、比較例の磁気ヘッドの膜はがれ率を
以下のような方法により測定した。上記本発明による磁
気ヘッドのヘッドチップ製造工程中では、図４に示すよ
うなチップ切断工程において切断の際の力学的な力によ
り膜はがれが生じ易い。そこで、本発明による磁気ヘッ
ドのチップ切断後のチップ外観を顕微鏡で観察し、膜は
がれ箇所の数を数え、同様な観察方法で観察した比較例
の従来の磁気ヘッドにおける、その結果を１００の基準
とし、これに比較して本発明における磁気ヘッドの膜は
がれ率を表１に記した。(Experimental Example) Here, the film peeling rates of the magnetic head of the present invention having the above-described configuration and the magnetic head of the comparative example were measured by the following method. In the head chip manufacturing process of the magnetic head according to the present invention, the film is easily peeled off by a mechanical force at the time of cutting in the chip cutting process as shown in FIG. Therefore, the appearance of the chip of the magnetic head according to the present invention after cutting the chip was observed with a microscope, the number of peeled films was counted, and the result of the conventional magnetic head of the comparative example, which was observed by the same observation method, was defined as 100. Table 1 shows the film peeling ratio of the magnetic head according to the present invention.
【００１８】さらに、本発明の磁気ヘッドと比較例の磁
気ヘッドとをそれぞれ用いて、５ＭＨｚにおける磁気記
録再生特性を測定した結果を表１に示す。尚、比較例の
磁気ヘッドの特性の各レベルを０ｄＢとして規格化して
ある。Table 1 shows the results of measuring the magnetic recording / reproducing characteristics at 5 MHz using the magnetic head of the present invention and the magnetic head of the comparative example. The levels of the characteristics of the magnetic head of the comparative example are standardized as 0 dB.
【００１９】[0019]
【表１】 [Table 1]
【００２０】表１からわかるように、本発明の磁気ヘッ
ドは、膜はがれ率及び磁気特性いずれの場合でも従来の
比較例の磁気ヘッドより優れた特性を示している。さら
に前記金属磁性層をＦｅ−Ａｌ−Ｔａ−Ｃ系の金属磁性
膜で形成し、Ａｌを金属磁性層中に均一濃度で形成した
場合は、膜はがれ率はＡｌ成分を含まない金属磁性層に
比較するとかなり向上しているが、出力特性がかなり低
下してしまうといった傾向がある。As can be seen from Table 1, the magnetic head of the present invention shows superior characteristics to the conventional magnetic head in both cases of film peeling rate and magnetic characteristics. Further, when the metal magnetic layer is formed of a Fe-Al-Ta-C-based metal magnetic film and Al is formed in the metal magnetic layer at a uniform concentration, the film peeling rate is reduced to a metal magnetic layer containing no Al component. In comparison, the output characteristics are considerably improved, but the output characteristics tend to be considerably reduced.
【００２１】[0021]
【発明の効果】よって、本発明の磁気ヘッドでは、一対
の磁気コアと、それらの間に設けられた磁気ギャップ層
と、前記磁気コアとギャップ層の間に設けられた金属磁
性層を具備してなるメタルインギャップ型の磁気ヘッド
において、前記金属磁性層がＡｌを含む鉄系の金属磁性
膜から形成し、かつ層中のＡｌ成分の濃度分布が、Ｓｉ
Ｏ2からなる磁気ギャップ層近傍では低く、磁気コアの
近傍では高い濃度勾配を有する形状とすることにより、
前記金属磁性層中の一成分Ａｌとフェライト中のＯ元素
との結合力が大きいという性質を利用して、前記金属磁
性層と磁気ギャップ層との層間結合安定性を保持し、層
間付着力を向上させ、磁気記録特性を向上させるととも
に、前記金属層の抗折強度の改善を図ることができる。Thus, the magnetic head of the present invention includes a pair of magnetic cores, a magnetic gap layer provided therebetween, and a metal magnetic layer provided between the magnetic core and the gap layer. In the metal-in-gap type magnetic head, the metal magnetic layer is formed of an iron-based metal magnetic film containing Al, and the concentration distribution of the Al component in the layer is Si.
By having a shape having a low concentration gradient near the magnetic gap layer made of O 2 and a high concentration gradient near the magnetic core,
Utilizing the property that the bonding force between the one-component Al in the metal magnetic layer and the O element in the ferrite is large, the interlayer bonding stability between the metal magnetic layer and the magnetic gap layer is maintained, and the interlayer adhesion force is reduced. The magnetic recording characteristics can be improved, and the bending strength of the metal layer can be improved.
【００２２】また、このような磁気ヘッドによれば、従
来、磁気コアの飽和磁束密度の低さに起因して起こって
いた記録磁界、磁界勾配の飽和という現象を避け、複数
の薄膜層の存在によりこれら薄膜層（特に磁気ギャップ
近傍の薄膜層）の有する飽和磁束密度の高さを有効に利
用して、記録磁界、磁界勾配の改善を図ることができ
る。また、金属磁性層の厚さを増加させずに十分特性を
確保することが可能であり、金属磁性層の厚さの増加に
よる渦電流損失の増大を回避し、さらにガラスボンディ
ングの際の熱変形に起因して生じる膜応力の増大等を防
止することが可能である。Further, according to such a magnetic head, the phenomenon of saturation of the recording magnetic field and the magnetic field gradient, which has conventionally occurred due to the low saturation magnetic flux density of the magnetic core, is avoided, and the presence of a plurality of thin film layers is avoided. Thus, the recording magnetic field and the magnetic field gradient can be improved by effectively utilizing the high saturation magnetic flux density of these thin film layers (particularly, the thin film layer near the magnetic gap). In addition, it is possible to secure sufficient characteristics without increasing the thickness of the metal magnetic layer, to avoid an increase in eddy current loss due to an increase in the thickness of the metal magnetic layer, and to further reduce thermal deformation during glass bonding. It is possible to prevent an increase in film stress and the like caused by the above.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】図１は、本発明による磁気ヘッドの磁気テープ
摺接面における要部拡大図である。FIG. 1 is an enlarged view of a main part of a magnetic tape sliding contact surface of a magnetic head according to the present invention.
【図２】図２は、本発明による磁気ヘッドの金属磁性層
における成分濃度分布を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a component concentration distribution in a metal magnetic layer of a magnetic head according to the present invention.
【図３】図３は、実施例における磁気ヘッド製造工程に
おける金属磁性層のＡｌ濃度拡散を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an Al concentration diffusion of a metal magnetic layer in a magnetic head manufacturing process in an example.
【図４】本実施例における膜はがれ率の測定方法を説明
するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a method of measuring a film peeling rate in the present embodiment.
【図５】図５は、従来の磁気ヘッドの磁気テープ摺接面
における要部拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view of a main portion of a conventional magnetic head on a sliding surface of a magnetic tape.
１ａ 磁気コア １ｂ 磁気コア ２ａ 金属磁性層 ２ｂ 金属磁性層 ４ ギャップ層 ６ａ 金属磁性層 ６ｂ 金属磁性層 1a Magnetic core 1b Magnetic core 2a Metal magnetic layer 2b Metal magnetic layer 4 Gap layer 6a Metal magnetic layer 6b Metal magnetic layer
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−56809（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−240412（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/255 Continuation of the front page (56) References JP-A-63-56809 (JP, A) JP-A-61-240412 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 5 / 127-5/255
Claims (3)
れた磁気ギャップ層とがガラス溶着され、前記磁気コア
とギャップ層の間に設けられた金属磁性層を具備してな
るメタルインギャップ型の磁気ヘッドにおいて、前記金
属磁性層がＦｅ−Ａｌ−Ｔａ−Ｃ系の金属磁性膜から形
成されるとともに、該金属磁性膜の組成はガラス溶着に
より微結晶を析出可能な組成であり、前記金属磁性層中
のＡｌ成分の濃度が、前記磁気ギャップの近傍側で低
く、前記磁気コア近傍側では高いことを特徴とする磁気
ヘッド。1. A metal-in-gap comprising a pair of magnetic cores and a magnetic gap layer provided therebetween, which are glass-welded and comprising a metal magnetic layer provided between the magnetic core and the gap layer. In the magnetic head of the type, the metal magnetic layer is formed of a Fe-Al-Ta-C-based metal magnetic film, and the composition of the metal magnetic film is adapted for glass welding.
A magnetic head having a composition capable of precipitating fine crystals, wherein the concentration of the Al component in the metal magnetic layer is low near the magnetic gap and high near the magnetic core.
Ｔａ−Ｃ系の金属磁性膜中のＡｌ成分の濃度勾配は、磁
気コア側の方が磁気ギャップ側よりも高いことを特徴と
する請求項１記載の磁気ヘッド。 2. An Fe—Al— layer constituting said metal magnetic layer.
The concentration gradient of the Al component in the Ta—C-based metal magnetic film
The feature is that the air core side is higher than the magnetic gap side
2. The magnetic head according to claim 1, wherein:
れた磁気ギャップ層とがガラス溶着され、前記磁気コア
とギャップ層の間に設けられた金属磁性層を具備してな
るメタルインギャップ型の磁気ヘッドの製造方法であっ
て、 Ａｌ成分の濃度が前記磁気ギャップの近傍側の金属磁性
膜で低く、前記磁気コア近傍側の金属磁性膜で高い少な
くとも２層以上のＦｅ−Ａｌ−Ｔａ−Ｃ系の金属磁性膜
を成膜して金属磁性層を形成し、その後前記一対の磁気
コアとそれらの間に設けられた磁気ギャップ層とをガラ
ス溶着して前記Ｆｅ−Ａｌ−Ｔａ−Ｃ系の金属磁性膜中
に微結晶を析出させることを特徴とする磁気ヘッドの製
造方法。 3. A pair of magnetic cores and a magnetic core provided between them.
The magnetic core layer is glass-welded with
And a metal magnetic layer provided between the
A metal-in-gap type magnetic head manufacturing method.
The concentration of the Al component is such that the metal magnetism near the magnetic gap
Low in the film and high in the metal magnetic film near the magnetic core.
Fe-Al-Ta-C based metal magnetic film having at least two layers
To form a metal magnetic layer, and thereafter,
The core and the magnetic gap layer
In the Fe-Al-Ta-C-based metal magnetic film.
Of magnetic head characterized by depositing microcrystals on the surface
Construction method.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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