JP2879866B2 - 誘電体磁器組成物の製造方法 - Google Patents
誘電体磁器組成物の製造方法Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は損失の小さな低誘電率の
誘電体磁器組成物の製造方法に関するものである。
誘電体磁器組成物の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】損失の小さな低誘電率の誘電体磁器組成
物を誘電体層の材料に用いた磁器コンデンサは、一般
に、高周波回路におけるフィルター等に使用されてい
る。このような低誘電率の誘電体磁器組成物は一般的に
1200〜1300℃という高温で焼結されることが多
いので、これを積層磁器コンデンサの誘電体層の材料と
して使用する場合は、積層磁器コンデンサの内部電極の
材料にPt,Pdあるいはこれらの合金のような高融点
の金属を使う必要があった。
物を誘電体層の材料に用いた磁器コンデンサは、一般
に、高周波回路におけるフィルター等に使用されてい
る。このような低誘電率の誘電体磁器組成物は一般的に
1200〜1300℃という高温で焼結されることが多
いので、これを積層磁器コンデンサの誘電体層の材料と
して使用する場合は、積層磁器コンデンサの内部電極の
材料にPt,Pdあるいはこれらの合金のような高融点
の金属を使う必要があった。
【0003】
【発明が解決しようとする問題点】しかし、Pt,Pd
あるいはこれらの合金は電気伝導度が低く、これを内部
電極の材料として使用した積層磁器コンデンサを高周波
回路におけるフィルターに使用した場合は、損失が大き
くなり、Qが低下してしまうという欠点があった。この
ため、電気伝導度のより高いAg,Cu等の金属を積層
磁器コンデンサの内部電極の材料として使用できるよう
に、1000℃以下、好ましくは900℃以下の温度の
焼成で緻密に焼結させることができ、しかも所望の電気
特性を備えている誘電体磁器組成物を開発する必要があ
った。
あるいはこれらの合金は電気伝導度が低く、これを内部
電極の材料として使用した積層磁器コンデンサを高周波
回路におけるフィルターに使用した場合は、損失が大き
くなり、Qが低下してしまうという欠点があった。この
ため、電気伝導度のより高いAg,Cu等の金属を積層
磁器コンデンサの内部電極の材料として使用できるよう
に、1000℃以下、好ましくは900℃以下の温度の
焼成で緻密に焼結させることができ、しかも所望の電気
特性を備えている誘電体磁器組成物を開発する必要があ
った。
【0004】本発明の目的は、900℃以下の温度の焼
成で緻密に焼結させることができ、しかも所望の電気特
性を備えている低誘電率の誘電体磁器組成物の製造方法
を提供することにある。
成で緻密に焼結させることができ、しかも所望の電気特
性を備えている低誘電率の誘電体磁器組成物の製造方法
を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明に係る誘電体磁器
組成物の製造方法は、焼成して酸化物となるBa,C
a,Sr,Si,Hf,Zr,Al,Ti及びLnの各
原料化合物の中の少なくともBa,Ca,Sr及びSi
の各原料化合物を混合して加熱溶融する工程と、この溶
融したものを急冷してガラス化する工程と、このガラス
化したものを微粉砕する工程と、この微粉砕したものを
含めて全ての原料化合物及びバインダを混合する工程
と、この混合によって得られた混合物を成形する工程
と、この成形したものを900℃以下の温度で焼成する
工程とを備え、前記各原料化合物が、式:a(xBa−
yCa−zSr)O−bSiO2 −c(mHf−nZ
r)O2 −(d/2)Al2 O3 −eTiO2 −
(f/i)Lni Oj(但し、LnはLa,Ce,P
r,Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,E
r,Tm,Yb及びLuから選択された一種または二種
以上の元素、iはLnの原子価数とOの原子価数の最小
公倍数をLnの原子価数で割って得られた数、jはLn
の原子価数とOの原子価数の最小公倍数をOの原子価数
で割って得られた数、 で表わされる組成物を主成分とする焼結体からなるもの
である。
組成物の製造方法は、焼成して酸化物となるBa,C
a,Sr,Si,Hf,Zr,Al,Ti及びLnの各
原料化合物の中の少なくともBa,Ca,Sr及びSi
の各原料化合物を混合して加熱溶融する工程と、この溶
融したものを急冷してガラス化する工程と、このガラス
化したものを微粉砕する工程と、この微粉砕したものを
含めて全ての原料化合物及びバインダを混合する工程
と、この混合によって得られた混合物を成形する工程
と、この成形したものを900℃以下の温度で焼成する
工程とを備え、前記各原料化合物が、式:a(xBa−
yCa−zSr)O−bSiO2 −c(mHf−nZ
r)O2 −(d/2)Al2 O3 −eTiO2 −
(f/i)Lni Oj(但し、LnはLa,Ce,P
r,Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,E
r,Tm,Yb及びLuから選択された一種または二種
以上の元素、iはLnの原子価数とOの原子価数の最小
公倍数をLnの原子価数で割って得られた数、jはLn
の原子価数とOの原子価数の最小公倍数をOの原子価数
で割って得られた数、 で表わされる組成物を主成分とする焼結体からなるもの
である。
【0006】ここで、原料化合物としては、焼成して酸
化物となるBa,Ca,Sr,Si,Hf,Zr,A
l,Ti及びLnの各化合物を使用することができる。
後述する実施例では、原料化合物としてBaCO3 ,
CaCO3 ,SrCO3 ,SiO2 ,HfO2 ,Z
rO2 ,Al2 O3 ,TiO2 ,La2 O3 ,G
d2 O3 及びYb2 O3 を原料化合物として使用し
たが、加熱によって酸化物となるものであればこれら以
外の化合物を使用できることはもちろんである。
化物となるBa,Ca,Sr,Si,Hf,Zr,A
l,Ti及びLnの各化合物を使用することができる。
後述する実施例では、原料化合物としてBaCO3 ,
CaCO3 ,SrCO3 ,SiO2 ,HfO2 ,Z
rO2 ,Al2 O3 ,TiO2 ,La2 O3 ,G
d2 O3 及びYb2 O3 を原料化合物として使用し
たが、加熱によって酸化物となるものであればこれら以
外の化合物を使用できることはもちろんである。
【0007】また、Hf,Zr,Al,Ti及びLnの
各化合物については、他の原料化合物とともにガラス化
して使用してもよいし、あるいはガラス化した他の原料
化合物に後から混合して使用してもよい。いずれの場合
も所望の誘電体磁器組成物を得ることができる。
各化合物については、他の原料化合物とともにガラス化
して使用してもよいし、あるいはガラス化した他の原料
化合物に後から混合して使用してもよい。いずれの場合
も所望の誘電体磁器組成物を得ることができる。
【0008】また、原料化合物について、5モル%≦a
≦60モル%としたのは、aが5モル%未満になった
り、60モル%を越えたりすると、いずれの場合も、9
00℃の温度の焼成で緻密な焼結体が得られなくなるか
らである。また、10モル%≦b≦70モル%としたの
は、bが10モル%未満になると組成物がガラス化せ
ず、bが70モル%を越えると、900℃の焼成で緻密
な焼結体が得られなくなるからである。
≦60モル%としたのは、aが5モル%未満になった
り、60モル%を越えたりすると、いずれの場合も、9
00℃の温度の焼成で緻密な焼結体が得られなくなるか
らである。また、10モル%≦b≦70モル%としたの
は、bが10モル%未満になると組成物がガラス化せ
ず、bが70モル%を越えると、900℃の焼成で緻密
な焼結体が得られなくなるからである。
【0009】また、9.2モル%≦c≦30モル%とし
たのは、cが30モル%を越えると、900℃の焼成で
緻密な焼結体が得られなくなるからである。また、2.
3モル%≦d≦30モル%としたのは、dが30モル%
を越えると、900℃の焼成で緻密な焼結体が得られな
くなるからである。また、4.6モル%≦e≦30モル
%としたのは、eが30モル%を越えると、900℃の
焼成で緻密な焼結体が得られなくなるからである。ま
た、0モル%<f≦20モル%としたのは、fが20モ
ル%を越えると、900℃の焼成で緻密な焼結体が得ら
れなくなるからである。
たのは、cが30モル%を越えると、900℃の焼成で
緻密な焼結体が得られなくなるからである。また、2.
3モル%≦d≦30モル%としたのは、dが30モル%
を越えると、900℃の焼成で緻密な焼結体が得られな
くなるからである。また、4.6モル%≦e≦30モル
%としたのは、eが30モル%を越えると、900℃の
焼成で緻密な焼結体が得られなくなるからである。ま
た、0モル%<f≦20モル%としたのは、fが20モ
ル%を越えると、900℃の焼成で緻密な焼結体が得ら
れなくなるからである。
【0010】
実施例1及び比較例1 まず、表1の試料No.1-1の場合について説明する。Ba
CO3 ,CaCO3 ,SrCO3 ,SiO2 ,Hf
O2 ,ZrO2,Al2 O3 ,TiO2 ,La2
O3 ,Gd2 O3 及びYb2 O3 を、表1の試料N
o.1-1に示すモル比で秤量し、これらを水とともにボー
ルミルに入れ、湿式で十分に攪拌混合して混合物を得
た。ここで、HfO2 とZrO2 の比率はHfO
2 :ZrO2 =5:5とした。
CO3 ,CaCO3 ,SrCO3 ,SiO2 ,Hf
O2 ,ZrO2,Al2 O3 ,TiO2 ,La2
O3 ,Gd2 O3 及びYb2 O3 を、表1の試料N
o.1-1に示すモル比で秤量し、これらを水とともにボー
ルミルに入れ、湿式で十分に攪拌混合して混合物を得
た。ここで、HfO2 とZrO2 の比率はHfO
2 :ZrO2 =5:5とした。
【0011】次に、この混合物を乾燥した後、坩堝に入
れて1700℃に加熱し、溶融した混合物を水中に滴下
して急冷し、ガラスを得た。そして、このガラスを粉砕
して、平均粒径1μm程度の微粉末とし、このガラス粉
末に有機バインダー(PVA)を加えて十分に混合し、
1ton/cm2 の圧力で直径10mm、厚み1mmの円板状の
成形体を作製した。
れて1700℃に加熱し、溶融した混合物を水中に滴下
して急冷し、ガラスを得た。そして、このガラスを粉砕
して、平均粒径1μm程度の微粉末とし、このガラス粉
末に有機バインダー(PVA)を加えて十分に混合し、
1ton/cm2 の圧力で直径10mm、厚み1mmの円板状の
成形体を作製した。
【0012】次に、この成形体を焼成炉に入れ、大気雰
囲気中において400〜600℃で10時間保持して成
形体中の有機バインダーを燃焼除去させ、その後、炉内
温度を900℃まで上昇させ、この温度で2時間保持さ
せて成形体を焼結させた。
囲気中において400〜600℃で10時間保持して成
形体中の有機バインダーを燃焼除去させ、その後、炉内
温度を900℃まで上昇させ、この温度で2時間保持さ
せて成形体を焼結させた。
【0013】次に、この焼結させた成形体の表裏面に銀
ペーストを塗布して焼き付け、直径7mmの銀電極を表裏
面に備えた測定用の試料を得た。そして、この試料の電
気特性(比誘電率εr 及びQ)を、1MHz,1Vr
ms,20℃の条件で測定した。結果は表1の試料No.1
-1の電気特性の欄に示す通りとなった。
ペーストを塗布して焼き付け、直径7mmの銀電極を表裏
面に備えた測定用の試料を得た。そして、この試料の電
気特性(比誘電率εr 及びQ)を、1MHz,1Vr
ms,20℃の条件で測定した。結果は表1の試料No.1
-1の電気特性の欄に示す通りとなった。
【0014】以上、No.1-1の試料の作製方法及びその電
気特性の測定方法について述べたが、試料No.1-2〜1-23
についても、組成を表1に示すように変化させた他は、
No.1-1の試料と全く同一の方法で試料を作製し、全く同
一の方法でその電気特性を測定した。結果は表1の電気
特性の欄に示す通りとなった。
気特性の測定方法について述べたが、試料No.1-2〜1-23
についても、組成を表1に示すように変化させた他は、
No.1-1の試料と全く同一の方法で試料を作製し、全く同
一の方法でその電気特性を測定した。結果は表1の電気
特性の欄に示す通りとなった。
【0015】
【表1】
【0016】次に、表1に示す結果について、各Noの試
料の組成及びその電気特性等を参照しながら説明する。
まず、試料No.1-1〜1-3 に示すように、aが60モル%
で、Baの量が0〜60モル%の範囲(0≦x≦1)に
ある場合は所望の電気特性の組成物が得られる。また、
試料No.1-4〜1-6 に示すように、aが60モル%で、C
aの量が0〜60モル%の範囲(0≦y≦1)にある場
合は所望の電気特性の組成物が得られる。更に、試料N
o.1-7〜1-9 に示すように、aが60モル%で、Srの
量が0〜60モル%の範囲(0≦z≦1)にある場合は
所望の電気特性の組成物が得られる。
料の組成及びその電気特性等を参照しながら説明する。
まず、試料No.1-1〜1-3 に示すように、aが60モル%
で、Baの量が0〜60モル%の範囲(0≦x≦1)に
ある場合は所望の電気特性の組成物が得られる。また、
試料No.1-4〜1-6 に示すように、aが60モル%で、C
aの量が0〜60モル%の範囲(0≦y≦1)にある場
合は所望の電気特性の組成物が得られる。更に、試料N
o.1-7〜1-9 に示すように、aが60モル%で、Srの
量が0〜60モル%の範囲(0≦z≦1)にある場合は
所望の電気特性の組成物が得られる。
【0017】また、試料No.1-1〜1-11に示すように、a
が5〜60モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得
られるが、試料No.1-12 に示すように、aが3モル%に
なるか、試料No.1-13 に示すように、aが65モル%に
なると、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、
aの適正範囲は5〜60モル%である。
が5〜60モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得
られるが、試料No.1-12 に示すように、aが3モル%に
なるか、試料No.1-13 に示すように、aが65モル%に
なると、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、
aの適正範囲は5〜60モル%である。
【0018】次に、試料No.1-15,1-16に示すように、b
が10〜70モル%の場合は所望の電気特性の組成物が
得られるが、試料No.1-14 に示すように、bが5モル%
になると組成物がガラス化せず、また、試料No.1-17 に
示すように、bが75モル%になると、組成物が170
0℃で溶融しなくなる。従って、bの適正範囲は10〜
70モル%である。
が10〜70モル%の場合は所望の電気特性の組成物が
得られるが、試料No.1-14 に示すように、bが5モル%
になると組成物がガラス化せず、また、試料No.1-17 に
示すように、bが75モル%になると、組成物が170
0℃で溶融しなくなる。従って、bの適正範囲は10〜
70モル%である。
【0019】次に、試料No.1-18 に示すように、cが3
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-19 に示すように、cが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、cの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-19 に示すように、cが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、cの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
【0020】次に、試料No.1-20 に示すように、dが3
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-21 に示すように、dが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、dの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-21 に示すように、dが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、dの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
【0021】次に、試料No.1-22 に示すように、eが3
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-23 に示すように、eが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、eの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-23 に示すように、eが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、eの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
【0022】次に、試料No.1-25,1-27,1-29,1-30,1-31,
1-33に示すように、fが20モル%未満の場合は所望の
電気特性の組成物が得られるが、試料No.1-24,1-26,1-2
8,1-32,1-34 に示すように、fが20モル%を越える
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、fの
適正範囲は少なくとも20モル%未満である。
1-33に示すように、fが20モル%未満の場合は所望の
電気特性の組成物が得られるが、試料No.1-24,1-26,1-2
8,1-32,1-34 に示すように、fが20モル%を越える
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、fの
適正範囲は少なくとも20モル%未満である。
【0023】 実施例2及び比較例2 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、TiO
2 を除き、表2に示す割合で秤量して混合し、実施例
1と同様に加熱溶融して急冷し、得られたガラスにTi
O2 を表2に示す割合で加え、これらを湿式で粉砕混
合して混合物を得た。以後は、この混合物を用いて、実
施例1と同様の手順で測定用の試料を作製し、その電気
特性を測定した。結果は表2の電気特性の欄に示す通り
となった。この結果によれば、実施例2及び比較例2の
ようにして製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比
較例1の場合と全く同様の傾向を示した。しかして、実
施例2及び比較例2ではTiO2 を他の原料化合物と
ともにガラス化しなくても実施例1及び比較例1の場合
と同様の結果が得られることがわかる。
2 を除き、表2に示す割合で秤量して混合し、実施例
1と同様に加熱溶融して急冷し、得られたガラスにTi
O2 を表2に示す割合で加え、これらを湿式で粉砕混
合して混合物を得た。以後は、この混合物を用いて、実
施例1と同様の手順で測定用の試料を作製し、その電気
特性を測定した。結果は表2の電気特性の欄に示す通り
となった。この結果によれば、実施例2及び比較例2の
ようにして製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比
較例1の場合と全く同様の傾向を示した。しかして、実
施例2及び比較例2ではTiO2 を他の原料化合物と
ともにガラス化しなくても実施例1及び比較例1の場合
と同様の結果が得られることがわかる。
【0024】
【表2】
【0025】 実施例3及び比較例3 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、Al2
O3 を除き、表3に示す割合で秤量して混合し、実施
例1と同様に加熱溶融して急冷し、得られたガラスにA
l2 O3 を表3に示す割合で加え、湿式で粉砕混合し
て混合物を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例
1と同様の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性
を測定した。結果は表3の電気特性の欄に示す通りとな
った。この結果によれば、実施例3及び比較例3のよう
にして製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例
1の場合と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例
3及び比較例3ではAl2 O3 を他の原料化合物とと
もにガラス化しなくても実施例1及び比較例1の場合と
同様の結果が得られることがわかる。
O3 を除き、表3に示す割合で秤量して混合し、実施
例1と同様に加熱溶融して急冷し、得られたガラスにA
l2 O3 を表3に示す割合で加え、湿式で粉砕混合し
て混合物を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例
1と同様の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性
を測定した。結果は表3の電気特性の欄に示す通りとな
った。この結果によれば、実施例3及び比較例3のよう
にして製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例
1の場合と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例
3及び比較例3ではAl2 O3 を他の原料化合物とと
もにガラス化しなくても実施例1及び比較例1の場合と
同様の結果が得られることがわかる。
【0026】
【表3】
【0027】 実施例4及び比較例4 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、HfO
2 及びZrO2 を除き、表4に示す割合で秤量して混
合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷し、得られた
ガラスにHfO2 及びZrO2 を表4に示す割合で加
え、湿式で粉砕混合して混合物を得た。以後は、この混
合物を用いて、実施例1と同様の手順で測定用の試料を
作製し、その電気特性を測定した。結果は表4の電気特
性の欄に示す通りとなった。この結果によれば、実施例
4及び比較例4のようにして製造した誘電体磁器組成物
も実施例1及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示し
た。しかして、実施例4及び比較例4ではHfO2 及
びZrO2 を他の原料化合物とともにガラス化しなく
ても実施例1及び比較例1の場合と同様の結果が得られ
ることがわかる。
2 及びZrO2 を除き、表4に示す割合で秤量して混
合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷し、得られた
ガラスにHfO2 及びZrO2 を表4に示す割合で加
え、湿式で粉砕混合して混合物を得た。以後は、この混
合物を用いて、実施例1と同様の手順で測定用の試料を
作製し、その電気特性を測定した。結果は表4の電気特
性の欄に示す通りとなった。この結果によれば、実施例
4及び比較例4のようにして製造した誘電体磁器組成物
も実施例1及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示し
た。しかして、実施例4及び比較例4ではHfO2 及
びZrO2 を他の原料化合物とともにガラス化しなく
ても実施例1及び比較例1の場合と同様の結果が得られ
ることがわかる。
【0028】
【表4】
【0029】 実施例5及び比較例5 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、Al2
O3 及びTiO2を除き、表5に示す割合で秤量して
混合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷し、得られ
たガラスにAl2 O3 及びTiO2 を表5に示す割
合で加え、湿式で粉砕混合して混合物を得た。以後は、
この混合物を用いて、実施例1と同様の手順で測定用の
試料を作製し、その電気特性を測定した。結果は表5の
電気特性の欄に示す通りとなった。この結果によれば、
実施例5及び比較例5のようにして製造した誘電体磁器
組成物も実施例1及び比較例1の場合と全く同様の傾向
を示した。しかして、実施例5及び比較例5ではAl2
O3 及びTiO2 を他の原料化合物とともにガラス
化しなくても実施例1及び比較例1の場合と同様の結果
が得られることがわかる。
O3 及びTiO2を除き、表5に示す割合で秤量して
混合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷し、得られ
たガラスにAl2 O3 及びTiO2 を表5に示す割
合で加え、湿式で粉砕混合して混合物を得た。以後は、
この混合物を用いて、実施例1と同様の手順で測定用の
試料を作製し、その電気特性を測定した。結果は表5の
電気特性の欄に示す通りとなった。この結果によれば、
実施例5及び比較例5のようにして製造した誘電体磁器
組成物も実施例1及び比較例1の場合と全く同様の傾向
を示した。しかして、実施例5及び比較例5ではAl2
O3 及びTiO2 を他の原料化合物とともにガラス
化しなくても実施例1及び比較例1の場合と同様の結果
が得られることがわかる。
【0030】
【表5】
【0031】 実施例6及び比較例6 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、HfO
2 ,ZrO2 及びTiO2 を除き、表6に示す割合
で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷
し、得られたガラスにHfO2 ,ZrO2 及びTiO
2 を表6に示す割合で加え、湿式で粉砕混合して混合
物を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例1と同
様の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性を測定
した。結果は表6の電気特性の欄に示す通りとなった。
この結果によれば、実施例6及び比較例6のようにして
製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1の場
合と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例6及び
比較例6ではHfO2 ,ZrO2 及びTiO2 を他
の原料化合物とともにガラス化しなくても実施例1及び
比較例1の場合と同様の結果が得られることがわかる。
2 ,ZrO2 及びTiO2 を除き、表6に示す割合
で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷
し、得られたガラスにHfO2 ,ZrO2 及びTiO
2 を表6に示す割合で加え、湿式で粉砕混合して混合
物を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例1と同
様の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性を測定
した。結果は表6の電気特性の欄に示す通りとなった。
この結果によれば、実施例6及び比較例6のようにして
製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1の場
合と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例6及び
比較例6ではHfO2 ,ZrO2 及びTiO2 を他
の原料化合物とともにガラス化しなくても実施例1及び
比較例1の場合と同様の結果が得られることがわかる。
【0032】
【表6】
【0033】 実施例7及び比較例7 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、HfO
2 ,ZrO2 及びAl2 O3 を除き、表7に示す割
合で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融して急
冷し、得られたガラスにHfO2 ,ZrO2 及びAl
2 O3 を表7に示す割合で加え、湿式で粉砕混合して
混合物を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例1
と同様の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性を
測定した。結果は表7の電気特性の欄に示す通りとなっ
た。この結果によれば、実施例7及び比較例7のように
して製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1
の場合と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例7
及び比較例7ではHfO2,ZrO2 及びAl2 O3
を他の原料化合物とともにガラス化しなくても実施例
1及び比較例1の場合と同様の結果が得られることがわ
かる。
2 ,ZrO2 及びAl2 O3 を除き、表7に示す割
合で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融して急
冷し、得られたガラスにHfO2 ,ZrO2 及びAl
2 O3 を表7に示す割合で加え、湿式で粉砕混合して
混合物を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例1
と同様の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性を
測定した。結果は表7の電気特性の欄に示す通りとなっ
た。この結果によれば、実施例7及び比較例7のように
して製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1
の場合と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例7
及び比較例7ではHfO2,ZrO2 及びAl2 O3
を他の原料化合物とともにガラス化しなくても実施例
1及び比較例1の場合と同様の結果が得られることがわ
かる。
【0034】
【表7】
【0035】 実施例8及び比較例8 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、HfO
2 ,ZrO2 ,Al2 O3 及びTiO2 を除き、
表8に示す割合で秤量して混合し、実施例1と同様に加
熱溶融して急冷し、得られたガラスにHfO2 ,Zr
O2 ,Al2O3 及びTiO2 を表8に示す割合で
加え、湿式で粉砕混合して混合物を得た。以後は、この
混合物を用いて、実施例1と同様の手順で測定用の試料
を作製し、その電気特性を測定した。結果は表8の電気
特性の欄に示す通りとなった。この結果によれば、実施
例8及び比較例8のようにして製造した誘電体磁器組成
物も実施例1及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示
した。しかして、実施例8及び比較例8ではHfO
2 ,ZrO2 ,Al2 O3 及びTiO2 を他の原
料化合物とともにガラス化しなくても実施例1及び比較
例1の場合と同様の結果が得られることがわかる。
2 ,ZrO2 ,Al2 O3 及びTiO2 を除き、
表8に示す割合で秤量して混合し、実施例1と同様に加
熱溶融して急冷し、得られたガラスにHfO2 ,Zr
O2 ,Al2O3 及びTiO2 を表8に示す割合で
加え、湿式で粉砕混合して混合物を得た。以後は、この
混合物を用いて、実施例1と同様の手順で測定用の試料
を作製し、その電気特性を測定した。結果は表8の電気
特性の欄に示す通りとなった。この結果によれば、実施
例8及び比較例8のようにして製造した誘電体磁器組成
物も実施例1及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示
した。しかして、実施例8及び比較例8ではHfO
2 ,ZrO2 ,Al2 O3 及びTiO2 を他の原
料化合物とともにガラス化しなくても実施例1及び比較
例1の場合と同様の結果が得られることがわかる。
【0036】
【表8】
【0037】 実施例9及び比較例9 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、La2
O3 ,Gd2 O3及びYb2 O3 を除き、表9に
示す割合で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融
して急冷し、得られたガラスにLa2 O3 ,Gd2
O3 及びYb2O3 を表9に示す割合で加え、湿式で
粉砕混合して混合物を得た。以後は、この混合物を用い
て、実施例1と同様の手順で測定用の試料を作製し、そ
の電気特性を測定した。結果は表9の電気特性の欄に示
す通りとなった。この結果によれば、実施例9及び比較
例9のようにして製造した誘電体磁器組成物も実施例1
及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示した。しかし
て、実施例9及び比較例9ではLa2 O3 ,Gd2
O3 及びYb2 O3 を他の原料化合物とともにガラ
ス化しなくても実施例1及び比較例1の場合と同様の結
果が得られることがわかる。
O3 ,Gd2 O3及びYb2 O3 を除き、表9に
示す割合で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融
して急冷し、得られたガラスにLa2 O3 ,Gd2
O3 及びYb2O3 を表9に示す割合で加え、湿式で
粉砕混合して混合物を得た。以後は、この混合物を用い
て、実施例1と同様の手順で測定用の試料を作製し、そ
の電気特性を測定した。結果は表9の電気特性の欄に示
す通りとなった。この結果によれば、実施例9及び比較
例9のようにして製造した誘電体磁器組成物も実施例1
及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示した。しかし
て、実施例9及び比較例9ではLa2 O3 ,Gd2
O3 及びYb2 O3 を他の原料化合物とともにガラ
ス化しなくても実施例1及び比較例1の場合と同様の結
果が得られることがわかる。
【0038】
【表9】
【0039】
【発明の効果】本発明によれば、従来よりも低い温度の
焼成で所望の電気的特性を有する低誘電率の誘電体磁器
組成物を得ることができるので、高周波用磁器コンデン
サの内部電極としてAgやCuのような電気伝導度の良
い、安価な材料を使用することができ、従って、従来よ
りも更にQの大きな電気的特性の優れた磁器コンデンサ
を安価に提供することができるという効果がある。
焼成で所望の電気的特性を有する低誘電率の誘電体磁器
組成物を得ることができるので、高周波用磁器コンデン
サの内部電極としてAgやCuのような電気伝導度の良
い、安価な材料を使用することができ、従って、従来よ
りも更にQの大きな電気的特性の優れた磁器コンデンサ
を安価に提供することができるという効果がある。
【0040】また、本発明によれば、従来よりも低い温
度の焼成で所望の電気的特性を有する誘電体磁器組成物
を得ることができるので、誘電体磁器組成物を焼結させ
るためのエネルギーコストを低下させることができ、従
って、従来よりも安価な磁器コンデンサを提供すること
ができるという効果がある。
度の焼成で所望の電気的特性を有する誘電体磁器組成物
を得ることができるので、誘電体磁器組成物を焼結させ
るためのエネルギーコストを低下させることができ、従
って、従来よりも安価な磁器コンデンサを提供すること
ができるという効果がある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01G 4/12 358 C04B 35/46 C (72)発明者 成田 直人 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽 誘電株式会社内 (72)発明者 水野 洋一 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽 誘電株式会社内 (72)発明者 増田 淳 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽 誘電株式会社内 (56)参考文献 特開 平1−102808(JP,A) 特開 平2−123614(JP,A) 特開 昭63−225407(JP,A) 特開 昭49−59298(JP,A) 特開 昭55−52211(JP,A) 特公 昭43−2441(JP,B1) 特公 昭43−12902(JP,B1) 「化学大辞典」 P.1795
Claims (1)
- 【請求項1】 焼成して酸化物となるBa,Ca,S
r,Si,Hf,Zr,Al,Ti及びLnの各原料化
合物の中の少なくともBa,Ca,Sr及びSiの各原
料化合物を混合して加熱溶融する工程と、この溶融した
ものを急冷してガラス化する工程と、このガラス化した
ものを微粉砕する工程と、この微粉砕したものを含めて
全ての原料化合物及びバインダを混合する工程と、この
混合によって得られた混合物を成形する工程と、この成
形したものを900℃以下の温度で焼成する工程とを備
え、 前記各原料化合物が、式:a(xBa−yCa−zS
r)O−bSiO2 −c(mHf−nZr)O2 −
(d/2)Al2 O3 −eTiO2 −(f/i)L
ni Oj (但し、LnはLa,Ce,Pr,Nd,Sm,Eu,
Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb及びLuか
ら選択された一種または二種以上の元素、iはLnの原
子価数とOの原子価数の最小公倍数をLnの原子価数で
割って得られた数、jはLnの原子価数とOの原子価数
の最小公倍数をOの原子価数で割って得られた数、 で表わされる割合になっていることを特徴とする誘電体
磁器組成物の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4025666A JP2879866B2 (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4025666A JP2879866B2 (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05190019A JPH05190019A (ja) | 1993-07-30 |
JP2879866B2 true JP2879866B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=12172116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4025666A Expired - Fee Related JP2879866B2 (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2879866B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4959298A (ja) * | 1972-10-12 | 1974-06-08 | ||
JPS63225407A (ja) * | 1987-03-13 | 1988-09-20 | 株式会社村田製作所 | 粒界絶縁形半導体磁器組成物 |
JPH01102808A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-04-20 | Murata Mfg Co Ltd | 温度補償用誘電体磁器組成物 |
JPH02123614A (ja) * | 1988-11-02 | 1990-05-11 | Tdk Corp | 高誘電率系磁器組成物 |
-
1992
- 1992-01-16 JP JP4025666A patent/JP2879866B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
「化学大辞典」 P.1795 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05190019A (ja) | 1993-07-30 |
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