JP2878462B2 - 有機金属化合物気化供給装置用のシリンダ容器 - Google Patents
有機金属化合物気化供給装置用のシリンダ容器Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、有機金属気相成長法
（MOCVD 法）により化合物半導体のエピタキシャル薄膜
を製造するための有機金属化合物の気化供給装置に用い
るシリンダ容器に関するものである。
（MOCVD 法）により化合物半導体のエピタキシャル薄膜
を製造するための有機金属化合物の気化供給装置に用い
るシリンダ容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、化合物半導体の結晶成長法として
有機金属化合物を用いた MOCVD法が注目を集めている。
MOCVD法は、化合物あるいは混晶半導体のエピタキシャ
ル薄膜を作成するうえで良く用いられる結晶成長手段の
一つで、例えばトリメチルガリウム、トリメチルアルミ
ニウムのような有機金属化合物を原料とし、その熱分解
反応を利用して薄膜の結晶成長を行なう方法である。
有機金属化合物を用いた MOCVD法が注目を集めている。
MOCVD法は、化合物あるいは混晶半導体のエピタキシャ
ル薄膜を作成するうえで良く用いられる結晶成長手段の
一つで、例えばトリメチルガリウム、トリメチルアルミ
ニウムのような有機金属化合物を原料とし、その熱分解
反応を利用して薄膜の結晶成長を行なう方法である。
【０００３】有機金属化合物を結晶成長炉内へ供給する
には、有機金属化合物を収納したシリンダ容器にキャリ
アガスを送り込み、有機金属化合物を気化するとともに
結晶成長炉内へ輸送する方法がある。有機金属化合物が
液体の場合、化合物中にＨ2等のキャリアガスを導入し
て発泡（バブリング）させ、所定の温度における有機金
属化合物の飽和蒸気を結晶成長炉内に導入している。
には、有機金属化合物を収納したシリンダ容器にキャリ
アガスを送り込み、有機金属化合物を気化するとともに
結晶成長炉内へ輸送する方法がある。有機金属化合物が
液体の場合、化合物中にＨ2等のキャリアガスを導入し
て発泡（バブリング）させ、所定の温度における有機金
属化合物の飽和蒸気を結晶成長炉内に導入している。
【０００４】図５に従来のシリンダ容器の一例を示す。
同図にはシリンダ容器を気化供給装置に組み込んだ状態
を示してある。
同図にはシリンダ容器を気化供給装置に組み込んだ状態
を示してある。
【０００５】図５において、４２は減圧弁、４３はキャ
リアガスの質量流量を制御するマスフローコントロー
ラ、４５はシリンダ容器である。シリンダ容器４５には
液状の有機金属化合物４４が充填されている。４６は恒
温槽で、シリンダ容器４５を一定温度に保つ。４７は入
口用バルブ、４８はディップチューブでありキャリアガ
スをシリンダ容器４５の下方へ導入する。４９は出口用
バルブ、５１はパージ用バルブである。５２はニードル
バルブで、結晶成長を減圧下で行なう場合にシリンダ容
器４５の入口および出口付近における気体の圧力を１気
圧程度に保つ。５３・５４は接続金具である。１１は結
晶成長を行なう結晶成長炉で、１２はヒータ、１３は基
板、１４は真空ポンプ、１５は減圧度調整用バルブであ
る。
リアガスの質量流量を制御するマスフローコントロー
ラ、４５はシリンダ容器である。シリンダ容器４５には
液状の有機金属化合物４４が充填されている。４６は恒
温槽で、シリンダ容器４５を一定温度に保つ。４７は入
口用バルブ、４８はディップチューブでありキャリアガ
スをシリンダ容器４５の下方へ導入する。４９は出口用
バルブ、５１はパージ用バルブである。５２はニードル
バルブで、結晶成長を減圧下で行なう場合にシリンダ容
器４５の入口および出口付近における気体の圧力を１気
圧程度に保つ。５３・５４は接続金具である。１１は結
晶成長を行なう結晶成長炉で、１２はヒータ、１３は基
板、１４は真空ポンプ、１５は減圧度調整用バルブであ
る。
【０００６】この装置は以下のように使用する。シリン
ダ容器４５を配管ラインに接続する。減圧弁４２から結
晶成長炉１１に至る配管ラインには空気等が混入してい
るため、パージ用バルブ５１を開いてキャリアガスで系
内を置換する。置換が終了したらパージ用バルブ５１を
閉じておく。恒温槽４６の温度を正確に設定して有機金
属化合物４４の蒸気圧を決める。マスフローコントロー
ラ４３で正確に制御したキャリアガスをバルブ４７を開
いてシリンダ容器４５内に導入してバブリングし、バル
ブ４９を開いて所望濃度の有機金属化合物４４を含むキ
ャリアガスを結晶成長炉１１に導入する。結晶成長炉１
１内は真空ポンプ１４で減圧され、導入管１６よりＶ族
の水素化物が予め導入されているため、基板１３に化合
物半導体のエピタキシャル薄膜が形成されてゆく。
ダ容器４５を配管ラインに接続する。減圧弁４２から結
晶成長炉１１に至る配管ラインには空気等が混入してい
るため、パージ用バルブ５１を開いてキャリアガスで系
内を置換する。置換が終了したらパージ用バルブ５１を
閉じておく。恒温槽４６の温度を正確に設定して有機金
属化合物４４の蒸気圧を決める。マスフローコントロー
ラ４３で正確に制御したキャリアガスをバルブ４７を開
いてシリンダ容器４５内に導入してバブリングし、バル
ブ４９を開いて所望濃度の有機金属化合物４４を含むキ
ャリアガスを結晶成長炉１１に導入する。結晶成長炉１
１内は真空ポンプ１４で減圧され、導入管１６よりＶ族
の水素化物が予め導入されているため、基板１３に化合
物半導体のエピタキシャル薄膜が形成されてゆく。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このシリンダ
容器４５には構造や作用に関する以下のような問題があ
る。
容器４５には構造や作用に関する以下のような問題があ
る。
【０００８】シリンダ容器４５は恒温槽４６に入れて一
定温度に保つ必要があるためにバルブ４７・４９は恒温
槽４６の外部に配置され、バルブ４７・４９とシリンダ
容器４５との間隔が長くなる。例えば図５のシリンダ容
器４５では、バルブ４７・４９は恒温層４６の水面のす
ぐ上に位置し、操作性が良くない。このようなバブリン
グによって有機金属化合物４４を導入するシリンダ４５
の場合、有機金属化合物の飽和ガスを得るためには底部
の幅寸法よりも高さ寸法を長く設定する必要がある。例
えば 200mlの標準的なシリンダでは、高さ寸法が 250〜
300mm の縦長形状になる。また、生産ラインでは生産性
や膜厚制御のために原料一種に対して複数の供給系を設
けているため、例えば４元系の薄膜を得るには原料の供
給系だけでも６〜１０系列の供給系が必要であり、気化
供給装置のうちシリンダ容器が占める容積が大きくなっ
てしまう。シリンダ容器４５の大容量化を図るにはさら
に高さを伸長しなければならず、気化供給装置を小型化
する際の障害になっている。
定温度に保つ必要があるためにバルブ４７・４９は恒温
槽４６の外部に配置され、バルブ４７・４９とシリンダ
容器４５との間隔が長くなる。例えば図５のシリンダ容
器４５では、バルブ４７・４９は恒温層４６の水面のす
ぐ上に位置し、操作性が良くない。このようなバブリン
グによって有機金属化合物４４を導入するシリンダ４５
の場合、有機金属化合物の飽和ガスを得るためには底部
の幅寸法よりも高さ寸法を長く設定する必要がある。例
えば 200mlの標準的なシリンダでは、高さ寸法が 250〜
300mm の縦長形状になる。また、生産ラインでは生産性
や膜厚制御のために原料一種に対して複数の供給系を設
けているため、例えば４元系の薄膜を得るには原料の供
給系だけでも６〜１０系列の供給系が必要であり、気化
供給装置のうちシリンダ容器が占める容積が大きくなっ
てしまう。シリンダ容器４５の大容量化を図るにはさら
に高さを伸長しなければならず、気化供給装置を小型化
する際の障害になっている。
【０００９】シリンダ容器４５を配管ラインに取付けた
際や、原料供給の開始時や停止時には、キャリアガスを
送気して配管系内をパージすることが必要であるが、従
来のシリンダ容器４５の場合、バルブ４７・４９の構造
が複雑で内部にデッドスペースがあるため、パージやガ
ス置換を完全に行なうことが難しい。配管内部が酸化さ
れた有機金属化合物で汚染されたり、その結果、結晶成
長したデバイスの品質が著しく悪化することがある。
際や、原料供給の開始時や停止時には、キャリアガスを
送気して配管系内をパージすることが必要であるが、従
来のシリンダ容器４５の場合、バルブ４７・４９の構造
が複雑で内部にデッドスペースがあるため、パージやガ
ス置換を完全に行なうことが難しい。配管内部が酸化さ
れた有機金属化合物で汚染されたり、その結果、結晶成
長したデバイスの品質が著しく悪化することがある。
【００１０】シリンダ容器４５を気化供給装置に取付け
る際に、キャリアガスの入口と出口とを誤って逆に取付
けると、有機金属化合物４４がシリンダ容器４５の外部
に放出される可能性がある。正常に取付けられた場合で
も、ガス導入やバルブの操作ミスによってガス入口側の
気体圧力がガス出口側の圧力よりも低下すると、有機金
属化合物４４が逆流してバルブ４７やマスフローコント
ローラ４３を著しく汚染することがある。このような操
作ミスがシリンダ容器４５の着脱の際に発生すると非常
に危険である。
る際に、キャリアガスの入口と出口とを誤って逆に取付
けると、有機金属化合物４４がシリンダ容器４５の外部
に放出される可能性がある。正常に取付けられた場合で
も、ガス導入やバルブの操作ミスによってガス入口側の
気体圧力がガス出口側の圧力よりも低下すると、有機金
属化合物４４が逆流してバルブ４７やマスフローコント
ローラ４３を著しく汚染することがある。このような操
作ミスがシリンダ容器４５の着脱の際に発生すると非常
に危険である。
【００１１】シリンダ容器４５内に有機金属化合物４４
が十分満たされている場合、容器上部の空間４５ａが狭
いため、ディップチューブ４８から導入されたキャリア
ガスの気泡がはじける際に、有機金属化合物４４の飛沫
がシリンダ容器４５の出口に付着したり、液面が激しく
揺れて有機金属化合物４４が出口に飛び出すことが頻繁
にある。シリンダ容器４５から結晶成長炉１１へ至る配
管等に有機金属化合物４４が付着すると、目的とする供
給量以上の原料が結晶成長炉１１へ導入されるため、結
晶成長の組成を化学量論的に制御することは全く不可能
になる。
が十分満たされている場合、容器上部の空間４５ａが狭
いため、ディップチューブ４８から導入されたキャリア
ガスの気泡がはじける際に、有機金属化合物４４の飛沫
がシリンダ容器４５の出口に付着したり、液面が激しく
揺れて有機金属化合物４４が出口に飛び出すことが頻繁
にある。シリンダ容器４５から結晶成長炉１１へ至る配
管等に有機金属化合物４４が付着すると、目的とする供
給量以上の原料が結晶成長炉１１へ導入されるため、結
晶成長の組成を化学量論的に制御することは全く不可能
になる。
【００１２】本発明は前記の課題を解決するためなされ
たもので、小型で、安全性が高く、高品質な結晶薄膜が
得られる有機金属化合物気化供給装置用のシリンダ容器
を提供することを目的とする。
たもので、小型で、安全性が高く、高品質な結晶薄膜が
得られる有機金属化合物気化供給装置用のシリンダ容器
を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めになされた本発明の有機金属化合物気化供給装置用の
シリンダ容器を実施例に対応する図面を用いて説明す
る。
めになされた本発明の有機金属化合物気化供給装置用の
シリンダ容器を実施例に対応する図面を用いて説明す
る。
【００１４】本発明の第１発明である有機金属化合物気
化供給装置用のシリンダ容器は、図１に示すように、底
部の最大幅寸法よりも高さ寸法が短い扁平形状容器２０
の上面に、バルブ２２を介して加熱減圧下の結晶成長炉
１１に接続する一本の流路２１が設けられ、流路２１の
容器２０側は容器との接続部近傍にて屈曲してから、流
路２１がバルブ２２に接続し水平方向に延びていること
を特徴としている。
化供給装置用のシリンダ容器は、図１に示すように、底
部の最大幅寸法よりも高さ寸法が短い扁平形状容器２０
の上面に、バルブ２２を介して加熱減圧下の結晶成長炉
１１に接続する一本の流路２１が設けられ、流路２１の
容器２０側は容器との接続部近傍にて屈曲してから、流
路２１がバルブ２２に接続し水平方向に延びていること
を特徴としている。
【００１５】本発明の第２発明である有機金属化合物気
化供給装置用のシリンダ容器は、図２に示すように、底
部の最大幅寸法よりも高さ寸法が短い扁平形状容器２０
の側面に、バルブ２２を介して加熱減圧下の結晶成長炉
に接続する一本の流路２１が設けられ、流路２１の容器
２０側は容器との接続部近傍にて屈曲してから、流路２
１がバルブ２２に接続していることを特徴としている。
化供給装置用のシリンダ容器は、図２に示すように、底
部の最大幅寸法よりも高さ寸法が短い扁平形状容器２０
の側面に、バルブ２２を介して加熱減圧下の結晶成長炉
に接続する一本の流路２１が設けられ、流路２１の容器
２０側は容器との接続部近傍にて屈曲してから、流路２
１がバルブ２２に接続していることを特徴としている。
【００１６】本発明の第３発明である有機金属化合物気
化供給装置用のシリンダ容器は、図４に示すように、底
部の最大幅寸法よりも高さ寸法が短い扁平形状容器２０
に、原料ガスバルブ２５を介して加熱減圧下の結晶成長
炉１１に接続する一本の原料ガス流路２１が設けられ、
原料ガス流路２１の容器２０側は容器との接続部近傍に
て屈曲してから、原料ガス流路２１が原料ガスバルブ２
５に接続し、原料ガスバルブ２５の排出側にキャリアガ
スバルブ３５を介してキャリアガス源に接続するキャリ
アガス流路３１が接続され、原料ガスバルブ２５とキャ
リアガスバルブ３５とが一体化されたブロックバルブ３
２であることを特徴としている。
化供給装置用のシリンダ容器は、図４に示すように、底
部の最大幅寸法よりも高さ寸法が短い扁平形状容器２０
に、原料ガスバルブ２５を介して加熱減圧下の結晶成長
炉１１に接続する一本の原料ガス流路２１が設けられ、
原料ガス流路２１の容器２０側は容器との接続部近傍に
て屈曲してから、原料ガス流路２１が原料ガスバルブ２
５に接続し、原料ガスバルブ２５の排出側にキャリアガ
スバルブ３５を介してキャリアガス源に接続するキャリ
アガス流路３１が接続され、原料ガスバルブ２５とキャ
リアガスバルブ３５とが一体化されたブロックバルブ３
２であることを特徴としている。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。図
１は本発明の第１発明を適用するシリンダ容器の一実施
例である。同図にはシリンダ容器を有機金属化合物の気
化供給装置に取付けた状態の概略図が示してある。
１は本発明の第１発明を適用するシリンダ容器の一実施
例である。同図にはシリンダ容器を有機金属化合物の気
化供給装置に取付けた状態の概略図が示してある。
【００１８】シリンダ容器２０は、底部の最大幅寸法よ
りも高さ寸法が短い扁平形状容器であり、内部には有機
金属化合物２６が充填されている。容器２０の上面には
一本の導管２１が設けられ、その容器２０側は、容器２
０との接続部近傍にて屈曲して水平方向に延び、バルブ
２２およびマスフローコントローラ２３を介して結晶成
長炉１１に接続されている。結晶成長炉１１には減圧度
調整用バルブ１５を介して真空ポンプ１４が接続されて
いる。結晶成長炉１１はヒータ１２で加熱される構造で
あるとともに、Ｖ族ガスなどを導入する導入管１６が設
けてある。シリンダ容器２０およびバルブ２２は恒温槽
２４に収容されている。
りも高さ寸法が短い扁平形状容器であり、内部には有機
金属化合物２６が充填されている。容器２０の上面には
一本の導管２１が設けられ、その容器２０側は、容器２
０との接続部近傍にて屈曲して水平方向に延び、バルブ
２２およびマスフローコントローラ２３を介して結晶成
長炉１１に接続されている。結晶成長炉１１には減圧度
調整用バルブ１５を介して真空ポンプ１４が接続されて
いる。結晶成長炉１１はヒータ１２で加熱される構造で
あるとともに、Ｖ族ガスなどを導入する導入管１６が設
けてある。シリンダ容器２０およびバルブ２２は恒温槽
２４に収容されている。
【００１９】この装置は以下のように動作させる。先
ず、結晶成長炉１１に基板１３を装着し、ヒータ１２に
より所定の温度に加熱するとともに真空ポンプ１４で系
内を減圧する。恒温槽２４内を一定温度に昇温すると、
シリンダ容器２０内の有機金属化合物２６の蒸気圧が上
昇して気化をはじめる。この状態でバルブ２２を開弁す
ると、気体化した有機金属化合物は、導管２１のバルブ
２２を経てマスフローコントローラ２３に導入される。
有機金属化合物ガスは、マスフローコントローラ２３に
て質量流量が計量されて一定値に調整された後、結晶成
長炉１１に供給され、基板１３に化合物半導体のエピタ
キシャル薄膜が形成されてゆく。所定の膜厚が得られた
ら、バルブ２２を閉弁し、有機金属化合物ガスの供給を
停止する。
ず、結晶成長炉１１に基板１３を装着し、ヒータ１２に
より所定の温度に加熱するとともに真空ポンプ１４で系
内を減圧する。恒温槽２４内を一定温度に昇温すると、
シリンダ容器２０内の有機金属化合物２６の蒸気圧が上
昇して気化をはじめる。この状態でバルブ２２を開弁す
ると、気体化した有機金属化合物は、導管２１のバルブ
２２を経てマスフローコントローラ２３に導入される。
有機金属化合物ガスは、マスフローコントローラ２３に
て質量流量が計量されて一定値に調整された後、結晶成
長炉１１に供給され、基板１３に化合物半導体のエピタ
キシャル薄膜が形成されてゆく。所定の膜厚が得られた
ら、バルブ２２を閉弁し、有機金属化合物ガスの供給を
停止する。
【００２０】このシリンダ容器２０は扁平形状をしてお
り、その上面から水平方向に延びた一本の導管２１によ
って結晶成長炉１１へ接続しているため、極めて小型で
ある。例えば容量が200ml の場合、その高さ寸法は50mm
程度で、従来(250〜300mm)の1/5 〜1/6 であるため、気
化供給装置全体を小型化することが出来る。気化供給装
置の各構成部品の隙間を利用してバルブ２２を設置で
き、バルブ２２の操作性が良い。また、有機金属化合物
２６が液体の場合でもバブリングを行なわないために有
機金属化合物４４の飛沫がシリンダ容器４５の出口に付
着したり、有機金属化合物４４が出口に飛び出すことは
ない。
り、その上面から水平方向に延びた一本の導管２１によ
って結晶成長炉１１へ接続しているため、極めて小型で
ある。例えば容量が200ml の場合、その高さ寸法は50mm
程度で、従来(250〜300mm)の1/5 〜1/6 であるため、気
化供給装置全体を小型化することが出来る。気化供給装
置の各構成部品の隙間を利用してバルブ２２を設置で
き、バルブ２２の操作性が良い。また、有機金属化合物
２６が液体の場合でもバブリングを行なわないために有
機金属化合物４４の飛沫がシリンダ容器４５の出口に付
着したり、有機金属化合物４４が出口に飛び出すことは
ない。
【００２１】図２は本発明の第２発明を適用するシリン
ダ容器の実施例である。このシリンダ容器２０は、図１
に示したシリンダ容器２０の導管２１の取付け位置をシ
リンダ容器２０の側面に変更したものである。このよう
に導管２１をシリンダ容器２０の側面へ取付けると、気
化供給装置全体をさらに小型化することが可能である。
また、バルブ２２を操作し易い位置に設置できるため、
作業性が向上する。図３に示すように、導管２１の先端
がシリンダ容器２０の深部まで達していても良い。図２
および図３に示したシリンダ容器２０は、有機金属化合
物２６が固体の場合に有効である。
ダ容器の実施例である。このシリンダ容器２０は、図１
に示したシリンダ容器２０の導管２１の取付け位置をシ
リンダ容器２０の側面に変更したものである。このよう
に導管２１をシリンダ容器２０の側面へ取付けると、気
化供給装置全体をさらに小型化することが可能である。
また、バルブ２２を操作し易い位置に設置できるため、
作業性が向上する。図３に示すように、導管２１の先端
がシリンダ容器２０の深部まで達していても良い。図２
および図３に示したシリンダ容器２０は、有機金属化合
物２６が固体の場合に有効である。
【００２２】図４に本発明の第３発明を適用するシリン
ダ容器の実施例を示す。これは、図１に示したシリンダ
容器のマスフローコントローラ２３と結晶成長炉１１間
に、有機金属化合物ガスを結晶成長炉１１に搬送するた
めのキャリアガス源を接続したものである。マスフロー
コントローラ２３と結晶成長炉１１間には原料ガスバル
ブ２５が設けられる。原料ガスバルブ２５の排出側には
キャリアガスバルブ３５、熱交換器２９、マスフローコ
ントローラ２８およびバルブ３０を介してキャリアガス
源に接続するキャリアガス流路３１が接続されている。
原料ガスバルブ２５とキャリアガスバルブ３５とは一体
化されたブロックバルブ３２になっている。シリンダ容
器２０をはじめ、バルブ２２・３０、マスフローコント
ローラ２３・２８、熱交換器２９およびブロックバルブ
３２は恒温槽２４に収容されている。
ダ容器の実施例を示す。これは、図１に示したシリンダ
容器のマスフローコントローラ２３と結晶成長炉１１間
に、有機金属化合物ガスを結晶成長炉１１に搬送するた
めのキャリアガス源を接続したものである。マスフロー
コントローラ２３と結晶成長炉１１間には原料ガスバル
ブ２５が設けられる。原料ガスバルブ２５の排出側には
キャリアガスバルブ３５、熱交換器２９、マスフローコ
ントローラ２８およびバルブ３０を介してキャリアガス
源に接続するキャリアガス流路３１が接続されている。
原料ガスバルブ２５とキャリアガスバルブ３５とは一体
化されたブロックバルブ３２になっている。シリンダ容
器２０をはじめ、バルブ２２・３０、マスフローコント
ローラ２３・２８、熱交換器２９およびブロックバルブ
３２は恒温槽２４に収容されている。
【００２３】この装置は以下のように動作させる。結晶
成長炉１１に基板１３を装着し、ヒータ１２により所定
の温度に加熱するとともに真空ポンプ１４で系内を減圧
する。バルブ３０およびキャリアガス３５を開弁して所
定量のキャリアガスを流し、減圧度調整用バルブ１５を
調整して結晶成長炉１１内の減圧度を一定にするととも
に、キャリアガス源から結晶成長炉１１に至る流路をパ
ージしておく。原料ガスバルブ２５およびキャリアガス
３５はブロック化されているため、パージが素早く確実
に行なわれる。空気恒温槽２４を一定温度に昇温すると
シリンダ容器２０内の有機金属化合物２６の蒸気圧が上
昇して気化をはじめる。バルブ２２および原料ガスバル
ブ２５を開弁すると、気体化した有機金属化合物２６
は、バルブ２２を経てマスフローコントローラ２３に導
入され、質量流量が直接計量されて一定値に調整された
後、バルブ２５とバルブ３５とが一体化されたブロック
バルブ３２にてキャリアガスと一定濃度で混合され、結
晶成長炉１１へ供給される。
成長炉１１に基板１３を装着し、ヒータ１２により所定
の温度に加熱するとともに真空ポンプ１４で系内を減圧
する。バルブ３０およびキャリアガス３５を開弁して所
定量のキャリアガスを流し、減圧度調整用バルブ１５を
調整して結晶成長炉１１内の減圧度を一定にするととも
に、キャリアガス源から結晶成長炉１１に至る流路をパ
ージしておく。原料ガスバルブ２５およびキャリアガス
３５はブロック化されているため、パージが素早く確実
に行なわれる。空気恒温槽２４を一定温度に昇温すると
シリンダ容器２０内の有機金属化合物２６の蒸気圧が上
昇して気化をはじめる。バルブ２２および原料ガスバル
ブ２５を開弁すると、気体化した有機金属化合物２６
は、バルブ２２を経てマスフローコントローラ２３に導
入され、質量流量が直接計量されて一定値に調整された
後、バルブ２５とバルブ３５とが一体化されたブロック
バルブ３２にてキャリアガスと一定濃度で混合され、結
晶成長炉１１へ供給される。
【００２４】
【発明の作用および効果】以上、詳細に説明したように
本発明のシリンダ容器は、底部の最大幅寸法よりも高さ
寸法が短い扁平形状をしており小型である。そのため、
シリンダ容器が組み込まれる気化供給装置をも小型化す
ることが出来る。バルブ等の流路にデッドスペースが少
なく、パージやガス置換を素早く確実に行なえ、有機金
属化合物の供給量を正確に調節出来るため、組成ばらつ
きが少なく、高品質の大面積の結晶薄膜を効率良く製造
することが可能である。また、シリンダ容器の取付けミ
スやバルブ操作ミスが発生しないため、有機金属化合物
が逆流して系内を汚染したり系外へ放出されることがな
く、安全性が高い。
本発明のシリンダ容器は、底部の最大幅寸法よりも高さ
寸法が短い扁平形状をしており小型である。そのため、
シリンダ容器が組み込まれる気化供給装置をも小型化す
ることが出来る。バルブ等の流路にデッドスペースが少
なく、パージやガス置換を素早く確実に行なえ、有機金
属化合物の供給量を正確に調節出来るため、組成ばらつ
きが少なく、高品質の大面積の結晶薄膜を効率良く製造
することが可能である。また、シリンダ容器の取付けミ
スやバルブ操作ミスが発生しないため、有機金属化合物
が逆流して系内を汚染したり系外へ放出されることがな
く、安全性が高い。
【図１】本発明の第１発明を適用するシリンダ容器を用
いた気化供給装置の概略構成図である。
いた気化供給装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第２発明を適用するシリンダ容器を用
いた気化供給装置の概略構成図である。
いた気化供給装置の概略構成図である。
【図３】本発明の第２発明を適用するシリンダ容器の別
な実施例を示す概略側面図である。
な実施例を示す概略側面図である。
【図４】本発明の第３発明を適用するシリンダ容器を用
いた気化供給装置の概略構成図である。
いた気化供給装置の概略構成図である。
【図５】従来のシリンダ容器を用いた気化供給装置の概
略構成図である。
略構成図である。
１１は結晶成長炉、１２はヒータ、１３は基板、１４は
真空ポンプ、１５は減圧度調整用バルブ、２０はシリン
ダ容器、２１は原料ガス流路、２２・３０はバルブ、２
３・２８はマスフローコントローラ、２４は恒温槽、２
５は原料ガスバルブ、２６は有機金属化合物、２９は熱
交換器、３１はキャリアガス流路、３２はブロックバル
ブ、３５はキャリアガスバルブである。
真空ポンプ、１５は減圧度調整用バルブ、２０はシリン
ダ容器、２１は原料ガス流路、２２・３０はバルブ、２
３・２８はマスフローコントローラ、２４は恒温槽、２
５は原料ガスバルブ、２６は有機金属化合物、２９は熱
交換器、３１はキャリアガス流路、３２はブロックバル
ブ、３５はキャリアガスバルブである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−255595（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−97692（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C30B 1/00 - 35/00 H01L 21/205
Claims (3)
- 【請求項１】 底部の最大幅寸法よりも高さ寸法が短い
扁平形状容器の上面に、バルブを介して加熱減圧下の結
晶成長炉に接続する一本の流路が設けられ、前記流路の
容器側は容器との接続部近傍にて屈曲してから、前記流
路が該バルブに接続し水平方向に延びていることを特徴
とする有機金属化合物気化供給装置用のシリンダ容器。 - 【請求項２】 底部の最大幅寸法よりも高さ寸法が短い
扁平形状容器の側面に、バルブを介して加熱減圧下の結
晶成長炉に接続する一本の流路が設けられ、前記流路の
容器側は容器との接続部近傍にて屈曲してから、前記流
路が該バルブに接続していることを特徴とする有機金属
化合物気化供給装置用のシリンダ容器。 - 【請求項３】 底部の最大幅寸法よりも高さ寸法が短い
扁平形状容器に、原料ガスバルブを介して加熱減圧下の
結晶成長炉に接続する一本の原料ガス流路が設けられ、
前記原料ガス流路の容器側は容器との接続部近傍にて屈
曲してから、前記原料ガス流路が前記原料ガスバルブに
接続し、前記原料ガスバルブの排出側にキャリアガスバ
ルブを介してキャリアガス源に接続するキャリアガス流
路が接続され、原料ガスバルブとキャリアガスバルブと
が一体化されたブロックバルブであることを特徴とする
有機金属化合物気化供給装置用のシリンダ容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2132791A JP2878462B2 (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 有機金属化合物気化供給装置用のシリンダ容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2132791A JP2878462B2 (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 有機金属化合物気化供給装置用のシリンダ容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04260692A JPH04260692A (ja) | 1992-09-16 |
| JP2878462B2 true JP2878462B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=12052046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2132791A Expired - Fee Related JP2878462B2 (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 有機金属化合物気化供給装置用のシリンダ容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2878462B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102286480B1 (ko) * | 2018-11-27 | 2021-08-06 | 주식회사 레이크머티리얼즈 | 이중 구조의 유기금속 화합물 공급 장치 |
-
1991
- 1991-02-15 JP JP2132791A patent/JP2878462B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04260692A (ja) | 1992-09-16 |
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