JP2870884B2 - 電子検出器 - Google Patents
電子検出器Info
- Publication number
- JP2870884B2 JP2870884B2 JP1295547A JP29554789A JP2870884B2 JP 2870884 B2 JP2870884 B2 JP 2870884B2 JP 1295547 A JP1295547 A JP 1295547A JP 29554789 A JP29554789 A JP 29554789A JP 2870884 B2 JP2870884 B2 JP 2870884B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scintillator
- electrode
- sample
- opening
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は走査型電子顕微鏡等における二次電子検出器
のようなシンチレータを用いた電子検出器に関する。
のようなシンチレータを用いた電子検出器に関する。
（従来の技術） シンチレータを用いた電子検出器で二次電子のような
低エネルギーの電子を検出する場合、シンチレータの前
面に電子を吸引する電極を設けて、シンチレータに電子
を取込むようにして、電子によるシンチレータの発光効
率を高めるようにしてある。従来のこの型の電子検出器
ではシンチレータ前面の電子吸引電極は電子入射開口が
シンチレータと同軸でシンチレータの前方が開放された
形であり、この形では、試料から放射される二次電子等
が入射すると共に、一次励起線の照射を受けている試料
表面からの蒸発物質等もシンチレータに入射し、シンチ
レータ表面を汚染するため、シンチレータの電子光変換
効率が次第に低下し、遂に使用に耐えなくなる。
低エネルギーの電子を検出する場合、シンチレータの前
面に電子を吸引する電極を設けて、シンチレータに電子
を取込むようにして、電子によるシンチレータの発光効
率を高めるようにしてある。従来のこの型の電子検出器
ではシンチレータ前面の電子吸引電極は電子入射開口が
シンチレータと同軸でシンチレータの前方が開放された
形であり、この形では、試料から放射される二次電子等
が入射すると共に、一次励起線の照射を受けている試料
表面からの蒸発物質等もシンチレータに入射し、シンチ
レータ表面を汚染するため、シンチレータの電子光変換
効率が次第に低下し、遂に使用に耐えなくなる。
（発明が解決しようとする課題） 本考案はシンチレータを用いた電子検出器のシンチレ
ータの試料蒸発物質による汚染を防止しようとするもの
である。
ータの試料蒸発物質による汚染を防止しようとするもの
である。
（課題を解決するための手段） シンチレータの前面に、シンチレータに対向している
開口がシンチレータと同軸で、試料側の電子入射開口が
シンチレータの軸よりずれた位置にあって、シンチレー
タに入射する電子軌道を山形に屈曲した形にする電極を
配置した。
開口がシンチレータと同軸で、試料側の電子入射開口が
シンチレータの軸よりずれた位置にあって、シンチレー
タに入射する電子軌道を山形に屈曲した形にする電極を
配置した。
（作用） 試料から蒸発して来るシンチレータ汚染物質は試料か
ら電子検出器に向って直進して来る。試料から放射され
る電子はシンチレータ前面の電極により屈曲した軌道を
画いてシンチレータに入射する。従ってシンチレータか
らは試料が直接見えず汚染物質は直進するためシンチレ
ータの軸より外れた位置にある電子入射開口に入射して
も、シンチレータには入射できず、シンチレータの汚染
が防止される。
ら電子検出器に向って直進して来る。試料から放射され
る電子はシンチレータ前面の電極により屈曲した軌道を
画いてシンチレータに入射する。従ってシンチレータか
らは試料が直接見えず汚染物質は直進するためシンチレ
ータの軸より外れた位置にある電子入射開口に入射して
も、シンチレータには入射できず、シンチレータの汚染
が防止される。
（実施例） 第１図に本発明の一実施例を示す。図でＳは試料、Ｅ
は試料を照射する一次励起線、ｅは試料から放射される
電子、ａは励起線により試料Ｓから蒸発せしめられた汚
染源の試料物質である。Ｄが電子検出器で、試料に一番
近い電極１は接地され、その後に電子吸引電極２が配置
され、＋700Vの電圧が印加され、更にその後に第２の接
地電極３が配置され、これらの電極は同一軸上に開口を
有して、一つの静電レンズを構成しており、試料Ｓより
放出される電子を吸引すると共に第２接地電極３の開口
付近に集中させて、シンチレータへ電子を効率良く導く
作用を兼ねている。４は第２接地電極の後方に置かれた
リペラ電極で有底円筒形をなし、−400Vの電圧が印加さ
れている。リペラ電極の底面には電極１〜３の開口の共
通軸とはずれた位置に開口41が穿たれ、この開口の後に
シンチレータ５が置かれている。シンチレータには電子
を加速するため＋10KVの電圧が印加されている。電極１
〜３により試料より引出されて第２接地電極３の開口付
近に集束せられた電子はリペラ電極４の負電位に反撥さ
れて直進が阻止され、リペラ電極の底の下方の開口41よ
り覗いているシンチレータ５の高電位に引かれて軌道が
曲がり、シンチレータに向って加速されてシンチレータ
５に入射する。６はシンチレータ５の発光を電気信号に
変換する光電子増倍管である。汚染物質は電極１〜３の
開口を通って直進するが、リペラ電極４の底に当るだけ
で、シンチレータには入射できない。
は試料を照射する一次励起線、ｅは試料から放射される
電子、ａは励起線により試料Ｓから蒸発せしめられた汚
染源の試料物質である。Ｄが電子検出器で、試料に一番
近い電極１は接地され、その後に電子吸引電極２が配置
され、＋700Vの電圧が印加され、更にその後に第２の接
地電極３が配置され、これらの電極は同一軸上に開口を
有して、一つの静電レンズを構成しており、試料Ｓより
放出される電子を吸引すると共に第２接地電極３の開口
付近に集中させて、シンチレータへ電子を効率良く導く
作用を兼ねている。４は第２接地電極の後方に置かれた
リペラ電極で有底円筒形をなし、−400Vの電圧が印加さ
れている。リペラ電極の底面には電極１〜３の開口の共
通軸とはずれた位置に開口41が穿たれ、この開口の後に
シンチレータ５が置かれている。シンチレータには電子
を加速するため＋10KVの電圧が印加されている。電極１
〜３により試料より引出されて第２接地電極３の開口付
近に集束せられた電子はリペラ電極４の負電位に反撥さ
れて直進が阻止され、リペラ電極の底の下方の開口41よ
り覗いているシンチレータ５の高電位に引かれて軌道が
曲がり、シンチレータに向って加速されてシンチレータ
５に入射する。６はシンチレータ５の発光を電気信号に
変換する光電子増倍管である。汚染物質は電極１〜３の
開口を通って直進するが、リペラ電極４の底に当るだけ
で、シンチレータには入射できない。
第２図は上述電極配置における電界分布を示し、第３
図，第４図は電子軌道のシミュレーション結果を示す。
第３図と第４図の異いは試料からの電子の取出し角が異
る点にあり、第４図は電子取出し角を第３図より少し試
料面に平行に近くしたものである。何れの場合でも軌道
は大きく曲がっているにもかゝわらず試料からシンチレ
ータ表面までの間に２回集束していて、試料から放射さ
れた電子が効率よくシンチレータに導かれていることが
認められる。
図，第４図は電子軌道のシミュレーション結果を示す。
第３図と第４図の異いは試料からの電子の取出し角が異
る点にあり、第４図は電子取出し角を第３図より少し試
料面に平行に近くしたものである。何れの場合でも軌道
は大きく曲がっているにもかゝわらず試料からシンチレ
ータ表面までの間に２回集束していて、試料から放射さ
れた電子が効率よくシンチレータに導かれていることが
認められる。
（発明の効果） 本発明電子検出器は試料から蒸発して来る物質による
シンチレータの汚染が防止されるので、長期間にわた
り、安定した検出感度を保持し、検出器寿命が長くな
る。
シンチレータの汚染が防止されるので、長期間にわた
り、安定した検出感度を保持し、検出器寿命が長くな
る。
第１図は本発明の一実施例の縦断側面図、第２図は同実
施例における電界分布図、第３図は同実施例における電
子軌道の図、第４図は同じく電子軌道の他の例を示す図
である。 １……接地電極、２……電子吸引電極、３……第２接地
電極、４……リペラ電極、５……シンチレータ、６……
電子増倍管、Ｓ……試料、Ｅ……励起線、ｅ……二次電
子、ａ……汚染物質。
施例における電界分布図、第３図は同実施例における電
子軌道の図、第４図は同じく電子軌道の他の例を示す図
である。 １……接地電極、２……電子吸引電極、３……第２接地
電極、４……リペラ電極、５……シンチレータ、６……
電子増倍管、Ｓ……試料、Ｅ……励起線、ｅ……二次電
子、ａ……汚染物質。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭53−32667（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−142285（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−116063（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭52−50663（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−148063（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01T 1/00 - 7/12 H01J 37/244 G21K 1/05 - 1/093
Claims (1)
- 【請求項１】試料に向かって開口を有する接地電極１
と、その後方で上記接地電極の開口と同軸の開口を有す
る電子吸引電極２と、その後方に配置された箱状で底面
を試料側に向け、底面の偏心位置に上記接地電極の開口
と同軸の開口を有する第２の接地電極３と、この第２の
接地電極内に位置し、箱状で底面を試料と反対の側に向
け、上記第２の接地電極の開口とは反対側に偏心して開
口を有するリペラ電極４と、このリペラ電極の後方で同
電極の開口と同軸的にこの電極に対向するシンチレータ
とよりなる電子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1295547A JP2870884B2 (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1295547A JP2870884B2 (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 電子検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03156397A JPH03156397A (ja) | 1991-07-04 |
| JP2870884B2 true JP2870884B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=17822061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1295547A Expired - Lifetime JP2870884B2 (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 電子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2870884B2 (ja) |
-
1989
- 1989-11-14 JP JP1295547A patent/JP2870884B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03156397A (ja) | 1991-07-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7119333B2 (en) | Ion detector for ion beam applications | |
| US6236053B1 (en) | Charged particle detector | |
| JP4176159B2 (ja) | 改善された２次電子検出のための磁界を用いた環境制御型ｓｅｍ | |
| JP3836519B2 (ja) | 電子検出器 | |
| KR850001390B1 (ko) | 2차 전자 검출장치 | |
| US20060011826A1 (en) | Focal plane detector assembly of a mass spectrometer | |
| JPH0544133B2 (ja) | ||
| EP0243060B1 (en) | A charged particle energy analyser | |
| EP0838080B1 (en) | Sample analyzer | |
| JPS5958749A (ja) | 複合対物および放射レンズ | |
| JPH10188878A (ja) | イオン検出器 | |
| JP2870884B2 (ja) | 電子検出器 | |
| US3946268A (en) | Field emission gun improvement | |
| EP0617452B1 (en) | Charged particle analyser | |
| JP3537582B2 (ja) | 多機能試料表面分析装置 | |
| JP3244620B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS5835854A (ja) | 二次電子検出装置 | |
| JP2904460B2 (ja) | 粒子線照射装置の帯電抑制装置 | |
| Gersch et al. | Postionization of sputtered neutrals by a focused electron beam | |
| JP2817277B2 (ja) | Ｘ線銃 | |
| JP3394120B2 (ja) | 二次荷電粒子検出装置 | |
| JP2545940B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| JPH076609Y2 (ja) | 集束イオンビーム加工装置 | |
| JP2569517B2 (ja) | イオンマイクロアナライザ | |
| JPH11242936A (ja) | イオン引出装置 |