JP2862253B2 - 粒子の非対称性の分析装置 - Google Patents
粒子の非対称性の分析装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、流体中に担持された粒子の分析のための技
術に、特にそうした粒子の非対称性を検査するための技
術に係わる。
術に、特にそうした粒子の非対称性を検査するための技
術に係わる。
例えばエーロゾル、エーロゾル分散及び空気中に担持
された粒子汚染制御の研究調査においては、個々の粒子
の幾何学的形状及び対称性に関する情報と共に、特に直
径１〜10ミクロンの範囲内の粒度分布の迅速な測定が必
要とされている。例えば粒子の幾何学的形状及び対称性
に関する情報は、球状対称性を有する粒子が識別される
のを可能にし、従って他の非球状の固体粒子を含む環境
内の液体の小滴を計数／監視することを可能にする。本
明細書の文脈においては、術語「粒子」は、固体と液体
の滴粒との両方に適用されるように意図されている。
された粒子汚染制御の研究調査においては、個々の粒子
の幾何学的形状及び対称性に関する情報と共に、特に直
径１〜10ミクロンの範囲内の粒度分布の迅速な測定が必
要とされている。例えば粒子の幾何学的形状及び対称性
に関する情報は、球状対称性を有する粒子が識別される
のを可能にし、従って他の非球状の固体粒子を含む環境
内の液体の小滴を計数／監視することを可能にする。本
明細書の文脈においては、術語「粒子」は、固体と液体
の滴粒との両方に適用されるように意図されている。
そうした技術では、典型的には毎秒20,000個の粒子の
速度で試料内の個々の粒子を計数することが可能である
ことと、並びに球状粒子と非球状粒子とを区別し且つそ
の各タイプを計数することが可能であることが望まし
い。別の望ましい特徴は、0.5〜15ミクロンの直径を持
つ球状粒子を幾つかのサイズ範囲に類別し、並びにこれ
に関連して非球状の粒子を分類し、且つ粒度スペクトル
の収集においては、そうした非球状粒子を無視するとい
うことである。
速度で試料内の個々の粒子を計数することが可能である
ことと、並びに球状粒子と非球状粒子とを区別し且つそ
の各タイプを計数することが可能であることが望まし
い。別の望ましい特徴は、0.5〜15ミクロンの直径を持
つ球状粒子を幾つかのサイズ範囲に類別し、並びにこれ
に関連して非球状の粒子を分類し、且つ粒度スペクトル
の収集においては、そうした非球状粒子を無視するとい
うことである。
市販の幾つかの装置に使用されているような粒子測定
のための通常の技術は、粒子によって散乱される電磁放
射光の検出及び分析を用いる。そうした装置は全て、
「検出容積」を通過するように試料空気を駆動させる機
械的メカニズムを使用し、またその「検査容積」内で
は、運ばれた粒子が入射電磁放射によって照射される。
粒子によって散乱された放射光は１つ以上の検出器によ
って受け取られ、これらの検出器はそのエネルギーを電
気信号に変換し、更にこの電気信号から適切な電気回路
によって情報が抽出される。
のための通常の技術は、粒子によって散乱される電磁放
射光の検出及び分析を用いる。そうした装置は全て、
「検出容積」を通過するように試料空気を駆動させる機
械的メカニズムを使用し、またその「検査容積」内で
は、運ばれた粒子が入射電磁放射によって照射される。
粒子によって散乱された放射光は１つ以上の検出器によ
って受け取られ、これらの検出器はそのエネルギーを電
気信号に変換し、更にこの電気信号から適切な電気回路
によって情報が抽出される。
市販の第１の種類の装置は、多数の粒子からの散乱放
射光を同時に収集することが可能であり、且つ気体又は
空気の単位体積当りの粒子質量の平均値を測定するため
に、又は粒子物質の統計学的な平均粒度分布を測定する
ためにこの情報を使用する。これらの装置は個々の粒子
を測定することが不可能であり、従って粒子の形態に関
連する正確な粒子計数又は情報を与えることはできな
い。
射光を同時に収集することが可能であり、且つ気体又は
空気の単位体積当りの粒子質量の平均値を測定するため
に、又は粒子物質の統計学的な平均粒度分布を測定する
ためにこの情報を使用する。これらの装置は個々の粒子
を測定することが不可能であり、従って粒子の形態に関
連する正確な粒子計数又は情報を与えることはできな
い。
市販の第２の種類の装置は、より小さな検出容積に粒
子を制限するために、気体における層流特性を使用し、
更に何らかの方法で入射電磁放射光を集中させることに
よって個々の粒子を検査し、粒子計数を与え且つ場合に
よっては粒度分布を概算することが可能である。
子を制限するために、気体における層流特性を使用し、
更に何らかの方法で入射電磁放射光を集中させることに
よって個々の粒子を検査し、粒子計数を与え且つ場合に
よっては粒度分布を概算することが可能である。
従って従来技術の装置は、ある程度は粒度及び粒子計
数に関する情報を与えることだろう。しかし個々の流体
搬送粒子の非対称性に関する情報を与えることが可能な
装置は人手不可能である。
数に関する情報を与えることだろう。しかし個々の流体
搬送粒子の非対称性に関する情報を与えることが可能な
装置は人手不可能である。
従って個々の流体中に担持された粒子を分析すること
が可能な、且つ例えば個々の粒子の非対称性要因を見出
すことによって、粒子の非対称性に関する情報を与える
ことが可能な粒子分析装置が必要とされている。
が可能な、且つ例えば個々の粒子の非対称性要因を見出
すことによって、粒子の非対称性に関する情報を与える
ことが可能な粒子分析装置が必要とされている。
本発明の１つの態様により、粒子形状の決定に使用す
るための粒子分析装置が提供され、この装置は、層流と
して空気中に担持された粒子の試料を与える手段と、試
料を照射する手段と、中心軸を有し試料中の個々の粒子
から放射する光を後方に向かわせるように配置された後
方凹形反射鏡手段と、後方反射鏡手段から送られた放射
線を検出するための後方検出器手段とを有し、試料を照
射する手段が、反射鏡の中心軸に沿って粒子流れの方に
向かうように配置されたランダム偏光または円偏光され
たレーザビームを備えること、および粒子形状を記述す
るためのデータを検出器から導き出す手段を特徴とす
る。
るための粒子分析装置が提供され、この装置は、層流と
して空気中に担持された粒子の試料を与える手段と、試
料を照射する手段と、中心軸を有し試料中の個々の粒子
から放射する光を後方に向かわせるように配置された後
方凹形反射鏡手段と、後方反射鏡手段から送られた放射
線を検出するための後方検出器手段とを有し、試料を照
射する手段が、反射鏡の中心軸に沿って粒子流れの方に
向かうように配置されたランダム偏光または円偏光され
たレーザビームを備えること、および粒子形状を記述す
るためのデータを検出器から導き出す手段を特徴とす
る。
散乱された放射光は、その放射光を放射光収集器に方
向付ける凹面反射鏡によって、好ましくは楕円面鏡によ
って反射される。低い角度で散乱された放射光は、前記
楕円面鏡内の開口から通じている第２のチャンバ内で放
射光収集器によって、好ましくは非散乱ビームの周囲に
同心的に配置された光ファイバによって検出される。そ
の後、収集された放射光は電気信号に変換されて、処理
された且つ分析され、さらに既知の粒子形状に関するデ
ータと比較することによって、その粒子が非対称性要因
を有するものと見なされる。
向付ける凹面反射鏡によって、好ましくは楕円面鏡によ
って反射される。低い角度で散乱された放射光は、前記
楕円面鏡内の開口から通じている第２のチャンバ内で放
射光収集器によって、好ましくは非散乱ビームの周囲に
同心的に配置された光ファイバによって検出される。そ
の後、収集された放射光は電気信号に変換されて、処理
された且つ分析され、さらに既知の粒子形状に関するデ
ータと比較することによって、その粒子が非対称性要因
を有するものと見なされる。
更に非対称性要因に加えて、粒度が測定されることも
可能である。多数の粒子が非対称性要因を持っているも
のと見なされることが可能であって、その関連する粒度
スペクトルと組み合わされたこの操作の累積結果は、単
独に測定される単一の粒子のデータよりもより大きな値
であり得る環境内粒子の空中写真的な「特徴（thumb pr
int）」を生じさせるために使用されることも可能であ
る。
可能である。多数の粒子が非対称性要因を持っているも
のと見なされることが可能であって、その関連する粒度
スペクトルと組み合わされたこの操作の累積結果は、単
独に測定される単一の粒子のデータよりもより大きな値
であり得る環境内粒子の空中写真的な「特徴（thumb pr
int）」を生じさせるために使用されることも可能であ
る。
真球度を調査する場合には、球状粒子を分類するため
の基準は、ランダム偏光された又は円偏光された放射光
の照射ビーム軸に関する対称散乱として、容易に定義さ
れることが可能である。従って幾つかの放射光収集器
が、凹面反射鏡の反射軸の周囲に半径方向に対称的に設
置される。
の基準は、ランダム偏光された又は円偏光された放射光
の照射ビーム軸に関する対称散乱として、容易に定義さ
れることが可能である。従って幾つかの放射光収集器
が、凹面反射鏡の反射軸の周囲に半径方向に対称的に設
置される。
非対称性の度合いの調査の場合には、その放射光収集
器の配置は、粒子の非対称性を分析するために最適な配
置と同一のものであるわけにはいかない。その散乱チャ
ンバの設計は、それに特に必要とされる収集器形状の適
応性を実現可能にし、且つ収集器位置が自由自在に変え
られることを可能にしなければならない。
器の配置は、粒子の非対称性を分析するために最適な配
置と同一のものであるわけにはいかない。その散乱チャ
ンバの設計は、それに特に必要とされる収集器形状の適
応性を実現可能にし、且つ収集器位置が自由自在に変え
られることを可能にしなければならない。
この技術の利点は、光フィイバ収集光学系を使用する
ことによって、散乱範囲のほぼ全周に亘って何れの位置
にも殆ど任意の数の収集器を設置するのと同じ効果が、
容易に実現され得るということであり、この技術を使用
しなければ、上記の課題の達成は機械的に極めて困難な
ものとなるだろうう。従って、その高度の適応性の故
に、散乱チャンバ自体に対す機械的な変更の必要なし
に、様々な検出ジオメトリーが試験されることが可能で
ある。
ことによって、散乱範囲のほぼ全周に亘って何れの位置
にも殆ど任意の数の収集器を設置するのと同じ効果が、
容易に実現され得るということであり、この技術を使用
しなければ、上記の課題の達成は機械的に極めて困難な
ものとなるだろうう。従って、その高度の適応性の故
に、散乱チャンバ自体に対す機械的な変更の必要なし
に、様々な検出ジオメトリーが試験されることが可能で
ある。
本発明の第２の態様による、粒子の形状を分析する方
法は、層流の形で空気中に担持された粒子の試料を与え
る段階と、試料を照射する段階と、中心軸を有する凹形
反射手段中で粒子によって後方に散乱される光を反射す
る段階と、反射光の一部を検出する段階とから成り、反
射鏡の中心軸に沿って試料の方に向かうランダム偏光ま
たは円偏光されたレーザビームで試料を照射すること、
および粒子の形状を記述するデータを検出器から導き出
し、粒子の形状および寸法の特性を決定するために前記
データを既知の形状に関するデータと比較することを特
徴とする。
法は、層流の形で空気中に担持された粒子の試料を与え
る段階と、試料を照射する段階と、中心軸を有する凹形
反射手段中で粒子によって後方に散乱される光を反射す
る段階と、反射光の一部を検出する段階とから成り、反
射鏡の中心軸に沿って試料の方に向かうランダム偏光ま
たは円偏光されたレーザビームで試料を照射すること、
および粒子の形状を記述するデータを検出器から導き出
し、粒子の形状および寸法の特性を決定するために前記
データを既知の形状に関するデータと比較することを特
徴とする。
その試料はエーロゾルであってよい。
さて以下では本発明の２つの実施例が添付の図面を参
照して単なる本発明の一例として説明されることとな
る。
照して単なる本発明の一例として説明されることとな
る。
第１図は球状の粒子だけが分析される、本発明の基本
的な形態を図解し、この形態では、放物面凹面反射鏡１
が散乱チャンバ２の一方の端部に設置されている。前記
散乱チャンバ２の他方の端部に及び反射鏡１の主軸と一
直線上に、レーザ３が取り付けられ、このレーザは放射
ビーム４を、反射鏡１内の開口５と反射鏡の主軸上にあ
るチャンバ２とに向けて方向付ける。ビーム４は前記開
口５を通過した後に、典型的にはレイリーホーン（Rayl
eigh horn）であるビームダンプ６に入る。
的な形態を図解し、この形態では、放物面凹面反射鏡１
が散乱チャンバ２の一方の端部に設置されている。前記
散乱チャンバ２の他方の端部に及び反射鏡１の主軸と一
直線上に、レーザ３が取り付けられ、このレーザは放射
ビーム４を、反射鏡１内の開口５と反射鏡の主軸上にあ
るチャンバ２とに向けて方向付ける。ビーム４は前記開
口５を通過した後に、典型的にはレイリーホーン（Rayl
eigh horn）であるビームダンプ６に入る。
層流空気の試料７は、放物面反射鏡１の焦点において
レーザビーム４を直角に交差するように、チャンバ２の
中へ導かれる。試料７内の粒子はビーム４からの放射光
を反射鏡１上へと偏向させ、反射鏡１はレーザ３に隣接
する放射光収集器８へ主軸に平行にその放射光を反射す
る。放射光収集器８は光電子倍増管ユニットか、そうし
たユニットに通じる光ファイバか、又は、放射光を前記
ファバもしくは前記光電子倍増管ユニットに導くための
レンズであってもよい。
レーザビーム４を直角に交差するように、チャンバ２の
中へ導かれる。試料７内の粒子はビーム４からの放射光
を反射鏡１上へと偏向させ、反射鏡１はレーザ３に隣接
する放射光収集器８へ主軸に平行にその放射光を反射す
る。放射光収集器８は光電子倍増管ユニットか、そうし
たユニットに通じる光ファイバか、又は、放射光を前記
ファバもしくは前記光電子倍増管ユニットに導くための
レンズであってもよい。
第２図に示されるように、３つの放射光収集器８がビ
ーム４の周囲に放射状方向に配置されている。そうした
配置では、球状の粒子を確認する対称性の散乱が方向付
けられることが可能である。実際には任意の数の放射光
収集器８が放射ビーム４の周囲に放射状方向に配置され
てよい。
ーム４の周囲に放射状方向に配置されている。そうした
配置では、球状の粒子を確認する対称性の散乱が方向付
けられることが可能である。実際には任意の数の放射光
収集器８が放射ビーム４の周囲に放射状方向に配置され
てよい。
第３図は、個々の粒子を分析し且つそれらの粒子に対
して対称性要因を帰属させることが可能な、本発明によ
る粒子分析装置の好ましい実施例の１つを示す。この実
施例では、レーザ３はチャンバ２の下部で且つ反射鏡１
の主軸に対し90゜の角度で取り付けられている。ビーム
４は、反射鏡の主軸上に適切に設置されたプリズム又は
鏡９によって反射鏡の主軸上に反射される。実際にはレ
ーザ３は、前記軸上で適切な角度で傾斜した鏡９を用い
て、散乱チャンバ２の周囲の殆どあらゆる位置に取り付
けられることが可能である。
して対称性要因を帰属させることが可能な、本発明によ
る粒子分析装置の好ましい実施例の１つを示す。この実
施例では、レーザ３はチャンバ２の下部で且つ反射鏡１
の主軸に対し90゜の角度で取り付けられている。ビーム
４は、反射鏡の主軸上に適切に設置されたプリズム又は
鏡９によって反射鏡の主軸上に反射される。実際にはレ
ーザ３は、前記軸上で適切な角度で傾斜した鏡９を用い
て、散乱チャンバ２の周囲の殆どあらゆる位置に取り付
けられることが可能である。
また第３図は１つの楕円面反射鏡10を有する散乱チャ
ンバ２を示し、ビーム４と試料７とが交差する点がこの
楕円面反射鏡の一方の焦点にあり、チャンバ２の端部に
ある放射光収集器８へ反射放射光を平行に導く収集器レ
ンズ11が、前記楕円面反射鏡の他方の焦点の付近に取り
付けられている。この位置ではその強度分布は、粒子に
よって散乱範囲の約0.84にまで散乱された強度分布の、
空間的に変形されたレプリカを表す。第１図は、定速度
で空気層を供給するシース状空気取り入れ口12によって
層流の形で配送される流体試料７を示す。
ンバ２を示し、ビーム４と試料７とが交差する点がこの
楕円面反射鏡の一方の焦点にあり、チャンバ２の端部に
ある放射光収集器８へ反射放射光を平行に導く収集器レ
ンズ11が、前記楕円面反射鏡の他方の焦点の付近に取り
付けられている。この位置ではその強度分布は、粒子に
よって散乱範囲の約0.84にまで散乱された強度分布の、
空間的に変形されたレプリカを表す。第１図は、定速度
で空気層を供給するシース状空気取り入れ口12によって
層流の形で配送される流体試料７を示す。
ビーム４の方向に対して低い角度で散乱された放射光
を捕捉し且つ分析する場合には、ある程度の困難さが生
じる。きわめて低い角度（１゜〜３゜）では、後続の集
束光学系に基づく光散乱によって散乱光が打ち消され
る。この問題を克服するために第２の散乱チャンバ13
が、主散乱チャンバ２上の凹面反射鏡１の主軸に対し同
軸に導入される。低い角度の偏向を収集するために、放
射光収集器８がこのチャンバ内に適切に設置されてい
る。
を捕捉し且つ分析する場合には、ある程度の困難さが生
じる。きわめて低い角度（１゜〜３゜）では、後続の集
束光学系に基づく光散乱によって散乱光が打ち消され
る。この問題を克服するために第２の散乱チャンバ13
が、主散乱チャンバ２上の凹面反射鏡１の主軸に対し同
軸に導入される。低い角度の偏向を収集するために、放
射光収集器８がこのチャンバ内に適切に設置されてい
る。
従って第３図は、光ファイバ14がビーム４の周囲に配
置されている第２チャンバ13を示す。光ファイバ14はビ
ーム４の周囲の同心の環の形に配置されてもよい。この
光ファイバ４は、処理及び分析のために、収集された放
射光を電気信号に変換するための放射光収集器として働
く。
置されている第２チャンバ13を示す。光ファイバ14はビ
ーム４の周囲の同心の環の形に配置されてもよい。この
光ファイバ４は、処理及び分析のために、収集された放
射光を電気信号に変換するための放射光収集器として働
く。
この代わりに第１図に示されるように、第２チャンバ
13は第２の凹面反射鏡14を有してもよく、この第２の凹
面反射鏡14は普通は楕円面反射鏡であって、ビーム４と
試料７とが交差する点をその第２の又は遠位の焦点に有
し、且つその第１の又は近位の焦点に１つの放射光収集
器15を有する。従って低い角度で偏向された放射光は、
該楕円面反射鏡に突き当り、前記放射光収集器15上に導
かれる。
13は第２の凹面反射鏡14を有してもよく、この第２の凹
面反射鏡14は普通は楕円面反射鏡であって、ビーム４と
試料７とが交差する点をその第２の又は遠位の焦点に有
し、且つその第１の又は近位の焦点に１つの放射光収集
器15を有する。従って低い角度で偏向された放射光は、
該楕円面反射鏡に突き当り、前記放射光収集器15上に導
かれる。
放射光収集器15は、第１チャンバ上の開口５に正面を
向けて設置されてもよく、又は第１図に示されるよう
に、この方向に対して90゜の角度で設置されてもよい。
後者の配置は低い角度で偏向された放射光を相対向によ
り一層多く収集するが、その収集器の正面方向の偏向だ
けが登録されるであろうが故に、放射光の収集は全体と
してはより少ないものとなろう。
向けて設置されてもよく、又は第１図に示されるよう
に、この方向に対して90゜の角度で設置されてもよい。
後者の配置は低い角度で偏向された放射光を相対向によ
り一層多く収集するが、その収集器の正面方向の偏向だ
けが登録されるであろうが故に、放射光の収集は全体と
してはより少ないものとなろう。
第１図は実際の使用において、試料の周囲に供給され
る濾過された定速度のシース用空気によって、どのよう
に試料が層流の形で供給されるかを示す。従って試料の
外側部分は、その内側部分と同じ速度で流れる。そうで
なければ試料の外側部分は、その試料流れに隣接する定
常空気との摩擦の故により遅い速度で流動することにな
ろう。これに加えて更に重要なことであるが、そのシー
ス用空気を供給する同軸の管は、粒子の層流を与えるた
めにその試料内の粒子を動力学的に集束させるように設
計される。これによって、粒子流れを反射鏡の焦点上に
集束させることが容易になる。
る濾過された定速度のシース用空気によって、どのよう
に試料が層流の形で供給されるかを示す。従って試料の
外側部分は、その内側部分と同じ速度で流れる。そうで
なければ試料の外側部分は、その試料流れに隣接する定
常空気との摩擦の故により遅い速度で流動することにな
ろう。これに加えて更に重要なことであるが、そのシー
ス用空気を供給する同軸の管は、粒子の層流を与えるた
めにその試料内の粒子を動力学的に集束させるように設
計される。これによって、粒子流れを反射鏡の焦点上に
集束させることが容易になる。
非対称性粒子分析装置は次のように作動する。ガスレ
ーザによって作り出されたレーザビームが反射鏡の軸に
対し直角にチャンバ内に入り、更に反射鏡の主軸に沿っ
て90゜反射される。従って、そのビーム軸に関して約19
゜〜145゜の範囲で個々の粒子によって散乱された放射
光が、チャンバ後部の非球面収集レンズの上へ反射され
る。このレンズはその放出光を平行にし、この出力窓を
越えた強度分布は、粒子によって球体の約0.84にまで散
乱された強度分布の空間的に変形されたレプリカを表
す。上記の形の収集された光に関しては、光分布を測定
するための光ファイバ検出器の位置は自由自在に変えら
れてよい。
ーザによって作り出されたレーザビームが反射鏡の軸に
対し直角にチャンバ内に入り、更に反射鏡の主軸に沿っ
て90゜反射される。従って、そのビーム軸に関して約19
゜〜145゜の範囲で個々の粒子によって散乱された放射
光が、チャンバ後部の非球面収集レンズの上へ反射され
る。このレンズはその放出光を平行にし、この出力窓を
越えた強度分布は、粒子によって球体の約0.84にまで散
乱された強度分布の空間的に変形されたレプリカを表
す。上記の形の収集された光に関しては、光分布を測定
するための光ファイバ検出器の位置は自由自在に変えら
れてよい。
粒子の真球度を測定するためには、その検出器は出力
窓の軸に関して対称的に設置される。
窓の軸に関して対称的に設置される。
このようにして、光ファイバ光学系を使用して、散乱
範囲全体のほぼ全周に亘って任意の位置に殆ど任意の数
の収集器を設置するのと同じ効果が、容易に実現される
ことが可能である。理論モデルの結果及び既知の形状の
散乱パターンの実験的結果に基づいて、粒子が非対称性
要因を持っているのを見出すためにアルゴリズムが使用
される。
範囲全体のほぼ全周に亘って任意の位置に殆ど任意の数
の収集器を設置するのと同じ効果が、容易に実現される
ことが可能である。理論モデルの結果及び既知の形状の
散乱パターンの実験的結果に基づいて、粒子が非対称性
要因を持っているのを見出すためにアルゴリズムが使用
される。
粒子の非対称性を測定するための、粒子から得られた
データの処理は、例えばBritish lnmosチップ製造会社
によって生産されるようなトランスピュータ（transput
er）によって取り扱われることが可能だろう。
データの処理は、例えばBritish lnmosチップ製造会社
によって生産されるようなトランスピュータ（transput
er）によって取り扱われることが可能だろう。
各々の検出チャネルにつき１つのオランスピユータが
使用される。この方法では、各チャネルから到着するデ
ータに対し従来は逐次的に行われていたタスクが、全チ
ャネルに対し同時に行われることが可能であり、且つデ
ータのスループットの著しい増大をもたらすことが可能
であろう。
使用される。この方法では、各チャネルから到着するデ
ータに対し従来は逐次的に行われていたタスクが、全チ
ャネルに対し同時に行われることが可能であり、且つデ
ータのスループットの著しい増大をもたらすことが可能
であろう。
本発明は添付の図面を参照して単なる一例として説明
されてきたが、特許請求のに定義される通りの本発明の
範囲を逸脱することなしに、変形及び改善が行われるこ
とが可能であることが理解されるべきである。
されてきたが、特許請求のに定義される通りの本発明の
範囲を逸脱することなしに、変形及び改善が行われるこ
とが可能であることが理解されるべきである。
図面の簡単な説明 第１図は球状粒子を分析するための粒子分析装置の概
略的な側面断面図、第２図は第１図の線XXに沿った分析
装置の断面図、及び第３図は非対称性分析システムの概
略的な側面断面図である。
略的な側面断面図、第２図は第１図の線XXに沿った分析
装置の断面図、及び第３図は非対称性分析システムの概
略的な側面断面図である。
１……放物面凹面反射鏡、２……散乱チャンバ、３…
…レーザ、４……放射ビーム、５……開口、６……ビー
ムダンプ、７……試料、８……放射光収集器
…レーザ、４……放射ビーム、５……開口、６……ビー
ムダンプ、７……試料、８……放射光収集器
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−112532（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−112548（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−190835（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−150325（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−9685（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−151742（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−71337（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−128556（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭51−18835（ＪＰ，Ｂ１) 米国特許4606636（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 15/00 - 15/14 G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61
Claims (5)
- 【請求項１】層流として空気中に担持された粒子の試料
を与える手段と、試料を照射する手段と、中心軸を有し
試料中の個々の粒子から放射する光を後方に向かわせる
ように配置された後方凹形反射鏡手段と、後方反射鏡手
段から送られた放射線を検出するための後方検出器手段
とを有する粒子形状の決定に使用するための粒子分析装
置において、 試料を照射する手段が、反射鏡の中心軸に沿って粒子流
れの方に向かうように配置されたランダム偏光または円
偏光されたレーザビームを備えること、および 粒子形状を記述するためのデータを検出器から導き出す
手段を特徴とする粒子分析装置。 - 【請求項２】後方検出器手段が、後方反射鏡手段の中心
軸の周りに径方向に対称形に配置された、後方反射鏡か
ら放射線を受け取るための少くとも三個の真球度検出器
を備えることを特徴とする請求項１に記載の粒子分析装
置。 - 【請求項３】中心線に対して低い角度で粒子から前方に
散乱する放射線を検出する手段を特徴とする、請求項１
または２に記載の粒子分析装置。 - 【請求項４】層流の形で空気中に担持された粒子の試料
を与える段階と、試料を照射する段階と、中心軸を有す
る凹形反射手段中で粒子によって後方に散乱される光を
反射する段階と、反射光の一部を検出する段階とから成
る粒子の形状を分析する方法において、 反射鏡の中心軸に沿って試料の方に向かうランダム偏光
または円偏光されたレーザビームで試料を照射するこ
と、および 粒子の形状を記述するデータを検出器から導き出し、粒
子の形状および寸法の特性を決定するために前記データ
を既知の形状に関するデータと比較することを特徴とす
る方法。 - 【請求項５】中心軸に対して低い角度で粒子によって散
乱された光を、後方反射鏡中を前方に通過させ、そのい
くらかを前方検出器で検出することを特徴とする、請求
の範囲第４項に記載の方法。
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|---|---|
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ID=25672303
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| AU (1) | AU612205B2 (ja) |
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| DE (1) | DE3875069T2 (ja) |
| DK (1) | DK174059B1 (ja) |
| ES (1) | ES2035318T3 (ja) |
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| GB (2) | GB8726304D0 (ja) |
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| NO (1) | NO301671B1 (ja) |
| NZ (1) | NZ226895A (ja) |
| PT (1) | PT88980B (ja) |
| WO (1) | WO1989004471A1 (ja) |
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