JP2850727B2 - 光記録媒体 - Google Patents
光記録媒体Info
- Publication number
- JP2850727B2 JP2850727B2 JP5298183A JP29818393A JP2850727B2 JP 2850727 B2 JP2850727 B2 JP 2850727B2 JP 5298183 A JP5298183 A JP 5298183A JP 29818393 A JP29818393 A JP 29818393A JP 2850727 B2 JP2850727 B2 JP 2850727B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- recording
- protective layer
- layer
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光により記録を行
うライトワンス型光記録媒体に係り、記録層表面の腐食
が少なく、信頼性の高い光記録媒体に関するものであ
る。
うライトワンス型光記録媒体に係り、記録層表面の腐食
が少なく、信頼性の高い光記録媒体に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】光記録媒体の一種として、レーザー光の
熱により記録層に穴を開けて情報の記録を行うライトワ
ンス型記録媒体がある。記録層の材料としては、一般に
TeSe系の合金が用いられる。Teは低融点金属であ
り、SeはTeの酸化防止の役割を果たす。さらに基板
と記録層の間に下地層としてフルオロカーボン膜が用い
られる場合がある。フルオロカーボン膜は、基板と記録
層の密着力を弱め、媒体の記録感度を向上させる働きが
ある。
熱により記録層に穴を開けて情報の記録を行うライトワ
ンス型記録媒体がある。記録層の材料としては、一般に
TeSe系の合金が用いられる。Teは低融点金属であ
り、SeはTeの酸化防止の役割を果たす。さらに基板
と記録層の間に下地層としてフルオロカーボン膜が用い
られる場合がある。フルオロカーボン膜は、基板と記録
層の密着力を弱め、媒体の記録感度を向上させる働きが
ある。
【0003】フルオロカーボン膜の形成手段として、六
フッ化プロピレンガスをプラズマ重合させる方法があ
る。下地層および記録層が形成された基板は、膜形成面
どうしを対向させて、空気の層を介して貼合せられる
(エア・サンドイッチ方式)。ライトワンス型媒体の場
合は、レーザの熱で記録層を溶かすという性質上、直接
貼合せるわけにはいかず、このような貼合せ方法が採用
されている。
フッ化プロピレンガスをプラズマ重合させる方法があ
る。下地層および記録層が形成された基板は、膜形成面
どうしを対向させて、空気の層を介して貼合せられる
(エア・サンドイッチ方式)。ライトワンス型媒体の場
合は、レーザの熱で記録層を溶かすという性質上、直接
貼合せるわけにはいかず、このような貼合せ方法が採用
されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】記録層が空気を介して
貼合せられている場合、当然のことながら空気中の酸
素、水分による記録層の酸化が起こる。記録層中のSe
は酸化防止のために添加されているわけであるが、これ
も金属であり、長時間経過による酸化は免れない。記録
層が酸化されると、反射率等の光学特性の変化、記録ピ
ット形状の悪化等の経時劣化を招く。これにより記録、
再生特性が悪化し、媒体の信頼性が低下する。
貼合せられている場合、当然のことながら空気中の酸
素、水分による記録層の酸化が起こる。記録層中のSe
は酸化防止のために添加されているわけであるが、これ
も金属であり、長時間経過による酸化は免れない。記録
層が酸化されると、反射率等の光学特性の変化、記録ピ
ット形状の悪化等の経時劣化を招く。これにより記録、
再生特性が悪化し、媒体の信頼性が低下する。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の問題
を解決すべく鋭意検討を行った結果、記録層上にテトラ
フルオロエチレンのスパッタ膜、あるいは六フッ化プロ
ピレンの重合膜を、10nm以下の膜厚で形成すること
により、経時劣化の少ないライトワンス型光記録媒体が
得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。
以下、本発明の内容につき詳細に説明する。ライトワン
ス型に限らず、一般に光記録媒体は長期間の保存安定性
が要求されており、10年以上経過しても酸化されない
ような耐候性が要求される。
を解決すべく鋭意検討を行った結果、記録層上にテトラ
フルオロエチレンのスパッタ膜、あるいは六フッ化プロ
ピレンの重合膜を、10nm以下の膜厚で形成すること
により、経時劣化の少ないライトワンス型光記録媒体が
得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。
以下、本発明の内容につき詳細に説明する。ライトワン
ス型に限らず、一般に光記録媒体は長期間の保存安定性
が要求されており、10年以上経過しても酸化されない
ような耐候性が要求される。
【0006】光磁気記録媒体の場合、記録層である希土
類−遷移金属膜を酸化膜、窒化膜、等の保護膜で挟んだ
構造にすることにより、記録層の酸化を防止している。
しかしながらライトワンス型の場合は記録層を熱で溶か
すという性質上、融点の高い保護膜で覆うことができ
ず、通常は記録層むき出しのままで使用されることが多
い。これによりライトワンス型記録媒体は、光磁気記録
媒体等と比較して長期保存安定性に劣るという欠点があ
った。
類−遷移金属膜を酸化膜、窒化膜、等の保護膜で挟んだ
構造にすることにより、記録層の酸化を防止している。
しかしながらライトワンス型の場合は記録層を熱で溶か
すという性質上、融点の高い保護膜で覆うことができ
ず、通常は記録層むき出しのままで使用されることが多
い。これによりライトワンス型記録媒体は、光磁気記録
媒体等と比較して長期保存安定性に劣るという欠点があ
った。
【0007】本発明者らは記録層上に、下地層と同一の
材料を比較的薄い膜厚で形成することにより、記録媒体
本来の記録再生特性を変化させることなしに長期保存安
定性を確保できることを見出した。下地層の材料として
は、フルオロカーボン膜が使用されることが多く、これ
はテトラフルオロエチレンのスパッタリングや六フッ化
プロピレンのプラズマ重合により形成される。下地層の
目的は記録層と基板との密着力を弱めることであるが、
この密着力が弱すぎると、記録ピットの形成は容易にな
るものの、記録レーザパワー依存性の増大による分解能
の低下および連続再生時の膜の剥離を招く。
材料を比較的薄い膜厚で形成することにより、記録媒体
本来の記録再生特性を変化させることなしに長期保存安
定性を確保できることを見出した。下地層の材料として
は、フルオロカーボン膜が使用されることが多く、これ
はテトラフルオロエチレンのスパッタリングや六フッ化
プロピレンのプラズマ重合により形成される。下地層の
目的は記録層と基板との密着力を弱めることであるが、
この密着力が弱すぎると、記録ピットの形成は容易にな
るものの、記録レーザパワー依存性の増大による分解能
の低下および連続再生時の膜の剥離を招く。
【0008】この意味で、フルオロカーボン下地層とし
ては、比較的密着力の強い六フッ化プロピレンのプラズ
マ重合膜が適当である。記録層としてはTeSe系合金
のスパッタ膜を使用する。これはライトワンス型光記録
媒体の記録層として最も一般的なものである。勿論Te
Seに他の成分を加えた合金であっても良い。保護層と
して、下地層と同じフルオロカーボン膜を使用する。こ
ちらは保護効果のみが求められるので、テトラフルオロ
エチレンのスパッタ膜および六フッ化プロピレンのプラ
ズマ重合膜の両方が使用可能である。
ては、比較的密着力の強い六フッ化プロピレンのプラズ
マ重合膜が適当である。記録層としてはTeSe系合金
のスパッタ膜を使用する。これはライトワンス型光記録
媒体の記録層として最も一般的なものである。勿論Te
Seに他の成分を加えた合金であっても良い。保護層と
して、下地層と同じフルオロカーボン膜を使用する。こ
ちらは保護効果のみが求められるので、テトラフルオロ
エチレンのスパッタ膜および六フッ化プロピレンのプラ
ズマ重合膜の両方が使用可能である。
【0009】記録層上に保護層を設けた場合、ピット記
録の際には当然保護層も溶解されることになる。保護層
が比較的厚い場合にはこれを溶解するための熱が必要で
あり、それにより記録特性が変化する。そこで保護層の
膜厚は、記録特性の変化が無視できるほど小さく、かつ
記録層の保護効果があるという条件を満たす膜厚でなけ
ればならない。この条件を満たすフルオロカーボン膜厚
の範囲としては、2nm以上5nm以下が望ましい。
録の際には当然保護層も溶解されることになる。保護層
が比較的厚い場合にはこれを溶解するための熱が必要で
あり、それにより記録特性が変化する。そこで保護層の
膜厚は、記録特性の変化が無視できるほど小さく、かつ
記録層の保護効果があるという条件を満たす膜厚でなけ
ればならない。この条件を満たすフルオロカーボン膜厚
の範囲としては、2nm以上5nm以下が望ましい。
【0010】スパッタによる保護膜は、ターゲットとし
てPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)を使用し、
これをアルゴン雰囲気中で高周波スパッタすることによ
り得られる。プラズマ重合による保護膜は、六フッ化プ
ロピレン雰囲気中で高周波プラズマを発生させることに
より得られる。光記録媒体の評価方法としては、一般に
C/N(キャリア、ノイズ比)が用いられる。記録パワ
ーを変化させたときのC/Nを測定することにより、媒
体の感度が評価される。
てPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)を使用し、
これをアルゴン雰囲気中で高周波スパッタすることによ
り得られる。プラズマ重合による保護膜は、六フッ化プ
ロピレン雰囲気中で高周波プラズマを発生させることに
より得られる。光記録媒体の評価方法としては、一般に
C/N(キャリア、ノイズ比)が用いられる。記録パワ
ーを変化させたときのC/Nを測定することにより、媒
体の感度が評価される。
【0011】耐候性の評価方法としては、加速試験(高
温高湿雰囲気中における特性劣化)が一般的である。加
速試験前後の、C/Nの変化を見ることにより、耐候性
が評価される。本発明の層構成を採用した光記録媒体
を、同じ構成でフルオロカーボン保護層のないものと比
較すると、まず加速前のC/Nの値においては有意差が
ない。これは、フルオロカーボン保護膜形成による記録
特性の変化がないことを示している。さらに加速試験を
実施した後に両者を比較すると、保護層のないものでは
C/Nの劣化が見られるが、保護層のあるものについて
は劣化が少ない。これは、フルオロカーボン保護層が媒
体の耐候性を向上させたことを示している。
温高湿雰囲気中における特性劣化)が一般的である。加
速試験前後の、C/Nの変化を見ることにより、耐候性
が評価される。本発明の層構成を採用した光記録媒体
を、同じ構成でフルオロカーボン保護層のないものと比
較すると、まず加速前のC/Nの値においては有意差が
ない。これは、フルオロカーボン保護膜形成による記録
特性の変化がないことを示している。さらに加速試験を
実施した後に両者を比較すると、保護層のないものでは
C/Nの劣化が見られるが、保護層のあるものについて
は劣化が少ない。これは、フルオロカーボン保護層が媒
体の耐候性を向上させたことを示している。
【0012】
【実施例】以下に実施例をもって本発明をさらに説明す
るが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実施例に
限定されるものではない。 実施例1 基板は光ディスク用ポリカーボネート基板を使用した。
前処理として、基板中の水分を除去するために、80℃
のオーブン中で3時間加熱した。続いて10-5Torr
の減圧槽内で1時間排気した後、減圧状態を保ったまま
膜形成を行った。まず真空槽内に六フッ化プロピレン・
ガスを5×10-3Torrまで導入し、ステンレスのタ
ーゲットを装着したスパッタリングカソードに、300
Wの高周波電力を印加し、基板上に30nmのフルオロ
カーボン下地層を形成した。続いて真空槽内にアルゴン
・ガスを5×10-3Torrまで導入し、TeSe合金
ターゲットを装着したスパッタリングカソードに、30
0Wの高周波電力を印加し、基板上に25nmのTeS
e記録層を形成した。最後に再び真空槽内に六フッ化プ
ロピレン・ガスを5×10-3Torrまで導入し、ステ
ンレスのターゲットを装着したスパッタリングカソード
に、100Wの高周波電力を印加し、基板上にフルオロ
カーボン保護層を形成した。
るが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実施例に
限定されるものではない。 実施例1 基板は光ディスク用ポリカーボネート基板を使用した。
前処理として、基板中の水分を除去するために、80℃
のオーブン中で3時間加熱した。続いて10-5Torr
の減圧槽内で1時間排気した後、減圧状態を保ったまま
膜形成を行った。まず真空槽内に六フッ化プロピレン・
ガスを5×10-3Torrまで導入し、ステンレスのタ
ーゲットを装着したスパッタリングカソードに、300
Wの高周波電力を印加し、基板上に30nmのフルオロ
カーボン下地層を形成した。続いて真空槽内にアルゴン
・ガスを5×10-3Torrまで導入し、TeSe合金
ターゲットを装着したスパッタリングカソードに、30
0Wの高周波電力を印加し、基板上に25nmのTeS
e記録層を形成した。最後に再び真空槽内に六フッ化プ
ロピレン・ガスを5×10-3Torrまで導入し、ステ
ンレスのターゲットを装着したスパッタリングカソード
に、100Wの高周波電力を印加し、基板上にフルオロ
カーボン保護層を形成した。
【0013】膜厚は、2.5nm、5nmの2種類のも
のを作成した。また比較のため保護層のないもの、つま
りTeSe系記録層むき出しのものも用意した。膜形成
後の基板は、記録層を結晶化させるために90℃のオー
ブン中で1時間加熱した。その後、基板内周、外周部に
スペーサーを設置した上で、層形成面を対向させて2枚
の基板を貼合せた(エア・サンドイッチ構造)。さらに
ディスク内周部にハブを接着し、ドライブ評価が可能な
形にした。こうして作成したディスクについて、C/N
の記録パワー(write power)依存性を測定
した。そして、各ディスクを80℃、80RH%という
条件で500時間加速した後、同じ測定を行った。測定
に際しては、加速前に記録した信号を再生したのではな
く、加速後に新たに信号を記録してそれを再生した。こ
の方が条件としてはより厳しくなる。
のを作成した。また比較のため保護層のないもの、つま
りTeSe系記録層むき出しのものも用意した。膜形成
後の基板は、記録層を結晶化させるために90℃のオー
ブン中で1時間加熱した。その後、基板内周、外周部に
スペーサーを設置した上で、層形成面を対向させて2枚
の基板を貼合せた(エア・サンドイッチ構造)。さらに
ディスク内周部にハブを接着し、ドライブ評価が可能な
形にした。こうして作成したディスクについて、C/N
の記録パワー(write power)依存性を測定
した。そして、各ディスクを80℃、80RH%という
条件で500時間加速した後、同じ測定を行った。測定
に際しては、加速前に記録した信号を再生したのではな
く、加速後に新たに信号を記録してそれを再生した。こ
の方が条件としてはより厳しくなる。
【0014】図1(保護層2.5nm)、図2(保護層
5nm)、図3(保護層なし)に、各ディスクについて
の、加速前後C/N値の変化を示した。図1より、保護
層厚さ2.5nmのディスク1の記録パワー5mW、6
mW、7mWにおける加速前のC/Nはそれぞれ約52
dB、51dB、50dBであった。そして80℃、8
0RH%で500時間加速した後のC/Nは約51d
B、50dB、49dBであった。ディスク2について
もほぼ同じであった。図2より、保護層厚さ5nmのデ
ィスク1の記録パワー5mW、6mW、7mWにおける
加速前のC/Nはそれぞれ約52dB、52dB、50
dBであった。そして80℃、80RH%で500時間
加速した後のC/Nは約50dB、51dB、50dB
であった。ディスク2についてもほぼ同じであった。図
3より、保護層なしのディスク1の記録パワー5mW、
6mW、7mWにおける加速前のC/Nはそれぞれ約5
1dB、50dB、49dBであった。そして80℃、
80RH%で500時間加速した後のC/Nは約43d
B、46dB、46dBであった。ディスク2について
は、加速前のC/Nはディスク1とほぼ同じであり、加
速後のC/Nは約45dB、47dB、46dBであっ
た。加速前の各ディスクのC/Nを比較すると、保護層
なしのものと保護層2.5nmのものでは特性の差はほ
とんど見られない。保護層5nmのものは他のものと比
較してC/Nの立ち上がりパワーがやや高パワー側にず
れている。これは、保護層の溶解のためにレーザのパワ
ーが消費されていることを示している。しかしながらそ
の差はわずかであり、問題となるレベルではない。
5nm)、図3(保護層なし)に、各ディスクについて
の、加速前後C/N値の変化を示した。図1より、保護
層厚さ2.5nmのディスク1の記録パワー5mW、6
mW、7mWにおける加速前のC/Nはそれぞれ約52
dB、51dB、50dBであった。そして80℃、8
0RH%で500時間加速した後のC/Nは約51d
B、50dB、49dBであった。ディスク2について
もほぼ同じであった。図2より、保護層厚さ5nmのデ
ィスク1の記録パワー5mW、6mW、7mWにおける
加速前のC/Nはそれぞれ約52dB、52dB、50
dBであった。そして80℃、80RH%で500時間
加速した後のC/Nは約50dB、51dB、50dB
であった。ディスク2についてもほぼ同じであった。図
3より、保護層なしのディスク1の記録パワー5mW、
6mW、7mWにおける加速前のC/Nはそれぞれ約5
1dB、50dB、49dBであった。そして80℃、
80RH%で500時間加速した後のC/Nは約43d
B、46dB、46dBであった。ディスク2について
は、加速前のC/Nはディスク1とほぼ同じであり、加
速後のC/Nは約45dB、47dB、46dBであっ
た。加速前の各ディスクのC/Nを比較すると、保護層
なしのものと保護層2.5nmのものでは特性の差はほ
とんど見られない。保護層5nmのものは他のものと比
較してC/Nの立ち上がりパワーがやや高パワー側にず
れている。これは、保護層の溶解のためにレーザのパワ
ーが消費されていることを示している。しかしながらそ
の差はわずかであり、問題となるレベルではない。
【0015】以上より、5nm以下の保護層形成による
特性の変化は無視できるほど小さいことがわかる。保護
層としてポリテトラフルオロエチレンをターゲットと
し、2.5nm、5nmの膜を形成したものも六フッ化
プロピレンのプラズマ重合膜の保護層の場合とほぼ同様
の結果が得られた。加速後の特性では、保護層を形成し
ていないディスクのC/Nの劣化が大きい。保護膜を形
成したディスクでは特性劣化が小さく、保護層により耐
候性が改善されていることがわかる。
特性の変化は無視できるほど小さいことがわかる。保護
層としてポリテトラフルオロエチレンをターゲットと
し、2.5nm、5nmの膜を形成したものも六フッ化
プロピレンのプラズマ重合膜の保護層の場合とほぼ同様
の結果が得られた。加速後の特性では、保護層を形成し
ていないディスクのC/Nの劣化が大きい。保護膜を形
成したディスクでは特性劣化が小さく、保護層により耐
候性が改善されていることがわかる。
【0016】
【発明の効果】本発明の層構成を採用することにより、
耐候性に優れたライトワンス型光記録媒体を提供するこ
とができる。
耐候性に優れたライトワンス型光記録媒体を提供するこ
とができる。
【図1】保護層=2.5nmのディスクの加速試験前後
のC/Nの変化
のC/Nの変化
【図2】保護層=5.0nmのディスクの加速試験前後
のC/Nの変化
のC/Nの変化
【図3】保護層なしのディスクの加速試験前後のC/N
の変化
の変化
1 ディスク1(加速前) 2 ディスク2(加速前) 3 ディスク1(加速後) 4 ディスク2(加速後)
Claims (2)
- 【請求項1】 基板上に、六フッ化プロピレンのプラズ
マ重合膜の下地層、TeSe系合金の記録層、および膜
厚が2nm以上5nm以下の六フッ化プロピレンのプラ
ズマ重合膜の保護層をこの順番で積層してなり、記録パ
ワー5〜7mWの範囲において初期C/Nが50dB以
上あり、80℃、80RH%で500時間おいた後のC
/Nの低下が3dB未満であることを特徴とするライト
ワンス型光記録媒体。 - 【請求項2】 基板上に、六フッ化プロピレンのプラズ
マ重合膜の下地層、TeSe系合金の記録層、および膜
厚が2nm以上5nm以下のテトラフルオロエチレンの
スパッタ膜の保護層をこの順番で積層してなり、記録パ
ワー5〜7mWの範囲において初期C/Nが50dB以
上あり、80℃、80RH%で500時間おいた後のC
/Nの低下が3dB未満であることを特徴とするライト
ワンス型光記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5298183A JP2850727B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 光記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5298183A JP2850727B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 光記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07153118A JPH07153118A (ja) | 1995-06-16 |
JP2850727B2 true JP2850727B2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=17856296
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5298183A Expired - Fee Related JP2850727B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 光記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2850727B2 (ja) |
-
1993
- 1993-11-29 JP JP5298183A patent/JP2850727B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07153118A (ja) | 1995-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2401389C (en) | Optical recording medium | |
US4725482A (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
JP2850727B2 (ja) | 光記録媒体 | |
US5292592A (en) | Optical information recording medium in which a protective layer comprises a Ni-Cr alloy layer | |
JP2000067466A (ja) | 光記録媒体およびその製造方法 | |
WO1989006037A1 (en) | Data recording medium | |
JPS62281139A (ja) | 光磁気デイスク | |
JP2507592B2 (ja) | 光記録媒体 | |
JP2555113B2 (ja) | 光学的磁気記録媒体の製造法 | |
JPS6316439A (ja) | 光学的磁気記録媒体の製造法 | |
JPS63176185A (ja) | 情報記録材料 | |
JP3205921B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
EP0484945A2 (en) | Magneto-optical recording medium | |
JPH0636363A (ja) | 光ディスクの成膜方法および成膜装置 | |
JPH03273543A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPS63291234A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPH045080A (ja) | 光記録媒体 | |
JPH07105578A (ja) | 光ディスクの成膜方法および成膜装置 | |
JPH02106389A (ja) | 光学記録媒体 | |
JPH0877601A (ja) | 光ディスク及びその製造方法 | |
JPH09128828A (ja) | 光磁気記録素子 | |
JPH04324144A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPH04286741A (ja) | 平板状情報記録担持体 | |
JPH07334881A (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH02158936A (ja) | 情報記録媒体の製造法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081113 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081113 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091113 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101113 Year of fee payment: 12 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |