JP2846887B2 - Transparent conductive laminate - Google Patents

Transparent conductive laminate

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JP2846887B2
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は透明なフイルム基材の一方の面に透明な導
電性薄膜とさらにこの上に透明な誘電体薄膜を形成し、
他方の面に透明な粘着剤層を介して透明基体を貼り合わ
せてなる透明導電性積層体に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention forms a transparent conductive thin film on one surface of a transparent film substrate and a transparent dielectric thin film thereon further,
The present invention relates to a transparent conductive laminate obtained by bonding a transparent substrate to the other surface via a transparent pressure-sensitive adhesive layer.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

一般に、可視光線領域で透明であり、かつ導電性を有
する薄膜は、液晶デイスプレイ、エレクトロルミネツセ
ンスデイスプレイなどの新しいデイスプレイ方式やタツ
チパネルなどにおける透明電極のほか、透明物品の帯電
防止や電磁波遮断などのために用いられている。
In general, thin films that are transparent in the visible light region and have electrical conductivity are used in new displays such as liquid crystal displays and electroluminescence displays, as well as in transparent electrodes in touch panels, etc. Used for

従来、このような透明導電性薄膜として、ガラス上に
酸化インジウム薄膜を形成した、いわゆる導電性ガラス
がよく知られているが、基材がガラスであるために、可
撓性,加工性に劣り、用途によつては好ましくない場合
がある。
Conventionally, as such a transparent conductive thin film, a so-called conductive glass in which an indium oxide thin film is formed on glass is well known. However, since the base material is glass, flexibility and workability are poor. However, it may not be preferable depending on the use.

このため、近年では、可撓性,加工性に加えて、耐衝
撃性にすぐれ、軽量であるなどの利点から、ポリエチレ
ンテレフタレートフイルムをはじめとする各種のプラス
チツクフイルムを基材とした透明導電性薄膜が賞用され
ている。
For this reason, in recent years, in addition to flexibility and workability, it has excellent impact resistance and is lightweight, so that it has advantages such as polyethylene terephthalate film and various kinds of plastic films as base materials. Has been awarded.

〔発明が解決しようとする課題〕 しかるに、このようなフイルム基材を用いた従来の透
明導電性薄膜は、薄膜表面の光線反射率が大きいため
に、透明性に劣るという問題があるほか、耐擦傷性に劣
り、使用中に傷がついて電気抵抗が増大したり、断線を
生じるといつた問題があつた。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the conventional transparent conductive thin film using such a film substrate has a problem that the transparency is inferior because the light reflectance of the thin film surface is large, The abrasion resistance was poor, and there was a problem that the electrical resistance increased due to scratches during use, or the disconnection occurred.

また、特にタツチパネル用の導電性薄膜では、スペー
サを介して対向させた一対の薄膜同志がその一方の基材
側からの押圧打点で強く接触するものであるため、これ
に抗しうる良好な耐久特性つまり打点特性を有している
ことが望まれるが、上記従来の透明導電性薄膜ではかか
る特性に劣り、そのぶんタツチパネルとしての寿命が短
くなるという問題があつた。
In particular, in the case of a conductive thin film for a touch panel, a pair of thin films opposed to each other via a spacer come into strong contact at a pressing point from one of the base material sides. It is desired that the transparent conductive thin film has characteristics, that is, hitting characteristics. However, the above-described conventional transparent conductive thin film is inferior in such characteristics, and there is a problem that the life of the touch panel is shortened.

この発明は、上記従来の問題点に鑑み、ポリエチレン
テレフタレートフイルムなどのフイルム基材を用いた透
明導電性薄膜の透明性、耐擦傷性および打点特性を改良
することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is to improve the transparency, abrasion resistance and hitting characteristics of a transparent conductive thin film using a film base such as a polyethylene terephthalate film.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

この発明者らは、上記の目的を達成するために鋭意検
討した結果、フイルム基材として特定膜厚のものを用い
てその一方の面に透明な導電性薄膜と透明な誘電体薄膜
とを順次形成する一方、他方の面に透明な粘着剤層を介
して別の透明基体を貼り合わせることにより、透明性、
耐擦傷性および打点特性を大きく改良できるものである
ことを知り、この発明を完成するに至つた。
The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, using a film base having a specific film thickness, sequentially forming a transparent conductive thin film and a transparent dielectric thin film on one surface thereof. While forming, by attaching another transparent substrate to the other surface via a transparent adhesive layer, transparency,
The inventors have found that the present invention can greatly improve the scratch resistance and the hitting point characteristics, and have completed the present invention.

すなわち、この発明は、厚さが2〜120μmの透明な
フイルム基材の一方の面に透明な導電性薄膜とさらにこ
の上に透明な誘電体薄膜を形成し、他方の面に弾性係数
が1×105〜1×107dyn/cm2、厚さが1μm以上である
透明な粘着剤層を介して透明基体を貼り合わせてなる透
明導電性積層体に係るものである。
That is, according to the present invention, a transparent conductive thin film is formed on one surface of a transparent film base material having a thickness of 2 to 120 μm and a transparent dielectric thin film is further formed thereon, and an elastic coefficient of 1 is formed on the other surface. The present invention relates to a transparent conductive laminate in which a transparent substrate is bonded via a transparent pressure-sensitive adhesive layer having a thickness of × 10 5 to 1 × 10 7 dyn / cm 2 and a thickness of 1 μm or more.

〔発明の構成・作用〕[Structure and operation of the invention]

この発明において使用するフイルム基材としては、透
明性を有する各種のプラスチツクフイルムを使用でき、
具体的にはポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、
ポリエーテルサルフオン、ポリエーテルエーテルケト
ン、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリアミド、
ポリアクリル、セルロースプロピオネートなどが挙げら
れる。 これらフイルム基材の厚みは、2〜120μmの
範囲にあることが必要で、特に好適には6〜100μmの
範囲にあるのがよい。2μm未満では基材としての機械
的強度が不足し、この基材をロール状にして導電性薄膜
や誘電体薄膜さらには接着剤層を連続的に形成する操作
が難しくなる。一方、120μmを超えると、後述する粘
着剤層のクツシヨン効果に基づく耐擦傷性や打点特性の
向上を図れなくなる。
Various plastic films having transparency can be used as the film substrate used in the present invention,
Specifically, polyethylene terephthalate, polyimide,
Polyethersulfone, polyetheretherketone, polycarbonate, polypropylene, polyamide,
Examples include polyacryl and cellulose propionate. The thickness of these film base materials needs to be in the range of 2 to 120 μm, and particularly preferably in the range of 6 to 100 μm. If the thickness is less than 2 μm, the mechanical strength of the base material is insufficient, and it is difficult to continuously form a conductive thin film, a dielectric thin film, and an adhesive layer by forming the base material into a roll. On the other hand, if it exceeds 120 μm, it will not be possible to improve the abrasion resistance and hitting point characteristics based on the cushioning effect of the pressure-sensitive adhesive layer described later.

このフイルム基材はその表面に予めスパツタリング、
コロナ放電、火炎、紫外線照射、電子線照射、化成、酸
化などのエツチング処理や下塗り処理を施して、この上
に設けられる導電性薄膜の上記基材に対する密着性を向
上させるようにしてもよい。また、導電性薄膜を設ける
前に、必要に応じて溶剤洗浄や超音波洗浄などにより除
塵,清浄化してもよい。
This film substrate is pre-sputtered on its surface,
An etching treatment such as corona discharge, flame, ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, chemical conversion, oxidation or the like, or an undercoating treatment may be applied to improve the adhesion of the conductive thin film provided thereon to the base material. Before providing the conductive thin film, dust removal and cleaning may be performed by solvent cleaning or ultrasonic cleaning as necessary.

この発明においては、このようなフイルム基材の一方
の面に透明な導電性薄膜を形成する。導電性薄膜の形成
方法としては、真空蒸着法、スパツタリング法、イオン
プレーテイング法などの従来公知の技術をいずれも採用
できる。用いる薄膜材料も特に制限されるものではな
く、たとえば酸化スズを含有する酸化インジウム、アン
チモンを含有する酸化スズなどが好ましく用いられる。
In the present invention, a transparent conductive thin film is formed on one surface of such a film substrate. As a method for forming the conductive thin film, any of conventionally known techniques such as a vacuum deposition method, a sputtering method, and an ion plating method can be adopted. The thin film material to be used is not particularly limited. For example, indium oxide containing tin oxide, tin oxide containing antimony, and the like are preferably used.

導電性薄膜の厚さとしては、50Å以上とするのが好ま
しく、これより薄いと表面抵抗が103Ω/□以下となる
良好な導電性を有する連続被膜となりにくい。また、あ
まり厚くしすぎると透明性の低下などをきたすため、特
に好適な厚さとしては、100〜2,000Å程度とするのがよ
い。
The thickness of the conductive thin film is preferably 50 ° or more, and if it is thinner, it is difficult to form a continuous film having good conductivity with a surface resistance of 10 3 Ω / □ or less. Further, if the thickness is too large, the transparency is lowered. Therefore, a particularly preferable thickness is preferably about 100 to 2,000 mm.

この発明においては、上記の如く透明な導電性薄膜を
形成したのち、さらにこの薄膜上に透明な誘電体薄膜を
形成する。この誘電体薄膜の形成により、主に透明性お
よび耐擦傷性が大幅に向上するとともに、打点特性の改
善も図られる。この観点から、導電性薄膜の屈折率より
小さいもの、通常1.3〜2.0、好ましくは1.3〜1.6の屈折
率を有するものがよく、たとえばCaF2、MgF2、NaAlF6
Al2O3、SiOx(1≦x≦2)、ThF4などが好ましく、こ
の中でもSiOx(1≦x≦2)が最も好適である。なお、
これらの材料は一種に限らず、二種以上を併用してもよ
い。
In the present invention, after forming a transparent conductive thin film as described above, a transparent dielectric thin film is further formed on this thin film. By the formation of this dielectric thin film, mainly the transparency and the scratch resistance are greatly improved, and the dot characteristics are also improved. From this viewpoint, those having a refractive index smaller than the refractive index of the conductive thin film, usually from 1.3 to 2.0, preferably from 1.3 to 1.6 are good, for example, CaF 2 , MgF 2 , NaAlF 6 ,
Al 2 O 3 , SiOx (1 ≦ x ≦ 2), ThF 4 and the like are preferable, and among them, SiOx (1 ≦ x ≦ 2) is most preferable. In addition,
These materials are not limited to one kind, and two or more kinds may be used in combination.

誘電体薄膜の厚さとしては、100Å以上とするのがよ
く、通常では100〜3,000Å、特に好適には200〜1,500Å
の範囲とするのがよい。100Å未満では連続被膜となり
にくく、透明性や耐擦傷性の向上をあまり期待できな
い。また、厚くなりすぎると膜表面の導電性や透明性が
悪くなつたり、クラツクを生じるおそれがあり、やはり
好ましくない。
The thickness of the dielectric thin film is preferably 100 mm or more, usually 100 to 3,000 mm, particularly preferably 200 to 1,500 mm.
It is good to be in the range of. If it is less than 100 mm, it is difficult to form a continuous film, and the improvement in transparency and scratch resistance cannot be expected much. On the other hand, if the thickness is too large, the conductivity and transparency of the film surface may be degraded or cracks may occur, which is also not preferable.

誘電体の形成方法としては、たとえば真空蒸着法、ス
パツタリング法、イオンプレーテイング法、塗工法など
があり、上記の材料の種類および必要とする膜厚に応じ
て適宜の方法を採用することができる。
Examples of the method for forming the dielectric include a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, and a coating method. An appropriate method can be employed depending on the type of the above-described material and the required film thickness. .

このような透明な導電性薄膜と透明な誘電体薄膜とが
順次形成されたフイルム基材の他方の面には、透明な粘
着剤層を介して透明基体が貼り合わされる。この貼り合
わせは、透明基体の方に上記の粘着剤層を設けておき、
これに上記のフイルム基材を貼り合わせるようにしても
よいし、逆にフイルム基材の方に上記の粘着剤層を設け
ておき、これに透明基体を貼り合わせるようにしてもよ
い。後者の方法では、粘着剤層の形成をフイルム基材を
ロール状にして連続的に行うことができるから、生産性
の面でより有利である。
A transparent substrate is attached to the other surface of the film substrate on which such a transparent conductive thin film and a transparent dielectric thin film are sequentially formed via a transparent adhesive layer. For this bonding, the pressure-sensitive adhesive layer is provided on the transparent substrate,
The above-mentioned film substrate may be bonded to this, or conversely, the above-mentioned pressure-sensitive adhesive layer may be provided on the film substrate, and the transparent substrate may be bonded to this. The latter method is more advantageous in terms of productivity because the pressure-sensitive adhesive layer can be formed continuously by making the film base into a roll.

粘着剤層としては、透明性を有するものであれば特に
制限なく使用でき、たとえばアクリル系粘着剤、シリコ
ーン系粘着剤、ゴム系粘着剤などが用いられる。この粘
着剤層は、透明基体の接着後そのクツシヨン効果により
フイルム基材の一方の面に設けられた導電性薄膜の耐擦
傷性および打点特性を向上させる機能を有するものであ
り、主としてこの機能をより良く発揮させる観点から、
その弾性係数を1×105〜1×107dyn/cm2の範囲、厚さ
を1μm以上、通常5〜100μmの範囲に設定するのが
望ましい。
The pressure-sensitive adhesive layer can be used without any particular limitation as long as it has transparency. For example, an acrylic pressure-sensitive adhesive, a silicone-based pressure-sensitive adhesive, a rubber-based pressure-sensitive adhesive, or the like is used. The pressure-sensitive adhesive layer has a function of improving the abrasion resistance and hitting characteristics of the conductive thin film provided on one surface of the film substrate by the cushioning effect after the adhesion of the transparent substrate. From the point of view of better performance,
It is desirable to set the elastic modulus in the range of 1 × 10 5 to 1 × 10 7 dyn / cm 2 and the thickness in the range of 1 μm or more, usually 5 to 100 μm.

上記の弾性係数が1×105dyn/cm2未満となると、粘着
剤層は非弾性となるため、加圧により容易に変形してフ
イルム基材ひいては導電性薄膜に凹凸を生じさせ、また
加工切断面からの粘着剤のはみ出しなどが生じやすくな
り、そのうえ耐擦傷性および打点特性の向上効果が低減
する。一方、弾性係数が1×107dyn/cm2を超えると、粘
着剤層が硬くなり、そのクツシヨン効果を期待できなく
なるため、耐擦傷性および打点特性を向上できない。
When the above elastic coefficient is less than 1 × 10 5 dyn / cm 2 , the pressure-sensitive adhesive layer becomes inelastic, so that it is easily deformed by pressurization to cause irregularities in the film base material and, consequently, the conductive thin film. The adhesive tends to protrude from the cut surface, and the effect of improving the scratch resistance and the hitting point characteristics is reduced. On the other hand, if the elastic modulus exceeds 1 × 10 7 dyn / cm 2 , the pressure-sensitive adhesive layer becomes hard and the cushioning effect cannot be expected, so that the abrasion resistance and hitting point characteristics cannot be improved.

また、粘着剤層の厚さが1μm未満となると、そのク
ツシヨン効果をやはり期待できないため、耐擦傷性およ
び打点特性の向上を望めなくなる。なお、厚くしすぎる
と、透明性を損なつたり、粘着剤層の形成や透明基体の
貼り合わせ作業性さらにコストの面で好結果を得にく
い。
When the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is less than 1 μm, the cushioning effect cannot be expected, so that it is impossible to improve the scratch resistance and the hitting point characteristics. If the thickness is too large, transparency is impaired, and it is difficult to obtain good results in terms of workability of forming an adhesive layer, bonding a transparent substrate, and cost.

このような粘着剤層を介して貼り合わされる透明基体
は、フイルム基材に対して良好な機械的強度を付与し、
特にカールなどの発生防止に寄与するものであり、これ
を貼り合わせたのちにおいても可撓性であることが要求
される場合は、通常6〜300μm程度のプラスチツクフ
イルムが、可撓性が特に要求されない場合は、通常0.05
〜1mm程度のガラス板やフイルム状ないし板状のプラス
チツクが、それぞれ用いられる。プラスチツクの材質と
しては、前記したフイルム基材と同様のものが挙げられ
る。
The transparent substrate bonded via such an adhesive layer imparts good mechanical strength to the film substrate,
In particular, it contributes to the prevention of curl and the like, and when it is required to be flexible even after lamination, a plastic film of about 6 to 300 μm is usually required. If not, usually 0.05
A glass plate having a thickness of about 1 mm or a plastic film or plate is used. Examples of the material of the plastic include those similar to the above-mentioned film substrate.

また、必要に応じて、上記透明基体の外表面(粘着剤
層とは反対側の面)上に、視認性の向上を目的とした防
眩処理層や反射防止処理層を設けたり、外表面の保護を
目的としたハードコート層を設けるようにしてもよい。
If necessary, an anti-glare treatment layer or an anti-reflection treatment layer for improving visibility may be provided on the outer surface of the transparent substrate (the surface opposite to the pressure-sensitive adhesive layer). May be provided with a hard coat layer for the purpose of protection.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上のように、この発明においては、透明なフイルム
基材として特定厚みのものを用いて、その一方の面に透
明な導電性薄膜とさらにこの上に透明な誘電体薄膜を形
成する一方、他方の面に透明な粘着剤層を介して透明基
体を貼り合わせる構成としたことにより、上記粘着剤層
のクツシヨン効果および誘電体薄膜の保護効果に基づい
て耐擦傷性と打点特性とが改良され、また誘電体薄膜の
反射防止効果により透明性が大きく改良された透明導電
性積層体を提供することができる。
As described above, in the present invention, a transparent film base having a specific thickness is used, and a transparent conductive thin film is formed on one surface thereof and a transparent dielectric thin film is further formed thereon, while the other is formed. With a configuration in which a transparent substrate is adhered to the surface of the substrate via a transparent pressure-sensitive adhesive layer, the abrasion resistance and hitting characteristics are improved based on the cushioning effect of the pressure-sensitive adhesive layer and the protective effect of the dielectric thin film, Further, it is possible to provide a transparent conductive laminate whose transparency is greatly improved by an antireflection effect of the dielectric thin film.

〔実施例〕〔Example〕

以下に、この発明の実施例を記載してより具体的に説
明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail.

実施例1 厚さが12μmのPET(ポリエチレンテレフタレート)
フイルムからなるフイルム基材の一方の面に、アルゴン
ガス80%と酸素ガス20%とからなる4×10-3Torrの雰囲
気中で、インジウム−スズ合金を用いた反応性スパツタ
リング法により、厚さ400Åの酸化インジウムと酸化ス
ズとの複合酸化物からなる透明な導電性薄膜(以下、IT
O薄膜という)を形成した。
Example 1 PET (polyethylene terephthalate) having a thickness of 12 μm
On one surface of a film substrate made of a film, a thickness is formed by a reactive sputtering method using an indium-tin alloy in an atmosphere of 4 × 10 −3 Torr containing 80% of argon gas and 20% of oxygen gas. A transparent conductive thin film (hereinafter referred to as IT) consisting of a composite oxide of 400 mm2 indium oxide and tin oxide
O film).

つぎに、上記のITO薄膜上に、SiO2を電子ビーム加熱
法により、(1〜2)×10-4Torrの真空度で真空蒸着し
て、厚さ約400ÅのSiO2からなる透明な誘電体薄膜(以
下、SiO2薄膜という)を形成した。
Next, on the above-mentioned ITO film by a SiO 2 electron-beam heating method, (1-2) was vacuum deposited at × 10 -4 Torr in vacuum, transparent dielectric made of SiO 2 having a thickness of about 400Å A body thin film (hereinafter, referred to as a SiO 2 thin film) was formed.

ついで、上記PETフイルムの他方の面に、弾性係数が
1×106dyn/cm2に調整されたアクリル系の透明な粘着剤
層(アクリル酸ブチルとアクリル酸と酢酸ビニルとの重
量比100:2:5のアクリル系共重合体100重量部にイソシア
ネート系架橋剤を1重量部配合させてなるもの)を約20
μmの厚さに形成し、この上に厚さが75μmのPETフイ
ルムからなる透明基体を貼り合わせて、図に示す構造の
この発明の透明導電性積層フイルムを作製した。
Then, on the other surface of the PET film, an acrylic transparent pressure-sensitive adhesive layer (elastic coefficient adjusted to 1 × 10 6 dyn / cm 2 ) (weight ratio of butyl acrylate, acrylic acid and vinyl acetate of 100: 100 parts by weight of a 2: 5 acrylic copolymer and 1 part by weight of an isocyanate-based cross-linking agent) are added to about 20 parts by weight.
A transparent conductive laminated film of the present invention having a structure shown in the figure was produced by bonding a transparent substrate made of a PET film having a thickness of 75 μm thereon.

なお、図中、1は厚さが12μmのPETフイルムからな
る透明なフイルム基材、2はITO薄膜からなる透明な導
電性薄膜、3はSiO2薄膜からなる透明な誘電体薄膜、4
はアクリル系の透明な粘着剤層、5は厚さが75μmのPE
Tフイルムからなる透明基体である。
In the drawing, 1 is a transparent film base made of a PET film having a thickness of 12 μm, 2 is a transparent conductive thin film made of an ITO thin film, 3 is a transparent dielectric thin film made of a SiO 2 thin film,
Is a transparent acrylic adhesive layer, 5 is PE with a thickness of 75 μm
It is a transparent substrate made of T film.

実施例2〜3 SiO2薄膜の厚さを200Å(実施例2)、1,400Å(実施
例3)に変更した以外は、実施例1と同様にして、図に
示す構造のこの発明の2種の透明導電性積層フイルムを
作製した。
Examples 2 to 3 Two types of the present invention having the structure shown in the drawing in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the SiO 2 thin film was changed to 200 ° (Example 2) and 1,400 ° (Example 3). Was produced.

実施例4〜6 フイルム基材として、厚さが25μmの透明なPES(ポ
リエーテルサルフオン)フイルム(実施例4)、厚さが
12.5μmの透明なPI(ポリイミド)フイルム(実施例
5)、厚さが80μmの透明なPC(ポリカーボネート)フ
イルム(実施例6)を、それぞれ使用した以外は、実施
例1と同様にして、図に示す構造のこの発明の3種の透
明導電性積層フイルムを作製した。
Examples 4 to 6 As a film substrate, a transparent PES (polyethersulfon) film having a thickness of 25 μm (Example 4) was used.
The same procedure as in Example 1 was carried out except that a transparent PI (polyimide) film of 12.5 μm (Example 5) and a transparent PC (polycarbonate) film of 80 μm in thickness (Example 6) were used, respectively. The three kinds of transparent conductive laminated films of the present invention having the structures shown in the following were produced.

比較例1 SiO2薄膜および粘着剤層の形成と透明基体の貼り合わ
せを行わなかつた以外は、実施例1と同様にして、透明
導電性フイルムを作製した。
Comparative Example 1 A transparent conductive film was produced in the same manner as in Example 1 except that the formation of the SiO 2 thin film and the pressure-sensitive adhesive layer and the bonding of the transparent substrate were not performed.

比較例2 SiO2薄膜の形成を行なかつた以外は、実施例1と同様
にして、透明導電性積層フイルムを作製した。
Comparative Example 2 A transparent conductive laminated film was produced in the same manner as in Example 1 except that a SiO 2 thin film was not formed.

比較例3 粘着剤層の形成と透明基体の貼り合わせを行わなかつ
た以外は、実施例1と同様にして、透明導電性フイルム
を作製した。
Comparative Example 3 A transparent conductive film was produced in the same manner as in Example 1, except that the formation of the pressure-sensitive adhesive layer and the bonding of the transparent substrate were not performed.

比較例4 フイルム基材として、厚さが125μmのPETフイルムを
使用した以外は、実施例1と同様にして、透明導電性積
層フイルムを作製した。
Comparative Example 4 A transparent conductive laminated film was produced in the same manner as in Example 1 except that a PET film having a thickness of 125 μm was used as a film substrate.

比較例5 フイルム基材として、厚さが140μmのPCフイルムを
使用した以外は、実施例1と同様にして、透明導電性積
層フイルムを作製した。
Comparative Example 5 A transparent conductive laminated film was produced in the same manner as in Example 1, except that a PC film having a thickness of 140 μm was used as a film substrate.

つぎに、上記の実施例1〜6および比較例2,4,5の各
透明導電性積層フイルムと比較例1,3の透明導電性フイ
ルムとにつき、フイルム抵抗、透過率、耐擦傷性および
打点特性を下記の要領で測定評価した。
Next, with respect to the transparent conductive laminated films of Examples 1 to 6 and Comparative Examples 2, 4 and 5 and the transparent conductive films of Comparative Examples 1 and 3, film resistance, transmittance, abrasion resistance and spotting were evaluated. Characteristics were measured and evaluated in the following manner.

〈フイルム抵抗〉 二端子法を用いて、フイルムの表面電気抵抗(Ω/
□)を測定した。
<Film resistance> Using the two-terminal method, the surface electrical resistance of the film (Ω /
□) was measured.

〈透過率〉 島津製作所製の分光分析装置UV−240を用いて、光波
長550nmにおける可視光線透過率を測定した。
<Transmittance> The visible light transmittance at a light wavelength of 550 nm was measured using a spectrophotometer UV-240 manufactured by Shimadzu Corporation.

〈耐擦傷性〉 新東科学社製のヘイドン表面性測定機TYPE−HEIDON14
を用いて、擦傷子:ガーゼ(日本薬局方タイプI)、
荷重:100g/cm2、擦傷速度:30cm/分、擦傷回数:10
0回(往復50回)の条件で、薄膜表面を擦つたのちにフ
イルム抵抗(Rs)を測定し、初期のフイルム抵抗(Ro)
に対する変化率(Rs/Ro)を求めて、耐擦傷性を評価し
た。
<Scratch resistance> Haydon surface type measuring instrument TYPE-HEIDON14 manufactured by Shinto Kagaku
Scratches: gauze (Japanese Pharmacopoeia Type I)
Load: 100 g / cm 2 , Scratch speed: 30 cm / min, Scratch frequency: 10
Under the condition of 0 times (50 round trips), the film resistance (Rs) is measured after rubbing the thin film surface, and the initial film resistance (Ro)
The rate of change (Rs / Ro) with respect to was determined, and the scratch resistance was evaluated.

〈打点特性〉 2枚の透明導電性積層フイルム(または透明導電性フ
イルム)を厚さ100μmのスペーサを介して導電性薄膜
(または誘電体薄膜)同志が向かい合うように対向配置
し、一方のフイルム(の透明基板またはフイルム基材)
側より、光度40度のウレタンゴムからなるロツド(鍵先
7R)を用いて荷重100gで100万回のセンター打点を行つ
たのち、フイルム抵抗(Rd)を測定し、初期のフイルム
抵抗(Ro)に対する変化率(Rd/Ro)を求めて、打点特
性を評価した。
<Rotation Characteristics> Two transparent conductive laminated films (or transparent conductive films) are arranged so that conductive thin films (or dielectric thin films) face each other via a spacer having a thickness of 100 μm, and one of the films ( Transparent substrate or film substrate)
From the side, a rod made of urethane rubber with a luminous intensity of 40 degrees (key tip
7R), the center spot of 1 million times with a load of 100 g is measured, the film resistance (Rd) is measured, and the rate of change (Rd / Ro) with respect to the initial film resistance (Ro) is determined, and the dot characteristics are determined. evaluated.

なお、上記のフイルム抵抗の測定は、対向配置した2
枚の透明導電性積層フイルム(または透明導電性フイル
ム)の打点時の接触抵抗について行い、その平均値で表
したものである。
The measurement of the film resistance described above was carried out by using the two oppositely arranged films.
The contact resistance at the time of hitting a sheet of the transparent conductive laminated film (or the transparent conductive film) is expressed as an average value.

上記表の結果から明らかなように、この発明の透明導
電性積層フイルムは、透明性および導電性が良好である
うえに、耐擦傷性および打点特性に非常にすぐれたもの
であることが判る。
As is clear from the results in the above table, the transparent conductive laminated film of the present invention has excellent transparency and conductivity, and is also extremely excellent in scratch resistance and hitting point characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

図面はこの発明の透明導電性積層体の一例を示す断面図
である。 1……フイルム基材、2……導電性薄膜、3……誘電体
薄膜、4……粘着剤層、5……透明基体
The drawing is a sectional view showing an example of the transparent conductive laminate of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Film base material 2 ... Conductive thin film 3 ... Dielectric thin film 4 ... Adhesive layer 5 ... Transparent base

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】厚さが2〜120μmの透明なフイルム基材
の一方の面に透明な導電性薄膜とさらにこの上に透明な
誘電体薄膜を形成し、他方の面に弾性係数が1×105
1×107dyn/cm2、厚さが1μm以上である透明な粘着剤
層を介して透明基体を貼り合わせてなる透明導電性積層
体。
1. A transparent film base material having a thickness of 2 to 120 .mu.m, a transparent conductive thin film is formed on one surface and a transparent dielectric thin film is further formed thereon, and the other surface has an elastic coefficient of 1.times. 10 5
A transparent conductive laminate obtained by laminating a transparent substrate via a transparent pressure-sensitive adhesive layer having a thickness of 1 × 10 7 dyn / cm 2 and a thickness of 1 μm or more.
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