JP2844394B2 - 放電加工機の加工液吸引装置 - Google Patents
放電加工機の加工液吸引装置Info
- Publication number
- JP2844394B2 JP2844394B2 JP41665190A JP41665190A JP2844394B2 JP 2844394 B2 JP2844394 B2 JP 2844394B2 JP 41665190 A JP41665190 A JP 41665190A JP 41665190 A JP41665190 A JP 41665190A JP 2844394 B2 JP2844394 B2 JP 2844394B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- working fluid
- closed
- machining
- pipe
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電加工する際に発生
するガスとスラッジを加工液と共に吸引し排出する放電
加工機の液吸引装置に関するものである。
するガスとスラッジを加工液と共に吸引し排出する放電
加工機の液吸引装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】加工部を加工液に浸漬して放電加工する
ことによって発生するガスとスラッジを加工液と共に捕
集し、これを混合吸引して加工槽に環流させる方法が特
開昭６３−２２１９２９号により知られている。この方
法は放電加工部で発生するガスを加工液と共に捕集でき
るので機械周囲の作業環境が改善される。
ことによって発生するガスとスラッジを加工液と共に捕
集し、これを混合吸引して加工槽に環流させる方法が特
開昭６３−２２１９２９号により知られている。この方
法は放電加工部で発生するガスを加工液と共に捕集でき
るので機械周囲の作業環境が改善される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術で述べた方法は、通常ダイヤフラムポンプなどの機
械的動作による吸引方式を使用するため高温の加工液及
びチップがポンプ内に吸い込まれることにより、ポンプ
が劣化し易く、寿命を短縮し、劣化部品取り替えのため
運転休止を余儀なくされる。その上、ダイヤフラムポン
プ方式はコンプレッサを必要とするので騒音発生が避け
られなかった。又、吸引ポンプにより吸引された加工液
中のガスが加工液を泡立て、このため吸引ポンプの後に
接続されるマグネットフィルタ付近に泡が充満し連続運
転を妨げるという問題点があった。
技術で述べた方法は、通常ダイヤフラムポンプなどの機
械的動作による吸引方式を使用するため高温の加工液及
びチップがポンプ内に吸い込まれることにより、ポンプ
が劣化し易く、寿命を短縮し、劣化部品取り替えのため
運転休止を余儀なくされる。その上、ダイヤフラムポン
プ方式はコンプレッサを必要とするので騒音発生が避け
られなかった。又、吸引ポンプにより吸引された加工液
中のガスが加工液を泡立て、このため吸引ポンプの後に
接続されるマグネットフィルタ付近に泡が充満し連続運
転を妨げるという問題点があった。
【０００４】本発明は、従来の技術の有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、耐久性を向上し長時間連続運転を可能ならし
め、スラッジを含む加工液よりガス体を分離し、系外に
取り出す事により気泡の発生を防止し、環境改善を図っ
た放電加工機用加工液吸引装置を提供することにある。
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、耐久性を向上し長時間連続運転を可能ならし
め、スラッジを含む加工液よりガス体を分離し、系外に
取り出す事により気泡の発生を防止し、環境改善を図っ
た放電加工機用加工液吸引装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明における放電加工機の加工液吸引装置は、加
工部を加工液に浸漬して放電加工する際に発生するガス
とスラッジを加工液と共に吸引し移送する加工液吸引パ
イプを少なくとも２つの密閉容器に逆止弁を介して連結
し、これらの各密閉容器の下部を、加工液タンクに通ず
る環流パイプに逆止弁を介して連結し、前記各密閉容器
の頂部をソレノイドバルブを介して大気圧以上の圧力を
有した圧空源と真空ポンプに通ずるエアパイプに連結
し、前記各密閉容器に加工液面が所定の高位レベルより
上昇したことを検出する高位レベル検出器を備え、ある
密閉容器のエアパイプを前記真空ポンプに接続して前記
加工液吸引パイプから加工液を当該密閉容器に導入し前
記高位レベル検出器から信号が発生したとき、当該密閉
容器のエアパイプが前記圧空源に接続するとともに他の
少なくとも１つの密閉容器のエアパイプが前記真空ポン
プに接続し、これらの動作が前記各密閉容器間で順次連
続的に切り替わり行われるよう前記ソレノイドバルブを
制御する制御手段を設けて構成してある。
に、本発明における放電加工機の加工液吸引装置は、加
工部を加工液に浸漬して放電加工する際に発生するガス
とスラッジを加工液と共に吸引し移送する加工液吸引パ
イプを少なくとも２つの密閉容器に逆止弁を介して連結
し、これらの各密閉容器の下部を、加工液タンクに通ず
る環流パイプに逆止弁を介して連結し、前記各密閉容器
の頂部をソレノイドバルブを介して大気圧以上の圧力を
有した圧空源と真空ポンプに通ずるエアパイプに連結
し、前記各密閉容器に加工液面が所定の高位レベルより
上昇したことを検出する高位レベル検出器を備え、ある
密閉容器のエアパイプを前記真空ポンプに接続して前記
加工液吸引パイプから加工液を当該密閉容器に導入し前
記高位レベル検出器から信号が発生したとき、当該密閉
容器のエアパイプが前記圧空源に接続するとともに他の
少なくとも１つの密閉容器のエアパイプが前記真空ポン
プに接続し、これらの動作が前記各密閉容器間で順次連
続的に切り替わり行われるよう前記ソレノイドバルブを
制御する制御手段を設けて構成してある。
【０００６】
【作用】１つの密閉容器の液面レベルが高位に達する
と、ソレノイドバルブを切り替え、エアパイプを経て密
封容器内へ空気を導入することにより密閉容器内の加工
液を加工液タンクに排出し、同時に他の密閉容器はエア
パイプを経て真空ポンプに接続され、加工液吸引パイプ
を経て密閉容器内へ加工液を導入する。これら２つの動
作を各密閉容器が順次連続的に行うと共に、少なくとも
２つの密閉容器が常時互いに異なる動作を行うものであ
る。
と、ソレノイドバルブを切り替え、エアパイプを経て密
封容器内へ空気を導入することにより密閉容器内の加工
液を加工液タンクに排出し、同時に他の密閉容器はエア
パイプを経て真空ポンプに接続され、加工液吸引パイプ
を経て密閉容器内へ加工液を導入する。これら２つの動
作を各密閉容器が順次連続的に行うと共に、少なくとも
２つの密閉容器が常時互いに異なる動作を行うものであ
る。
【０００７】
【実施例】実施例について図面を参照して説明する。図
１は放電加工機用加工液吸引装置のシステム系統図であ
る。図において、１は放電加工機の加工槽、２は電極取
付板で、その下に電極３が取り付けられている。４は加
工液流通路で、その中に加工液吸引パイプ５の吸引口６
が位置していて、放電加工により発生するガスと加工ス
ラッジを含む加工液を吸引する。加工液吸引パイプ５は
逆止弁７−１、７−２を介して２つの密閉容器８−１、
８−２の頂部に連結されている。 ９−１、９−２は加
工液の環流パイプで、下端は加工液タンク１０に通じ、
上端は密閉容器８−１、８−２の底部に連結し、中間に
逆止弁１１−１、１１−２を有している。１２−１、１
２−２はエアパイプで、夫々密閉容器８−１、８−２の
頂部の気室に連通し、中間にソレノイドバルブＶ−１、
Ｖ−２を備え、これらのバルブＶ−１、Ｖ−２を電磁作
用により切り替えることにより、夫々のエアパイプ１２
−１、１２−２は圧空源１３、真空ポンプ１４のいずれ
かに通ずるように構成されている。圧空源１３は少なく
とも大気圧と同じ圧力であれば良く、従って、圧空源１
３がなく、ただ大気に開放していても良い。図のソレノ
イドバルブＶ−１、Ｖ−２は電磁作用がはたらいて復帰
スプリングに抗して左方に変位した状態を示している。
１５−１、１５−２は各密閉容器内に設けられた高位の
レベルスイッチとしてのリミットスイッチ、１６−１、
１６−２は低位のレベルスイッチとしてのリミットスイ
ッチである。これらのスイッチおよび夫々のソレノイド
バルブＶ−１、Ｖ−２はバルブ制御装置１７に電気的に
接続され、夫々のレベルスイッチの出力信号に応じて前
記夫々のソレノイドバルブが制御される。なお、図中１
８は加工液供給管路である。
１は放電加工機用加工液吸引装置のシステム系統図であ
る。図において、１は放電加工機の加工槽、２は電極取
付板で、その下に電極３が取り付けられている。４は加
工液流通路で、その中に加工液吸引パイプ５の吸引口６
が位置していて、放電加工により発生するガスと加工ス
ラッジを含む加工液を吸引する。加工液吸引パイプ５は
逆止弁７−１、７−２を介して２つの密閉容器８−１、
８−２の頂部に連結されている。 ９−１、９−２は加
工液の環流パイプで、下端は加工液タンク１０に通じ、
上端は密閉容器８−１、８−２の底部に連結し、中間に
逆止弁１１−１、１１−２を有している。１２−１、１
２−２はエアパイプで、夫々密閉容器８−１、８−２の
頂部の気室に連通し、中間にソレノイドバルブＶ−１、
Ｖ−２を備え、これらのバルブＶ−１、Ｖ−２を電磁作
用により切り替えることにより、夫々のエアパイプ１２
−１、１２−２は圧空源１３、真空ポンプ１４のいずれ
かに通ずるように構成されている。圧空源１３は少なく
とも大気圧と同じ圧力であれば良く、従って、圧空源１
３がなく、ただ大気に開放していても良い。図のソレノ
イドバルブＶ−１、Ｖ−２は電磁作用がはたらいて復帰
スプリングに抗して左方に変位した状態を示している。
１５−１、１５−２は各密閉容器内に設けられた高位の
レベルスイッチとしてのリミットスイッチ、１６−１、
１６−２は低位のレベルスイッチとしてのリミットスイ
ッチである。これらのスイッチおよび夫々のソレノイド
バルブＶ−１、Ｖ−２はバルブ制御装置１７に電気的に
接続され、夫々のレベルスイッチの出力信号に応じて前
記夫々のソレノイドバルブが制御される。なお、図中１
８は加工液供給管路である。
【０００８】上記装置を用いて加工を行うときは、放電
加工に際し発生したガス、加工スラッジは加工液と共に
真空ポンプ１４の作用で吸引口６より吸引され、加工液
吸引パイプ５より逆止弁７−２を経て密閉容器８−２内
に導入される。一方密閉容器８−２内のガスを含むエア
はエアパイプ１２−２よりソレノイドバルブＶ−２を経
て真空ポンプ１４によって系外に取り出される。同時に
圧空源１３より高圧エアがソレノイドバルブＶ−１及び
Ｖ−２を経て密閉容器８−１内に導入され、逆止弁１１
−１を開いて環流パイプ９−１より加工液タンク１０内
に戻される。
加工に際し発生したガス、加工スラッジは加工液と共に
真空ポンプ１４の作用で吸引口６より吸引され、加工液
吸引パイプ５より逆止弁７−２を経て密閉容器８−２内
に導入される。一方密閉容器８−２内のガスを含むエア
はエアパイプ１２−２よりソレノイドバルブＶ−２を経
て真空ポンプ１４によって系外に取り出される。同時に
圧空源１３より高圧エアがソレノイドバルブＶ−１及び
Ｖ−２を経て密閉容器８−１内に導入され、逆止弁１１
−１を開いて環流パイプ９−１より加工液タンク１０内
に戻される。
【０００９】放電加工機の電源を投入し加工を開始しよ
うとするときは、両密閉容器８ー１、８ー２内の加工液
は共に低位レベル以下に下がっている。このとき、ソレ
ノイドバルブＶ−１及びＶ−２はＯＦＦのままとする。
即ち、圧空源１３からのエアーはソレノイドバルブＶ−
１で止められ、密閉容器８ー１が真空ポンプ１４によっ
て吸引される。加工液面が上昇し高位のレベルスイッチ
１５ー１以上になると、ソレノイドバルブＶ−１及びＶ
−２がＯＮし、圧空源１３のエアーは密閉容器８ー１内
に入って加工液を加工液タンク１０に送る。これと同時
に真空ポンプ１４は密閉容器８ー２に接続され、今度は
密閉容器８ー２の加工液面が上昇する。密閉容器８−１
内の液面が次第に低下し、低位のレベルスイッチ１６−
１以下となると、バルブ制御装置１７を介してソレノイ
ドバルブＶ−１がオフ（ＯＦＦ）となる。これ以上の液
面低下は回避される。一方、密閉容器８−２内の液面が
高位のレベルスイッチ１５ー２に到達すると、バルブ制
御装置１７を介してソレノイドバルブＶ−１を再びオン
（ＯＮ）となし、同時にソレノイドバルブＶ−２をＯＦ
Ｆとするから密閉容器８−１は吸入に転じ、密閉容器８
−２は排出に転ずる。密閉容器８−２の液面が低位のレ
ベルスイッチ１６−２以下となると、バルブ制御装置１
７を介して再びソレノイドバルブＶ−１がＯＦＦとな
り、これ以上の液面低下は回避される。
うとするときは、両密閉容器８ー１、８ー２内の加工液
は共に低位レベル以下に下がっている。このとき、ソレ
ノイドバルブＶ−１及びＶ−２はＯＦＦのままとする。
即ち、圧空源１３からのエアーはソレノイドバルブＶ−
１で止められ、密閉容器８ー１が真空ポンプ１４によっ
て吸引される。加工液面が上昇し高位のレベルスイッチ
１５ー１以上になると、ソレノイドバルブＶ−１及びＶ
−２がＯＮし、圧空源１３のエアーは密閉容器８ー１内
に入って加工液を加工液タンク１０に送る。これと同時
に真空ポンプ１４は密閉容器８ー２に接続され、今度は
密閉容器８ー２の加工液面が上昇する。密閉容器８−１
内の液面が次第に低下し、低位のレベルスイッチ１６−
１以下となると、バルブ制御装置１７を介してソレノイ
ドバルブＶ−１がオフ（ＯＦＦ）となる。これ以上の液
面低下は回避される。一方、密閉容器８−２内の液面が
高位のレベルスイッチ１５ー２に到達すると、バルブ制
御装置１７を介してソレノイドバルブＶ−１を再びオン
（ＯＮ）となし、同時にソレノイドバルブＶ−２をＯＦ
Ｆとするから密閉容器８−１は吸入に転じ、密閉容器８
−２は排出に転ずる。密閉容器８−２の液面が低位のレ
ベルスイッチ１６−２以下となると、バルブ制御装置１
７を介して再びソレノイドバルブＶ−１がＯＦＦとな
り、これ以上の液面低下は回避される。
【００１０】一方、密閉容器８−１内の液面が高位のレ
ベルスイッチ１５−１に到達すると、バルブ制御装置１
７を介してソレノイドバルブＶ−１を再びＯＮとなしソ
レノイドバルブＶ−２もＯＮとなるから、図１のような
状態となり、密閉容器８−１は排出に転じ密閉容器８−
２は吸入に転ずる。このような動作を繰り返し継続すれ
ば連続運転が可能となる。以上の説明では、密閉容器を
２基設け切り替えを行っているが、密閉容器の数を更に
増加すれば各密閉容器の負荷が軽減できるとともに吸引
量の変動幅を小さくでき、耐久力も増すことができる。
両密閉容器８ー１、８ー２ともに加工液面が高いレベル
スイッチ１５ー１、１５ー２よりも上位にある場合は、
どちらか一方の加工液を加工液タンク１０へ送り、高位
レベルスイッチをＯＦＦさせてから加工を開始させる。
従って、いずれかの高位レベルスイッチがＯＦＦするま
ではアラーム状態となり、加工は進まない。なお、ソレ
ノイドバルブＶ−１はなくても本発明は成立する。ま
た、空圧源１３もなく、ただ大気圧に開放しているだけ
でも良い。つまり、エアーパイプ１２ー１、１２ー２は
ソレノイドＶ−２を介して真空ポンプ１３又は大気のい
ずれかに接続していれば本発明は成立する。圧空源１３
は密閉容器から加工液タンクへの加工液の排出速度を大
きくするためであり、環流パイプ径を太くしておけば特
に必要ない。更に、低位レベルスイッチ１６ー１、１６
ー２が無く、密閉容器内が空になっても支障はない。
ベルスイッチ１５−１に到達すると、バルブ制御装置１
７を介してソレノイドバルブＶ−１を再びＯＮとなしソ
レノイドバルブＶ−２もＯＮとなるから、図１のような
状態となり、密閉容器８−１は排出に転じ密閉容器８−
２は吸入に転ずる。このような動作を繰り返し継続すれ
ば連続運転が可能となる。以上の説明では、密閉容器を
２基設け切り替えを行っているが、密閉容器の数を更に
増加すれば各密閉容器の負荷が軽減できるとともに吸引
量の変動幅を小さくでき、耐久力も増すことができる。
両密閉容器８ー１、８ー２ともに加工液面が高いレベル
スイッチ１５ー１、１５ー２よりも上位にある場合は、
どちらか一方の加工液を加工液タンク１０へ送り、高位
レベルスイッチをＯＦＦさせてから加工を開始させる。
従って、いずれかの高位レベルスイッチがＯＦＦするま
ではアラーム状態となり、加工は進まない。なお、ソレ
ノイドバルブＶ−１はなくても本発明は成立する。ま
た、空圧源１３もなく、ただ大気圧に開放しているだけ
でも良い。つまり、エアーパイプ１２ー１、１２ー２は
ソレノイドＶ−２を介して真空ポンプ１３又は大気のい
ずれかに接続していれば本発明は成立する。圧空源１３
は密閉容器から加工液タンクへの加工液の排出速度を大
きくするためであり、環流パイプ径を太くしておけば特
に必要ない。更に、低位レベルスイッチ１６ー１、１６
ー２が無く、密閉容器内が空になっても支障はない。
【００１１】
【発明の効果】本発明は、上述の通り構成されているの
で、次に記載する効果を奏する。従来技術のようにダイ
ヤフラムポンプによる排液ではなく、真空ポンプによる
ガス体を含むエアの吸引に基づく排液を行うため、高温
の加工液及び金属スラッジ等のダイヤフラムへの接触に
基因するポンプの寿命低下が回避され、長時間の連続運
転が保証される。ダイヤフラムポンプに用いられるコン
プレッサを必ずしも必要としないので、騒音が発生せ
ず、公害対策上有利となる。スラッジを含む加工液より
ガス体を含むエアを系外に取り出すことにより、気泡の
発生を未然に防止できるから連続運転の妨げとならな
い。ガス体を系外に取り出すことが出来るので、作業環
境を改善し、更に取り出したガス体を浄化すれば公害対
策に万全を期すことができる。
で、次に記載する効果を奏する。従来技術のようにダイ
ヤフラムポンプによる排液ではなく、真空ポンプによる
ガス体を含むエアの吸引に基づく排液を行うため、高温
の加工液及び金属スラッジ等のダイヤフラムへの接触に
基因するポンプの寿命低下が回避され、長時間の連続運
転が保証される。ダイヤフラムポンプに用いられるコン
プレッサを必ずしも必要としないので、騒音が発生せ
ず、公害対策上有利となる。スラッジを含む加工液より
ガス体を含むエアを系外に取り出すことにより、気泡の
発生を未然に防止できるから連続運転の妨げとならな
い。ガス体を系外に取り出すことが出来るので、作業環
境を改善し、更に取り出したガス体を浄化すれば公害対
策に万全を期すことができる。
【図１】本発明の実施例を示すもので、放電加工機用加
工液吸引装置のシステム系統図である。
工液吸引装置のシステム系統図である。
５ …………………… 加工液吸引パイプ ７−１、７−２ …… 逆止弁 ８−１、８−２ …… 密閉容器 ９−１、９−２ …… 環流パイプ １０ ………………… 加工液タンク １１−１、１１−２… 逆止弁 Ｖ−１、Ｖ−２ …… ソレノイド １２−１、１２−２… エアパイプ １３ ………………… 圧空源 １４ ………………… 真空ポンプ １５−１、１５−２… 高位のレベルスイッチ １６−１、１６−２… 低位のレベルスイッチ １７ ………………… バルブ制御装置
Claims (1)
- 【請求項１】加工部を加工液に浸漬して放電加工する際
に発生するガスとスラッジを加工液と共に吸引し移送す
る加工液吸引パイプを少なくとも２つの密閉容器に逆止
弁を介して連結し、これらの各密閉容器の下部を、加工
液タンクに通ずる環流パイプに逆止弁を介して連結し、
前記各密閉容器の頂部をソレノイドバルブを介して大気
圧以上の圧力を有した圧空源と真空ポンプに通ずるエア
パイプに連結し、前記各密閉容器に加工液面が所定の高
位レベルより上昇したことを検出する高位レベル検出器
を備え、ある密閉容器のエアパイプを前記真空ポンプに
接続して前記加工液吸引パイプから加工液を当該密閉容
器に導入し前記高位レベル検出器から信号が発生したと
き、当該密閉容器のエアパイプが前記圧空源に接続する
とともに他の少なくとも１つの密閉容器のエアパイプが
前記真空ポンプに接続し、これらの動作が前記各密閉容
器間で順次連続的に切り替わり行われるよう前記ソレノ
イドバルブを制御する制御手段を設けて構成したことを
特徴とする放電加工機の加工液吸引装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41665190A JP2844394B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 放電加工機の加工液吸引装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41665190A JP2844394B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 放電加工機の加工液吸引装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04283024A JPH04283024A (ja) | 1992-10-08 |
| JP2844394B2 true JP2844394B2 (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=18524859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP41665190A Expired - Lifetime JP2844394B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 放電加工機の加工液吸引装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2844394B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114535732A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-05-27 | 上海交通大学 | 高速电火花小孔加工强制抽液排屑加工装置及方法 |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP41665190A patent/JP2844394B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04283024A (ja) | 1992-10-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101211365B1 (ko) | 복수의 압력 검출기를 가지는 약액 공급 시스템 | |
| KR101132118B1 (ko) | 약액 공급 시스템 | |
| JP2844394B2 (ja) | 放電加工機の加工液吸引装置 | |
| CN208106725U (zh) | 水泵入口压力调节装置 | |
| JP2556313B2 (ja) | 薬液供給装置 | |
| CN113002504A (zh) | 一种基于开关式电磁阀的液力缓速器控制装置和控制方法 | |
| JP3808762B2 (ja) | めっき装置 | |
| JP3283856B2 (ja) | 真空用圧力制御弁 | |
| KR950002238Y1 (ko) | 진공흡입 압축공기배출식 변이동처리장치 | |
| SU1270618A1 (ru) | Устройство дл отбора и перемещени жидких проб | |
| CN211660364U (zh) | 一种交替浸油式的多功能真空浸油器 | |
| CN103233885A (zh) | 可逆转流体泵流体输送系统差压和压力组合的控制方法及系统 | |
| CN118083887A (zh) | 真空注液系统以及注液方法 | |
| CN218471897U (zh) | 半导体工艺设备的压力控制装置及半导体工艺设备 | |
| JPH0310118Y2 (ja) | ||
| US2914946A (en) | Liquid measurement | |
| KR101998749B1 (ko) | 진공 탈가스 시스템 및 진공 탈가스 방법 | |
| CN114425461A (zh) | 一种低气压试验方法及设备 | |
| JPH11270773A (ja) | 往復動式ポンプ回りの配管構造 | |
| RU1828997C (ru) | Устройство дл измерени расхода | |
| JPS6013885Y2 (ja) | 自動給水装置 | |
| JP2676288B2 (ja) | 真空包装装置 | |
| JP3507931B2 (ja) | 水素ガス発生装置 | |
| JPS6299696A (ja) | 圧力タンク式給水装置の空気補給装置 | |
| JPS60105940A (ja) | 排液装置 |