JP2842699B2 - Thick film circuit board and method of manufacturing the same - Google Patents

Thick film circuit board and method of manufacturing the same

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、その表面上において、
2本の厚膜導体による配線ラインが絶縁膜を隔てて交差
するような構造を有する厚膜回路基板およびその形成方
法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention
The present invention relates to a thick film circuit board having a structure in which wiring lines formed by two thick film conductors intersect with an insulating film interposed therebetween, and a method for forming the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】上記のような厚膜回路基板として、例え
ば、以下のようにして得られるものが知られている。ま
ず、アルミナ基板等のセラミック基板1を用意し、その
表面上にAg・Pdペースト等のAg系ペーストを帯状
にスクリーン印刷し、これを焼成して第1の配線ライン
2を形成する(図5)。次に、この第1の配線ライン2
の所定部上面に該部分の配線ラインを完全に覆うように
ガラスペーストをスクリーン印刷し、これを焼成してガ
ラス絶縁膜4を形成する(図6)。
2. Description of the Related Art As a thick film circuit board as described above, for example, a board obtained as follows is known. First, a ceramic substrate 1 such as an alumina substrate is prepared, and an Ag-based paste such as an Ag / Pd paste is screen-printed on the surface of the ceramic substrate 1 and baked to form a first wiring line 2 (FIG. 5). ). Next, the first wiring line 2
A glass paste is screen-printed on the upper surface of the predetermined portion to completely cover the wiring line of the portion, and the glass paste is baked to form the glass insulating film 4 (FIG. 6).

【0003】続いて、上記ガラス絶縁膜4の上を通り、
この位置で第1の配線ライン2と交差するようにAuペ
ーストを帯状にスクリーン印刷し、空気中で焼成して第
2の配線ライン5を形成する(図7)。
Subsequently, the light passes over the glass insulating film 4 and
At this position, an Au paste is screen-printed in a band shape so as to intersect with the first wiring line 2 and fired in air to form a second wiring line 5 (FIG. 7).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術のように、第1の配線ラインをAg系ペースト
で形成し、第2の配線ラインをAuペーストで形成する
と、各ペースト材料の主成分の標準電極電位が相互に著
しく異なっているために、第1の配線ラインと交差させ
てスクリーン印刷した第2の配線ラインを焼成する際、
軟化したガラス絶縁膜を介して存在する2本の配線ライ
ンの間に電位差が生じてしまう。2本の配線ラインの間
に電位差が生じると、これら配線ラインを形成したペー
スト材料における主成分金属の酸化物は、電気化学的な
プロセスで還元され、酸素などの気体を発生する。発生
した気体は、ガラス絶縁膜と配線ラインとの境界部に気
泡となって出現し、配線ラインからガラス絶縁膜が剥離
してしまう原因となっていた。
However, when the first wiring lines are formed of an Ag-based paste and the second wiring lines are formed of an Au paste as in the above-described conventional technique, the main components of each paste material are formed. When the second wiring line screen-printed across the first wiring line is fired because the standard electrode potentials are significantly different from each other,
A potential difference occurs between the two wiring lines existing via the softened glass insulating film. When a potential difference is generated between the two wiring lines, the oxide of the main component metal in the paste material forming these wiring lines is reduced by an electrochemical process to generate a gas such as oxygen. The generated gas appears as bubbles at the boundary between the glass insulating film and the wiring line, causing the glass insulating film to peel off from the wiring line.

【0005】本発明は、上述従来の技術の問題点を解決
し、2本の配線ラインを形成するペースト材料の標準電
極電位の著しい相違により生じる電位差を無くすことに
より、ガラス絶縁膜の剥離を防止し、歩留りの向上を期
待できる厚膜回路基板およびその製造方法を提供するこ
とを目的としている。
The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art and eliminates the potential difference caused by the remarkable difference in the standard electrode potential of the paste material forming the two wiring lines, thereby preventing the glass insulating film from peeling. It is another object of the present invention to provide a thick film circuit board which can be expected to improve the yield and a method for manufacturing the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成すべく鋭意研究の結果、ガラス絶縁膜上で第1の配
線ラインと交差させて形成する第2の配線ラインを焼成
する前に、両配線ラインを短絡しておき、第2の配線ラ
イン焼成時に両配線ラインの間に電位が生じないように
し、第2の配線ライン焼成後に両配線ライン間を絶縁す
ることによって、配線ラインとガラス絶縁膜との境界部
における気泡の発生を防止し得ることを見い出し本発明
に到達した。
Means for Solving the Problems The present inventor has conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, before firing a second wiring line formed on a glass insulating film so as to intersect with the first wiring line. By short-circuiting both wiring lines, a potential is not generated between the two wiring lines when the second wiring line is fired, and the wiring lines are insulated after the second wiring line is fired. The present inventors have found that bubbles can be prevented from being generated at the boundary between the glass substrate and the glass insulating film, and have reached the present invention.

【0007】すなわち、本発明は、基板表面上に絶縁膜
を隔てて交差する2本の厚膜導体による配線ラインが存
在する構造を有する厚膜回路基板であって、上記2本の
配線ラインと同様の厚膜導体による分岐配線ラインが、
上記2本の配線ラインを短絡する態様にそれぞれの配線
ラインから枝状に引き出されており、さらに、該分岐配
線ラインからなる枝状部の少なくとも一部に、該枝状部
を絶縁する分断部が存在することを特徴とする厚膜回路
基板;および、前記2本の配線ラインの一方がAuを主
成分とするペースト材料、他方がAg、Cu、Ni、Z
n、AlまたはSnからなる群より選ばれた一つの金属
を主成分とするペースト材料から形成されたものである
上記の厚膜回路基板;並びに、前記2本の配線ラインの
一方がAgを主成分とするペースト材料、他方がNi、
Zn、AlまたはSnからなる群より選ばれた一つの金
属を主成分とするペースト材料から形成されたものであ
る上記の厚膜回路基板;さらに、基板表面上に絶縁膜を
隔てて交差する2本の配線ラインが存在する構造を有す
る厚膜回路基板の製造方法において、まず、第1の配線
ラインを形成する際、このラインから枝状に分岐配線ラ
インを引き出し、この第1の配線ラインの所定部分上面
を覆って絶縁膜を形成し、次いでこの絶縁膜の上に第2
の配線ラインを形成する際、上記第1の配線ラインの分
岐配線ラインと第2の配線ラインとを結ぶための分岐配
線ラインを第2の配線ラインから枝状に引き出して、第
1の配線ラインと第2の配線ラインとを各々の分岐配線
ライン同士によって短絡し、第2の配線ラインの焼成後
に、これら分岐配線ラインからなる枝状部の一部を分断
して、短絡していた両配線ライン間を絶縁することを特
徴とする厚膜回路基板の製造方法を提供するものであ
る。
That is, the present invention relates to a thick-film circuit board having a structure in which two thick-film conductors intersect with each other with an insulating film interposed therebetween on a substrate surface. A branch wiring line with a similar thick film conductor
The two wiring lines are drawn in a branch shape from each of the wiring lines in a short-circuiting manner, and further, at least a part of the branch portion formed of the branch wiring line is provided with a dividing portion for insulating the branch portion. A thick film circuit board; and one of the two wiring lines is a paste material containing Au as a main component, and the other is Ag, Cu, Ni, Z
the thick film circuit board formed of a paste material containing one metal selected from the group consisting of n, Al, and Sn as a main component; and one of the two wiring lines is mainly composed of Ag. A paste material as a component, the other being Ni,
The above thick film circuit board formed of a paste material containing one metal as a main component selected from the group consisting of Zn, Al or Sn; and 2 intersecting an insulating film on the substrate surface with an insulating film interposed therebetween. In the method of manufacturing a thick film circuit board having a structure in which there are present wiring lines, first, when forming a first wiring line, branch wiring lines are drawn out in a branch shape from this line, and the first wiring line is formed. An insulating film is formed so as to cover a predetermined portion of the upper surface, and then a second insulating film is formed on the insulating film.
When forming the first wiring line, a branch wiring line for connecting the branch wiring line of the first wiring line and the second wiring line is drawn out in a branch shape from the second wiring line, and the first wiring line is formed. And the second wiring line are short-circuited by each of the branch wiring lines, and after firing of the second wiring line, a part of the branch portion formed by these branch wiring lines is cut off to short-circuit the two wiring lines. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a thick-film circuit board characterized by insulating lines.

【0008】[0008]

【作用】本発明の厚膜回路基板は、ガラス絶縁膜を隔て
て第1の配線ラインと交差させて形成する第2の配線ラ
インの焼成前に、両配線ラインを短絡したことによって
第2の配線ライン焼成時に両配線ラインの間に発生する
電位差が消失する。そのため、2本の配線ラインを形成
するペースト材料の主成分の標準電極電位が著しく異な
るものであっても、気泡が配線ラインとガラス絶縁膜と
の境界部に発生することを防止できる。
In the thick film circuit board according to the present invention, the two wiring lines are short-circuited before firing the second wiring line formed to intersect the first wiring line with the glass insulating film interposed therebetween. The potential difference between the two wiring lines during firing of the wiring lines disappears. Therefore, even if the standard electrode potentials of the main components of the paste material forming the two wiring lines are significantly different, bubbles can be prevented from being generated at the boundary between the wiring line and the glass insulating film.

【0009】また、本発明の厚膜回路基板は、第1の配
線ラインと第2の配線ラインを形成するペースト材料の
主成分の標準電極電位差が、0.7 V以上である場合に特
に有効である。
The thick-film circuit board of the present invention is particularly effective when the standard electrode potential difference of the main component of the paste material forming the first and second wiring lines is 0.7 V or more. .

【0010】以下、実施例により本発明をさらに詳しく
説明する。ただし、本発明の範囲は以下の実施例に限定
されるものではない。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples. However, the scope of the present invention is not limited to the following examples.

【0011】[0011]

【実施例】本発明の厚膜回路基板の製造工程を、図2、
図3、図4および図1を用いて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG.
This will be described with reference to FIGS. 3, 4, and 1.

【0012】まず、96%アルミナ基板1を用意し、この
基板の表面に第1の配線ライン2および第1の分岐配線
ライン3をAuペーストを用いてスクリーン印刷し、空
気中で 850℃、10分間焼成して形成した(図2)。
First, a 96% alumina substrate 1 is prepared, and a first wiring line 2 and a first branch wiring line 3 are screen-printed on the surface of the substrate using an Au paste. It was formed by firing for minutes (FIG. 2).

【0013】次に、上記第1の分岐配線ライン3の近傍
の第1の配線ライン上に、絶縁性ガラスペーストを矩形
状にスクリーン印刷し、空気中で 850℃、10分間焼成し
てガラス絶縁膜4を形成した(図3)。続いて、Ag・
Ptペーストを用いて、第1の配線ライン2と直交し、
かつガラス絶縁膜4上を通過するように第2の配線ライ
ン5をスクリーン印刷した。また、これと同時に、この
第2の配線ライン5から上記第1の分岐配線ライン3の
端部へ第2の分岐配線ライン6をスクリーン印刷して両
配線ラインを短絡し、空気中で 850℃、10分間焼成した
(図4)。
Next, an insulating glass paste is screen-printed in a rectangular shape on the first wiring line near the first branch wiring line 3 and baked in air at 850 ° C. for 10 minutes to form a glass insulating film. A film 4 was formed (FIG. 3). Then, Ag ・
Using a Pt paste, it is orthogonal to the first wiring line 2,
The second wiring line 5 was screen-printed so as to pass over the glass insulating film 4. At the same time, a second branch wiring line 6 is screen-printed from the second wiring line 5 to the end of the first branch wiring line 3 to short-circuit both wiring lines. And baked for 10 minutes (FIG. 4).

【0014】焼成後、第2の分岐配線ライン6の一部を
YAGレーザーで切断することにより、第1の配線ライ
ン2と第2の配線ライン5とを絶縁し、厚膜回路基板を
製造した(図1)。
After firing, a part of the second branch wiring line 6 is cut with a YAG laser to insulate the first wiring line 2 and the second wiring line 5 to produce a thick film circuit board. (FIG. 1).

【0015】なお、上記製造工程において第1の配線ラ
イン2または第2の配線ライン5と、ガラス絶縁膜4と
の境界部に気泡は全く発生せず、ガラス絶縁膜の剥離は
起こらなかった。
In the above manufacturing process, no bubbles were generated at the boundary between the first wiring line 2 or the second wiring line 5 and the glass insulating film 4, and the glass insulating film did not peel off.

【0016】[0016]

【発明の効果】本発明の出現により、第1の配線ライン
または第2の配線ラインとガラス絶縁膜との境界部に気
泡が発生することがなくなり、配線ラインからのガラス
絶縁膜の剥離が防止できるようになった。そのため、厚
膜回路基板製造上の歩留りが著しく向上した。
With the advent of the present invention, no bubbles are generated at the boundary between the first wiring line or the second wiring line and the glass insulating film, and peeling of the glass insulating film from the wiring line is prevented. Now you can. Therefore, the yield in the production of the thick film circuit board has been remarkably improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の厚膜回路基板の製造工程の一例を段階
的に示した図の一つであって、最終工程である図4の基
板上の第2の分岐配線ラインの一部を分断した後の厚膜
回路基板を示す平面図である。
FIG. 1 is a view showing stepwise an example of a manufacturing process of a thick film circuit board according to the present invention, in which a part of a second branch wiring line on the board of FIG. FIG. 3 is a plan view showing a thick-film circuit board after division.

【図2】本発明の厚膜回路基板の製造工程の一例を段階
的に示した図の一つであって、基板上に第1の配線ライ
ンおよび第1の分岐配線ラインを形成した状態を示す平
面図である。
FIG. 2 is a view showing stepwise an example of a manufacturing process of a thick film circuit board of the present invention, showing a state in which a first wiring line and a first branch wiring line are formed on the substrate. FIG.

【図3】本発明の厚膜回路基板の製造工程の一例を段階
的に示した図の一つであって、図2の基板上にガラス絶
縁膜を形成した状態を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view illustrating one example of a step of manufacturing a thick film circuit board according to the present invention, and is a plan view showing a state where a glass insulating film is formed on the substrate of FIG. 2;

【図4】本発明の厚膜回路基板の製造工程の一例を段階
的に示した図の一つであって、図3の基板上に第2の配
線ラインおよび第2の分岐配線ラインを形成した状態を
示す平面図である。
FIG. 4 is a view showing stepwise an example of a manufacturing process of the thick film circuit board of the present invention, in which a second wiring line and a second branch wiring line are formed on the substrate of FIG. 3; It is a top view showing the state where it did.

【図5】従来の厚膜回路基板の製造工程の一例を段階的
に示した図の一つであって、基板上に第1の配線ライン
を形成した状態を示す平面図である。
FIG. 5 is a plan view showing one example of a conventional process of manufacturing a thick-film circuit board in a stepwise manner, showing a state where a first wiring line is formed on the board.

【図6】従来の厚膜回路基板の製造工程の一例を段階的
に示した図の一つであって、図5の基板上にガラス絶縁
膜を形成した状態を示す平面図である。
FIG. 6 is a plan view illustrating one example of a conventional manufacturing process of a thick film circuit board, and is a plan view showing a state in which a glass insulating film is formed on the substrate of FIG. 5;

【図7】従来の厚膜回路基板の製造工程の一例を段階的
に示した図の一つであって、図6の基板上に第2の配線
ラインを形成する最終工程経過後の厚膜回路基板を示す
平面図である。
FIG. 7 is a view showing stepwise an example of a conventional manufacturing process of a thick film circuit board, and is a thick film after a final step of forming a second wiring line on the substrate of FIG. 6; It is a top view showing a circuit board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1‥‥基板 2‥‥第1の配線ライン 3‥‥第1の分岐配線ライン 4‥‥ガラス絶縁膜 5‥‥第2の配線ライン 6‥‥第2の分岐配線ライン 7‥‥分断部 Reference Signs List 1 substrate 2 first wiring line 3 first branch wiring line 4 glass insulating film 5 second wiring line 6 second branch wiring line 7 cutting section

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 基板表面上に絶縁膜を隔てて交差する2
本の厚膜導体による配線ラインが存在する構造を有する
厚膜回路基板であって、上記2本の配線ラインと同様の
厚膜導体による分岐配線ラインが、上記2本の配線ライ
ンを短絡する態様にそれぞれの配線ラインから枝状に引
き出されており、さらに、該分岐配線ラインからなる枝
状部の少なくとも一部に、該枝状部を絶縁する分断部が
存在することを特徴とする厚膜回路基板。
An intersecting insulating film on a substrate surface;
A thick-film circuit board having a structure in which there are wiring lines formed by two thick-film conductors, wherein a branch wiring line formed by a thick-film conductor similar to the two wiring lines short-circuits the two wiring lines. Characterized in that at least a part of the branch portion composed of the branch wiring line has a dividing portion that insulates the branch portion from each wiring line. Circuit board.
【請求項2】 前記2本の配線ラインの一方がAuを主
成分とするペースト材料、他方がAg、Cu、Ni、Z
n、AlまたはSnからなる群より選ばれた一つの金属
を主成分とするペースト材料から形成されたものである
請求項1記載の厚膜回路基板。
2. One of the two wiring lines is a paste material containing Au as a main component, and the other is Ag, Cu, Ni, Z
2. The thick film circuit board according to claim 1, wherein the thick film circuit board is formed from a paste material containing one metal selected from the group consisting of n, Al and Sn as a main component.
【請求項3】 前記2本の配線ラインの一方がAgを主
成分とするペースト材料、他方がNi、Zn、Alまた
はSnからなる群より選ばれた一つの金属を主成分とす
るペースト材料から形成されたものである請求項1記載
の厚膜回路基板。
3. One of the two wiring lines is made of a paste material mainly composed of Ag, and the other is made of a paste material mainly composed of one metal selected from the group consisting of Ni, Zn, Al and Sn. 2. The thick film circuit board according to claim 1, wherein the circuit board is formed.
【請求項4】 基板表面上に絶縁膜を隔てて交差する2
本の配線ラインが存在する構造を有する厚膜回路基板の
製造方法において、まず、第1の配線ラインを形成する
際、このラインから枝状に分岐配線ラインを引き出し、
この第1の配線ラインの所定部分上面を覆って絶縁膜を
形成し、次いでこの絶縁膜の上に第2の配線ラインを形
成する際、上記分岐配線ラインと第2の配線ラインとを
結ぶ分岐配線ラインを枝状に引き出して、第1の配線ラ
インと第2の配線ラインとを分岐配線ラインによって短
絡し、第2の配線ラインの焼成後に、これら分岐配線ラ
インからなる枝状部の一部を分断して、短絡していた両
配線ライン間を絶縁することを特徴とする厚膜回路基板
の製造方法。
4. Intersecting two insulating films on a substrate surface with an insulating film interposed therebetween.
In the method for manufacturing a thick film circuit board having a structure in which there are present wiring lines, first, when forming a first wiring line, branch wiring lines are drawn out in a branch shape from this line,
Forming an insulating film covering a predetermined portion of the upper surface of the first wiring line, and then forming a second wiring line on the insulating film, forming a branch connecting the branch wiring line and the second wiring line; The wiring line is drawn out in a branch shape, the first wiring line and the second wiring line are short-circuited by the branch wiring line, and after firing of the second wiring line, a part of the branch portion composed of these branch wiring lines is formed. And separating the two short-circuited wiring lines from each other by dividing the wiring line.
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