JP2575411B2 - Cross conductor manufacturing method - Google Patents

Cross conductor manufacturing method

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JP2575411B2
JP2575411B2 JP23528387A JP23528387A JP2575411B2 JP 2575411 B2 JP2575411 B2 JP 2575411B2 JP 23528387 A JP23528387 A JP 23528387A JP 23528387 A JP23528387 A JP 23528387A JP 2575411 B2 JP2575411 B2 JP 2575411B2
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鉄夫 木桧
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  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明はクロスコンダクタの製造方法の改良に係り、
特に電気接続性に優れたクロスコンダクタを低コストに
て且つ安定して製造することのできる、クロスコンダク
タの製造方法に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an improvement in a method for manufacturing a cross conductor, and
In particular, the present invention relates to a method for manufacturing a cross conductor that can stably manufacture a cross conductor having excellent electrical connectivity at low cost.

(従来技術とその問題点) 従来から、プリント配線板等における印刷回路間の電
気的接続を行なうクロスコンダクタとしては、一般に、
両端部に電極としてのキャップを取り付けた金属棒やリ
ード線の表面に絶縁塗装を施してなる、小型抵抗器形状
を有するものが用いられているが、かかる構造のものに
あっては、キャップの嵌着や絶縁塗装に手数を要すると
いった問題を有していた。
(Prior art and its problems) Conventionally, as a cross conductor for making an electrical connection between printed circuits in a printed wiring board or the like, generally,
Metal rods with caps as electrodes on both ends and those with small resistors formed by applying insulation coating on the surfaces of lead wires are used. There has been a problem that it takes time for fitting and insulating coating.

一方、近年、特開昭61−292867号公報において、2枚
の絶縁板間に、所定距離を隔てて互いに平行に延びる複
数の導電膜を挟着させてなる積層体を用いて、該積層体
を切断し、更にその導電膜が露出された切断面上に導電
面を形成することにより得られる、大量生産が可能なチ
ップ状のクロスコンダクタが明らかにされている。
On the other hand, in recent years, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 61-292867 discloses that a laminate comprising a plurality of conductive films extending in parallel with each other at a predetermined distance between two insulating plates is used. , And a chip-shaped cross conductor that can be mass-produced and is obtained by forming a conductive surface on the cut surface where the conductive film is exposed.

ところが、このような構造のクロスコンダクタにあっ
ては、通常、2枚の絶縁板としてセラミックス・グリー
ンシートが用いられ、その一方の重ね合わせ面上に導電
膜を印刷形成した後、それらを互いに重ね合わせて同時
焼成することにより、製造されることとなるところか
ら、グリーンシートの形成にコストがかかり、またその
重ね合わせの際に、重合面間に空気が入り込み易く、焼
成時に膨らみ等が惹起されるために歩留りが悪いといっ
た問題を内在していたのである。
However, in a cross conductor having such a structure, a ceramic green sheet is usually used as two insulating plates, and after a conductive film is formed by printing on one of the superposed surfaces, they are superposed on each other. By simultaneously firing together, it is costly to form a green sheet because it is to be manufactured, and at the time of superposition, air easily enters between the polymerized surfaces, causing swelling and the like during firing. Therefore, the problem of poor yield was inherent.

また、かかる構造のクロスコンダクタにあっては、切
断面上に露出する導電面の面積が、極めて小さいため
に、かかる切断面上に形成される導電面、延いては印刷
回路に対する電気接続の信頼性が充分とは言い難かった
のであり、それ故実際に製品として採用するに際しては
不都合な点が多かったのである。
Further, in the cross conductor having such a structure, since the area of the conductive surface exposed on the cut surface is extremely small, the reliability of the conductive surface formed on the cut surface, and hence the electrical connection to the printed circuit, is reduced. It was hard to say that it was sufficient, and there were many disadvantages when it was actually adopted as a product.

(解決手段) ここにおいて、本発明は、上述の如き事情を背景とし
て成されたものであって、その目的とするところは、電
気接続性の向上が有利に図られ得るチップ状のクロスコ
ンダクタを、低コストにて且つ安定して製造することの
できる製造方法を提供することにある。
(Solution) Here, the present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and an object of the present invention is to provide a chip-shaped cross conductor capable of advantageously improving electrical connectivity. Another object of the present invention is to provide a manufacturing method that can be manufactured stably at low cost.

そして、かかる目的を達成するために、本発明の要旨
とするところは、電気絶縁性の板状体を与えるセラミッ
クス・グリーンシートに対して、その表面上に、所定の
導電材料のペーストをスクリーン印刷することにより、
所定間隔を隔てて互いに平行に延びる、所定幅の複数本
の導電膜を形成し、更にこの導電膜が形成された側のセ
ラミックス・グリーンシート上に、電気絶縁層を与える
セラミックスペーストをスクリーン印刷することによ
り、前記導電膜に対して交叉する方向において、所定間
隔を隔てて互いに平行に延びる、所定幅の複数本の絶縁
層を形成せしめて、積層体と為し、その後かかる積層体
を同時焼成することにより、複数のクロスコンダクタ形
成用チップが平面上に連続して配列、形成されてなるシ
ート状焼成体を得ることを特徴とするクロスコンダクタ
の製造方法にある。
In order to achieve this object, the gist of the present invention is to screen-print a paste of a predetermined conductive material on the surface of a ceramic green sheet that provides an electrically insulating plate-like body. By doing
A plurality of conductive films having a predetermined width extending parallel to each other at predetermined intervals are formed, and a ceramic paste for providing an electric insulating layer is screen-printed on the ceramic green sheet on the side where the conductive films are formed. Thereby, in the direction crossing the conductive film, a plurality of insulating layers each having a predetermined width and extending in parallel with each other at a predetermined interval are formed to form a laminate, and thereafter, the laminate is simultaneously fired. Thus, there is provided a method for manufacturing a cross conductor, wherein a sheet-like fired body is obtained in which a plurality of cross-conductor forming chips are continuously arranged and formed on a plane.

(発明の具体的構成) すなわち、このような本発明手法においては、先ず、
所定のセラミックス粉末を用いて、焼成によって電気絶
縁性を与えるセラミックス・グリーンシートが成形され
る。
(Specific Configuration of the Invention) That is, in the method of the present invention, first,
Using a predetermined ceramic powder, a ceramic green sheet that gives electrical insulation by firing is formed.

ところで、ことセラミックス・グリーンシートの成形
材料としては、従来から種々のものが提案されている
が、本発明にあっては、後述の導電膜との同時焼成を達
成するために、焼結温度が低く且つ焼成によって充分な
る強度を与えるものが望ましく、例えば、マトリックス
を構成する35〜50重量%の硼珪酸系のガラス粉末中に、
フィラーとしてのアルミナ粉末が、50〜65重量%の割合
で混合されたものを主原料とするものが好適に用いられ
ることとなる。即ち、かかるガラスとアルミナ粉末との
混合割合は、比較的大きな強度を維持しつつ、800〜900
℃の温度下での焼結を可能とするものであって、ガラス
の配合量が多くなると、得られる焼結体が緻密でなくな
り、内部に空孔等の欠陥が生じて強度低下等の悪影響を
及ぼすこととなり、またアルミナの配合量が多いと、焼
結温度が高くなり、導電膜との同時焼成が困難となるの
である。
By the way, various molding materials for ceramics and green sheets have been conventionally proposed, but in the present invention, in order to achieve simultaneous sintering with a conductive film described later, the sintering temperature is reduced. It is desirable that the material be low and give sufficient strength by firing. For example, in a borosilicate glass powder of 35 to 50% by weight constituting a matrix,
A material obtained by mixing alumina powder as a filler at a ratio of 50 to 65% by weight as a main raw material is preferably used. That is, the mixing ratio of such glass and alumina powder is 800 to 900 while maintaining relatively large strength.
It enables sintering at a temperature of ℃, and when the blending amount of glass is large, the obtained sintered body is not dense, and defects such as vacancies are generated inside and adverse effects such as reduced strength are caused. If the amount of alumina is large, the sintering temperature becomes high, and simultaneous firing with the conductive film becomes difficult.

そして、このような原料粉末に対して、バインダーや
可塑剤、分散剤、溶剤等の成形助剤を適宜配合して、混
練することにより所定の粘度に調整し、それによって得
られたセラミックススラリーを、適当な成形手法、例え
ばドクターブレード法にて薄板状に成形し、更にそれを
適当な大きさに切断することにより、第1図(a)に示
されている如き、セラミックス・グリーンシート10が形
成されることとなる。
Then, to such a raw material powder, a molding aid such as a binder, a plasticizer, a dispersant, and a solvent is appropriately blended and adjusted to a predetermined viscosity by kneading, and a ceramic slurry obtained thereby is used. By forming the sheet into a thin plate by an appropriate forming method, for example, a doctor blade method, and cutting it into an appropriate size, the ceramic green sheet 10 as shown in FIG. Will be formed.

なお、かかる助剤の配合割合としては、一般に、原料
粉末:100重量部に対して、アクリル系バインダー:1〜15
重量部、可塑剤:1〜15重量部、分散剤:0.5〜5重量部、
有機系溶剤:10〜30重量部の範囲内において適宜に選定
されることとなる。けだし、バインダーの配合量が少な
いと、グリーンシート10がもろく、取扱いが困難となる
一方、多いとグリーンシート10が硬く、取扱い及び焼成
が困難となるのであり、また可塑剤が少ないと、グリー
ンシート10が硬く、割れ易くなる一方、多いとグリーン
シート10が柔らかくなりすぎて取扱いが困難となり、更
に分散剤が少ないと、セラミックススリラーの粘性が高
く、混合しにくくなる一方、多くしても効果が大きくな
らず、グリーンシート10の成形に悪影響を及ぼすことと
なるのである。そしてまた、溶剤が少ないと、セラミッ
クススラリーの粘性が高く、混合出来なくなる一方、多
いとセラミックススラリーの粘性が低く、所定の粘度に
ならずグリーンシート10の成形が困難となるのである。
In addition, as a blending ratio of such an auxiliary, generally, the raw material powder: 100 parts by weight, acrylic binder: 1 to 15 parts
Parts by weight, plasticizer: 1 to 15 parts by weight, dispersant: 0.5 to 5 parts by weight,
The organic solvent is appropriately selected within the range of 10 to 30 parts by weight. If the amount of the binder is small, the green sheet 10 is fragile and difficult to handle.On the other hand, if the amount is too large, the green sheet 10 is hard and difficult to handle and bake. While 10 is hard and easily cracked, if it is too large, the green sheet 10 becomes too soft and difficult to handle, and if there is little dispersant, the viscosity of the ceramic chiller is high and mixing becomes difficult, while the effect is increased even if it is large. This does not increase the size and adversely affects the formation of the green sheet 10. Also, when the amount of the solvent is small, the viscosity of the ceramic slurry is high and mixing cannot be performed. On the other hand, when the amount is large, the viscosity of the ceramic slurry is low and the viscosity does not reach a predetermined value, and it is difficult to form the green sheet 10.

次に、この得られたグリーンシート10の表面上に、第
1図(b)に示されているように、所定間隔を隔てて互
いに平行に延びる、所定幅の複数本の導電膜12が形成さ
れる。なお、図示はされていないが、以下の燥作に際し
ては、一般に、グリーンシート10に対して、位置決めの
ためのガイド孔が設けられ、そして該ガイド孔によっ
て、導電膜12等が正確な位置をもって形成されることと
なる。
Next, as shown in FIG. 1B, a plurality of conductive films 12 having a predetermined width and extending in parallel with each other at a predetermined interval are formed on the surface of the obtained green sheet 10. Is done. Although not shown, in the following drying operation, a guide hole for positioning is generally provided for the green sheet 10, and the conductive hole 12 and the like are accurately positioned by the guide hole. Will be formed.

この導電膜12は、所定の導電材料のペーストをスクリ
ーン印刷することによって形成されるものであり、そこ
においてかかる導電材料としては金、銀、銀−パラジウ
ム、或いはタングステン、モリブデン等の導電性物質を
主成分とするものを、何れも用いることが可能である
が、その中でも、特に、高導電率で且つ安価な金、銀、
或いは銀−パラジウムを主成分とするものが、好適に用
いられることとなる。
The conductive film 12 is formed by screen-printing a paste of a predetermined conductive material. As the conductive material, a conductive material such as gold, silver, silver-palladium, tungsten, or molybdenum is used. As the main component, any of them can be used, and among them, gold, silver,
Alternatively, a material containing silver-palladium as a main component is suitably used.

また、このような導電膜12を形成する導電材料は、
金、銀等の金属の他、セラミックス導電体等を若干含ん
でいても良く、またガラス等の焼結助剤やフィラー等と
してのセラミックス成分等を含んでいても何等差支えな
く、それによって前記グリーンシート10に対する接合強
度の向上が図られ得るものである。
In addition, a conductive material forming such a conductive film 12 is as follows.
In addition to metals such as gold and silver, it may contain a small amount of ceramic conductors and the like, and may contain any ceramic component such as a sintering aid such as glass or a filler. The bonding strength to the sheet 10 can be improved.

さらに、かかる導電膜12を形成し、乾燥させた後、こ
の導電膜12が形成された側のグリーンシート10上には、
第1図(c)に示されている如く、該導電膜12に対して
交叉する方向において、所定間隔を隔てて互いに平行に
延びる、所定幅の複数本の絶縁層14が、形成されること
となる。
Furthermore, after forming such a conductive film 12 and drying, on the green sheet 10 on the side where the conductive film 12 is formed,
As shown in FIG. 1C, a plurality of insulating layers 14 having a predetermined width and extending in parallel with each other at a predetermined interval in a direction crossing the conductive film 12 are formed. Becomes

この絶縁層14は、焼成により電気絶縁層を与えるセラ
ミックペーストを、スクリーン印刷することにより形成
されるものであり、特に、前記グリーンシート10を形成
するセラミックスラリーと同一の配合組成を有するもの
を用いることによって、該グリーンシート10との一体化
が有利に図られ得ることとなる。
The insulating layer 14 is formed by screen-printing a ceramic paste that provides an electrical insulating layer by firing, and in particular, a material having the same composition as the ceramic slurry forming the green sheet 10 is used. Thereby, integration with the green sheet 10 can be advantageously achieved.

そして、このようにグリーンシート10上に導電膜12及
び絶縁層14が形成されてなる積層体16は、乾燥された
後、所定温度に加熱されることにより、それらグリーン
シート10、導電膜12及び絶縁層14が同時に焼成せしめら
れるのであり、それによって、複数(図示のものにあっ
ては、16個)のクロスコンダクタ形成用チップ18が平面
上に連続して配列、形成されてなるシート状の焼成体19
が得られるのである。
Then, the laminate 16 in which the conductive film 12 and the insulating layer 14 are formed on the green sheet 10 is dried and then heated to a predetermined temperature, so that the green sheet 10, the conductive film 12 and the The insulating layer 14 is fired at the same time, whereby a plurality of (16 in the illustrated case) cross-conductor forming chips 18 are continuously arranged and formed on a plane to form a sheet. Fired body 19
Is obtained.

なお、ここにおいて、導電膜12が金、銀、或いは銀−
パラジウムにて形成されている場合、その融点は比較的
低いが、前述の如き配合組成からなる焼成温度の低いグ
リーンシート10を採用することによって、800〜900℃の
温度にて、同時焼成を行なうことが可能となるのであ
る。
Here, the conductive film 12 is made of gold, silver, or silver-
When formed of palladium, its melting point is relatively low, but by adopting a low firing temperature green sheet 10 having the above-described composition, simultaneous firing is performed at a temperature of 800 to 900 ° C. It becomes possible.

また、かかる焼成体19の各チップ18毎への分割を容易
とするために、その焼成前に、第1図(c)に示される
如く、各導電膜12の間隔中央部に縦割り溝20を、また各
絶縁層14の間隔中央部に横割り溝22を、それぞれ設ける
ことが望ましい。
Further, in order to facilitate division of the fired body 19 into each chip 18, before the firing, as shown in FIG. It is desirable to provide a horizontal groove 22 at the center of the space between the insulating layers 14.

すなわち、このようにして得られる焼成体19にあって
は、第1図(c)からも明らかなように、グリーンシー
ト10と絶縁層14との間に一体的に埋設された導電膜12
が、絶縁層14間において露出せしめられてなる構造とさ
れ、該導電膜12の露出部において、各チップ18毎に分割
せしめられるようになっているのである。
That is, in the fired body 19 obtained in this manner, as is clear from FIG. 1C, the conductive film 12 embedded integrally between the green sheet 10 and the insulating layer 14 is formed.
However, the structure is such that it is exposed between the insulating layers 14, and the exposed portion of the conductive film 12 is divided for each chip 18.

ところで、かかる焼成体19は、更に、前記特開昭61−
292867号公報に示されている如き、通常の手法に従い、
導電面処理等を施され、それによって製品たるチップ状
のクロスコンダクタとされることとなる。
Incidentally, such a fired body 19 is further described in
According to the usual method as shown in 292867,
A conductive surface treatment or the like is performed, thereby forming a chip-shaped cross conductor as a product.

具体的には、例えば、先ず、かかる焼成体19を、横割
り溝22に沿って、絶縁層14の長手方向に分割することに
より得られる第2図(a)に示されている如き、分割体
24に対して、導電膜12の切断面が露呈された両側分割面
上に、導電ペースト乃至は導電塗料をコーティングした
後、焼成乃至は加熱処理することにより、第2図(b)
に示されている如く、導電面26、26が形成される。
Specifically, for example, first, as shown in FIG. 2A obtained by dividing the fired body 19 along the transverse grooves 22 in the longitudinal direction of the insulating layer 14, body
The coating 24 is coated with a conductive paste or a conductive paint on the divided surfaces on both sides where the cut surface of the conductive film 12 is exposed, and then baked or heat-treated to obtain a structure shown in FIG.
The conductive surfaces 26, 26 are formed as shown in FIG.

次に、かかる導電面26、26が形成された分割体24を、
縦割り溝20に沿って、絶縁層14の長手方向に、各チップ
18毎に分割せしめ、更にそれによって得られたチップ18
に対して、第2図(c)及び(d)に示されている如
く、それぞれの導電面26、26及び導電膜12上に、ニッケ
ル電解メッキまたはハンダメッキの何れか一方乃至は両
方を施すことにより、電極28、28が形成され、以て製品
たるクロスコンダクタ30とされることとなるのである。
なお、第2図中、32は、グリーンシート10の焼成体とし
ての電気絶縁性の板状体である。
Next, the divided body 24 on which the conductive surfaces 26, 26 are formed,
Each chip is placed along the vertical groove 20 in the longitudinal direction of the insulating layer 14.
Divided into 18 and the resulting chips 18
On the other hand, as shown in FIGS. 2 (c) and 2 (d), nickel electroplating and / or solder plating are applied to the respective conductive surfaces 26 and 26 and the conductive film 12. As a result, the electrodes 28, 28 are formed, whereby the cross conductor 30 as a product is obtained.
In FIG. 2, reference numeral 32 denotes an electrically insulating plate-like body as a fired body of the green sheet 10.

すなわち、上述の如き手法に従えば、導電膜12の一方
の側にのみ、セラミックス・グリーンシート10が用いら
れることから、従来のものに比して、コスト的に極めて
有利となるのである。
That is, according to the above-described method, the ceramic green sheet 10 is used only on one side of the conductive film 12, which is extremely advantageous in cost as compared with the conventional one.

そして、導電膜12が形成されたグリーンシート10上に
おける絶縁層14は、セラミックスペーストをスクリーン
印刷することにより形成されるところから、従来のグリ
ーンシートの貼り合わせに比して、その操作が容易とな
るのである。
Since the insulating layer 14 on the green sheet 10 on which the conductive film 12 is formed is formed by screen printing a ceramic paste, the operation is easier than the conventional green sheet bonding. It becomes.

また、特に、かかる絶縁層14が、スクリーン印刷にて
形成されるところから、該絶縁層14とグリーンシート10
との間に対する空気の取り込みが、可及的に回避され得
ることとなり、それによって製品品質の安定化及び歩留
りの低下が有利に達成され得るのである。
Particularly, since the insulating layer 14 is formed by screen printing, the insulating layer 14 and the green sheet 10 are formed.
As a result, air entrapment can be avoided as much as possible, whereby a stable product quality and a reduced yield can be advantageously achieved.

さらに、本発明手法にて製造されたクロスコンダクタ
30にあっては、導電膜12が、両側端部表面において露呈
されているところから、第2図(c)及び(d)に示さ
れる如く、メッキ操作にて形成される電極28の固着面積
を大きくとることができるのであり、それによって、か
かる導電膜12に対する電極28、導電面26の電気的接続の
信頼性の向上及び接続性強度の向上が、効果的に図られ
得るといった利点をも有しているのである。
Furthermore, the cross conductor manufactured by the method of the present invention
In FIG. 30, since the conductive film 12 is exposed on both side surfaces, as shown in FIGS. 2 (c) and 2 (d), the fixing area of the electrode 28 formed by the plating operation is increased. Therefore, there is an advantage that the reliability of the electrical connection of the electrode 28 and the conductive surface 26 to the conductive film 12 and the improvement of the connection strength can be effectively achieved. They have.

(実施例) 以下に、本発明の実施例を示し、本発明を更に具体的
に明らかにすることとするが、本発明が、そのような実
施例の記載によって何等の制約をも受けるものでないこ
とは、言うまでもないところである。
(Examples) Examples of the present invention will be shown below to clarify the present invention more specifically. However, the present invention is not limited by the description of such examples. That goes without saying.

また、本発明には、以下の実施例の他にも、更には上
記の具体的記述以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない限
りにおいて、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修
正、改良などを加え得るものであることが、理解される
べきである。
In addition, in addition to the following examples, the present invention, in addition to the above-described specific description, various changes, corrections, and modifications based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. It is to be understood that improvements can be made.

先ず、42.5重量%の硼珪酸ガラスと57.5重量%のアル
ミナとの混合物をボールミルにて、63時間湿式粉砕した
後、脱水、乾燥することにより、セラミック原料粉末を
得た。次いで、このセラミック粉末:100重量部に対し
て、バインダー(アクリル系):14重量部、可塑剤(DB
P):12重量部、分散剤(ソルビタントリオレイン酸エス
テル):1重量部、溶剤(トルエン):21重量部を加え、
ボールミルで39時間混合してスラリーと為した。そし
て、真空ポンプにて減圧してスラリー中の空気の除去及
び粘度調整を施した後、ドクターブレード法にてシート
状に成形することにより、セラミックス・グリーンシー
トを成形し、更にそれを適当な大きさに切断することに
より、グリーンシート(10)を得た。なお、かかるグリ
ーンシート(10)には、後工程における製品のずれを防
止するため、位置決め用のガイド穴をプレスにて形成し
た。
First, a mixture of 42.5% by weight of borosilicate glass and 57.5% by weight of alumina was wet-pulverized in a ball mill for 63 hours, dehydrated and dried to obtain a ceramic raw material powder. Next, a binder (acrylic): 14 parts by weight and a plasticizer (DB) are added to 100 parts by weight of the ceramic powder.
P): 12 parts by weight, dispersant (sorbitan trioleate): 1 part by weight, solvent (toluene): 21 parts by weight,
The mixture was mixed with a ball mill for 39 hours to form a slurry. Then, the pressure in the slurry is reduced by a vacuum pump to remove the air in the slurry and the viscosity is adjusted. Then, the ceramic green sheet is formed into a sheet shape by a doctor blade method, and the green sheet is formed into an appropriate size. The green sheet (10) was obtained by cutting into pieces. The green sheet (10) was formed with a positioning guide hole by a press in order to prevent a product from shifting in a subsequent process.

次に、得られたグリーンシート(10)上に、金を主成
分として、銀:95重量部に対して硼珪酸ガラス:5重量部
を混合した印刷ペーストを用いて、弟1図(b)に示さ
れている如き、所定の間隔を隔てて互いに平行に延びる
複数の導電膜(12)を、スクリーン印刷にて形成し、乾
燥させた。
Next, on the green sheet (10) obtained, using a printing paste containing 95 parts by weight of silver and 5 parts by weight of borosilicate glass mixed with 95 parts by weight of gold, as shown in FIG. As shown in Table 2, a plurality of conductive films (12) extending in parallel with each other at predetermined intervals were formed by screen printing and dried.

さらに、かかる導電膜(12)が形成された側のグリー
ンシート(10)上に、上記グリーンシート(10)を形成
するセラミックスラリーと同じ成分を有する印刷ペース
トを用いて、弟1図(c)に示されている如き、所定の
間隔を隔てて、導電膜(12)に対して交叉する方向に、
互いに平行に延びる複数の絶縁層(14)を形成し、乾燥
させた。
Further, on the green sheet (10) on the side on which the conductive film (12) is formed, a printing paste having the same components as the ceramic slurry forming the green sheet (10) is used. As shown in the figure, in a direction crossing the conductive film (12) at a predetermined interval,
A plurality of insulating layers (14) extending parallel to each other were formed and dried.

そして、このようにして得られた積層体(16)に対し
て、各導電膜(12)間及び絶縁層(14)間に、それぞ
れ、縦割り溝(20)及び横割り溝(22)を形成した後、
850℃で10分間保持することにより、グリーンシート(1
0)、導電膜(12)及び絶縁層(14)を同時焼成せし
め、以て複数のクロスコンダクタ形成用チップ(18)が
平面上に連続して配列、形成されてなるシート状の焼成
体(19)を得た。なお、かかる焼成体(19)の形成に際
しては、グリーンシート(10)と絶縁層(14)との間へ
の空気の取り込みに起因する焼成時の膨れ等による不良
品の発生が殆どなく、95%程度の極めて高い歩留りが確
認された。
Then, with respect to the laminated body (16) thus obtained, a vertical groove (20) and a horizontal groove (22) are formed between the conductive films (12) and between the insulating layers (14), respectively. After forming
By holding at 850 ° C for 10 minutes, the green sheet (1
0), the conductive film (12) and the insulating layer (14) are simultaneously fired, so that a plurality of cross-conductor forming chips (18) are continuously arranged and formed on a plane to form a sheet-like fired body ( 19). In the formation of the fired body (19), there is almost no occurrence of defective products due to swelling or the like at the time of firing caused by the intake of air between the green sheet (10) and the insulating layer (14). %, An extremely high yield was confirmed.

さらに、この得られた焼成体を、第2図に示される如
く、横割り溝(22)にて分割して分割体(24)と成した
後、該分割体(24)の両側分割面上に、金を主成分とす
る導電ペーストをコーティングして乾燥することによ
り、導電面(26)を形成した。次いで、かかる分割体
(24)を、縦割り面(20)にて分割して、チップ状と成
した後、それぞれの導電面(26)及び導電膜(12)の露
出面上に、ニッケル電解メッキを施して、電極(28)を
形成することにより、製品たるチップ状のクロスコンダ
クタ(30)を得ることができた。
Further, as shown in FIG. 2, the obtained fired body is divided by a horizontal dividing groove (22) to form a divided body (24), and the divided body (24) is divided on both side divided surfaces. Then, a conductive surface (26) was formed by coating and drying a conductive paste containing gold as a main component. Next, the divided body (24) is divided at the vertically divided surface (20) into a chip shape, and nickel electrolysis is performed on each of the conductive surface (26) and the exposed surface of the conductive film (12). By forming the electrodes (28) by plating, a chip-shaped cross conductor (30) as a product could be obtained.

すなわち、このような実施例において、絶縁層(14)
の形成の際、グリーンシート(10)との間への空気の取
り込みが有効に防止され、歩留りの向上が有利に達成さ
れ得ること、及び電極(28)の導電膜(12)に体する接
続信頼性が向上され、製品品質の向上及びその安定化が
極めて有利に達成され得ることが確認できた。
That is, in such an embodiment, the insulating layer (14)
In the formation of the electrodes, the incorporation of air into the green sheet (10) is effectively prevented, the yield can be advantageously improved, and the connection of the electrode (28) to the conductive film (12) is improved. It was confirmed that the reliability was improved, and the improvement and stabilization of the product quality could be achieved extremely advantageously.

(発明の効果) 以上の説明から明らかなように、本発明手法に従え
ば、クロスコンダクタの製造に際しての製造コストの低
減及び歩留りの向上が極めて効果的に図られ得るのであ
り、それによってチップ状のクロスコンダクタの実用化
が有利に達成され得るのである。
(Effects of the Invention) As is clear from the above description, according to the method of the present invention, it is possible to extremely effectively reduce the manufacturing cost and improve the yield in manufacturing the cross conductor, and thereby the chip-shaped Practical application of the cross conductor can be advantageously achieved.

そしてまた、本発明手法にて製造されるクロスコンダ
クタにあっては、導電膜の露出面積を大きくとることが
できることから、かかる導電膜に対する電極の接触面積
を大きく設定することが可能であり、それによって接続
信頼性、即ち製品品質の向上が図られ得るといった効果
をも有しているのである。
Further, in the cross conductor manufactured by the method of the present invention, since the exposed area of the conductive film can be increased, the contact area of the electrode with the conductive film can be set large. This also has the effect that connection reliability, that is, product quality can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図(a)、(b)、(c)は、それぞれ、本発明手
法に従い積層体を形成する工程の一具体例を示す工程説
明図である。また、第2図(a)、(b)、(c)、
(d)は、それぞれ、かかる積層体を焼成することによ
り得られる焼成体から、製品たるクロスコンダクタを形
成する工程の一具体例を示す工程説明図である。 10:グリーンシート、12:導電膜 14:絶縁層、16:積層体 18:クロスコンダクタ形成用チップ 19:焼結体、24:分割体 26:導電面、28:電極 30:クロスコンダクタ
1 (a), 1 (b), and 1 (c) are step explanatory diagrams each showing a specific example of a step of forming a laminate according to the method of the present invention. Also, FIGS. 2 (a), (b), (c),
(D) is a process explanatory view showing a specific example of a process of forming a cross conductor as a product from a fired body obtained by firing such a laminate. 10: Green sheet, 12: Conductive film 14: Insulating layer, 16: Laminated body 18: Cross conductor forming chip 19: Sintered body, 24: Divided body 26: Conductive surface, 28: Electrode 30: Cross conductor

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】電気絶縁性の板状体を与えるセラミックス
・グリーンシートに対して、その表面上に、所定の導電
材料のペーストをスクリーン印刷することにより、所定
間隔を隔てて互いに平行に延びる、所定幅の複数本の導
電膜を形成し、更にこの導電膜が形成された側のセラミ
ックス・グリーンシート上に、電気絶縁層を与えるセラ
ミックスペーストをスクリーン印刷することにより、前
期導電膜に対して交叉する方向において、所定間隔を隔
てて互いに平行に延びる、所定幅の複数本の絶縁層を形
成せしめて、積層体と為し、その後かかる積層体を同時
焼成することにより、複数のクロスコンダクタ形成用チ
ップが平面上に連続して配列、形成されてなるシート状
焼成体を得ることを特徴とするクロスコンダクタの製造
方法。
1. A ceramic green sheet providing an electrically insulating plate-like body is screen-printed with a paste of a predetermined conductive material on a surface thereof, and extends in parallel with each other at a predetermined interval. A plurality of conductive films having a predetermined width are formed, and a ceramic paste for providing an electric insulating layer is screen-printed on the ceramic green sheet on the side on which the conductive films are formed, so that the conductive films cross each other. In the direction in which a plurality of cross conductors are formed by forming a plurality of insulating layers having a predetermined width and extending in parallel with each other at predetermined intervals to form a laminate, and then simultaneously firing such a laminate, A method for manufacturing a cross conductor, comprising obtaining a sheet-like fired body in which chips are continuously arranged and formed on a plane.
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