JP2824797B2

JP2824797B2 - バー塗布方法

Info

Publication number: JP2824797B2
Application number: JP29088089A
Authority: JP
Inventors: 誠治石塚; 博樹齋藤
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1989-11-08
Filing date: 1989-11-08
Publication date: 1998-11-18
Anticipated expiration: 2013-11-18
Also published as: JPH03151082A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、非連続性基板にバーを用いて塗布する方法
に関するものである。

具体的には、シート状、円盤状、平板状等の半導体に
ウエハあるいはその製造に用いられるフォトマスク用フ
ォトレジスト塗布、プリント基板用ソルダーレジスト塗
布あるいはガラス基板塗布等や特に液晶カラーテレビ等
に使用される新規なカラーフィルター材料の塗布方法と
して好適なバー塗布方法に関するものである。

〔従来の技術〕

特公昭58−4589号公報には、可とう性連続フィルム
（ウェブ）に薄層均一塗布を行うにあたり、回転するバ
ーの前記ウェブとの接触部の直前において液だまりが形
成されるようにして塗布液を供給し、該バーによりウェ
ブに塗布液を連続的に塗布する方法が開示されている。
この方法では、バーコータにおいて、ウェブとバーが完
全に密着していることが重要であり、ウェブをバーに対
し適切な角度（通常15゜〜60゜）を持ってラップさせる
ことにより両者の密着を保っている。これに対して、非
連続性基板では基板自身変形しにくく、又たとえ変形し
ても非連続（シート状）であるため、長手方向に張力を
かけながらバーにラップさせることは不可能である。発
明者らは特公昭58−4589号のバーコータを非連続性基板
の塗布に適用するため、基板を水平に保持しながら上方
より押圧部材をもって基板をバーに押し付けながら塗布
を行ったところ、一応の塗布はできるものの、以下のよ
うな重大な問題が発生することがわかった。つまり、こ
の方法を数10cm〜2m程度の非連続性基板（フィルム）を
適用すると、１）基板の終端部の膜厚が定常部より厚くなり現像残
りなどの問題を引き起こし、又、２）基板の終端部において基板の裏に塗布液が付着す
る場合があり、そのときは押圧部材や他工程を汚す、といった問題が生じた。

〔発明が解決しようとする課題〕

従って、本発明は非連続性基板に塗布液を塗布するに
あたり、基板終端部における塗布上の問題を解決したバ
ー塗布方法を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記問題の発生する理由を解析した結果、バーと基板
との接触部の直前において形成される液だまりの液の一
部が基板終端部において、そのまま基板に転写すること
に起因することがわかった。

そして、上記問題は基板の終端部がバーと接触する直
前から完全に接触が完了するまでの間、バーの回転速度
を基板速度の1/5以下もしくは、停止することによって
達成された（態様１）。尚、定常塗布部においては、通
常、基板とバーとのスリップにより基板またはバーの振
動または基板表面の擦傷を防ぐため、バーの速度は基板
の速度とほぼ等しくなるように駆動される。

また、上記問題は基板の終端部かバーから離れる直前
から完全に離れるまでの間、押圧ロールを上方に移動す
ることにより塗布バーと押圧ロールの間隙を広げ、押圧
ロールと基板が接触しないようにすることによって達成
された（態様２）。

本発明の態様１によれば、バーと基板との接触部の直
前に形成される液だまりの量をバー回転の低下または停
止により減少させることができる。尚、バーの回転速度
を低下（または停止）させる位置は基板終端から３〜20
mm手前、さらに好ましくは５〜10mm手前がよい。停止位
置が手前すぎると塗布膜厚の不均一な部分が基板の内側
まではいることになり不経済であり、逆に停止位置が遅
すぎると十分な厚塗り防止効果が得られないからであ
る。

態様２によれば、基板終端部において押圧ロールが基
板とはなれ、基板が押圧ロールにより塗布バーに押し付
けられなくなるが、基板の自重により基板と塗布バーの
密着は維持され、塗布が行われる。尚、押圧ロールを移
動させる位置は、外乱（押圧ロールの移動による押し付
け圧の急激な変化）による塗布面状の乱れが定常塗布部
に入らないよう、できる限り基板終端近く、好ましくは
基板終端から10mm以内、さらに好ましくは5mm以内がよ
い。

態様２は特に、基板の厚さが薄い場合、例えば1.5mm
以下の場合、基板の終端部に塗布液が裏まわりするのを
有効に防止することができる。

次に、本発明の実施態様について図面を用いて説明す
る。

第１図は本発明のバー塗布方法を示す概略図であり、
第２図は第１図のバー塗布装置の一部拡大断面図であ
る。

バー２は、その全長または一部にわたりバー支持部材
６によって水平かつ回転可能に支持され、バー２の一端
には図示されていない回転駆動手段が接続されている。

バー支持部材６は、堰部材５及び５′によって囲ま
れ、該堰部材５の一部に設けられた給液口４より供給さ
れた塗布液３が、バー支持部材６と堰部材５との間に液
貯蔵部８を形成するように構成する。

塗布されるべき基板１は、パスロール14と押圧ロール
15によりバー２の回転方向に向かって基板１の下面がバ
ー２の頂点に接するように水平に搬送される。

第２図は、回転するバー２が液貯蔵部８から塗布液３
を汲み上げ、基板１の下面との接触点に形成された液溜
り９を介して塗布液３を基板１の下面に転移させ、同時
に軽量掻き落しを行い（バー２の作用による）所定膜厚
の塗膜７を形成させる様子を示している。

本発明において塗布を均一に行うためには、基板１と
バー２とを全幅に渡って密着させることが重要である。

第１図は、パスロール14と押圧ロール15により基板１
を搬送する方式を示している。この方式では、パスロー
ル14は基板１の下面にできるだけ接触しないようにエッ
ヂロールを用いることが望ましく、その場合のバーは第
３図に示すような段付きバー16を用いたり、第５図に示
すように耳部のワイヤー溝をハンダなどでつぶしたバー
を用いてその表面の液をブレード21でかき落とす方法を
使用したりして基板の両サイドに未塗布部分を作ること
により塗布後の塗膜でパスロール14を汚すのを防ぐこと
ができる。また、抑えロール15は表面ゴムのような弾性
体を設けたものを用いると、全幅に渡って基板１と段付
きバー16とを密着させる上で好適である。尚、第５図
中、21はブレード、22は塗布面、23はワイヤ部分、24は
ワイヤ溝つぶし部分を表わす。

本発明において均一塗布を行う上で重要な要素は、液
溜り９を最適な形状に維持することである。基板塗布に
おいては基板１が断続的に送られてくるため、液溜り９
は断続的に形成される。従って、基板１がバー２と接触
すると同時に液溜り９が定常の状態に形成されるように
工夫する必要がある。

第４図に示すバー塗布装置10において、バー２の回転
を止めたときに液溜り９を形成すべき側に供給された塗
布液が作る液面の高さL₁とバー２の頂点の高さL₂との距
離ａを0.5〜4.5mmの範囲に、更に好ましくは、1.0〜4.0
mmの範囲にとることにより、液溜り９が速やかに定常の
形状に形成される。

第４図における距離ａが4.5mmより大きくなった場
合、第２図における液溜り９が定常の状態に形成される
までに時間が掛かり、基板１の先頭部の膜厚が不安定に
なり易いとともに定常状態に達した後も、液溜り９の形
状が幅方向に不均一になりやすく、タテムラが発生しや
すい。逆に、前記距離ａが0.5mmに満たない場合は、液
溜り９が大きくなり塗布の不均一を生じ易い。

上記距離ａが所定の範囲（目標液面高さ）となるよう
に堰部材５の高さを適当に調整する。この際、堰部材５
の高さを目標液面高さと同じレベルにして塗布液を多少
オーバーフローさせながら目標液面高さを簡易に維持で
きる。しかし塗布液量節約等の理由からオーバーフロー
を防止したい場合には、堰部材５の高さを目標面高さ以
上に設定することもできる。但し、この場合にはバーの
回転により液面レベルを検出しながら送液量をコントロ
ールするのが好ましい。一般に塗布液をオーバーフロー
させる場合、送液量が過剰の場合を除きオーバーフロー
は全幅均一に起きず部分的に発生することが多い。この
際、塗布液によってはオーバーフロー部分に対してスジ
状に塗布膜厚の不均一を生じる場合がある。従って、こ
のような場合には、第２図に示されるようにバーの前後
の堰部材５の高さを変えて、低い方の堰部材からオーバ
ーフローさせたり、堰部材の一部（塗布幅の外側が好ま
しい）をやや低くしてオーバーフローをその場所に限定
させることもできる。

一方、第４図に示される堰部材５とバー２との距離
ｃ、ｅについても適宜定めることができる。ｃ、ｅが大
きくても塗布の点から問題はないが、コーターが大きく
なるとともにコーター内に貯蔵される液量が多くなるの
で好ましくない。一方、ｃが狭すぎると液溜り９から塗
布液が堰部材を越えて部分的に流れ易くなり安定な状態
で液溜りを形成しにくくなる。又、ｅが狭すぎるとバー
の回転により下流側の液面レベルが下がり、空気が巻き
込まれ易くなるので好ましくない。

従って、ｃ及びｅを３〜20mmに設定するのがよい。

本発明において、態様１では第１図において基板１の
終端から３〜20mm手前の位置カバー２に接触したときに
バーの回転速度を基板搬送速度の1/5以下に低下させる
か、又はバーの回転を停止する。基板は引きつづき一定
速度で回転中の押圧ロール15より駆動力を受けて搬送さ
れる。又、態様２では第１図において押圧ロール15を上
方に移動させて塗布バー２と押圧ロール15との間隙を広
げて、基板終端部において塗布液が基板の裏に付着する
という問題を解決する。

本発明に用いられるバー２の材質は、強度および耐薬
品性の面で金属（特にステンレス鋼）が多くの場合望ま
しいが、それに限定されることなくナイロン等のプラス
チックファイバーを巻いたワイヤーバーや、ゴム製のプ
ラスチック製の溝付きバーも用いられる。

ワイヤーバーとしては、この他に巻かれたワイヤーの
外周表面を平に研磨して基板１との接触面積を増したラ
ッピングバーも用いることができる。

バー２の径は6.0〜30.0mm、更に好ましくは6.0〜20.0
mmの範囲が良く、これ以上では塗膜に縦スジ状の不均一
を生じやすく、これ以下では制作が困難になる。

バー２がワイヤーバーの場合のワイヤー径は、必要と
する塗布膜厚に応じ選ばれるが、ワイヤーの断面が円形
であり、基板速度とバー回転周速度が同速度の場合に
は、湿潤塗布膜厚は基板速度や塗布液物性によらず、次
の関係式で求められる。

即ち、ｔ≒70d 但し、ｔ…湿潤塗布膜厚（μｍ）、ｄ…ワイヤー径（mm）、しかし、良好な塗布面状を得るためには、ワイヤー径
の範囲は好ましくは0.05〜1.0mm、更に好ましくは0.05
〜0.7mmの範囲がよい。

バー２が溝付きバーの場合の溝ピッチは、通常1mm以
下であり更に好ましくは0.7mm以下がよい。溝の断面形
状は正弦曲線に近いものが適しているが、必ずしもこれ
に限定されることなく他の形状も用いられる。

上記のラッピングバーあるいは溝付きバーの場合の湿
潤塗布膜厚は、それぞれの断面における凸部の頂点を結
んだ線よりも下方にある空間の単位長さ当りの容積によ
って決り、空間容積が等しいワイヤーバーと概略同等の
湿潤塗布膜厚を与えることが分かっており、いずれの場
合も上記好適な範囲内において適切な形状のバーを選択
することができる。

これらの知見を基にしたバー形状の選択により、湿潤
塗布量が4cc/m²の薄層塗布から約70cc/m²程度の厚膜塗
布まで安定に塗布することができる。

本発明における塗布速度は、塗布面や操作性の面から
0.1〜20m/minの範囲、更に好ましくは0.2〜10m/minの範
囲がよい。

本発明におけるバー２の回転周速度は、一般に塗布速
度と同速度にすると基板１とのスリップがなく好ましい
が、基板１とスリップしても基板表面を傷付けるなどの
問題がない場合は、液溜り９が安定に保たれる範囲内に
おいてバー２の回転周速度を低速にする方が良好な塗布
面状が得られることが多い。

本発明において塗布される基板は特に限定されず、例
えば、紙、プラスチックフィルム、レジンコート紙、金
属板、硝子板などがあげられ、その厚さも限定されない
が、0.1〜10mm程度のものが好適に使用される。

本発明における基板１のサイズは特に限定されない。
一般にガラス基板の場合はサイズが大きくなると表面の
平面性が悪くなりがちであるが、第１売に示した押圧ロ
ール15の表面に弾性体を設けたものを用いることによ
り、1m×1m（厚さ2mm）の方形ガラス板でも充分に均一
に塗布できることが確認されている。尚、基板１の形状
は方形、円形いずれの形状でも良好に塗布可能であり、
形状は特に限定されるものではない。

本発明の方法により種々の液を非連続性基板に塗布で
きる。塗布液の組成及び物性は特に限定されないが、粘
度100cp以下、特に50cp以下のものが好適に塗布され
る。

本発明の方法により好適にカラーフィルターを製造す
ることができる。通常、撮像装置や表示装置においてカ
ラー画像を扱う場合は、通常可視光線の波長を分割して
取り出し、光電変換し、増幅、搬送、増幅の工程を経て
電気エネルギーを光に変換し、対応する色光に戻し、色
光を組み立てて表示する方法が行なわれている。一般に
は、画像濃度を表わす最小単位である絵素毎にＢ
（青）、Ｇ（緑）、Ｒ（赤）の３つの波長に分割して扱
っており、自己発光しない撮像装置や液晶テレビのよう
な表示装置はそのためのフィルターを必要とし、これを
カラーフィルターと呼んでいる。

カラーフィルターの製造に使用される、顔料によって
着色された観光性組成物は、米国特許第3,549,367号明
細書等に開示されている付加重合性不飽和モノマー、光
重合開始剤およびバインダーからなる光重合性感光性組
成物およびポリマーの主鎖または側鎖に不飽和二重結合
残基を持つ光架橋型フォトポリマーが有用である。

該光重合性感光性組成物中の付加重合性不飽和モノマ
ーは、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽
和基をもち、沸点が常圧で100℃以上の化合物である。
例えば、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレ
ート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレ
ート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、等の単
官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエ
タントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アク
リレート、メリメチロールプロパントリ（アクリロイル
オキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエ
チル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロール
エタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプ
ロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレー
ト化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034
号、特開昭51−37193多各公報に記載されているような
ウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭4
9−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されてい
るポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メ
タ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレー
ト類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートをあ
げることが出来る。更に、日本接着協会誌Vol,20、No.
7,300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして
紹介されているものも使用できる。使用量は、５〜50Wt
％（以下％と省略する）好ましくは、10〜40％である。

光重合開始剤としては、米国特許第2,367,660号明細
書に開示されているビシナールポリケトアルドニル化合
物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書
に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,
448,828号明細書に開示されているアシロインエーテ
ル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα
炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特
許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示され
ている多該キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細
書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー/p
−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号
公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物／トリ
ハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物、特願昭61−18
6238号公報に記載されている感光性ｓ−トリアジン化合
物、米国特許第4,239,850号明細書に開示されているト
リハロメチル−ｓ−トリアジン系化合物、米国特許第4,
212,976号明細書に記載されているオキサジアゾール化
合物等があげられる。使用量は固形分比で約0.2〜20
％、好ましくは0.5〜15％である。

バインダーは、モノマーに対して相溶性のある線状有
機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶
液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高
分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマ
ー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、
特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53
836号、特開昭59−71048号明細書に記載されているよう
なメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコ
ン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合
体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また
同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体
がある。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を
付加させたものなども有用である。特にこれらのなかで
ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共
重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アク
リル酸／および他のモノマーとの他元共重合体が好適で
ある。この他に水溶性ポリマーとして、ポリビニールピ
ロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニールアル
コール等も有用である。また硬化皮膜の強度をあげるた
めにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−（４−ヒ
ドロキシフェニル）−プロパンとエピクロルヒドリンの
ポリエーテルなども有用である。これらのポリマーは任
意な量を混合させることができるが、90％を越えること
は形成される画像強度等の点で好ましい結果を与えな
い。好ましくは30〜85％である。

以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが
好ましく、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェ
ノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロー
ル、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4′−チ
オビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、2,
2′−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェ
ノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用
である。

通常市販のモノマー中には、適量の熱重合防止剤が添
加されている。

光架橋型フォトポリマーとしては、例えば、特開昭52
−96696号に開示されているポリエステル化合物、英国
特許第1,112,277号、同第1,313,390号、同第1,341,004
号、同第1,377,747号、特開昭55−23941号等の各明細書
に記載のポリビニールシンナメート系感光性ポリマーな
どが含まれる。

該感光性組成物の有用な有機溶剤は、グリコールエー
テル系のメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピ
ルセロソルブ、プロピレングリコールメチルエーテル、
プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリ
コールプロピレエーテルおよびそのアセテート系、すな
わち、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ
アセテート、プロピルセロソルブアセテート、プロピレ
ングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレング
リコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコ
ールプロピルエーテルアセテートが有用である。また酢
酸エステル系では、アミルアセテート、ブチルアセテー
ト、プロピルアセテート、エチルアセテートが、ケトン
系では、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケト
ン、アセトン、シクロヘキサノンが、その他ジメチルホ
ルムアミド、ジメチルスルホオキサイド、メチルピロリ
ドン、γ−ブチロラクトン、乳酸エチル等が有用であ
り、それぞれのアルキル基は、直鎖でも枝分かれの異性
体でもよい。

溶液濃度は、３〜70％の範囲で利用できるが、より好
ましい範囲は、15〜50％である。

また色材は、例えば、アゾ系、アンスラキノン系、キ
サンテン系、キナクリドン系、インジゴ系、ジオキサジ
ン系、インダンスロン系、イソインドリノン系、フタロ
シアニン系、トリフェニルメタン系、ニトロソ系、ペリ
レン系、イソインドリン系の顔料が有用であり、例え
ば、フタロシアニンブルー（C.I.ピグメントブルー15:6
またはC.I.ピグメントブルー15:3:例えば、東洋インキ
製造（株）製のリオノールブルーES、チバガイギー社製
のクロモブルーA3R）、フタロシアニングリーン（C.I.
ピグメントグリーン７、36、またはC.I.ピグメントグリ
ーン37:例えば、東洋インキ製造（株）製のリオノール
グリーン2YS）、ペリレン系顔料（C.I.ピグメントレッ
ド155、アントラキノン系顔料（C.I.ピグメントレッド1
77:例えば、東洋インキ製造（株）製のリオノーゲンレ
ッドGD、チバガイギー社製のクロモフタルレッドBRN）
等が有用であり、更に色補正のためにC.I.ピグメントエ
ロー83、C.I.ピグメントエロー154:例えば、東洋インキ
製造（株）製のリオノーゲンエロー3G、C.I.ピグメント
バイオレット23:例えば、東洋インキ製造（株）製のリ
オノーゲンバイオレットRL等が特に好ましい。該色材
は、上記光硬化型感光性組成物に分散して着色感光性組
成物を製造する。

感光層中に占める該顔料の比率は、固形分比で５〜90
％であり、より好ましくは10〜60％である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、非連続基板の終端部の裏側に塗液が
まわるのを有効に防止することができる。特に請求項１
記載の方法によれば、非連続基板の終端部における膜厚
増加をも防止できる。

よって、本発明の塗布方法によれば、効率的に塗布基
板を生産することができ、また、水平状態で塗布できる
のでガラス基体のように剛性が高く、曲がり難いものの
塗布に好適である。

従って、半導体ウエハあるいはその製造に用いられる
フォトマスク用フォトレジスト塗布、プリント基板用ソ
ルダーレジスト塗布あるいはガラス基板塗布等におい
て、大サイズ基板、あるいは任意形状の基板に対しても
均一塗布が可能であり、また、塗布液のロスが少ない経
済的にも優れた塗布方法が提供される。

又、本発明の方法をカラーフィルターの製造方法に適
用すると、着色された感光性組成物の溶液を大きな面積
にムラ無く塗布することができる。

従って、本発明の方法によって、液晶カラーディスプ
レー、液晶カラーテレビ、カラー撮像管、カラーイメー
ジセンサーなどが安価に且つ容易に製造できる。

次に実施例により本発明を説明する。

〔実施例〕

実施例１第１図及び第２図に示すバー塗布装置10を用い、大き
さ45cm×45cm、厚さ1.1mmのガラス基板上にフォトレジ
スト液を塗布した。バー２は12mm径のステンレス鋼に0.
15mmの径のステンレス鋼ワイヤーを巻いたものを用い
た。

第４図における、バー２の回転を止めたときに液溜り
９を形成すべき側に供給された塗布液が作る液面の高さ
L₁とバー２の頂点の高さL₂との距離ａは2mmに維持し
た。又、ｃとｅの距離をそれぞれ8mmにした。

基板の搬送速度を3m/分とし、定常塗布部におけるワ
イヤーバーの回転速度は基板と同速の3m/分とした。

（ｉ）基板終端部においてバーの回転速度を変化させな
かった場合、基板終端部には幅５〜10mmで定常部の３〜
10倍の厚塗りが生じ、時折裏回りにより押厚ロール15に
汚れが発生した。

（ii）基板終端部より5mm手前からバーの回転を停止さ
せた場合、基板終端部の厚塗り幅は3mm以内、厚塗り量
は定常部の２倍以内となった。また基板終端での裏周り
は全く生じなかった。

実施例２第１図と第２図に示すバー塗布装置10を用い、大きさ
45cm×45cm、厚さ0.7mmのガラス基板上にフォトレジス
ト溶液を塗布した。第４図における、バー２の回転を止
めたときに液溜り９を形成すべき側に供給された塗布液
が作る液面の高さL₁とバー２の頂点の高さL₂との距離ａ
は2mmに維持した。又、ｃとｅの距離をそれぞれ8mmにし
た。

押圧ロール15は直径10cmのアルミロールの表面に厚さ
2mmのゴムをライニングしたものを用い、バー２は12mm
径のステンレス鋼に0.15mmの径のステンレス鋼ワイヤー
を巻いた物を運んだ。なお押圧ロールとバーの間隙は0.
5mmとした。また基板の搬送速度（押圧ロールの回転速
度およびエッジロール14の回転速度によって規定され
る）および塗布バーの回転速度はいずれも3m/分とし
た。

（ｉ）基板終端部において押圧ロールの位置を変化させ
なかった場合、全てのサンプルにて基板終端部で裏回り
が生じ、押圧ロール15に汚れが発生した。

（ii）基板終端部より5mm手前から押圧ロールを0.5mm上
方に移動させ押圧ロールと基板が接触しないようにした
場合、全サンプルにおいて裏回りは全く生じず、よって
押圧ロール汚れも発生しなかった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のバー塗布方法の概略図、第２図は第１
図の塗布方法で用いる塗布装置の一部拡大断面概略図、
第３図は段付きバーの斜視図、第４図は第１図のバー塗
布装置においてバーの回転を止めた時の液溜まり面の位
置を示す説明図、第５図は両端溝つぶしバー使用の概略
図である。１……基板、２……バー、３……塗布液、４……給液孔、５……堰部材、６……バー支持部材、７……塗膜、８……液貯蔵部、９……液溜り、10……バー塗布装置、 14……パスロール、15……押圧ロール、 16……段付きバー。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭51−95443（ＪＰ，Ａ) 特開昭58−137470（ＪＰ，Ａ) 特開昭48−70746（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−296865（ＪＰ，Ａ) 特開平２−258081（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B05D 1/28,1/26 B05C 1/02,1/08,3/18 B05C 5/00,5/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】非連続性基板を塗布バーと押圧部材とで挟
持しながら移動させ、該基板に接触しつつ同基板と同方
向に回転するバーの前記基板との接触部の直前において
液溜りが形成される様に塗布液を供給し、該バーにより
前記基板に塗布液を塗布するバー塗布方法において、前
記基板の終端部が該バーと接触する直前から完全に接触
が完了するまでの間、バーの回転速度が基板速度の1/5
以下もしくは、バーの回転を停止することを特徴とする
バー塗布方法。
【請求項２】非連続性基板を塗布バーと押圧ロールとで
挟持しながら水平に移動させ、該基板に接触しつつ同方
向に回転するバーの前記基板との接触部の直前において
液溜りが形成される様に塗布液を供給し、該バーにより
前記基板に塗布液を塗布するバー塗布方法において、前
記基板の終端部が該バーから離れる直前から完全に離れ
るまでの間、押圧ロールを上方に移動することにより塗
布バーと押圧ロールとの間隙を広げ、押圧ロールと基板
が接触しないようにすることを特徴とするバー塗布方
法。